CN105921739A - 一种高精度超薄金刚石切割片及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种高精度超薄金刚石切割片，其特征为它包括如下重量百分比的组份：金刚石颗粒40～60、青铜粉(CuSn20)10～40、树枝状铜粉10～20、羰基铁粉0.5～10、锡粉1～10、硅粉0.5～5、银粉0.5～5、石墨粉0.5～1；其中金刚石颗粒、青铜粉、树枝状铜粉、羰基铁粉、锡粉、硅粉、银粉和石墨粉的粒径为300～400目。本发明还涉及该高精度超薄金刚石切割片的制备方法。本发明具有切割精度高，崩边小，使用寿命长的优点。

Description

一种高精度超薄金刚石切割片及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种金刚石切割片，尤其涉及一种高精度超薄金刚石切割片及其制备方法。
背景技术
金刚石切割片主要用于镀膜玻璃、晶圆、铌酸锂等硬脆材料的精密切割和开槽，专与各种进口和国产划片机、开槽机配套使用；其厚度一般在0.1～0.5 mm；对于半导体芯片这样一个极具竞争力的产业，伴随着计算、通讯和娱乐等功能的不断融合，以及无线、便携、手提等数字和光电类消费电子产品的持续增长，对切割片的要求越来越高。硬脆贵重材料的切割特别容易发生崩边，现在为了弥补这个缺陷，一般国际上通用树脂切割片，由于金刚石切割片使用条件十分苛刻，本身很薄，极易脆裂或脆断，工作时转速极高（30～80KYPM），线速度达到120～200 m/s，承受很大的冲击力和向心力，进刀速很大（5～50krpm）和深切入量(0.5～2.5mm)条件实施切割，承受大的 工作负荷和高的切削热，还要承受多方位大于1L/min流量的纯水进行强制冷却，切割片工作时消耗很快，由此树脂切割片的使用寿命短，经常要换刀，从而提高了金刚石切割片更换的频率，降低了工效，提高了生产成本。
发明内容
针对上述缺点，本发明的目的在于提供一种崩边小且使用寿命长的高精度超薄金刚石切割片。
本发明的技术内容为：一种高精度超薄金刚石切割片，其特征为它包括如下重量百分比的组份：
金刚石颗粒 40～60
青铜粉(CuSn20) 10～40
树枝状铜粉 10～20
羰基铁粉 0.5～10
锡粉 1～10
硅粉 0.5～5
银粉 0.5～5
石墨粉 0.5～1；
其中金刚石颗粒、青铜粉、树枝状铜粉、羰基铁粉、锡粉、硅粉、银粉和石墨粉的粒径为300～400目。
本发明的另一目的还在于提供一种高精度超薄金刚石切割片的其制备方法。
一种高精度超薄金刚石切割片的其制备方法，其包括如下步骤：
（1）、在混料机中加入成品高精度超薄金刚石切割片含如下重量百分比的组份得前基混合粉料：
青铜粉(CuSn20) 10～40
树枝状铜粉 10～20
羰基铁粉 0.5～10
锡粉 1～10
硅粉 0.5～5
银粉 0.5～5
石墨粉 0.5～1；
再在前基混合粉料中加入润湿剂搅拌2～3小时；青铜粉、树枝状铜粉、羰基铁粉、锡粉、硅粉、银粉和石墨粉的粒径为300～400目；润湿剂为液体石蜡，润湿剂的加入量为前基混合粉料重量的0.3～0.6%；
（2）、再向混料机中加入在成品高精度超薄金刚石切割片中重量百分比为40～60的金刚石颗粒后搅拌1～2小时得切割片混合料，金刚石颗粒粒径为300～400目；
（3）、将切割片混合料放入切割片钢模后在压机上压制得切割片毛坯，压机压制的压力为3.9×103～5.8ⅹ103Mpa；
（4）、将切割片毛坯放入切割片石墨模后在热压设备中进行热压烧结得切割片粗品，热压设备的模压压力为5～50Mpa，烧结温度为630～750℃，烧结时间80～100min；
（5）、将切割片粗品在高精度平面研磨机上进行去毛刺及外形修整，得成品高精度超薄金刚石切割片。
在上述高精度超薄金刚石切割片的其制备方法中，压机、热压设备和高精度平面研磨机为金刚石切割片生产过程中使用的常规设备，切割片钢模和切割片石墨模也为常规模具；切割片粗品的去毛刺及外形修整采用常规工艺，即通过高精度平面研磨机将切割片粗品外表面磨平整且大小符合使用的尺寸要求。
本发明与现有技术相比所具有的优点是：切割精度高，崩边小，使用寿命长。
具体实施例
一种高精度超薄金刚石切割片的其制备方法，其包括如下步骤：
（1）、在混料机中加入2.5Kg青铜粉(CuSn20)、1.5Kg树枝状铜粉、0.5Kg羰基铁粉、0.2Kg锡粉、0.1Kg硅粉、0.15Kg银粉和0.05Kg石墨粉，再加入0.015Kg液体石蜡后搅拌2小时；树枝状铜粉、羰基铁粉、锡粉、硅粉、银粉和石墨粉的粒径为400目；
（2）、再向混料机中加入5.0 Kg金刚石颗粒后搅拌3小时得切割片混合料，金刚石颗粒粒径为325目；
（3）、取切割片混合料放入切割片钢模后在压机上压制得切割片毛坯，压机压制的压力为4ⅹ103Mpa，切割片毛坯内经39.5毫米、外径58.5毫米、厚度0.3毫米；
（4）、将切割片毛坯放入切割片石墨模后在热压设备中进行热压烧结得切割片粗品，热压设备的模压压力为20Mpa，烧结温度为650℃，烧结时间90min，切割片粗品内经39.5毫米、外径58.5毫米、厚度0.25毫米；
（5）、将切割片粗品在高精度平面研磨机上进行去毛刺及外形修整，得成品高精度超薄金刚石切割片，成品高精度超薄金刚石切割片内径40毫米，外径58毫米、厚度0.15毫米。

