CN104929978B - 一种新型抗冲击分子泵转子 - Google Patents
一种新型抗冲击分子泵转子 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104929978B CN104929978B CN201510334620.3A CN201510334620A CN104929978B CN 104929978 B CN104929978 B CN 104929978B CN 201510334620 A CN201510334620 A CN 201510334620A CN 104929978 B CN104929978 B CN 104929978B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- blade
- leaf
- teeth
- molecular pump
- novel shock
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000035939 shock Effects 0.000 title claims abstract description 39
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 241000883990 Flabellum Species 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
- F04D29/324—Blades
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子，包括转子主体，其上部外表面设置有多个叶齿的叶轮，下部外表面挖设有多条螺旋槽，转子主体上部的叶轮通过第一隔离槽和第二隔离槽被分割为三层，从上而下依次为第一叶片、第二叶片和第三叶片，第三叶片叶齿的数目为偶数且为螺旋槽数目的两倍，第三叶片的叶齿每间隔一个与多条螺旋槽的槽臂相连接，这种结构不仅减少了分片式叶齿的加工，省去了动隔离环，简化了分子泵的结构，而且大大加强了叶齿的强度，提高了叶齿的抗冲击能力。
Description
技术领域
本发明属于流体机械技术领域，广泛应用于光伏、照明、半导体、能源、军工等获得真空的一种新型抗冲击分子泵转子。
背景技术
在做机械运动的各类真空泵中，分子泵是一种结构缜密，工艺要求高的泵，最早是在1911年由德国人盖德(W·Gaede)发明的，其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在钢体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的钢体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
1958年，联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵。涡轮分子泵是由一系列动静相间的叶轮互相配合组成。每个叶轮的叶轮与叶轮水平面成一定角度，动片和静片倾角方向相反。主轴带动叶轮在静止的定叶轮间高速旋转，高速旋转的叶轮将动量传递给气体分子并使其产生定向运动，实现抽气目的。
盖德牵引泵在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适用于抽除较重的气体，但存在抽速小、工作可靠性差、易出故障的特点。涡轮分子泵则存在加工多级动静叶轮工艺复杂、对颗粒物敏感、维护费用高的特点。随着科技的发展，一种结合了牵引分子泵与涡轮分子泵的特点的新的分子泵-复合分子泵诞生了。复合分子泵既具有牵引分子泵的高压缩比也具有涡轮分子泵的大抽速特点，但是在一些特定的场合仍然不能满足我们的使用要求，比如不能直接抗大气冲击等，而且复合分子泵同样也存在加工多级动静叶轮工艺复杂，对颗粒物敏感等缺点。
发明内容
针对上述问题，为了克服上述问题，本发明提供一种结构简单、便于加工、制造成本低、强度大、耐冲击的一种新型抗冲击分子泵转子。
为了完成本申请的发明目的，本发明采用以下技术方案：
本发明的一种新型抗冲击分子泵转子，包括转子主体，其上部外表面设置有多个叶齿的叶轮，下部外表面挖设有多条螺旋槽，转子主体上部的叶轮通过第一隔离槽和第二隔离槽被分割为三层，从上而下依次为第一叶片、第二叶片和第三叶片，第三叶片叶齿的数目为偶数且为螺旋槽数目的两倍，第三叶片的叶齿每间隔一个与多条螺旋槽的槽臂相连接。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体内部分为上下两个中空腔体，上下两个中空腔体之间设有中间安装层，中间安装层中部开有锥形转轴安装孔。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体上部直径小于下部直径。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，第一叶片的叶齿数目与第二叶片的叶齿数目相等。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，第三叶片的叶齿数目为第一和第二叶片的叶齿数目的两倍。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，第一叶片和第二叶片的叶齿数目为5，第三叶片的叶齿数目为10。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，多条螺旋槽的螺距是变化的，由上而下高度为0-50mm时，所述螺距为350mm，高度为50-90mm时，螺距为350-320mm，高度为90-240mm时，螺距为320-150mm。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，第一叶片、第二叶片和第三叶片的叶齿倾斜度分别为45°、30°和25°。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，第一叶片、第二叶片和第三叶片的叶齿的设置也成螺旋形，且叶齿根部厚度大于顶部。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体的上端口端面上和外表面靠近下端分别均匀设置有上面动平衡配重孔和下面动平衡配重孔。
有益效果
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子，其有益效果是转子部分采用整体式加工，扇叶中间的两个隔离槽将叶轮分为三层，上边两层叶齿数目相同，下边一层在叶齿的中间增加了一组相同的叶齿，数量分别为上边两层的两倍。最下端是变螺距的螺旋槽，起到牵引气流的作用。这种结构不仅减少了分片式叶齿的加工，省去了动隔离环，简化了分子泵的结构，而且大大加强了叶齿的强度，提高了叶齿的抗冲击能力。
附图说明
图1为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的立体图；
图2为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的纵向剖视图；
图3为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的正视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明的限定。
