CN105758867A - 一种高速的显微缺陷复查方法 - Google Patents

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    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined

Abstract

本发明公开了一种高速的显微缺陷复查方法，包括以下步骤：A)图像扫描找到缺陷点位置；B)相机自动聚焦一直开启，相机沿缺陷点连成的曲线匀速运动；C)到达每个缺陷点，触发相机以及闪光灯，完成缺陷点图像拍摄。该复查取图方法为匀速经过各个缺陷点，自动聚焦一直开启，当相机镜头接近下一个缺陷点时，触发相机和闪光灯，到达每个缺陷点没有停顿，不会产生振动；只有在缺陷点之间运动方向改变，其引发的振动在传感器到达缺陷点的位置之前就安顿下来，所以整个复查过程时间缩短，复查取图效率高。

Description

一种高速的显微缺陷复查方法
技术领域
本发明涉及光学检测技术领域，尤其是涉及一种高速的显微缺陷复查方法。
背景技术
一个有效的AOI(自动光学检测)系统一般由两部分组成：1)快速的低倍率的图像扫描、找到产品表面缺陷的位置；2)用高倍率的显微图像来复查，以确定缺陷的性质和种类。
通常复查的过程是先得到多个缺陷点的x/y坐标，算出最优路径，然后逐点复查取图。从一点到下一点是做直线运动，先加速，然后减速，在到达下一个缺陷点时停下来，进行自动聚焦，然后拍照。在这个过程中有一个问题是快速的减速会引起运动系统的振动，从而引发自动聚焦的不稳定。现有的解决方法是等到振动自己消除后再开启自动聚焦功能，或者是进行缓慢地减速。这两种措施都会延长缺陷复查的时间。
如图1所示，假设点P1、P2、P3、P4、P5、P6是晶圆的缺陷点，在传统的过程下，进行从P1到P2的直线扫描，由于在点P2需要停顿聚焦，所以在P1到P2的过程中，先加速和后减速的过程，使得传感器振动，聚焦不稳。
发明内容
针对现有技术不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种高速的产品表面显微缺陷复查取图方法。
为了解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案为：
一种高速的显微缺陷复查方法，包括以下步骤：
A)图像扫描找到缺陷点位置；
B)相机自动聚焦一直开启，相机沿缺陷点连成的曲线匀速运动；
C)到达每个缺陷点，触发相机以及闪光灯，完成缺陷点图像拍摄。
进一步的，所述相机上设有用于检测缺陷点的传感器。
所述相机移动速度为0.1米/秒-1.0米/秒。
本发明与现有技术相比，具有以下优点：该复查取图方法为匀速经过各个缺陷点，自动聚焦一直开启，当相机镜头接近下一个缺陷点时，触发相机和闪光灯，到达每个缺陷点没有停顿，不会产生振动；只有在缺陷点之间运动方向改变，其引发的振动在传感器到达缺陷点的位置之前就安顿下来，所以整个复查过程时间缩短，复查取图效率高。
附图说明
下面对本说明书各幅附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：
图1为晶圆的缺陷示意图。
图2为本发明复查曲线拟合示意图。
具体实施方式
下面对照附图，通过对实施例的描述，对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
通过线阵相机(或带频闪的面阵相机)进行低倍率(1x-5x)的图像扫描，找到被检测物体(如：晶圆，平板玻璃或生物医学切片)表面的缺陷点位置。
如图2所示，将产品上的缺陷点连成曲线；如将P1、P2、P3、P4这四个缺陷点依次连成曲线，通过相机沿曲线依次通过P1、P2、P3、P4四个缺陷点，进行高速摄影。
高速的面阵相机(CCD或CMOS传感器)配带高倍率(20x-50x)的显微镜头沿缺陷点连成的曲线匀速运动，并且相机自动聚焦一直开启；到达每个缺陷点，触发相机以及闪光灯，完成缺陷点图像拍摄。匀速运动，加速减速停顿，满足过缺陷点无振动，高效完成取像。
从P1移动到P2时，相机沿着曲线高速运动，当达到P2时，匀速运动，满足过缺陷点的无振动，从而高效完成图像的拍摄；之后同样完成P3和P4图像拍摄。
相机匀速高速运动，相机移动速度可达0.1米/秒-1.0米/秒。只有在缺陷点之间运动方向改变，其引发的振动在传感器到达缺陷点的位置之前就安顿下来，所以整个复查过程时间缩短，复查取图效率高。
上面结合附图对本发明进行了示例性描述，显然本发明具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本发明的构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种高速的显微缺陷复查方法，其特征在于：所述复查方法包括以下步骤：
A)图像扫描找到缺陷点位置；
B)相机自动聚焦一直开启，相机沿缺陷点连成的曲线匀速运动；
C)到达每个缺陷点，触发相机以及闪光灯，完成缺陷点图像拍摄。
2.如权利要求1所述高速的显微缺陷复查方法，其特征在于：所述相机上设有用于检测缺陷点的传感器。
3.如权利要求1所述高速的显微缺陷复查方法，其特征在于：所述相机移动速度为0.1米/秒-1.0米/秒。
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