CN104731413A - 触控单元及其制作方法和柔性触控显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种触控单元及其制作方法和柔性触控显示装置，所述触控单元包括至少一层改性碳纳米管膜层，所述改性碳纳米管膜层由强氧化性材料对碳纳米管改性得到。本发明提供的触控单元不但具有良好的机械特性和柔韧性，还具有高电导率和低方块电阻的特性，满足了触控单元的性能要求。
Description
技术领域
本发明涉及新材料合成领域，具体涉及一种触控单元及其制作方法和柔性触控显示装置。
背景技术
现有技术中的触控单元一般采用透明导电材料ITO(氧化铟锡)、metal mash(金属网格)等制作而成，但是这些材料的机械强度和柔韧性较差，这就决定了这些材料制成的触控单元不可能很好地应用到柔性显示产品中。
碳纳米管材料虽然具有良好的机械特性和柔韧性，但是由于碳纳米管自身的导电率和方块电阻不能满足触控单元的性能要求，因此使得碳纳米管材料不能很好的应用到柔性触控产品中。
因此需要设计一种新的触控单元结构，使其能够应用碳纳米管材料的机械特性和柔韧性并且克服碳纳米管材料本身的导电率和方块电阻不能满足触控单元的性能要求的缺陷。
发明内容
针对现有技术中的缺陷，本发明提供一种触控单元及其制作方法、柔性触控显示装置，使所述触控单元能够应用碳纳米管材料的机械特性和柔韧性并且克服碳纳米管材料自身的导电率和方块电阻不能满足触控单元的性能要求的缺陷。
为解决上述技术问题，本发明提供以下技术方案：
第一方面，本发明提供了一种触控单元，包括至少一层改性碳纳米管膜层，所述改性碳纳米管膜层由强氧化性材料对碳纳米管改性得到。
其中，所述强氧化性材料包括二氧化氮、溴单质、硝酸、亚硫酰氯、全氟磺酸和/或四氟四氰基醌二甲烷。
其中，所述触控单元还包括设置在所述改性碳纳米管膜层上的保护层。
其中，所述保护层由导电聚合物材料形成。
其中，所述保护层由添加有纳米金球或纳米银线的导电聚合材料形成。
其中，所述保护层通过涂覆溶液化处理后的导电聚合物材料的方式形成。
其中，所述导电聚合物材料包括：聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撑、聚苯撑乙炔和/或聚双炔。
第二方面，本发明提供了一种触控基板，包括衬底，衬底上设置有上面所述的触控单元。
其中，所述的触控基板包括多层触控单元，每两层触控单元之间设置有绝缘层。
第三方面，本发明提供了一种触控显示装置，包括上面所述的触控基板。
其中，所述触控基板呈弯曲或弯折设置，所述触控基板上至少一个所述触控单元处于非显示区域。
第四方面，本发明提供了一种触控单元的制作方法，包括：
形成至少一层碳纳米管膜层；
使用强氧化性材料对所述碳纳米管膜层进行改性处理，得到改性碳纳米管膜层；
在所述改性碳纳米管膜层上制作电极图案，得到带有电极图案的改性碳纳米管膜层。
其中，所述强氧化性材料包括二氧化氮、溴单质、硝酸、亚硫酰氯、全氟磺酸和/或四氟四氰基醌二甲烷。
其中，所述的触控单元的制作方法，还包括：
在带有电极图案的改性碳纳米管膜层上形成保护层；
或，
在所述改性碳纳米管膜层上制作电极图案之前，在所述改性碳纳米管膜层上形成保护层。
其中，所述保护层由导电聚合物材料形成。
其中，所述保护层由添加有纳米金球或纳米银线的导电聚合材料形成。
其中，所述保护层通过涂覆溶液化处理后的导电聚合物材料的方式形成。
其中，所述导电聚合物材料包括：聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撑、聚苯撑乙炔和/或聚双炔。
其中，所述使用强氧化性材料对所述碳纳米管膜层进行改性处理包括：
将所述碳纳米管膜层置于硝酸溶液5min～30min后取出；
对进行硝酸溶液处理后的碳纳米管膜层进行清洗并使之干燥。