Claims (2)

1.一种高精度超薄金刚石切割片，其特征为它包括如下重量百分比的组份：
金刚石颗粒 40～60
青铜粉(CuSn20) 10～40
树枝状铜粉 10～20
羰基铁粉 0.5～10
锡粉 1～10
硅粉 0.5～5
银粉 0.5～5
石墨粉 0.5～1；
其中金刚石颗粒、青铜粉、树枝状铜粉、羰基铁粉、锡粉、硅粉、银粉和石墨粉的粒径为300～400目。
2.一种高精度超薄金刚石切割片的其制备方法，其包括如下步骤：
（1）、在混料机中加入成品高精度超薄金刚石切割片含如下重量百分比的组份得前基混合粉料：
青铜粉(CuSn20) 10～40
树枝状铜粉 10～20
羰基铁粉 0.5～10
锡粉 1～10
硅粉 0.5～5
银粉 0.5～5
石墨粉 0.5～1；
再在前基混合粉料中加入润湿剂搅拌2～3小时；青铜粉、树枝状铜粉、羰基铁粉、锡粉、硅粉、银粉和石墨粉的粒径为300～400目；润湿剂为液体石蜡，润湿剂的加入量为前基混合粉料重量的0.3～0.6%；
（2）、再向混料机中加入在成品高精度超薄金刚石切割片中重量百分比为40～60的金刚石颗粒后搅拌1～2小时得切割片混合料，金刚石颗粒粒径为300～400目；
（3）、将切割片混合料放入切割片钢模后在压机上压制得切割片毛坯，压机压制的压力为3.9×103～5.8ⅹ103Mpa；
（4）、将切割片毛坯放入切割片石墨模后在热压设备中进行热压烧结得切割片粗品，热压设备的模压压力为5～50Mpa，烧结温度为630～750℃，烧结时间80～100min；
（5）、将切割片粗品在高精度平面研磨机上进行去毛刺及外形修整，得成品高精度超薄金刚石切割片。
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