CN105235084A - 一种硅片切割机用切削液去水装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种硅片切割机用切削液去水装置,解决了现有技术中切削液去水装置排除的切削液、水蒸汽温度高,容易造成安全事故的不足。本发明提供的一种硅片切割机用切削液去水装置,包括壳体,在壳体内设置有加热室,加热室内设有加热体,切削液由进水接口进入内腔内,然后再由供水口进入加热室,被位于加热室内的加热体加热,位于加热室内的切削液受热造成切削液内的水变成水蒸汽,位于加热室内的水蒸汽由排汽管排出,而去水后的切削液则由排水口排出,完成切削液的去水过程;相对于现有技术中的蒸馏设备,本技术方案结构简单,降低了切削液去水装置的生产成本。

Description

一种硅片切割机用切削液去水装置
技术领域
[0001] 本发明涉及硅片切割机配件,尤其涉及一种硅片切割机用切削液去水装置。
背景技术
[0002] 硅片切割中砂浆在线回收技术在国内开始兴起,越来越多的厂家开始自己购买设备自己回收砂浆,但回收的切削液中水分会随着回收次数增加而增加,虽然不同机型对切削液水含量的上限要求不同,但切削液中水的含量越低产品合格率越高。现在许多专门做回收砂浆的厂家用的都是蒸馏设备,对分离出来的切削液进行蒸馏,但现有的蒸馏设备价格比较昂贵,并且热能利用率低,浪费严重,耗时较长,对于重点做硅片生产的中小型企业买这种设备不实际。
[0003] 现有技术中用于硅片切割机的切削液去水装置结构复杂并且生产成本高,另外,现有技术中切削液去水装置对切削液蒸馏后立即排出,造成排出的切削液、水蒸汽温度高,容易造成安全事故。
发明内容
[0004] 本发明提供的一种硅片切割机用切削液去水装置,旨在克服现有技术中切削液去水装置排出的切削液、水蒸汽温度高,容易造成安全事故的不足。
[0005] 为了解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:一种硅片切割机用切削液去水装置,包括具有内腔的壳体,所述壳体上设有进水接口和出水接口,所述壳体上端还设有与内腔相通的通气孔,所述内腔内设有加热室,所述加热室内设有加热体,所述进水接口与内腔相通,所述出水接口通过出水管与加热室相通,所述加热室上开设有与出水管相接的排水口,所述壳体上还设有排汽口,所述加热室上端设有排汽嘴,所述排汽嘴与排汽口之间通过排汽管相通,所述加热室固定在壳体上,所述加热室与内腔通过开设在加热室上的供水口相通,所述进水接口由安装在内腔侧壁上的浮子液位开关控制开闭,所述供水口的水平高度低于排水口的水平高度,所述排汽管和出水管均盘绕在内腔内,所述排汽管与排汽嘴之间设有连接管,所述连接管包括与排汽嘴相接的第一接口和与排汽管相接的第二接口,所述第二接口的水平高度低于第一接口的水平高度。
[0006] 上述构成中,在壳体内设置加热室,并且加热室内设有加热体,切削液经进水接口进入内腔,然后再由供水口进入加热室内被加热体加热,位于加热室内的水蒸汽随排汽管排出,而经加热后的切削液由排水口排出,完成了切削液的去水过程,上述方案结构简单,降低了切削液去水装置的生产成本;
[0007]另外,排汽管和出水管均盘绕在内腔内,该方案具有两个作用,首先排汽管和出水管均盘绕在内腔内,位于内腔内的切削液起到对排汽管内的水蒸汽、出水管内的切削液进行降温的作用,因此,排出的水蒸汽和切削液温度较低,不会烫伤技术人员;另外,排汽管、出水管盘绕在内腔内还可以对内腔内的切削液起到预热作用,从而降低了切削液去水工艺的成本。
[0008] —种可选的方案,所述加热室固定于壳体的底壁上,所述加热室的中心线与内腔的中心线重合,所述加热室上还设有若干根伸入内腔的导热柱,所述导热柱与加热室为一体式结构。通过在加热室上设置若干根导热柱,导热柱起到对内腔内的切削液进行预热的作用,提高了切削液去水工艺的去水效率。