其中，所述使用强氧化性材料对所述碳纳米管膜层进行改性处理包括：
向所述碳纳米管膜层上喷淋硝酸溶液并放置5min～30min；
对进行硝酸溶液处理后的碳纳米管膜层进行清洗并使之干燥。
其中，采用去离子水对进行硝酸溶液处理后的碳纳米管膜层进行清洗。
其中，采用风干、烘干或晾干的方式使得清洗后的碳纳米管膜层干燥。
由上述技术方案可知，本发明所述的触控单元，通过对本来就具有较好的机械特性和柔韧性的碳纳米管进行改性处理，使得采用改性后的碳纳米管制成的触控单元除了继续保持良好的机械特性和柔韧性外，还具有高电导率和低方块电阻的特性，满足了触控单元的性能要求，因此使得采用改性后的碳纳米管制成的触控单元能够很好地应用于柔性触控或柔性显示产品中。
另外，本发明所述的触控单元由于采用了价格相对较低的碳纳米管材料，因此相比于采用石墨烯等其他柔性材料制成的触控单元，节省了成本。
本发明所述的触控单元具有优秀的机械强度和柔韧性，使得该触控单元可以连续设计在触控面板的几个相邻表面上(比如侧面和背面)，从而克服了现有技术中触控单元只能设置在主显示面板上的缺陷，即应用本方法所述的触控单元可以实现显示器件触控区域的扩大。同时采用发明的触控单元制成的显示器件，结合显示器件内部系统程序的配合，可实现无需点亮屏幕即可完成显示器件的某些指令操作，因此节省了能耗，使得显示器件的续航能力得以延长。
附图说明
为了更清楚地说明本实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1和图2是本实施例一提供的触控单元的两种结构示意图；
图3是本实施例二提供的触控单元的结构示意图；
图4是本实施例三提供的触控单元的结构示意图；
图5是本实施例三提供的另一种触控单元的结构示意图；
图6是本实施例四提供的触控基板的结构示意图；
图7是本实施例六提供的触控单元的制作方法流程图；
图8是本实施例七提供的触控单元的制作方法流程图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
图1和图2示出了本实施例一提供的触控单元的结构示意图，如图1和图2所示，本实施例一提供的触控单元包括至少一层改性碳纳米管膜层1，所述改性碳纳米管膜层1由强氧化性材料对碳纳米管改性得到，所述改性碳纳米管膜层1具有高电导率和低方块电阻。
在该实施例的一个实例中，参见图1，所述触控单元包括一层改性碳纳米管膜层1。在该实施例的另一个实例中，参见图2，所述触控单元包括六层改性碳纳米管膜层1，所述六层改性碳纳米管膜层1的厚度可以相同也可以不同，图2给出了各层厚度相同的例子。在实际应用触控单元时，根据实际需要设计不同层数以及厚度的改性碳纳米管膜层。
本实施例所提供的触控单元，通过对本来就具有较好的机械特性和柔韧性的碳纳米管进行改性处理，使得采用改性后的碳纳米管制成的触控单元除了继续保持良好的机械特性和柔韧性外，还具有高电导率和低方块电阻的特性，满足了触控单元的性能要求，因此使得采用改性后的碳纳米管制成的触控单元能够很好地应用于柔性触控或柔性显示产品中。
另外，本实施例所提供的触控单元由于采用了价格相对较低的碳纳米管材料，因此相比于采用石墨烯等其他柔性材料制成的触控单元，节省了成本。
本实施例所提供的触控单元具有优秀的机械强度和柔韧性，使得该触控单元可以连续设计在触控面板的几个相邻表面上(比如侧面和背面)，从而克服了现有技术中触控单元只能设置在主显示面板上的缺陷，即应用本实施例所述的触控单元可以实现显示器件触控区域的扩大。同时采用本实施例的触控单元制成的显示器件，结合显示器件内部系统程序的配合，可实现无需点亮屏幕即可完成显示器件的某些指令操作，因此节省了能耗，使得显示器件的续航能力得以延长。
实施例二
