CN104914522B - 三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，包括机架、上夹具、下夹具以及装设于机架上并可绕Z轴转动的自动旋转平台，下夹具通过对准装置装设于自动旋转平台上并可由对准装置驱动分别沿X轴移动、沿Y轴移动、绕X轴摆动以及绕Y轴摆动，自动旋转平台上设有升降装置，升降装置的升降端安装有旋转装置，上夹具安装于旋转装置的旋转驱动端，机架上还装设有用于夹持光隔离器的夹持装置。本发明具有结构设计合理、自动化程度高、生产效率高、生产成本低、产品质量稳定、适用范围广等优点。

Description

三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置

技术领域

本发明涉及光电子器件自动化耦合封装技术领域，具体涉及一种三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置。

背景技术

在光纤通信中，为防止光路中由于各种原因产生的后向传输光对光源以及光路系统产生不良影响，在半导体激光源和光传输系统之间安装一个光隔离器，可以在很大程度上减少反射光对光源的光谱输出功率稳定性产生的不良影响。在高速直接调制、直接检测光纤通信系统中，后向传输光会产生附加噪声，使系统的性能劣化，这也需要光隔离器来消除。因此，光隔离器在光纤通信、光信息处理系统中具有重要的作用。

隔离器带有一定的偏振角度，这就要求在同轴光器件耦合封装工艺中加入隔离器之后，隔离器要能相对于已经耦合好的激光器与光纤转动。目前该角度都是靠人工转动隔离器来找到，效率低且不能保证精度。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术存在的不足，提供一种结构设计合理、自动化程度高、生产效率高、生产成本低、产品质量稳定、适用范围广的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，包括机架、上夹具、下夹具以及装设于机架上并可绕Z轴转动的自动旋转平台，所述下夹具通过对准装置装设于自动旋转平台上并可由对准装置驱动分别沿X轴移动、沿Y轴移动、绕X轴摆动以及绕Y轴摆动，所述自动旋转平台上设有升降装置，所述升降装置的升降端安装有旋转装置，所述上夹具安装于所述旋转装置的旋转驱动端，所述机架上还装设有用于夹持光隔离器的夹持装置。

上述的自动耦合装置，优选的，所述夹持装置包括水平伸缩气缸和气动夹爪组件，所述水平伸缩气缸通过位移调节装置安装于机架上并可由位移调节装置驱动分别沿X轴移动、沿Y轴移动以及沿Z轴移动，所述气动夹爪组件安装于水平伸缩气缸的驱动端。

上述的自动耦合装置，优选的，所述位移调节装置包括Z轴手动升降平台、X轴手动直线滑台和Y轴手动直线滑台，所述Z轴手动升降平台安装于机架上，所述X轴手动直线滑台安装于Z轴手动升降平台上，所述Y轴手动直线滑台安装于X轴手动直线滑台上，所述水平伸缩气缸安装于Y轴手动直线滑台上。

上述的自动耦合装置，优选的，所述气动夹爪组件包括夹持气缸以及由夹持气缸驱动张合运动的两个夹持手指，两个夹持手指上均设有用于夹持隔离器的海绵条。

上述的自动耦合装置，优选的，所述对准装置包括第一X轴自动直线滑台、第一Y轴自动直线滑台、θx轴自动旋转滑台、θy轴自动旋转滑台以及装设于自动旋转平台上的安装底座，所述第一X轴自动直线滑台、第一Y轴自动直线滑台、θx轴自动旋转滑台和θy轴自动旋转滑台依次叠加装设于所述安装底座上，所述下夹具装设于所述θy轴自动旋转滑台上。

上述的自动耦合装置，优选的，所述下夹具包括底座、夹具安装板、夹头以及安装于夹具安装板上用于驱动夹头上下运动的伸缩气缸，所述夹头的上端设有多个沿圆周布置的弹性夹瓣以及位于多个弹性夹瓣上的第一锥面，所述夹具安装板设有套设于夹头上并与第一锥面配合迫使所有弹性夹瓣同步径向向内运动的锥孔，所述夹具安装板通过导轨组件沿竖直方向滑设于底座上，所述底座上设有两组弹性支承夹具安装板的弹性支承组件，两组弹性支承组件相对于锥孔的轴线对称布置。

