CN105109188B - 丝网印刷用网板、光刻方法及其应用 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种丝网印刷用的网板、光刻方法及其应用，丝网第一方向上间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；通过在丝网区按照预定距离设置较宽的间隔区，光刻前，根据该预定距离，可以预先在掩膜版上设置每个槽线图形的位置，曝光前，将掩膜版直接覆盖在丝网上，使掩模版上槽线对应于丝网上相应间隔区的位置进行光刻并显影处理。从而解决了光刻前掩模版上制备槽线图形位置时设置不便的问题，大幅提高了在用于太阳能电池制造等领域的网板中制作槽线的效率，同时，因为丝网织造时预先设定了间隔区的位置，这样在掩模版上就可以预先制备槽线图形的位置，就实现了不同网板可以使用同一张掩模版的方法，从而降低网板的制造成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种丝网印刷用的网板、光刻方法、以及他们的应用，尤其涉及一种在太阳能电池板制造过程中可便捷的光刻进行制作槽线的网板、光刻方法以及他们的应用。
背景技术
晶硅太阳能电池的制造工艺中，需要在硅片表面制作栅线以收集硅片中光电转换产生的电流，现有技术采用如下工艺制作栅线：首先在掩膜版上制作栅线图形，利用该图形在网板上对涂覆的光敏胶进行曝光和显影进行光刻，制作出中空线槽，然后通过丝网印刷将导线金属浆料(如银浆)透过网板的槽线印刷在硅片上，烧结制成栅线。现有的网板包括网布和光敏胶层，光敏胶层涂覆在网布上，网板的经线和纬线之间相互交叉。掩膜版上制备有栅线图形，将掩膜版紧贴于网板上有光敏胶层的一面，用紫外光照射，没有被掩膜版栅线图形遮挡的部分，在紫外光条件下固化，而遮挡的部分可冲洗掉，形成槽线。这些形成的槽线，与经纬线之间并未固定的位置关系，往往是交叉的，如图1和图2所示，丝网10中经线101和纬线102形成的交叉点103大量的出现在槽线20中。
为了提高电池片的光电转换效率，需要尽可能减小硅片上栅线的宽度，以增大光照面积，但是，当栅线宽度过窄时，因为这些交叉点103的存在，会阻碍金属导线浆料顺利的从槽线漏印在硅片上；同时印刷浆料时，在经线101和纬线102交叉点位置与经紫外光固化后显影时在槽线部位形成的光敏胶的边沿构成的三角形区域内，具有一定粘度的浆料会不断累积，导致金属浆料能够在槽线中有效渗透通过丝网的面积不断减少，因此，造成硅片上导电栅线出现低点或断点，从而导致栅线的导电性能较差，影响了晶硅电池片的光电转化效率。
申请人之前的中国专利申请CN204367550U公开了一种用于太阳能电池制造的网板，如图3和图4所示，其网布10由若干经线101和纬线102织成，槽线20位于经线或纬线之间。这样，经线和纬线之间的交叉点103不会出现在槽线20中，从而解决了金属浆料不能很好的渗透通过交叉点三角形区域的问题。
但是在实际上述专利的生产制造的应用过程中，申请人发现，因为丝网在编织的制造过程中、以及制造网板过程中，并不能确保经线和纬线完全处于理想的位置，比如可能会出现倾斜、弯曲等现象，而且用于太阳能电池制造的网板中的丝网的丝线间距仅为微米级，如此狭窄的空间内要设置几十根或上百根槽线时，需要在显微镜下借助计算机逐一单独确定每一根槽线的位置，以避免交叉点出现在槽线内，制造过程耗时较长，而且，因丝网中经线和纬线的位置对应与硅片上所要求的栅线的位置因每个网板不同而不同，这样，在大规模生产网板时，不得不给每一张网板制备一张掩模版，使得制造成本增加。
发明内容
针对现有技术丝网印刷过程中制作槽线不便的问题，本发明提供了一种新的丝网印刷用的网板、光刻方法及其应用。
本发明第一个方面提供一种光刻方法，包括：
提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线；其中，第一方向上设有多个间隔区和丝线区，多个间隔区之间按照一种或多种距离设置，并且间隔区内不设有第一方向的丝线；间隔区与丝线区间隔设置，其中，第一方向上，间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；丝网上涂布有光敏胶层；
提供掩膜版，掩膜版上设有制作槽线的图形，将掩膜版贴靠在丝网上，使制作槽线的图形位于间隔区上方；
光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。
在本发明的一种优选实施例中，所述光刻方法，包括：
提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线，其中在第一方向上，等间距形成具有一宽度的间隔区；
将光敏胶涂覆在丝网上制作网板；
提供掩膜版，根据所述间距和宽度，在掩膜版上设置制作槽线的图形，使制作槽线图形间距≥间隔区间距、并且制作槽线图形宽度≤间隔区宽度；将掩膜版覆盖在网板上，使制作槽线的图形位于间隔区；
光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。
本发明第二个方面是提供一种网板，包括丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线；其中，第一方向上设有多个间隔区和丝线区，多个间隔区之间按照一种或多种距离设置，并且间隔区内不设有第一方向的丝线；间隔区与丝线区间隔设置，其中，第一方向上，间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；丝网上涂布有光敏胶层；光敏胶层内设有镂空的槽线，槽线位于间隔区内。