参见图3，本实施例二提供的触控单元包括三层改性碳纳米管膜层1，所述改性碳纳米管膜层1由强氧化性材料对碳纳米管改性得到。所述改性碳纳米管膜层1具有高电导率和低方块电阻。
由于碳纳米管本身的电导率和方块电阻不能满足触控性能要求，因此需要对其进行改性，使其性能满足触控的要求，本实施例将碳纳米管膜层进行改性工艺使其满足要求，本实施例的改性工艺为采用强氧化性材料如二氧化氮NO2、溴单质Br2、硝酸HNO3、亚硫酰氯SOCl2、全氟磺酸Nafion和/或四氟四氰基醌二甲烷TCNQF4对碳纳米管膜层进行改性处理，经过改性处理后的碳纳米管的电导率可以达到12000s/cm～90000s/cm，而方块电阻可以达到10Ω/□。
本实施例所提供的触控单元，通过对本来就具有较好的机械特性和柔韧性的碳纳米管进行改性处理，使得采用改性后的碳纳米管制成的触控单元除了继续保持良好的机械特性和柔韧性外，还具有高电导率和低方块电阻的特性，满足了触控单元的性能要求，因此使得采用改性后的碳纳米管制成的触控单元能够很好地应用于柔性触控或柔性显示产品中。
实施例三
实施例三提供了一种触控单元，所述触控单元包括至少一层改性碳纳米管膜层，所述改性碳纳米管膜层由强氧化性材料对碳纳米管改性得到，所述触控单元还包括设置在所述改性碳纳米管膜层上的保护层。参见图4和5，图4所示触控单元包括一层改性碳纳米管膜层1和一层保护层2，图5所示触控单元包括四层连续设置的厚度互不相同的改性碳纳米管膜层1和一层保护层2。
本实施例所述的触控单元在上述实施例一和二的基础上，在改性碳纳米管膜层1上增加了保护层2，这是因为：
经过表面改性后的碳纳米管结构，其稳定性较差，尤其是在其暴漏在酸性、碱性等溶剂条件下，以及高温、高湿、紫外光存在的环境条件下，经过改性的碳纳米管结构其电性能表现方面不尽如人意，因此为实现其稳定性和信赖性要求，本实施例在改性后的碳纳米管膜层上设计一层保护层，保护层的功能是使改性后的碳纳米管膜层电性能稳定，并且满足长期稳定的信赖性要求。
为了实现改性后的碳纳米管电性能长期稳定的要求，所述保护层优选为导电聚合物保护层，即所述保护层由导电聚合物材料形成。一般地，所述导电聚合物材料包括：聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撑、聚苯撑乙炔和/或聚双炔。
在本实施例的一个优选实例中，所述导电聚合物保护层材料内设计有纳米金球或纳米银线，从而使得带有该材料制作的保护层的触控单元具有更高的稳定性。
在本实施例的另一个优选实例中，所述保护层通过涂覆溶液化处理后的导电聚合物材料的方式形成。即采用导电聚合物材料在使用制作碳纳米管保护层之前需要经过溶液化处理，本实施例采用离子液体作为导电聚合物的溶剂。
本实施例中用于制作导电聚合物溶液的离子液体包括：1-乙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐([emim]PF6)、1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐([bmim]PF6)、1-辛基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐([omim]PF6)、1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐([emim]BF4)、1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲基磺酸盐([bmim]CF3S03)、氯化1-丁基-3-甲基咪唑盐([bmim]Cl)等室温离子液体，具体可以是上述离子液体中的一种或一种以上。
其中，通过涂覆导电聚合物溶液的方式制作保护层，使得保护层的制作更加简单，更方便工业化生产。