上述的自动耦合装置，优选的，所述弹性支承组件包括固设于底座上的导杆，所述夹具安装板滑套于导杆上孔，所述导杆上安装有弹性支承夹具安装板的伸缩弹簧，所述导杆的上端设有防止夹具安装板脱出的限位帽。

上述的自动耦合装置，优选的，所述导杆上螺纹配合安装有调节螺母，所述伸缩弹簧套设于导杆上，且伸缩弹簧的下端与所述调节螺母相抵，伸缩弹簧的上端与夹具安装板相抵。

上述的自动耦合装置，优选的，所述夹头内装设有在夹持下器件时给下器件上电的上电组件，所述上电组件包括电极、电极分离柱和电极弹簧，所述电极分离柱通过电极弹簧弹性支承于电极的上方。

上述的自动耦合装置，优选的，所述伸缩气缸的伸缩杆上固接有电极座，所述电极座上通过紧固件连接有安装螺母，所述夹头螺纹连接于所述安装螺母上，所述电极固定安装于电极座上；所述锥孔的孔径由上至下逐渐减小，所述夹头自上而下穿过所述锥孔与安装螺母相连；所述伸缩气缸通过连杆固定安装于夹具安装板上且位于锥孔的下方。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

1、本发明三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置能够实现三体式同轴型光电子器件耦合对准、偏振角调节的全自动化，操作人员只需简单的安装配件，设备即可自动完成后续耦合对准的全部工序，与传统的手动生产线相比，其自动化程度高，操作简单方便，作业时间短，生产效率高，可大大降低产品的生产成本，并且不依赖操作人员的技能熟练程度，使产品质量更加稳定。

2、本发明采用整体旋转结构设计，在对工件进行第二次焊接时，不需要松开上夹具，在整个工序过程中可以实时监测耦合功率，减少了工序流程，可进一步提高生产效率，提高产品的质量。同时，由于第二次焊接时不松开上夹具，可以减少焊接过程中由于焊接应力产生的焊后偏移，提高产品质量的稳定性和合格率。

3、本发明通过提供相应的控制装置，由设定的程序控制各部件动作自动完成整个耦合过程，通过简化操作界面和操作流程，可使工人通过简单培训即可在很短时间内进行熟练操作，仅需一个工人即可完成所有工序流程，大大降低了企业的人工成本。并且还可以通过设置不同的程序来控制耦合效率，实现耦合效率的人为可控，这是传统人工手动封装所无法实现的。

4、本发明的可拓展性强，仅需更换不同夹具头即可适应于不同类型的同轴型光电子器件，不同器件的工艺参数可以内置系统程序中，使用时直接调用即可，不需要再次进行调试便可完成生产。

5、本发明的整体结构设计合理、巧妙，设备的结构紧凑、占地面积小。

附图说明

图1为采用本发明的三体式同轴型光电子器件自动耦合焊接装置的立体结构示意图。

图2为采用本发明的三体式同轴型光电子器件自动耦合焊接装置的主视结构示意图。

图3为本发明自动耦合装置的立体结构示意图。

图4为本发明自动耦合装置的主视结构示意图。

图5为本发明中夹持装置的立体结构示意图。

图6为本发明中夹持装置的主视结构示意图。

图7为本发明中下夹具的立体结构示意图。

图8为本发明中下夹具的俯视结构示意图。

图9为本发明中下夹具的局部剖视结构示意图。

图例说明：

1、机架；2、上夹具；3、下夹具；31、底座；32、夹具安装板；321、锥孔；33、夹头；331、弹性夹瓣；332、第一锥面；34、伸缩气缸；35、弹性支承组件；351、导杆；352、伸缩弹簧；353、限位帽；354、调节螺母；36、上电组件；361、电极；362、电极分离柱；363、电极弹簧；364、电极座；365、安装螺母；37、连杆；38、导轨组件；39、防尘罩；310、传感器感应片；311、传感器安装座；312、感应片支架；4、自动旋转平台；5、对准装置；51、第一X轴自动直线滑台；52、第一Y轴自动直线滑台；53、θx轴自动旋转滑台；54、θy轴自动旋转滑台；55、安装底座；6、升降装置；7、旋转装置；8、夹持装置；81、水平伸缩气缸；82、气动夹爪组件；821、夹持气缸；822、夹持手指；823、海绵条；83、Z轴手动升降平台；84、X轴手动直线滑台；85、Y轴手动直线滑台；86、底部安装板；87、立柱；9、焊接装置；91、激光出射头；92、第二X轴自动直线滑台；93、第二Y轴自动直线滑台；94、第二Z轴自动直线滑台；95、焊接支撑台；96、固定架；100、下器件；101、隔离器；102、上器件。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