图1为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的立体图，图2为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的纵向剖视图，如图1和图2所示，本发明的一种新型抗冲击分子泵转子，包括转子主体01，其上部外表面设置有多个叶齿的叶轮，下部外表面挖设有多条螺旋槽02，转子主体01上部的叶轮通过第一隔离槽03和第二隔离槽04被分割为三层，从上而下依次为第一叶片05、第二叶片06和第三叶片07，图3为本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的正视图，如图3所示，第三叶片叶齿10的数目为偶数且为螺旋槽02数目的两倍，第三叶片的叶齿10每间隔一个与多条螺旋槽02的槽臂11相连接。
如图2所示，本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体01内部分为上下两个中空腔体12和13，上下两个中空腔体12和13之间设有中间安装层14，中间安装层14中部开有锥形转轴安装孔15。
如图2所示，本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体01上部直径小于下部直径。
如图1所示，本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，第一叶片05的叶齿08数目与第二叶片06的叶齿09数目相等。
如图1所示，本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，第三叶片07的叶齿10数目为第一和第二叶片05和06的叶齿08和09数目的两倍。
如图1所示，本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，第一叶片和第二叶片05和06的叶齿08和09数目为5，第三叶片07的叶齿10数目为10。
如图1所示，本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，多条螺旋槽02的螺距是变化的，由上而下高度为0-50mm时，所述螺距为350mm，高度为50-90mm时，螺距为350-320mm，高度为90-240mm时，螺距为320-150mm。
如图1所示，本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，第一叶片05、第二叶片06和第三叶片07的叶齿08、09和10倾斜度分别为45°、30°和25°。
如图1所示，本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的一个实施例中，第一叶片05、第二叶片06和第三叶片07的叶齿08、09和10的设置也成螺旋形，且叶齿08、09和10根部厚度大于顶部。
本发明公开的一种新型抗冲击分子泵转子的实施例中，转子主体01的上端口端面上和外表面靠近下端分别均匀设置有上面动平衡配重孔16和下面动平衡配重孔17。
以上所述，仅是本发明较佳的实施方式，并非对本发明的技术方案做任何形式上的限制。凡是依据本发明的技术实质对以上实施例做任何简单修改，形式变化和修饰，均落入本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种新型抗冲击分子泵转子，包括转子主体，其上部外表面设置有多个叶齿的叶轮，下部外表面挖设有多条螺旋槽，其特征在于：所述转子主体上部的叶轮通过第一隔离槽和第二隔离槽被分割为三层，从上而下依次为第一叶片、第二叶片和第三叶片，所述第三叶片叶齿的数目为偶数且为所述螺旋槽数目的两倍，所述第三叶片的叶齿每间隔一个与所述多条螺旋槽的槽臂相连接，
其中所述多条螺旋槽的螺距是变化的，由上而下高度为0-50mm时，所述螺距为350mm，高度为50-90mm时，螺距为350-320mm，高度为90-240mm时，螺距为320-150mm；
其中，所述第一叶片的叶齿数目与所述第二叶片的叶齿数目相等，所述第三叶片的叶齿数目为第一和第二叶片的叶齿数目的两倍。
2.如权利要求1所述的一种新型抗冲击分子泵转子，其特征在于：所述转子主体内部分为上下两个中空腔体，所述上下两个中空腔体之间设有中间安装层，所述中间安装层中部开有锥形转轴安装孔。
3.如权利要求1所述的一种新型抗冲击分子泵转子，其特征在于：所述转子主体上部直径小于下部直径。
4.如权利要求1所述的一种新型抗冲击分子泵转子，其特征在于：所述第一叶片和第二叶片的叶齿数目为5，所述第三叶片的叶齿数目为10。
5.如权利要求1所述的一种新型抗冲击分子泵转子，其特征在于：所述第一叶片、所述第二叶片和所述第三叶片的叶齿倾斜度分别为45°、30°和25°。
6.如权利要求1所述的一种新型抗冲击分子泵转子，其特征在于：所述第一叶片、所述第二叶片和所述第三叶片的叶齿的设置也成螺旋形，且所述叶齿根部厚度大于顶部。
7.如权利要求1所述的一种新型抗冲击分子泵转子，其特征在于：所述转子主体的上端口端面上和外表面靠近下端分别均匀设置有上面动平衡配重孔和下面动平衡配重孔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510334620.3A CN104929978B (zh) | 2015-06-17 | 2015-06-17 | 一种新型抗冲击分子泵转子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510334620.3A CN104929978B (zh) | 2015-06-17 | 2015-06-17 | 一种新型抗冲击分子泵转子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104929978A CN104929978A (zh) | 2015-09-23 |
| CN104929978B true CN104929978B (zh) | 2018-01-05 |
Family
ID=54117317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510334620.3A Active CN104929978B (zh) | 2015-06-17 | 2015-06-17 | 一种新型抗冲击分子泵转子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104929978B (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201318296Y (zh) * | 2008-11-05 | 2009-09-30 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种采用叶盘转子的小型分子泵 |
| CN201615070U (zh) * | 2010-01-05 | 2010-10-27 | 上海三井真空设备有限公司 | 一种复合分子泵的整体转子 |
| CN102536853A (zh) * | 2012-03-06 | 2012-07-04 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | 高性能复合分子泵 |