本实施例的触控单元，包括改性碳纳米管膜层和保护层，所述经过改性的碳纳米管膜层除了继续保持碳纳米管良好的机械特性和柔韧性外，还具有高电导率和低方块电阻的特性，满足了触控单元的性能要求；所述保护层使得所述改性处理的具有不稳定性的碳纳米管膜层免受外界酸碱、高温、高湿、紫外光环境的影响，使得改性后的碳纳米管具有稳定的电性能，从而使得整个触控单元能够满足长期稳定的信赖性要求。本实施例所述的触控单元可以应用于各类型的触控面板上，如：可应用于On-cell、In-cell、Out-cell以及OGS(OneGlassSolution)产品上。
实施例四
实施例四提供了一种触控基板，包括衬底，衬底上设置有实施例一、二或三所述的触控单元。
优选地，当触控基板需要设置多层触控单元时，每两层触控单元之间需要设置绝缘层。
图6是本实施例四提供的触控基板的结构示意图；其中，1表示改性碳纳米管膜层，2表示保护层，3表示衬底，4表示光学透明树脂OCR或光学透明胶OCA，5表示绝缘层，6表示触控基板最上面的一层隔离保护层。
图6所示的触控基板设置了两层触控单元，在两层触控单元之间设置了绝缘层5。其中图6中的两层触控单元都分别包括一层改性碳纳米管膜层1和一层保护层2。
本实施例所述的触控基板，包括了上述实施例三所述的触控单元，因此本实施例所述的触控基板具有上述实施例三所述的有益效果。
实施例五
实施例五提供了一种触控显示装置，包括实施例四所述的触控基板。所述触控基板可以呈弯曲或弯折设置，所述触控基板上至少一个所述触控单元处于非显示区域，即触控单元可以设置在触控显示装置的侧面或背面或显示区域所述表面的非显示区域部分等区域。
本实施例所述的触控显示装置，包括了上述实施例四所述的触控基板，因此具有和实施例四具有一样的有益效果，另外本实施例所述的触控显示装置，可以包括一个或多个实施例四所述的触控基板，所述触控基板可以以弯曲或弯折的方式设置在所述触控显示装置的任何一个面上或连续几个面上。
实施例六
图7示出了实施例六提供的一种触控单元的制作方法流程图，该触控单元为上述实施例一或二所述的触控单元，参见图7，其制作方法包括：
步骤101：形成至少一层碳纳米管膜层。
在本步骤中，可以将碳纳米管分散液进行涂布、然后固化的方式形成所述碳纳米管膜层；也可以采用拉膜的方式将碳纳米管直接拉伸固化的方式形成。其中碳纳米管膜层的层数可以根据实际需要设置。
步骤102：使用强氧化性材料对所述碳纳米管膜层进行改性处理，得到改性碳纳米管膜层。
在本步骤中，可以选用强氧化性材料硝酸对所述碳纳米管膜层进行改性处理：
将所述碳纳米管膜层置于硝酸HNO3溶液5min～30min后取出；
对进行HNO3处理后的碳纳米管膜层进行清洗并使之干燥。
或者以下面另一种方式进行处理：
向所述碳纳米管膜层上喷淋HNO3溶液并放置5min～30min；
对进行HNO3处理后的碳纳米管膜层进行清洗并使之干燥。
当然，也可以选择亚硫酰氯SOCl2、全氟磺酸Nafion等其他强氧化性材料对所述碳纳米管膜层进行改性处理。
在对HNO3处理后的碳纳米管进行清洗和干燥时，具体地，可以采用去离子水对进行HNO3处理后的碳纳米管膜层进行清洗，采用风干、烘干或晾干的方式使得清洗后的碳纳米管膜层干燥。
其中，经过该步骤处理后的改性碳纳米管膜层具有高电导率和低方块电阻。
步骤103：在所述改性碳纳米管膜层上制作电极图案，得到带有电极图案的改性碳纳米管膜层。
在本实施例中，步骤102和步骤103可以进行互换，即可以先在碳纳米管膜层上制作电极图案，然后再对带有电极图案的碳纳米管膜层进行改性处理，其具体的改性处理过程类似，此处不再详述。
采用本实施例所述方法形成的触控单元，除了继续保持良好的机械特性和柔韧性外，还具有高电导率和低方块电阻的特性，满足了触控单元的性能要求，因此使得该触控单元能够很好地应用于柔性触控或柔性显示产品中。
