CN104740985A

CN104740985A - 含氟废气处理装置和方法

Info

Publication number: CN104740985A
Application number: CN201310731211.8A
Authority: CN
Inventors: 辛军; 丁建梅; 韩海波
Original assignee: Xindi Energy Engineering Technology Co Ltd
Current assignee: Xindi Energy Engineering Technology Co Ltd
Priority date: 2013-12-26
Filing date: 2013-12-26
Publication date: 2015-07-01

Abstract

本发明公开了一种含氟废气处理装置和方法，该方法包括A)用生石灰或氧化钙连续配制碱液的步骤，包括：采用生石灰连续进料装置将生石灰从生石灰储罐输送到碱液池中进行碱液连续可调配制，B)废气吸收步骤，包括：将所配制的碱液通过位于废气吸收塔内部的上方的碱液分布设备在废气吸收塔内向下分布以便使碱液与从废气吸收塔的底部进入的含氟废气进行逆流接触，接触后的脱除了HF的气体从废气吸收塔的顶部被排放，以及从废气吸收塔的底部出料口流出的废液返回到碱液池中，以及C)废液处理步骤，包括：将在碱液池的底部沉积的沉淀送至沉淀处理设备例如过滤设备中进行处理。本发明具有环保、安全和废气处理效果好的优点。

Description

含氟废气处理装置和方法

技术领域

本发明涉及含氟废气处理装置和方法。更具体说涉及用生石灰配制的碱液通过喷淋来吸收含氟废气的装置和方法。所述含氟废气是来自制备氟化氮的过程中的废气，例如来自于以NH₄HF和HF为原料采用电解法制取NF₃气体的过程中的含氟的废气。

背景技术

在工业锅炉中产生大量的含酸性气体的废气。在通常的电解炉中也会产生含有酸性气体的废气。另外，在制备氟化氮的过程中会产生废气，例如在以NH₄HF和HF为原料采用电解法制取NF₃气体的过程中会产生含氟的废气。

随着因特网、手机的迅速普及，使得芯片的使用率提高，对生产芯片用的刻蚀剂、清洗剂提出了巨大需求，使得三氟化氮的使用量越来越大。国内超大规模集成电路、液晶面板、光伏太阳能等行业的快速发展，对高纯NF₃气体产品的需求量也大大增加。

目前，国内外制备NF₃的方法主要有两种：一是直接化合法；二是氟化氢铵熔融盐电解法。无论是哪种制备方法，都会在生产过程中产生大量含氟废气，传统的废气处理方法存在很多弊端，会给当地环境带来危害。为满足日益增长的市场需求，各国很多生产厂家只是把大量的精力和投入花在了生产技术研发和扩大生产规模上，而忽视了改进和提高含氟废气处理技术这一重要环节，随着生产规模的扩大，废气处理工艺和技术的滞后给企业带来的负面影响越来越大，这在很大程度上制约了企业的健康可持续发展，也给当地环境带来不利影响。因此，对现有的NF₃企业含氟废气处理装置进行工艺及技术改进就显得势在必行，此举不仅可以打开制约企业发展的瓶颈，而且也有较好的经济、环境及社会效益。

这样的装置有利于解决以下问题：

1)有利于缓解NF₃供应的紧张局面；

2)改善劳动者工作环境，减轻劳动强度，避免工伤事故出现；

3)实现碱液连续配制，保证了废气处理效果，改善工业区环境保护；

4)节约土地，减低投资；

5)有利于缓解NF₃供应紧张的局面；

但是目前国内的含氟废气处理装置，处理方法落后，存在工人劳动强度大，工作环境差，碱液不能实现连续配制，难以保证废气处理效果，排放废气不符合《环境空气质量标准》（GB3095-1996）中二级标准的要求。有鉴于此，本发明的三氟化氮企业含氟废气处理装置，意在自主开发以NH₄HF和HF为原料制取三氟化氮的企业含氟废气处理工艺，解开制约三氟化氮生产企业发展的瓶颈，对我国微电子行业的健康发展，保护环境和劳动安全具有特殊意义。