[0009] —种可选的方案,所述排汽管和出水管上均设有若干根散热柱。排汽管和出水管上均设有散热柱,增大了排汽管、出水管与内腔内切削液的热交换面积,从而在降低水蒸汽、出水管内切削液温度的同时进一步提高了位于内腔内未被加热的切削液的预热效率。
[0010] —种可选的方案,所述加热体上固定有若干加热柱,所述加热柱与加热体为一体式结构。在加热体上设置加热柱,提高了加热体与加热室内切削液的热交换面积,提高了加热体的加热效率。
[0011] 所述通气孔内固定有过滤体,所述过滤体上设有外螺纹,所述通气孔内设有与过滤体上外螺纹配合的内螺纹。通气孔内设置过滤体可以避免外界杂物进入内腔,污染位于内腔内的切削液。
[0012] 与现有技术相比,本发明提供的一种硅片切割机用切削液去水装置,具有如下优点:包括壳体,在壳体内设置有加热室,加热室内设有加热体,切削液由进水接口进入内腔内,然后再由供水口进入加热室,被位于加热室内的加热体加热,位于加热室内的切削液受热造成切削液内的水变成水蒸汽,位于加热室内的水蒸汽由排汽管排出,而去水后的切削液则由排水口排出,完成切削液的去水过程;相对于现有技术中的蒸馏设备,本技术方案结构简单,降低了切削液去水装置的生产成本;
[0013] 另外,排汽管和出水管均盘绕在内腔内,实际使用过程中,被去水后的切削液和水蒸汽分别由出水管和排汽管排出,盘绕在内腔内的排汽管和出水管可以对内腔内未被加热的切削液进行预热,并且预热过程中降低了排汽管内水蒸汽、出水管内切削液的温度,提高了切削液的去水效率并且避免了切削液或水蒸汽烫伤操作人员,提高了切削液去水装置的安全性能;
[0014] 排汽管与排汽嘴之间设置的连接管可以避免位于排汽管内的水珠回流至加热室内,优化了切削液去水装置的去水效果;
[0015] 位于排汽管和出水管上的散热柱增大了排汽管、出水管与内腔内未加热的切削液的热交换面积,提高了切削液的预热效率;位于内腔内的加热柱增大了加热体与加热室内切削液的热交换面积,提高了切削液的加热效率。
附图说明
[0016] 附图1是本发明一种硅片切割机用切削液去水装置的剖视图;
[0017] 附图2是附图1中A-A处剖视图。
具体实施方式
[0018] 下面结合附图,对本发明的一种硅片切割机用切削液去水装置作进一步说明。如图1、图2所示,一种硅片切割机用切削液去水装置,包括具有内腔1的壳体2,所述壳体2上设有进水接口 3和出水接口 4,所述进水接口 3与供水系统相接以向内腔1内供给切削液,所述出水接口 4将去水后的切削液引致目标位置;所述壳体2上端还设有与内腔1相通的通气孔5,所述通气孔5内设有过滤体21,所述过滤体21上设有外螺纹,所述通气孔5内设有内螺纹,过滤体21可以避免杂质进入内腔1内,另外,位于内腔1内未被加热的切削液挥发出的水蒸汽可由通气孔5排出;
[0019] 参见图1、图2,在壳体2的底壁上设置有加热室6,所述加热室6的中心线与内腔1的中心线重合,所述加热室6内设有加热体7,所述加热体7上设置有若干根与加热体7为一体式结构的加热柱20,该加热柱20增大了加热体7与加热室6内切削液的热交换面积;所述进水接口 3与内腔1相通,由进水接口 3进入的切削液汇聚于内腔1内,所述壳体2的内侧壁上还固定有控制进水接口 3开闭的浮子液位开关14,当内腔1内的切削液水位过高时关闭进水接口 3,位于内腔1内的切削液经开设在加热室6侧壁上的供水口 13进入加热室6内,并与位于加热室6内的加热体7进行热交换,从而使得加热室6内的切削液被加热,而切削液内的水则会被蒸发,然后由开设在加热室6侧壁上的排水口 9将被加热后的切削液排出加热室6,所述供水口 13的水平高度低于排水口 9的水平高度;
[0020] 参见图1、图2,所述出水接口 4通过出水管8与加热室6相通,所述加热室6上开设有与出水管8相接的排水口 9,所述壳体2上还设有排汽口 10,所述加热室6上端设有排汽嘴11,所述排汽嘴11与排汽口 10之间通过排汽管12相通,位于加热室6内被去水后的切削液和水蒸汽分别由出水管8和排汽管12排出,所述排汽管12和出水管8均盘绕在内腔1内,所述排汽管12和出水管8上均设有散热柱19,以增大排汽管12、出水管8与内腔1内未被加热的切削液的热交换面积,所述散热柱19分别与出水管8、排汽管12为一体式结构,为了提高内腔1内切削液的预热效果,所述加热室6上还设有若干根伸入内腔1的导热柱18,所述导热柱18与加热室6为一体式结构;
[0021]由于排汽管12在排出水蒸汽的过程中,水蒸汽会在排汽管12内凝结成小水珠,为了避免水珠回流至加热室6内:参见图1,所述排汽管12与排汽嘴11之间设有连接管15,所述连接管15包括与排汽嘴11相接的第一接口 16和与排汽管12相接的第二接口 17,所述第二接口 17的水平高度低于第一接口 16的水平高度。凝结于排汽管12内的水不会回流至加热室6,提高了切削液去水装置的去水效果。
[0022] 以上仅为本发明的优选实施方式,旨在体现本发明的突出技术效果和优势,并非是对本发明的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是,一切基于本发明技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征,皆应涵盖于本发明所附权利要求主张的技术范畴内。

Claims (5)

1.一种硅片切割机用切削液去水装置,其特征在于:包括具有内腔(I)的壳体(2),所述壳体(2)上设有进水接口(3)和出水接口(4),所述壳体(2)上端还设有与内腔(I)相通的通气孔(5),所述内腔(I)内设有加热室(6),所述加热室(6)内设有加热体(7),所述进水接口⑶与内腔⑴相通,所述出水接口⑷通过出水管⑶与加热室(6)相通,所述加热室(6)上开设有与出水管⑶相接的排水口(9),所述壳体⑵上还设有排汽口(10),所述加热室(6)上端设有排汽嘴(11),所述排汽嘴(11)与排汽口(10)之间通过排汽管(12)相通,所述加热室(6)固定在壳体(2)上,所述加热室(6)与内腔(I)通过开设在加热室(6)上的供水口(13)相通,所述进水接口(3)由安装在内腔(I)侧壁上的浮子液位开关(14)控制开闭,所述供水口(13)的水平高度低于排水口(9)的水平高度,所述排汽管(12)和出水管⑶均盘绕在内腔⑴内,所述排汽管(12)与排汽嘴(11)之间设有连接管(15),所述连接管(15)包括与排汽嘴(11)相接的第一接口(16)和与排汽管(12)相接的第二接口(17),所述第二接口(17)的水平高度低于第一接口(16)的水平高度。
2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液去水装置,其特征在于:所述加热室(6)固定于壳体(2)的底壁上,所述加热室(6)的中心线与内腔⑴的中心线重合,所述加热室(6)上还设有若干根伸入内腔⑴的导热柱(18),所述导热柱(18)与加热室(6)为一体式结构。
3.根据权利要求1或2所述的一种硅片切割机用切削液去水装置,其特征在于:所述排汽管(12)和出水管(8)上均设有若干根散热柱(19)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片切割机用切削液去水装置,其特征在于:所述加热体(7)上固定有若干加热柱(20),所述加热柱(20)与加热体(7)为一体式结构。
5.根据权利要求1或4所述的一种硅片切割机用切削液去水装置,其特征在于:所述通气孔(5)内固定有过滤体(21),所述过滤体(21)上设有外螺纹,所述通气孔(5)内设有与过滤体(21)上外螺纹配合的内螺纹。
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