如图3和图4所示，本发明三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，包括机架1（光学面包板）、上夹具2、下夹具3以及装设于机架1上并可绕Z轴转动的自动旋转平台4，其中，上夹具2用于夹持上器件102（光纤），下夹具3用于夹持下器件100（激光器），下夹具3通过对准装置5装设于自动旋转平台4上并可由对准装置5驱动分别沿X轴移动、沿Y轴移动、绕X轴摆动以及绕Y轴摆动，自动旋转平台4上设有升降装置6，升降装置6的升降端安装有旋转装置7，上夹具2安装于旋转装置7的旋转驱动端，升降装置6可驱使旋转装置7及其上的上夹具2升降运动，进而在装夹器件时可形成避让，并能够调整上夹具2与下夹具3之间的间距，以适应不同高度的器件，旋转装置7可驱使上夹具2绕Z轴旋转，使上夹具2能够带着上器件102转动自动调整其与下器件100和隔离器101的相对角度。机架1上还装设有用于夹持光隔离器101的夹持装置8，夹持装置8可自动夹持固定隔离器101，使隔离器101和上器件102可相对转动，从而精确、快速的找准偏振角。

本实施例中，如图5和图6所示，夹持装置8包括水平伸缩气缸81和气动夹爪组件82，水平伸缩气缸81通过位移调节装置安装于机架1上，气动夹爪组件82安装于水平伸缩气缸81的驱动端。该位移调节装置包括Z轴手动升降平台83、X轴手动直线滑台84和Y轴手动直线滑台85，机架1上通过紧固件安装有底部安装板86，Z轴手动升降平台83安装于立柱87上，立柱87通过紧固件安装于底部安装板86上，X轴手动直线滑台84安装于Z轴手动升降平台83上，Y轴手动直线滑台85安装于X轴手动直线滑台84上，水平伸缩气缸81安装于Y轴手动直线滑台85上。位移调节装置可驱动水平伸缩气缸81沿X轴移动、沿Y轴移动以及沿Z轴移动，实现对气动夹爪组件82在X轴、Y轴和Z轴方向上的位置进行微调，以弥补零件加工误差和安装误差，保证气动夹爪组件82精准的夹持隔离器101，水平伸缩气缸81可驱动气动夹爪组件82水平伸缩运动，在找准偏振角后可驱使气动夹爪组件82远离隔离器101，为后续焊接让出空间。

气动夹爪组件82包括夹持气缸821以及由夹持气缸821驱动张合运动的两个夹持手指822，夹持气缸821为现有技术，其驱动两个夹持手指822平行开闭动作夹紧或松开隔离器101。两个夹持手指822上均设有用于夹持隔离器101的海绵条823，可避免对隔离器101造成损伤，同时还能适应适应器件转动过程中的微小位置变化。

本实施例中，对准装置5包括第一X轴自动直线滑台51、第一Y轴自动直线滑台52、θx轴自动旋转滑台53、θy轴自动旋转滑台54以及装设于自动旋转平台4上的安装底座55，第一X轴自动直线滑台51、第一Y轴自动直线滑台52、θx轴自动旋转滑台53和θy轴自动旋转滑台54依次叠加装设于安装底座55上，下夹具3装设于θy轴自动旋转滑台54上。即第一X轴自动直线滑台51安装在安装底座55上，第一Y轴自动直线滑台52安装在第一X轴自动直线滑台51上，θx轴自动旋转滑台53安装在第一Y轴自动直线滑台52上，θy轴自动旋转滑台54安装在θx轴自动旋转滑台53上，下夹具3装设于θy轴自动旋转滑台54上。这样，对准装置5可以驱动下夹具3分别沿X轴和Y轴移动以及绕X轴和Y轴摆动，通过四个自由度的高精度运动并配合上夹具2沿Z轴方向的运动，可实现下器件100与上器件102的对准；同时自动旋转平台4又可驱动上夹具2及下夹具3绕Z轴同步转动，进而调整下器件100绕Z轴转动的角度，便于进行第二次焊接。在第二次焊接时，对准装置5及下夹具3同步转动，不需要松开上夹具2，可以减少焊接过程中由于焊接应力产生的焊后偏移，提高产品质量的稳定性和合格率，并且在整个工序过程中可以实时监测耦合功率，减少了工序流程，可进一步提高生产效率，提高产品的质量。