含氟废气的处理涉及的反应如下：

2HF+Ca(OH)₂→CaF₂↓+2H₂O

由上述反应式可以看出，氟化氢的吸收反应属于酸碱中和反应，吸收液具有适当的碱性有利于含氟废气的吸收。

由于废气吸收反应是一个酸碱中和反应，需要配制合适的碱液，当碱液不能连续配制时，碱液在整个吸收循环过程中pH值越来越低，当低于某一值是则不能很好的吸收氟化氢，排放尾气则不达标；控制溶液适当的碱性需要靠加入的生石灰量来确定，而为了稳定碱液碱性而向碱液池中加入过量生石灰时，大部分生石灰未被溶解呈固相，被泵送至吸收塔后容易堵塞碱液分布器和用作气体分布器的填料层，造成堵塔，是废气吸收完全终止。

为使碱液能一直稳定在最佳范围内，目前所采取的措施是人工少量、多次向碱液池中加入生石灰。

目前含氟废气的处理还存在以下问题：

1)现有的碱液配制方案复杂繁琐，存在安全隐患；

2)生石灰浪费量大，容易堵塔；

3)一次水用量大，废液得不到合理循环利用；

4)氟化钙滤渣氢氧化钙含量高，氟资源回收利用成本高。

另外，现有技术还披露了处理废气的其它方法和装置：

DE2725436A(1978年12月21日公开)披露了通过石灰淤浆注射和布过滤从热气中除去灰尘和氧化硫的方法，其中用石灰和液体的混合物喷淋该热废气来使热废气被冷却，确保热废气的相对湿度不致于润湿过滤布并且确保转化的石灰作为干燥物质沉积在过滤布上。

DE3130021A公开了在电解炉中通过将含有Ca(OH)₂的水喷雾到废气中以除去HF和SO₂。

DE3235020A公开了在烟道气通过干反应器(dry reactor)之前烟道气在塔中用石灰悬浮液喷雾，其中在烟道气通入到织物过滤器中之前添加新的石灰；这里所提取(extracted)的和可能的话混有液滴的石灰(lime)由螺旋供料器送回到混合器中，在该混合器中形成了已利用过(部分利用)的石灰的一种悬浮液，进一步用于喷雾到塔中；完全利用的石灰能够从塔的底部提取之后被倾弃。其中声称石灰的两次利用使得该工艺是经济的。

JP62004429A(1987年1月10日公开)披露了含HF的废气与熟石灰(slaked lime)在粉末喷射设备中混合从而使得HF在被中和之后得以除去。

US4897248A公开了熟石灰由吹风机送入粉末喷射器中，使得含SOx或HF的废气被熟石灰中和。

US5575982A和WO9839082A1公开了含SO₂和HF等的燃烧废气在喷雾吸收器中用Ca(OH)₂悬浮液处理的方法。

CN101332410A公开了一种排气处理装置，该装置是除去燃烧排气中所含的选自三氧化硫、氟化氢、氯化氢、氯化汞、硫化氢或氧硫化碳中的至少一种污染物质的排气处理装置，该装置具有：在上述燃烧排气流通的烟道中喷射含有一种以上Na、K、Mg、Ca中任一个的氯化物或硫酸盐的水溶液的喷雾装置。

CN1250679A公开了一种半湿法处理烟道气的方法，其中在反应器中用石灰水喷雾到烟道气之上。

US5439508A公开了在喷雾吸收器中用氢氧化钙悬浮液洗涤烟道气的方法。

CN1032493A公开了通过将含有石膏以及钙的化合物，例如石灰石或熟石灰的水化吸收剂密集地喷淋到废气中，从废气中除去酸性气体的方法。

现有技术没有披露与本申请中的高效、经济的除去含氟废气的装置相同或非常接近的技术方案。

发明内容

本发明所要解决的技术问题之一是提供一种吸收处理含氟废气的装置，其通过对碱液配制系统的改进、废液处理方式的改进和滤液回流循环利用的改进，采用气液相逆流吸收工艺，通过对气、液相分布工艺的改进，流程简单、阻力降低、占地少、废气处理效果好。