另外，采用本实施例所述方法形成的触控单元由于采用了价格相对较低的碳纳米管材料，因此相比于采用石墨烯等其他柔性材料制成的触控单元，节省了成本。
采用本实施例所述方法形成的触控单元具有优秀的机械强度和柔韧性，使得该触控单元可以连续设计在触控面板的几个相邻表面上(比如侧面和背面)，从而克服了现有技术中触控单元只能设置在主显示面板上的缺陷，即应用本实施例所述的触控单元可以实现显示器件触控区域的扩大。同时采用本实施例所述方法形成的触控单元制成的显示器件，结合显示器件内部系统程序的配合，可实现无需点亮屏幕即可完成显示器件的某些指令操作，因此节省了能耗，使得显示器件的续航能力得以延长。
实施例七
图8示出了实施例七提供的一种触控单元的制作方法流程图，该触控单元为上述实施例三所述的触控单元，参见图8，该实施例中的触控单元的制作方法与上述实施例六的各项步骤都类似，不同之处在于，本实施例所述的触控单元制作方法在实施例六的基础之上还包括：
步骤104：在带有电极图案的改性碳纳米管膜层上形成保护层。
在改性碳纳米管膜层上设置保护层，是因为：
经过表面改性后的碳纳米管结构，其稳定性较差，尤其是在其暴漏在酸性、碱性等溶剂条件下，以及高温、高湿、紫外光存在的环境条件下，经过改性的碳纳米管结构其电性能表现方面不尽如人意，因此为实现其稳定性和信赖性要求，本实施例在改性后的碳纳米管膜层上设计一层保护层，保护层的功能是使改性后的碳纳米管膜层电性能稳定，并且满足长期稳定的信赖性要求。
在本实施例的实施工艺中，除了可以在带有电极图案的改性碳纳米管膜层上形成保护层之外，还可以调整设置保护层的工艺顺序，即还可以在步骤103之前设置保护层：
即在所述改性碳纳米管膜层上制作电极图案之前，在所诉改性碳纳米管膜层上设置保护层，然后在形成电极图案。
为了实现改性后的碳纳米管电性能长期稳定的要求，所述保护层由导电聚合物材料形成。一般地，所述导电聚合物材料包括：聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撑、聚苯撑乙炔和/或聚双炔。
在本实施例的一个优选实例中，在上述导电聚合物保护层材料内设计纳米金球或纳米银线，从而使得带有该材料制作的保护层的触控单元具有更高的稳定性。
在本实施例的另一个优选实例中，所述保护层通过涂覆溶液化处理后的导电聚合物材料的方式形成。即采用导电聚合物材料在使用制作碳纳米管保护层之前需要经过溶液化处理，本实施例采用离子液体作为导电聚合物的溶剂。
本实施例中用于制作导电聚合物溶液的离子液体包括：1-乙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐([emim]PF6)、1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐([bmim]PF6)、1-辛基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐([omim]PF6)、1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐([emim]BF4)、1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲基磺酸盐([bmim]CF3S03)、氯化1-丁基-3-甲基咪唑盐([bmim]Cl)等室温离子液体，具体可以是上述离子液体中的一种或一种以上。
其中，通过涂覆导电聚合物溶液的方式制作保护层，使得保护层的制作更加简单，更方便工业化生产。
本实施例的触控单元的制作方法，在改性碳纳米管膜层之上设置了保护层，所述保护层的功能是是改性后的碳纳米管结构的电性能稳定，以满足长期稳定的信赖性要求。
以上实施例仅用于说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (22)