本实施例中，如图7至图9所示，下夹具3包括底座31、夹具安装板32、夹头33以及安装于夹具安装板32上用于驱动夹头33上下运动的伸缩气缸34，底座31安装于机架1上，夹头33的上端设有四个沿圆周布置的弹性夹瓣331以及位于四个弹性夹瓣331上的第一锥面332，四个弹性夹瓣331之间形成可使下器件100插入的插孔，其中，四个弹性夹瓣331与夹头33为一体结构，夹头33由弹簧钢制成。夹具安装板32设有套设于夹头33上并与第一锥面332配合迫使所有弹性夹瓣331同步径向向内运动的锥孔321。当伸缩气缸34驱使夹头33向下运动时，锥孔321的内壁与第一锥面332接触并迫使所有弹性夹瓣331同步径向向内运动，从而可夹紧下器件100，当伸缩气缸34驱使夹头33向上运动时，第一锥面332与锥孔321的内壁脱离，弹性夹瓣331在弹性复位作用下径向向外运动，从而可松开下器件100。夹具安装板32通过导轨组件38沿竖直方向滑设于底座31上，底座31上设有两组弹性支承夹具安装板32的弹性支承组件35，两组弹性支承组件35相对于锥孔321的轴线对称布置。弹性支承组件35包括固设于底座31上的导杆351，夹具安装板32设有导向孔并通过导向孔滑套于导杆351上，导杆351上安装有弹性支承夹具安装板32的伸缩弹簧352，导杆351的上端设有防止夹具安装板32脱出的限位帽353。在不受外力的情况下，伸缩弹簧352支承夹具安装板32使其与限位帽353相抵，此时夹具安装板32相对于底座31保持静止，当夹头33受向下的力时，可伸缩弹簧352的支承力使夹具安装板32相对于底座31向下滑动。在需要对下器件100进行角度调整等使下器件100在竖直方向上产生位移的工况下，夹具可以夹持的下器件100沿竖直方向进行自动补偿，从而能够自动适应下器件100在竖直方向上的位移。

本实施例中，导杆351上螺纹配合安装有调节螺母354，伸缩弹簧352套设于导杆351上，且伸缩弹簧352的下端与调节螺母354相抵，伸缩弹簧352的上端与夹具安装板32相抵，通过调节调节螺母354在导杆351上的位置，可以调节伸缩弹簧352的压缩量，进而调整伸缩弹簧352对夹具安装板32的支承力大小。

本实施例中，伸缩气缸34通过连杆37固定安装于夹具安装板32上且位于锥孔321的下方。夹头33开设有与插孔重合的贯通孔，贯通孔内装设有在夹持下器件100时给下器件100上电的上电组件36，上电组件36包括电极361、电极分离柱362和电极弹簧363，电极分离柱362通过电极弹簧363弹性支承于电极361的上方。上述伸缩气缸34的伸缩杆上固接有电极座364，电极座364上通过紧固件连接有安装螺母365，夹头33的下端螺纹连接于安装螺母365上，电极361固定安装于电极座364上。

本实施例中，锥孔321的孔径由上至下逐渐减小，夹头33自上而下穿过锥孔321与安装螺母365相连，夹头33可直接向下插入锥孔321与安装螺母365连接，或者松开后向上从锥孔321中直接取出，便于方便快速的拆装和更换夹头33。在制作时，可将夹头33下端到弹性夹瓣331之间的部分制成圆杆，使该圆杆的最大直径小于锥孔321的最小直径即可。