本发明的实施方案概括如下：

1.一种含氟废气处理装置，其特征在于，该装置包括：碱液连续配制装置、废气吸收塔和沉淀处理设备，其中，碱液连续配制装置包括生石灰储罐（优选立式储罐）、生石灰连续进料装置、碱液池；其中在废气吸收塔内部的上方装有碱液分布器，在废气吸收塔的底部有废气入口和在塔的顶部有处理后的废气的排放口，废气吸收塔的底部出料口经由管道连接到碱液池，在碱液池中装有用于抽上层碱液的碱液泵和用于抽下层沉淀的废液泵，碱液泵的出口经由管道连接到碱液分布器，以及废液泵的出口经由管道连接到沉淀处理设备例如过滤设备。

2.根据以上第1项的含氟废气处理装置，其中碱液池底面呈斜坡型，最低处构成沉淀收集池，废液泵设置在沉淀收集池中。优选，该碱液池的底部呈斜坡型，最低处设置或用作沉淀收集池，或者，碱液池的底部包括较低凹部和最低凹部，较低凹部用于生石灰与新鲜水的混合，最低凹部用作沉淀收集池。

3.根据以上第1项的含氟废气处理装置，其中碱液分布器是用于将碱液向下分布并且与上升的废气进行逆流接触的一个或多个碱液喷嘴，或由一个或多个碱液喷嘴和位于碱液喷嘴下方的碱液分布器组成。

所述碱液分布器可以设置在废气吸收塔内上方的径向中央处。例如一个碱液分布器可以是分布在废气吸收塔内上方的径向中央的一个喷嘴或围绕径向中心均匀排列成环状的多个喷嘴。或者，一个碱液分布器可以是在废气吸收塔上方的四周的内壁上均匀分布的多个喷嘴，以便在废气吸收塔内更均匀地喷淋碱液，例如每隔60度径向角度分布一个喷嘴，共计6个，或例如每隔90度径向角度分布一个喷嘴，共计4个，或例如每隔30度径向角度分布一个喷嘴，共计12个。碱液分配板(或称作液相分配板)例如采用具有许多通孔(一般为上下贯通的孔)的板或盘的形式或采用许多通孔或泡罩的常规塔板的形式，通孔的直径例如为8mm～12mm。

4.根据以上第3项的含氟废气处理装置，其中碱液分布器是按照从上到下的顺序进行一级或多级设置，每一级采用一个碱液分布器。优选，当采用两级分布方式时，第一级采用第一碱液分布器，该第一碱液分布器可以是一个或多个碱液喷嘴，或由一个或多个碱液喷嘴和位于碱液喷嘴下方的碱液分配板组成。第二级采用第二碱液分布器，该第二碱液分布器可以是一个或多个碱液喷嘴，或由一个或多个碱液喷嘴和位于碱液喷嘴下方的碱液分配板组成。优选，当采用三级分布方式时，除包括上述两级的碱液分布器外，还包括第三级碱液分布器，该第三级碱液分布器可以是一个或多个碱液喷嘴，或由一个或多个碱液喷嘴和位于碱液喷嘴下方的碱液分配板组成。优选，当使用多级的碱液分布器且该碱液分布器包括碱液分配板(或液相分配板)时，则每一个下一级的碱液分配板的孔径稍大于其上方的上一级的碱液分配板的孔径(例如前者孔径比后者孔径大了5-30%，或大了10-20%)，这样减少了在操作过程中在各级的碱液分配板上碱液的液泛或溢流的可能性或现象。当碱液分散器仅仅是碱液喷嘴(即不包括碱液分配板)时，则要求该喷嘴经过设计之后使得它喷射出均匀的碱液细雾。

5.根据以上第1-4项中任何一项的含氟废气处理装置，其中生石灰连续进料装置是根据生石灰用量需求来调节给料速度、保证碱液pH稳定在需要范围内的、采用变频控制模式进行操作的螺旋给料机。一般保持碱液pH在10-12.6之间、优选在11-12.6之间。

6.根据以上第1-4项中任何一项的含氟废气处理装置，其中生石灰储罐设置在生石灰连续进料装置的上方，生石灰原料首先用压缩空气被输送至生石灰储罐中贮存，该生石灰原料从储罐的底部排入生石灰连续进料装置中。