1.一种触控单元，其特征在于，包括至少一层改性碳纳米管膜层，所述改性碳纳米管膜层由强氧化性材料对碳纳米管改性得到。
2.根据权利要求1所述的触控单元，其特征在于，所述强氧化性材料包括二氧化氮、溴单质、硝酸、亚硫酰氯、全氟磺酸和/或四氟四氰基醌二甲烷。
3.根据权利要求1所述的触控单元，其特征在于，所述触控单元还包括设置在所述改性碳纳米管膜层上的保护层。
4.根据权利要求3所述的触控单元，其特征在于，所述保护层由导电聚合物材料形成。
5.根据权利要求4所述的触控单元，其特征在于，所述保护层由添加有纳米金球或纳米银线的导电聚合材料形成。
6.根据权利要求4所述的触控单元，其特征在于，所述保护层通过涂覆溶液化处理后的导电聚合物材料的方式形成。
7.根据权利要求4～6任一所述的触控单元，其特征在于，所述导电聚合物材料包括：聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撑、聚苯撑乙炔和/或聚双炔。
8.一种触控基板，其特征在于，包括衬底，衬底上设置有如权利要求1～7任一项所述的触控单元。
9.根据权利要求8所述的触控基板，其特征在于，包括多层触控单元，每两层触控单元之间设置有绝缘层。
10.一种触控显示装置，其特征在于，包括如权利要求8所述的触控基板。
11.根据权利要求10所述的触控显示装置，其特征在于，所述触控基板呈弯曲或弯折设置，所述触控基板上至少一个所述触控单元处于非显示区域。
12.一种触控单元的制作方法，其特征在于，包括：
形成至少一层碳纳米管膜层；
使用强氧化性材料对所述碳纳米管膜层进行改性处理，得到改性碳纳米管膜层；
在所述改性碳纳米管膜层上制作电极图案，得到带有电极图案的改性碳纳米管膜层。
13.根据权利要求12所述的触控单元的制作方法，其特征在于，所述强氧化性材料包括二氧化氮、溴单质、硝酸、亚硫酰氯、全氟磺酸和/或四氟四氰基醌二甲烷。
14.根据权利要求12所述的触控单元的制作方法，其特征在于，还包括：
在带有电极图案的改性碳纳米管膜层上形成保护层；
或，
在所述改性碳纳米管膜层上制作电极图案之前，在所述改性碳纳米管膜层上形成保护层。
15.根据权利要求14所述的触控单元的制作方法，其特征在于，所述保护层由导电聚合物材料形成。
16.根据权利要求15所述的触控单元的制作方法，其特征在于，所述保护层由添加有纳米金球或纳米银线的导电聚合材料形成。
17.根据权利要求15所述的触控单元的制作方法，其特征在于，所述保护层通过涂覆溶液化处理后的导电聚合物材料的方式形成。
18.根据权利要求15～17任一所述的触控单元的制作方法，其特征在于，所述导电聚合物材料包括：聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撑、聚苯撑乙炔和/或聚双炔。
19.根据权利要求12所述的触控单元的制作方法，其特征在于，所述使用强氧化性材料对所述碳纳米管膜层进行改性处理包括：
将所述碳纳米管膜层置于硝酸溶液5min～30min后取出；
对进行硝酸溶液处理后的碳纳米管膜层进行清洗并使之干燥。
20.根据权利要求12所述的触控单元的制作方法，其特征在于，所述使用强氧化性材料对所述碳纳米管膜层进行改性处理包括：
向所述碳纳米管膜层上喷淋硝酸溶液并放置5min～30min；
对进行硝酸溶液处理后的碳纳米管膜层进行清洗并使之干燥。
21.根据权利要求19或20所述的触控单元的制作方法，其特征在于，采用去离子水对进行硝酸溶液处理后的碳纳米管膜层进行清洗。
22.根据权利要求19或20所述的触控单元的制作方法，其特征在于，采用风干、烘干或晾干的方式使得清洗后的碳纳米管膜层干燥。
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