本实施例中，导轨组件38可采用现有成熟技术，在导轨组件38的外部罩设有防尘罩39，能够防止灰尘等异物进入导轨组件38而影响其导向工作。

本实施例中，夹具还设有用于检测夹具安装板32滑动位置的检测组件，检测组件包括涡流式位移传感器（图中未示）和传感器感应片310，涡流式位移传感器通过传感器安装座311安装于防尘罩39上，传感器感应片310通过感应片支架312安装于夹具安装板32上，夹具安装板32上下移动时，传感器感应片310也随夹具安装板32同步移动，通过涡流式位移传感器可检测传感器感应片310的位移量，该位移量也即夹具安装板32的位移量。

图1和图2示出了一种采用上述自动耦合装置的三体式同轴型光电子器件的自动耦合焊接装置，该自动耦合焊接装置还包括三个装设于机架1上的焊接装置9，三个焊接装置9绕自动旋转平台4的旋转轴线均匀布置，即三个焊接装置9以120°均匀分布在机架1上。各焊接装置9包括激光出射头91、第二X轴自动直线滑台92、第二Y轴自动直线滑台93、第二Z轴自动直线滑台94和焊接支撑台95，焊接支撑台95装设于机架1上，第二X轴自动直线滑台92、第二Y轴自动直线滑台93和第二Z轴自动直线滑台94依次叠加装设于焊接支撑台95上，激光出射头91通过固定架96装设于所述第二Z轴自动直线滑台94上。也即第二X轴自动直线滑台92装设于焊接支撑台95上，第二Y轴自动直线滑台93装设于第二X轴自动直线滑台92上，第二Z轴自动直线滑台94装设于第二Y轴自动直线滑台93上，激光出射头91通过固定架96装设于第二Y轴自动直线滑台93上。通过第二X轴自动直线滑台92、第二Y轴自动直线滑台93和第二Z轴自动直线滑台94调节激光出射头91在X轴、Y轴和Z轴方向的位移，可以调整激光出射头91与对准装置5的相对位置，耦合焊接设备在初始状态时，调整好激光出射头91与对准装置5的相对位置，使激光准确入射到预定焊接位置处，以此保证焊点质量。第二Z轴自动直线滑台94还可驱使激光出射头91上下移动自动改变焊接位置的高度，以满足三体式同轴型光电子器件需要在两个高度位置进行焊接的要求，即在隔离器101与上器件102焊接后，可将激光出射头91自动调整到隔离器101与下器件100的焊接高度位置。

上述上夹具2为现有技术，例如可采用申请号为201410360435.7的中国专利中所采用的上夹具2；上述自动旋转平台4和旋转装置7为现有技术，可采用申请号为201410360435.7的中国专利中所采用的电动旋转台或其他电动旋转台；上述各自动直线滑台、各手动直线滑台和升降装置6为现有技术，可采用申请号为201410360435.7的中国专利中所采用的电动平移台或其他电动平移台。

本实施例的自动耦合焊接装置的工作过程如下：

在上器件102和下器件100对光的过程中，夹持气缸821驱使两个夹持手指822张开，水平伸缩气缸81驱使夹持气缸821远离隔离器101，上器件102在旋转装置7驱动下旋转，直到找到上器件102与下器件100最佳的相对角度。上器件102和下器件100对光完成后，水平伸缩气缸81驱使夹持气缸821向隔离器101运动，使两个夹持手指822分别位于隔离器101的两侧，夹持气缸821再驱使两个夹持手指822夹紧隔离器101。隔离器101被夹紧后，自动旋转平台4转动，使上器件102和下器件100绕隔离器101的轴线同步转动，直至找到使耦合光功率最大的隔离器101的偏振角度。角度找好后，夹持气缸821驱使两个夹持手指822松开隔离器101，水平伸缩气缸81再驱使夹持气缸821远离隔离器101，给后续焊接激光束让出空间。最后，焊接装置9先将上器件102和隔离器101焊接固定，再将隔离器101和下器件100焊接固定。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例。对于本技术领域的技术人员来说，在不脱离本发明技术构思前提下所得到的改进和变换也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，包括机架（1）、上夹具（2）、下夹具（3）以及装设于机架（1）上并可绕Z轴转动的自动旋转平台（4），所述下夹具（3）通过对准装置（5）装设于自动旋转平台（4）上并可由对准装置（5）驱动分别沿X轴移动、沿Y轴移动、绕X轴摆动以及绕Y轴摆动，所述自动旋转平台（4）上设有升降装置（6），其特征在于：所述升降装置（6）的升降端安装有旋转装置（7），所述上夹具（2）安装于所述旋转装置（7）的旋转驱动端，所述机架（1）上还装设有用于夹持光隔离器（101）的夹持装置（8）。