7.根据以上第1-4项中任何一项的含氟废气处理装置，其中碱液池装有一个或多个搅拌器。

8.根据以上第1-4项中任何一项的含氟废气处理装置，其中在生石灰连续进料装置的出口之后配置输送皮带，生石灰进料装置和输送皮带处在全封闭通道内，并且在该输送皮带上设置皮带称。

9.根据以上第1-4项中任何一项的含氟废气处理装置，其中在吸收塔内，在所有的碱液喷淋设备的下方设置一层或两层或三层的填料层，该填料层用作气体分布器或气相分布器。另外，吸收塔内优选设有反射碗(反射碗设置在喷射嘴和填料气相分布器之间)，进一步保证液气的充分混合和完全净化吸收反应。

一般来说，所述含氟废气是来自制备氟化氮的过程中的废气，例如来自于以NH₄HF和HF为原料采用电解法制取NF₃气体的过程中的含氟的废气如HF。含氟废气中酸性气体如HF的总含量一般是10－100mg/m³之间，更一般是在20－80mg/m³之间。

一般来说，经过上述方法处理之后，吸收塔的出口气体中氟化氢含量小于1mg/m³，优选小于0.5mg/m³，更优选小于0.1mg/m³。

10.一种含氟废气处理方法，其特征在于包括以下步骤：

A)用生石灰或氧化钙连续配制碱液的步骤，包括：采用生石灰连续进料装置将生石灰从生石灰储罐（优选立式储罐）输送到碱液池中进行碱液连续可调配制，

B)废气吸收步骤，包括：将所配制的碱液通过位于废气吸收塔内部的上方的碱液分布设备例如喷淋设备在废气吸收塔内向下分布以便使碱液与从废气吸收塔的底部进入的含氟废气进行逆流接触，接触后的脱除了HF的气体从废气吸收塔的顶部被排放，以及从废气吸收塔的底部出料口流出的废液返回到碱液池中，以及

C)废液处理步骤，包括：将在碱液池的底部沉积的沉淀送至沉淀处理设备例如过滤设备中进行处理，滤渣作为氟化钙产品出售，滤液回用配制碱液。

具体而言，送入厂区的生石灰采用气力输送方式送入生石灰储罐，储罐下部出口设置生石灰连续进料装置，优选变频螺旋给料机，其根据石灰石用量自动调节给料速度，石灰石给料通过封闭的通道送至碱液池配制碱液，碱液池内设搅拌器，配制好的碱液由碱液泵抽送至吸收塔顶部经碱液分布器分布（喷淋），与从塔底部进入的含氟废气逆流接触吸收，吸收处理后的气体达标排放，吸收后的碱液由塔底回流至碱液池进行循环吸收。碱液池地面呈一定坡度，最低处设沉淀收集池，当碱液池的氟化钙沉淀达到一定浓度时，利用收集池内设置的潜污泵将废液送至沉淀处理设备即过滤工段，滤渣外售，滤液回用配制碱液。

11.根据以上第10项所述的含氟废气处理方法，其中，碱液池底部呈斜坡型，最低处构成沉淀收集池，废液泵设置在沉淀收集池中。

12.根据以上第10项所述的含氟废气处理方法，其中，碱液分布器是用于将碱液向下分布并且与上升的废气进行逆流接触的一个或多个碱液喷嘴，或是由一个或多个碱液喷嘴和位于碱液喷嘴下方的碱液分配板组成。

13.根据以上第10项所述的含氟废气处理方法，其中，碱液分布器是按照从上到下的顺序进行一级或多级设置，每一级采用一个碱液分布器。

14.根据以上第10-13项中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，所述生石灰连续进料装置是根据生石灰用量需求来调节给料速度、保证碱液pH稳定在需要范围内的、采用变频控制模式进行操作的螺旋给料机。

15.根据以上第14项所述的含氟废气处理方法，其中，螺旋给料机的石灰石给料量根据碱液池pH来调节。

16.根据以上第10-13项中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，生石灰储罐设置在生石灰连续进料装置的上方，生石灰原料首先用压缩空气被输送至生石灰储罐中贮存，该生石灰原料从储罐的底部排入生石灰连续进料装置中。

17.根据以上第10-13项中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，碱液池装有用于搅拌碱液的一个或多个搅拌器。