其中，所述网板优选为采用本发明第一个方面所述方法制作。
本发明第三个方面是提供一种所述网板的应用，其中，所述网板应用于丝网印刷，更优选为应用于制造太阳能电池板栅线过程中的丝网印刷，更优选为应用于制造晶硅太阳能电池板栅线过程中的丝网印刷。
本发明上述内容中，第一方向和第二方向之间相交，并形成一个角度，更优选为第一方向和第二方向相互垂直。
本发明上述内容中，所述多个间隔区的宽度之间可以相同或不同，并优选为相同。
本发明上述内容中，所述丝线区内丝线间距之间、以及各丝线区丝线间距之间可以相同或不同，并优选为相同。
本发明上述内容中，第一方向丝线区内的丝线间距与第二方向丝线间距可以相同或不同。
在本发明的一种优选实施例中，所述间隔区的宽度与第一方向丝线区丝线之间距离之比优选为(1.2-5)︰1，更优选为1.3-4.7︰1，如1.5︰1、1.8︰1、2.0︰1、2.2︰1、2.5︰1、2.7︰1、3.0︰1、2.3︰1、3.5︰1、4.0:1、4.5:1.4.7:1
在本发明的一种优选实施例中，所述第一方向丝线区网的目数优选为80-700目(其中，所谓“目数”，按照行业的习惯，是指每英寸丝网里的丝线的根数)，更优选为200-650目，如220目、250目、280目、300目、330目、350目、380目、400目、480目、500目、540目、580目、600目、640目。
在本发明的一种优选实施例中，所述第一方向丝线区中丝线间距优选为15-150μm，更优选为20-120μm，更优选为30-100μm，如40μm、45μm、50μm、55μm、60μm、65μm、70μm、75μm、80μm、85μm、90μm、95μm。
在本发明的一种优选实施例中，所述丝线直径优选为10-30μm、更优选为12-30μm，更优选为13-25μm，如15μm、18μm、20μm、22μm、23μm。
在本发明的更优选实施例中，间隔区宽度＝第一方向丝线区丝线之间距离×a+第一方向丝线区的丝线直径×b，其中，a优选为1.2-5，更优选为1.3-4.7如1.5、1.8、2.0、2.2、2.5、2.7、3.0、2.3、3.5、4、4.3、4.5、4.7；其中b优选为0-4，更优选为1-3。
在本发明的一种优选实施例中，其中，任意两相邻间隔区之间距离为1.0mm-2.0mm。更优选为1.2mm-1.8mm，更优选为1.3mm-1.7mm，如1.35mm、1.40mm、1.47mm、1.5mm、1.62mm、1.68mm。并且多个间隔区优选为等间距设置。
本发明所述的丝线可以是不锈钢丝线、也可以是其他金属丝线，但优选为不锈钢丝线。
本发明上述内容中，第二方向丝线可以是等间距设置也可以不是等间距设置。并且第二方向丝线间距与第一方向丝线区内的丝线间距可以相同或不同。
本发明上述内容中，所述丝线间距指的是丝线相对边缘之间的距离。
本发明通过在丝网区按照预定距离设置较宽的间隔区，光刻前，根据该预定距离，可以预先在掩膜版上设置每个槽线图形的位置，曝光前，将掩膜版直接覆盖在丝网上，使掩模版上槽线对应于丝网上相应间隔区的位置进行光刻并显影处理。从而解决了光刻前掩模版上制备槽线图形位置时设置不便的问题，大幅提高了在用于太阳能电池制造等领域的网板中制作槽线的效率，同时，因为丝网织造时预先设定了间隔区的位置，这样在掩模版上就可以预先制备槽线图形的位置，就实现了不同网板可以使用同一张掩模版的方法，从而就降低了网板的制造成本。
附图说明
图1为一种现有技术中网板正视结构示意图；
图2为图1所述网板侧视结构示意图；
图3为另一种现有技术中网板正视结构示意图；
图4为图3所述网板侧视结构示意图；
图5为本发明一种实施例中丝网正视结构示意图；
图6为含有本发明丝网的网板正视结构示意图；
图7为本发明光刻方法制作网板流程示意图；
图8为本发明制作网板并进行丝网印刷流程示意图。
具体实施方式
参照图5-图6，本发明用于丝网印刷的丝网1，包括经线11和纬线12，经线11方向和纬线12方向相互垂直。
在经线11方向，设有间隔区13和丝线区14，其中，间隔区13和丝线区14间隔布置。其中，间隔区13内不设有任意经线11，仅有纬线12穿过。
在本实施例中，经线方向丝线区14内，丝线间隔为80μm，丝线直径为20μm，间隔区宽度为180μm。
实施例1
在织造本发明所述丝网时，首先提供加工好的定位板，目前织造丝网过程中所用定位板上设有成排的严格等间距布置的穿孔，穿孔间距为≥80μm，此成排穿孔的孔间距决定了织出来的网布的目数。将不锈钢丝线从穿孔内穿过，拉紧后形成经线11。然后采用织造工艺将纬线12穿插其中形成丝网。本发明中，以图5为例，每隔三根经线11，空出一个穿孔，不穿入丝线，从而形成较宽的间隔区13，间隔区宽度(穿孔直径+2×穿孔间距)为180μm，所述三根经线形成丝线区14。这样形成了按照固定距离设置的间隔区13、以及间隔设置的丝线区14。
为了在网板上制作出槽线2，在进行光刻前，将光敏胶涂覆在丝网上，由于本发明所制造的间隔区13是按照固定距离设置，因此，在制作槽线2之前，可根据该固定距离在掩膜版上预先设置制备槽线2的图形的位置。曝光前，将掩膜版覆盖在网板上，在显微镜观察下，将其中一个槽线的图形与相应的间隔区13对应放置，即可确保掩膜版上多个槽线图形与间隔区之间的对应关系。然后进行光刻形成槽线2。
实施例2
在织造本发明所述丝网时，首先提供加工好的定位板，定位板上设置穿孔，在预定位置穿孔间距较大，其他区域穿孔间距较小，将线从孔内穿过，拉紧后形成经线11。穿孔孔间距较大的区域形成间隔区13，穿孔间距较小的区域形成丝线区14。然后采用织造工艺将纬线12穿插其中形成丝网。
