CN105903607B - 一种新型多片衬底喷涂装置 - Google Patents

一种新型多片衬底喷涂装置 Download PDF

Info

Publication number
CN105903607B
CN105903607B CN201610426474.1A CN201610426474A CN105903607B CN 105903607 B CN105903607 B CN 105903607B CN 201610426474 A CN201610426474 A CN 201610426474A CN 105903607 B CN105903607 B CN 105903607B
Authority
CN
China
Prior art keywords
multiple substrates
slide glass
spray equipment
heating plate
vacuum bothrium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610426474.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105903607A (zh
Inventor
王云翔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Beautiful Figure Semiconductor Technology Co Ltd
Original Assignee
Suzhou Beautiful Figure Semiconductor Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Beautiful Figure Semiconductor Technology Co Ltd filed Critical Suzhou Beautiful Figure Semiconductor Technology Co Ltd
Priority to CN201610426474.1A priority Critical patent/CN105903607B/zh
Publication of CN105903607A publication Critical patent/CN105903607A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105903607B publication Critical patent/CN105903607B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work

Abstract

本发明涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种新型多片衬底喷涂装置。该新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板、垫块底座、绝热底板、硅胶加热器、加热板和载片夹具。本发明所涉及的一种新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。

Description

一种新型多片衬底喷涂装置
技术领域
本发明涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种新型多片衬底喷涂装置。
背景技术
在微纳米技术领域，衬底的使用非常常见。单片衬底在喷涂生产过程中效率低下，无法满足多片衬底同时喷涂的需求。
为了解决上述技术问题，本发明设计了一种新型多片衬底喷涂装置，该新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。
发明内容
为了克服背景技术中存在的缺陷，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板、垫块底座、绝热底板、硅胶加热器、加热板和载片夹具，所述绝热底板的底部通过垫块底座固定在工作面板上，所述绝热底板上设有硅胶加热器，所述硅胶加热器上设有加热板，所述加热板上设有多条横行真空吸槽和一条纵向真空吸槽，所述横行真空吸槽通过纵向真空吸槽连接在一起，所述加热板的一侧设有真空气管接头，所述真空气管接头与一条横行真空吸槽的一端通过主连接吸孔连通，所述加热板上设有两个夹具直角限位块和两个夹具三角限位块，所述载片夹具放置在加热板上，所述载片夹具上设有多个封闭真空吸槽， 所述封闭真空吸槽与横行真空吸槽和纵向真空吸槽之间通过多个次连接吸孔连通，所述载片夹具上对应每个封闭真空吸槽设有两个L形状挡块，所述L形状挡块内设有衬底放置方片，所述载片夹具的两侧分别设有把手。
本发明所涉及的一种新型多片衬底喷涂装置，该新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明一种新型多片衬底喷涂装置的结构示意图；
图2是本发明一种新型多片衬底喷涂装置的主视图；
图3是本发明一种新型多片衬底喷涂装置的内部结构示意图一；
图4是图3中A处的局部放大图；
图5是本发明一种新型多片衬底喷涂装置的内部结构示意图二；
图6是图5的主视图；
图7是图6中B处的局部放大图；
其中: 1、工作面板；2、垫块底座；3、绝热底板；4、硅胶加热器；5、加热板；6、载片夹具；7、夹具直角限位块；8、夹具三角限位块；9、衬底放置方片；10、L形状挡块；11、把手；12、真空气管接头；13、封闭真空吸槽；14、次连接吸孔；15、横行真空吸槽；16、纵向真空吸槽；17、主连接吸孔。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
具体实施例，请参阅图1-7，一种新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板1、垫块底座2、绝热底板3、硅胶加热器4、加热板5和载片夹具6，所述绝热底板3的底部通过垫块底座2固定在工作面板1上，所述绝热底板3上设有硅胶加热器4，所述硅胶加热器4上设有加热板5，所述加热板5上设有多条横行真空吸槽15和一条纵向真空吸槽16，所述横行真空吸槽15通过纵向真空吸槽16连接在一起，所述加热板5的一侧设有真空气管接头12，所述真空气管接头12与一条横行真空吸槽15的一端通过主连接吸孔17连通，所述加热板5上设有两个夹具直角限位块7和两个夹具三角限位块8，所述载片夹具6放置在加热板5上，所述载片夹具6上设有多个封闭真空吸槽13， 所述封闭真空吸槽13与横行真空吸槽15和纵向真空吸槽16之间通过多个次连接吸孔14连通，所述载片夹具6上对应每个封闭真空吸槽13设有两个L形状挡块10，所述L形状挡块10内设有衬底放置方片9，所述载片夹具6的两侧分别设有把手11。
本发明所涉及的一种新型多片衬底喷涂装置，该新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (2)