| CN203488434U (zh) * | 2013-09-18 | 2014-03-19 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | 一种大抽速抗大气冲击的分子泵转子 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4785400B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2011-10-05 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 真空ポンプのロータ |
| DE102007048703A1 (de) * | 2007-10-11 | 2009-04-16 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Mehrstufiger Turbomolekularpumpen-Pumpenrotor |
| CN202381395U (zh) * | 2011-12-26 | 2012-08-15 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种抗冲击的分子泵转子 |
| CN203488431U (zh) * | 2013-09-18 | 2014-03-19 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | 一种抗大气冲击的分子泵转子 |
| CN204805157U (zh) * | 2015-06-17 | 2015-11-25 | 川北真空科技(北京)有限公司 | 一种新型抗冲击分子泵转子 |
-
2015
- 2015-06-17 CN CN201510334620.3A patent/CN104929978B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201318296Y (zh) * | 2008-11-05 | 2009-09-30 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种采用叶盘转子的小型分子泵 |
| CN201615070U (zh) * | 2010-01-05 | 2010-10-27 | 上海三井真空设备有限公司 | 一种复合分子泵的整体转子 |
| CN102536853A (zh) * | 2012-03-06 | 2012-07-04 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | 高性能复合分子泵 |
| CN203488434U (zh) * | 2013-09-18 | 2014-03-19 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | 一种大抽速抗大气冲击的分子泵转子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104929978A (zh) | 2015-09-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104895841B (zh) | 整流器、流道结构、组合压气机、航空燃气涡轮发动机 | |
| CN105275869B (zh) | 轴流式涡轮机组压缩机的罩中具有密封格架的叶片 | |
| CN105452648B (zh) | 具有垂直轴升力型风力涡轮机的风力发电塔 | |
| CN103195512B (zh) | 一种以真空吸入为动力的径向空气涡轮机 | |
| CN103696983A (zh) | 一种双向轴流泵叶轮优化设计方法 | |
| CN107503978A (zh) | 一种高扬程高比转速混流泵 | |
| CN104929978B (zh) | 一种新型抗冲击分子泵转子 | |
| CN203488431U (zh) | 一种抗大气冲击的分子泵转子 | |
| CN103775377B (zh) | 一种采用长短叶片旋流泵水力设计方法 | |
| CN107191412A (zh) | 一种前后级静子自适应吹吸气的多级轴流压气机 | |
| CN204805157U (zh) | 一种新型抗冲击分子泵转子 | |
| CN102828984A (zh) | 一种背靠背型两级离心式压气机的轴向力控制方法 | |
| CN102889219B (zh) | 盘式分子泵 | |
| CN203488434U (zh) | 一种大抽速抗大气冲击的分子泵转子 | |
| CN205331052U (zh) | 对旋风机用具有机翼型叶片的叶轮 | |
| CN104537165B (zh) | 一种带槽结构的径向导叶及其设计方法 | |
| CN100513798C (zh) | 双重拖动分子泵 | |
| CN106351870B (zh) | 一种双吸泵叶轮周向时序位置的调节机构 | |
| CN107301258A (zh) | 一种离心泵双蜗壳的水力设计方法 | |
| CN110080999A (zh) | 一种具有高效气动效率的离心鼓风机 | |
| CN107829874A (zh) | 一种基于复合式多级潮流能发电的水轮机 | |
| CN105545767A (zh) | 立式径流真空泵 | |
| CN203856771U (zh) | 一种潜水泵的导流壳装置 | |
| CN102384107A (zh) | 一种双纽线螺旋进气增压器 | |
| CN209354364U (zh) | 一种叠加式叶轮结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20210407 Address after: Room 820, 8th Floor, Building 1, 13 Guocheng Road, Shunqing District, Nanchong City, Sichuan Province Patentee after: Zhongke Jiuwei Technology Co.,Ltd. Address before: 102212 9 Cuibai Road, cuicun Town, Changping District, Beijing Patentee before: CHUANBEI VACUUM TECHNOLOGY (BEIJING) Co.,Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: Room 820, 8th Floor, Building 1, 13 Guocheng Road, Shunqing District, Nanchong City, Sichuan Province Patentee after: Zhongke Jiuwei Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: Room 820, 8th Floor, Building 1, 13 Guocheng Road, Shunqing District, Nanchong City, Sichuan Province Patentee before: Zhongke Jiuwei Technology Co.,Ltd. Country or region before: China |