为了在网板上制作出槽线2，在进行光刻前，将光敏胶涂覆在丝网上制作网板。由于间隔区13已按照预定位置设置，因此，对应的，可以按照该预定位置在掩膜版上预先制作出制备槽线2的图形位置，在显微镜观察下，将掩膜版覆盖在网板上，将其中一个槽线的图形与相应的间隔区13对应放置，即可确保掩膜版上多个槽线图形与间隔区之间的对应关系。然后进行光刻形成槽线2。
上述实施例中形成的网板，在间隔区13内形成镂空的槽线2，丝网印刷过程中，将金色(如银)浆料注入，印制在硅片表面，形成栅线，经高温烧结形成导电电极。
以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本发明的范围内。
Claims (8)
1.一种光刻方法，其特征在于，包括：
提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线；其中，第一方向上设有多个间隔区和丝线区，多个间隔区之间按照一种或多种距离设置，并且间隔区内不设有第一方向的丝线；间隔区与丝线区间隔设置，其中，第一方向上，间隔区宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；丝网上涂布有光敏胶层；
提供掩膜版，掩膜版上设有制作槽线的图形，将掩膜版贴靠在丝网上，使制作槽线的图形位于间隔区上方；
光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，包括：
提供丝网，丝网包括第一方向的丝线和第二方向的丝线，其中在第一方向上，等间距形成具有一宽度的间隔区；
将光敏胶涂覆在丝网上制作网板；
提供掩膜版，根据所述间距和宽度，在掩膜版上设置制作槽线的图形，使制作槽线图形间距≥间隔区间距、并且制作槽线图形宽度≤间隔区宽度；将掩膜版覆盖在网板上，使制作槽线的图形位于间隔区；
光照，未被图形遮挡的部分的光敏胶固化，移除掩膜版，去除未固化光敏胶，形成槽线。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，包括：任意两相邻间隔区之间距离为1.0mm-2.0mm。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述间隔区的宽度与第一方向丝线区丝线之间距离之比为(1.2-5)︰1。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一方向丝线区网的目数为80-700目。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一方向丝线区中丝线间距为15-150μm。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述丝线直径为10-30μm。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的方法，其特征在于，间隔区宽度＝第一方向丝线区丝线之间距离×a+第一方向丝线区的丝线直径×b，其中，a为1.2-5，b为0-4。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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Effective date of registration: 20180322 Address after: 213100 Fengxiang Road, Wujin hi tech Zone, Changzhou City, Jiangsu Province, No. 7 Patentee after: CHANGZHOU SANLI JINGTU PHOTOELECTRIC Co.,Ltd. Address before: 100085 Beijing, West Road, song Fu Park, building No. 3, building No. 4, No. 301, No. Patentee before: Jia Yuntao |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20201026 Address after: Building 4, No.15, Songyuan South Road, economic development zone, Gaochun District, Nanjing, Jiangsu Province, 210000 Patentee after: Jiangsu Lishen Photoelectric Technology Co.,Ltd. Address before: 213100 No. 7, Fengxiang Road, Wujin hi tech Zone, Jiangsu, Changzhou Patentee before: CHANGZHOU SANLI JINGTU PHOTOELECTRIC Co.,Ltd. |
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| TR01 | Transfer of patent right | ||
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Granted publication date: 20170929 |