1.一种新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板（1）、垫块底座（2）、绝热底板（3）、硅胶加热器（4）、加热板（5）和载片夹具（6），其特征在于：所述绝热底板（3）的底部通过垫块底座（2）固定在工作面板（1）上，所述绝热底板（3）上设有硅胶加热器（4），所述硅胶加热器（4）上设有加热板（5），所述加热板（5）上设有多条横行真空吸槽（15）和一条纵向真空吸槽（16），所述横行真空吸槽（15）通过纵向真空吸槽（16）连接在一起，所述加热板（5）的一侧设有真空气管接头（12），所述真空气管接头（12）与一条横行真空吸槽（15）的一端通过主连接吸孔（17）连通，所述加热板（5）上设有两个夹具直角限位块（7）和两个夹具三角限位块（8），所述载片夹具（6）放置在加热板（5）上，所述载片夹具（6）上设有多个封闭真空吸槽（13）， 所述封闭真空吸槽（13）与横行真空吸槽（15）和纵向真空吸槽（16）之间通过多个次连接吸孔（14）连通，所述载片夹具（6）上对应每个封闭真空吸槽（13）设有两个L形状挡块（10），所述L形状挡块（10）内设有衬底放置方片（9）。
2.根据权利要求1所述的一种新型多片衬底喷涂装置，其特征在于，所述载片夹具（6）的两侧分别设有把手（11）。
CN201610426474.1A 2016-06-16 2016-06-16 一种新型多片衬底喷涂装置 Active CN105903607B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610426474.1A CN105903607B (zh) 2016-06-16 2016-06-16 一种新型多片衬底喷涂装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610426474.1A CN105903607B (zh) 2016-06-16 2016-06-16 一种新型多片衬底喷涂装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105903607A CN105903607A (zh) 2016-08-31
CN105903607B true CN105903607B (zh) 2018-08-10

Family

ID=56751415

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610426474.1A Active CN105903607B (zh) 2016-06-16 2016-06-16 一种新型多片衬底喷涂装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105903607B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110038754A (zh) * 2019-05-15 2019-07-23 苏州美图半导体技术有限公司 大面积多喷头喷涂设备
CN113731685B (zh) * 2021-09-26 2022-04-19 山东省建设建工（集团）有限责任公司 一种适用于大面积耐磨防腐金刚砂抗裂楼地面的施工装置及施工方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3558093A (en) * 1969-07-29 1971-01-26 Epec Systems Corp Vacuum memory holding device
US6173948B1 (en) * 1999-01-20 2001-01-16 International Business Machines Corporation Dimensional compensating vacuum fixture
CN103962860A (zh) * 2014-05-27 2014-08-06 中国电子科技集团公司第四十三研究所 真空吸盘
CN104117946A (zh) * 2014-07-21 2014-10-29 格林精密部件（惠州）有限公司 一种吸附式中心定位夹具
CN204656791U (zh) * 2015-03-12 2015-09-23 大东扬机械股份有限公司 吸附式喷涂装置
CN204748389U (zh) * 2015-04-21 2015-11-11 昆山先捷精密电子有限公司 真空吸附治具
CN205043505U (zh) * 2015-09-09 2016-02-24 南阳富新特光电科技有限公司 一种平面玻璃多片加工定位治具
CN205201367U (zh) * 2015-12-11 2016-05-04 中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所 一种真空热台夹具
CN205291881U (zh) * 2016-01-11 2016-06-08 莆田市嘉业光电电子有限公司 一种多块lcd玻璃同版丝印定位夹具
CN205851175U (zh) * 2016-06-16 2017-01-04 苏州美图半导体技术有限公司 一种新型多片衬底喷涂装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000198069A (ja) * 1998-10-30 2000-07-18 Shin Etsu Handotai Co Ltd 研磨用ワ―ク保持盤およびその製造方法ならびにワ―クの研磨方法および研磨装置
TWI250559B (en) * 2004-07-09 2006-03-01 Innolux Display Corp Coating apparatus and coating method using the same
KR100653430B1 (ko) * 2006-03-08 2006-12-04 조성화 그라파이트 박판의 지그장치