18.根据以上第10-13项中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，在生石灰连续进料装置的出口之后配置输送皮带，生石灰进料装置和输送皮带处在全封闭通道内，并且在该输送皮带上设置皮带称。

19.根据以上第10-13项中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，在吸收塔内，在每一碱液分布器的下方设置一层或两层或三层的填料层，该填料层用作含氟废气分布器或气相分布器。

20.根据以上第10-13项中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，碱液池中的碱液由泵送至吸收塔顶部碱液分布器；含氟废气从塔底部进入，与通过碱液分布器从废气吸收塔顶部向下分布的碱液逆流接触。吸收塔顶部出口净化后的气体中氟化氢含量低于1mg/m³，优选优选小于0.5mg/m³，更优选小于0.1mg/m³。

21.根据以上第10-13项中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，含氟废气吸收塔底部碱液出口采用液封；塔顶设置碱液分布器，塔内的下部设填料层作为气相分配器，所述填料例如是拉西环等；碱液喷淋是一级喷淋或多级喷淋。

研究发现：采用气液相逆流吸收的情况下，碱液浓度和碱液喷淋量对废气吸收效果影响最大，碱液浓度过大容易造成堵塔或者塔阻力过大造成漏气，而碱液浓度太低则不能对废气中的有害成分起到吸收作用；而碱液的喷淋量过大会造成液泛，喷淋量小则同样会使废气得不到很好吸收。

基于以上研究，本发明在储罐等设备制造和操作允许的前提下，采用碱液连续配制工艺，稳定碱液浓度，选取最佳气液比，以提高废气吸收效果，降低长期运行费用。本发明采用立式石灰石储罐和变频螺旋给料机，可实现碱液的自动连续配制，避免了人工间断配制造成碱液的浓度波动，废液中氢氧化钙含量减少，滤渣销售价格高，滤液配制碱液回用，减少了一次水用量。同时节省劳力，改善劳动环境。

在本发明中，碱液的浓度被配制为0.3-1%（重量%），优选0.4-0.6%（重量%）；碱液的喷淋量例如为1～6m³/min，优选3～4m³/min；含氟废气的引入流量为10～60m³/min，优选30～40m³/min。

II)、本发明与现有技术相比具有如下优点：

1、碱液配制实现机械自动化设置生石灰储罐，生石灰通过全封闭通道输送至碱液池，避免了扬尘，为良好的工作环境提供保证，节省了劳动力，减轻工人劳动强度，不仅避免了工伤事故的出现，而且使碱液pH值在工作时间内稳定在最佳范围，保持对有毒有害气体的最佳吸收效果，同时节省生石灰的使用量。

2、通过将碱液从废气吸收塔顶部向下分布（尤其通过喷嘴喷淋）并且与从废气吸收塔底部上升的废气进行逆流接触，保证液气的充分混合和完全净化吸收反应，塔出口气体中HF含量小于1mg/m³，大大小于通常净化气的3mg/m³。

3、碱液池结构简单化，节省土建投资；碱液池中设置废液泵，定期进行排污，操作方便简单，减轻工人劳动强度。

4、甩干后滤饼中CaF₂品质好，Ca(OH)₂含量低，售价高；滤液回用，节省一次水用量，提高经济效益。

5、设置生石灰储罐，代替建石灰石仓库，节约占地和建设投资。

6、对废气的适应能力强，废气处理量可调范围大。

7、确保吸收塔不堵塔，实现废气连续吸收。

8、采用本发明的装置，可以实现单系列年产900吨高纯NF₃气体所产生的废气的吸收处理。

9、采用本发明的装置，可以实现采用最少的占地、最少的人力及最安全环保的方式完成废气处理，排放气体满足《环境空气质量标准》（GB3095-1996）中二级标准的要求，可达标排放。

10、采用本发明的装置，正常生产无废水排放，滤渣可作为相关产业原料使用，改善环境滤液回用，节省一次水资源。因此本发明是环保工艺。

11、采用已经工业化的储罐。

12、采用碱液自动配制系统，避免堵塔，延长吸收塔填料层的使用寿命。

本发明可以处理以NH₄HF和HF为原料，采用电解法制取NF₃过程中产生的含氟废气。

以下结合附图和具体实施方式来进一步说明本发明。

附图说明

图1为本发明实施例1的工艺装置示意图。

其中附图标记1表示生石灰储罐，2表示螺旋给料机，3表示碱液池，4表示搅拌器，5和6表示废气吸收塔；7表示沉淀收集池，8表示碱液泵，9表示过滤装置，10表示废液泵(或潜污泵)，11和12表示碱液分布器。

图2为本发明实施例2的工艺装置示意图。

其中附图标记1表示生石灰储罐，2表示螺旋给料机，3表示碱液池，4表示搅拌器，5和6表示废气吸收塔；7表示沉淀收集池，8表示碱液泵，9表示过滤装置，10表示废液泵(或潜污泵)，11、12、13和14表示碱液分布器。

具体实施方式

为了使本发明的技术特征与产生的技术效果易于清除理解，下面结合附图所示的优选实施方式。进一步阐述说明。

实施例1

参见图1，含氟废气处理装置，它包括生石灰储罐1、螺旋给料机2、碱液池3、搅拌器4、废气吸收塔5和6、沉淀收集池7、废液过滤装置9、碱液泵8、废液泵10、碱液分布器11和12。在废气吸收塔5和6内上方的径向中央处分别设置由碱液喷嘴组成的碱液分布器11、12，另外在该碱液分布器的下方设置气相分布器（由拉西环填料构成的厚度20cm的填料层）。

送入厂区的生石灰(氧化钙)采用气力输送方式送入生石灰储罐1，储罐下部出口设置变频螺旋给料机2，根据石灰石用量自动调节给料速度，石灰石给料通过封闭的通道送至碱液池3中与水混合来配制碱液，碱液池内设搅拌器4，测定碱液的pH值，一般保持碱液pH在10-12.6之间、优选在11-12.6之间；配制好的碱液由碱液泵8抽送至吸收塔5和/或6的顶部经液相分布器11、12喷淋，碱液分布器11、12的喷淋量分别为3～4m³/min，与以30～40m³/min的流量从塔底部进入的含氟废气(来自NF₃气体制备过程，大气压下含有10-100mg/m³或20-80mg/m³或25-70mg/m³的HF)逆流接触进行吸收，吸收处理后的气体达标排放，吸收后的碱液由塔底回流至碱液池，进行循环吸收。碱液池地面呈一定坡度，最低处设沉淀收集池7，当碱液池的氟化钙沉淀物(废淤浆)达到一定浓度或一定量时，利用收集池内设置的废液泵（潜污泵）10将废液送至过滤工段，经过滤装置9过滤后，滤渣在干燥或不干燥的情况下外售，滤液送回到碱液池3中供配制碱液用。由于滤渣和排放气分别都带出一少部分的水，工艺在运转一段时间后可以向碱液池中补充一些新鲜水以维持碱液池的液面高度。碱液泵8用于抽上层的碱液，废液泵10用于抽下层的废淤浆(沉淀物)。优选，废液泵10的进口靠近在碱液池之内的沉淀池的底部，碱液泵8的进口高于废液泵10的进口。更优选碱液泵8的进口在淤浆层(沉淀物层)之上。

从废气吸收塔5或6的顶部排放气中取样，由气相色谱法进行分析，HF含量低于0.2mg/m³。说明对HF吸收比较彻底。另外，使用氟化氢检测仪（深圳市元特科技有限公司制造，YT-1100H-HF型）进行检测，测得HF含量低于0.5ppm。

因此采用本实施例的含氟废气处理装置，有利于实现碱液连续配制，石灰石用量少，废气净化效果好，环境效益显著。节约占地，节省项目投资。

实施例2

如图2所示，本实施例基本上与实施例1相同，区别在于塔顶碱液喷淋采取上、下两级喷淋，包括分别在废气吸收塔5和6中设置的一级碱液分布器11和12、二级碱液分布器13和14，它们各自的喷淋量为1～3m³/min，总喷淋量为约3～4m³/min，含氟废气的引入量为30～40m³/min，对废气进行多级净化吸收。

从废气吸收塔5或6的顶部排放气中取样，由气相色谱法进行分析，HF含量低于0.15mg/m³。说明对HF吸收比较彻底。

Claims

1.一种含氟废气处理装置，其特征在于，该装置包括：碱液连续配制装置、废气吸收塔和沉淀处理设备，其中，碱液连续配制装置包括生石灰储罐、生石灰连续进料装置、碱液池；其中在废气吸收塔内部的上方装有碱液分布器，在废气吸收塔的底部有废气入口和在塔的顶部有处理后的废气的排放口，废气吸收塔的底部出料口经由管道连接到碱液池，在碱液池中装有用于抽上层碱液的碱液泵和用于抽下层沉淀的废液泵，碱液泵的出口经由管道连接到碱液分布器，以及废液泵的出口经由管道连接到沉淀处理设备。

2.根据权利要求1的含氟废气处理装置，其特征在于，碱液池底部呈斜坡型，最低处构成沉淀收集池，废液泵设置在沉淀收集池中。

3.根据权利要求1的含氟废气处理装置，其特征在于，碱液分布器是用于将碱液向下分布并且与上升的废气进行逆流接触的一个或多个碱液喷嘴，或是由一个或多个碱液喷嘴和位于碱液喷嘴下方的碱液分配板组成。

4.根据权利要求3的含氟废气处理装置，其特征在于，碱液分布器是按照从上到下的顺序进行一级或多级设置，每一级采用一个碱液分布器。

5.根据权利要求1-4中任何一项的含氟废气处理装置，其特征在于，生石灰连续进料装置是根据生石灰用量需求来调节给料速度、保证碱液pH稳定在需要范围内的、采用变频控制模式进行操作的螺旋给料机。

6.根据权利要求1-4中任何一项的含氟废气处理装置，其特征在于，生石灰储罐设置在生石灰连续进料装置的上方，生石灰原料首先用压缩空气被输送至生石灰储罐中贮存，该生石灰原料从储罐的底部排入生石灰连续进料装置中。

7.根据权利要求1-4中任何一项的装置，其特征在于，碱液池装有一个或多个搅拌器。

8.根据权利要求1-4中任何一项的含氟废气处理装置，其特征在于，在生石灰连续进料装置的出口之后配置输送皮带，生石灰进料装置和输送皮带处在全封闭通道内，并且在该输送皮带上设置皮带称。

9.根据权利要求1-4中任何一项的含氟废气处理装置，其特征在于，在吸收塔内，在每一碱液分布器的下方设置一层或两层或三层的填料层，该填料层用作气体分布器或气相分布器。

10.一种含氟废气处理方法，其特征在于包括以下步骤：

11.根据权利要求10所述的含氟废气处理方法，其中，碱液池底部呈斜坡型，最低处构成沉淀收集池，废液泵设置在沉淀收集池中。

12.根据权利要求10所述的含氟废气处理方法，其中，碱液分布器是用于将碱液向下分布并且与上升的废气进行逆流接触的一个或多个碱液喷嘴，或是由一个或多个碱液喷嘴和位于碱液喷嘴下方的碱液分配板组成。

13.根据权利要求10所述的含氟废气处理方法，其中，碱液分布器是按照从上到下的顺序进行一级或多级设置，每一级采用一个碱液分布器。

14.根据权利要求10-13中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，所述生石灰连续进料装置是根据生石灰用量需求来调节给料速度、保证碱液pH稳定在需要范围内的、采用变频控制模式进行操作的螺旋给料机。

15.根据权利要求14所述的含氟废气处理方法，其中，螺旋给料机的石灰石给料量根据碱液池pH来调节。

16.根据权利要求10-13中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，生石灰储罐设置在生石灰连续进料装置的上方，生石灰原料首先用压缩空气被输送至生石灰储罐中贮存，该生石灰原料从储罐的底部排入生石灰连续进料装置中。

17.根据权利要求10-13中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，碱液池装有用于搅拌碱液的一个或多个搅拌器。

18.根据权利要求10-13中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，在生石灰连续进料装置的出口之后配置输送皮带，生石灰进料装置和输送皮带处在全封闭通道内，并且在该输送皮带上设置皮带称。

19.根据权利要求10-13中任何一项所述的含氟废气处理方法，其中，在吸收塔内，在每一碱液分布器的下方设置一层或两层或三层的填料层，该填料层用作含氟废气分布器或气相分布器。