2.根据权利要求1所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述夹持装置（8）包括水平伸缩气缸（81）和气动夹爪组件（82），所述水平伸缩气缸（81）通过位移调节装置安装于机架（1）上并可由位移调节装置驱动分别沿X轴移动、沿Y轴移动以及沿Z轴移动，所述气动夹爪组件（82）安装于水平伸缩气缸（81）的驱动端。

3.根据权利要求2所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述位移调节装置包括Z轴手动升降平台（83）、X轴手动直线滑台（84）和Y轴手动直线滑台（85），所述Z轴手动升降平台（83）安装于机架（1）上，所述X轴手动直线滑台（84）安装于Z轴手动升降平台（83）上，所述Y轴手动直线滑台（85）安装于X轴手动直线滑台（84）上，所述水平伸缩气缸（81）安装于Y轴手动直线滑台（85）上。

4.根据权利要求2所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述气动夹爪组件（82）包括夹持气缸（821）以及由夹持气缸（821）驱动张合运动的两个夹持手指（822），两个夹持手指（822）上均设有用于夹持隔离器（101）的海绵条（823）。

5.根据权利要求1所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述对准装置（5）包括第一X轴自动直线滑台（51）、第一Y轴自动直线滑台（52）、θx轴自动旋转滑台（53）、θy轴自动旋转滑台（54）以及装设于自动旋转平台（4）上的安装底座（55），所述第一X轴自动直线滑台（51）、第一Y轴自动直线滑台（52）、θx轴自动旋转滑台（53）和θy轴自动旋转滑台（54）依次叠加装设于所述安装底座（55）上，所述下夹具（3）装设于所述θy轴自动旋转滑台（54）上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述下夹具（3）包括底座（31）、夹具安装板（32）、夹头（33）以及安装于夹具安装板（32）上用于驱动夹头（33）上下运动的伸缩气缸（34），所述夹头（33）的上端设有多个沿圆周布置的弹性夹瓣（331）以及位于多个弹性夹瓣（331）上的第一锥面（332），所述夹具安装板（32）设有套设于夹头（33）上并与第一锥面（332）配合迫使所有弹性夹瓣（331）同步径向向内运动的锥孔（321），所述夹具安装板（32）通过导轨组件（38）沿竖直方向滑设于底座（31）上，所述底座（31）上设有两组弹性支承夹具安装板（32）的弹性支承组件（35），两组弹性支承组件（35）相对于锥孔（321）的轴线对称布置。

7.根据权利要求6所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述弹性支承组件（35）包括固设于底座（31）上的导杆（351），所述夹具安装板（32）滑套于导杆（351）上，所述导杆（351）上安装有弹性支承夹具安装板（32）的伸缩弹簧（352），所述导杆（351）的上端设有防止夹具安装板（32）脱出的限位帽（353）。

8.根据权利要求7所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述导杆（351）上螺纹配合安装有调节螺母（354），所述伸缩弹簧（352）套设于导杆（351）上，且伸缩弹簧（352）的下端与所述调节螺母（354）相抵，伸缩弹簧（352）的上端与夹具安装板（32）相抵。

9.根据权利要求6所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述夹头（33）内装设有在夹持下器件（100）时给下器件（100）上电的上电组件（36），所述上电组件（36）包括电极（361）、电极分离柱（362）和电极弹簧（363），所述电极分离柱（362）通过电极弹簧（363）弹性支承于电极（361）的上方。

10.根据权利要求9所述的三体式同轴型光电子器件的自动耦合装置，其特征在于：所述伸缩气缸（34）的伸缩杆上固接有电极座（364），所述电极座（364）上通过紧固件连接有安装螺母（365），所述夹头（33）螺纹连接于所述安装螺母（365）上，所述电极（361）固定安装于电极座（364）上；所述锥孔（321）的孔径由上至下逐渐减小，所述夹头（33）自上而下穿过所述锥孔（321）与安装螺母（365）相连；所述伸缩气缸（34）通过连杆（37）固定安装于夹具安装板（32）上且位于锥孔（321）的下方。