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3558093A (en) * 1969-07-29 1971-01-26 Epec Systems Corp Vacuum memory holding device
US6173948B1 (en) * 1999-01-20 2001-01-16 International Business Machines Corporation Dimensional compensating vacuum fixture
CN103962860A (zh) * 2014-05-27 2014-08-06 中国电子科技集团公司第四十三研究所 真空吸盘
CN104117946A (zh) * 2014-07-21 2014-10-29 格林精密部件（惠州）有限公司 一种吸附式中心定位夹具
CN204656791U (zh) * 2015-03-12 2015-09-23 大东扬机械股份有限公司 吸附式喷涂装置
CN204748389U (zh) * 2015-04-21 2015-11-11 昆山先捷精密电子有限公司 真空吸附治具
CN205043505U (zh) * 2015-09-09 2016-02-24 南阳富新特光电科技有限公司 一种平面玻璃多片加工定位治具
CN205201367U (zh) * 2015-12-11 2016-05-04 中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所 一种真空热台夹具
CN205291881U (zh) * 2016-01-11 2016-06-08 莆田市嘉业光电电子有限公司 一种多块lcd玻璃同版丝印定位夹具
CN205851175U (zh) * 2016-06-16 2017-01-04 苏州美图半导体技术有限公司 一种新型多片衬底喷涂装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105903607A (zh) 2016-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105903607B (zh) 一种新型多片衬底喷涂装置
CN105149425A (zh) 具有清洗干燥功能的铜带压平装置
CN202008196U (zh) 进、出水管接管方向可调式风机盘管机组
CN104785402A (zh) 一种挂架
CN205851175U (zh) 一种新型多片衬底喷涂装置
KR101518044B1 (ko) 대면적 박판형상의 흑연성형치구 가공용 공압지그
CN208168263U (zh) 智能化集成快装手术室用阴角线
CN109065472A (zh) 一种太阳能电池晶体硅清洗用辅助装置
CN207139326U (zh) 一种碳钢管夹紧装置
CN102698944A (zh) 热风循环烘干装置
CN104282604A (zh) 用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟
CN104008993A (zh) 一种吸取硅电池片的真空吸笔
CN205398675U (zh) 一种光亮退火炉
CN205102533U (zh) 一种药品快速干燥装置
CN202812603U (zh) 分气管装置
CN202591091U (zh) 热风循环烘干装置
CN213737546U (zh) 一种防面板划伤的玻璃面板用输送装置
CN203719053U (zh) 静压箱及包括该静压箱的空调器
CN208600346U (zh) 散热器表面处理装置
CN204718325U (zh) 一种假发漂洗去杂烘干机配套烘烤架
CN216048973U (zh) 流动式碗体烘干装置
CN202853069U (zh) 用于空调的输气装置
CN203876371U (zh) 烤炉杯夹
CN201816050U (zh) 带气源的钣金维修平台
CN211197857U (zh) 一种液晶屏吸屏器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant