CN104415635B - 收尘装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种收尘装置，其包括主过滤器，连接于产尘装置以接收来自产尘装置的粉尘；次过滤器，设置在主过滤器的下方，与主过滤器连接；两个平行过滤器，分别与次过滤器连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。能有效地去除粉尘；更好地保护机械泵和恒压真空泵。

Description

收尘装置
技术领域
本发明涉及收尘领域，尤其涉及一种收尘装置。
背景技术
化学气相沉积过程是在真空状态下，气体通入到炉内，在真空的状态下沉积，设备一般会连接真空泵，真空泵对设备抽真空产生一定的负压。目前采用化学气相沉积方法生产各种材料的过程中一般会产生大量的粉尘，若粉尘处理不当不但会沉积到产品里面，使产品的性能降低，品质不达标，而且因化学气相沉积过程一般是真空状态，在设备的后面一般会连接机械泵，粉尘一旦进入到机械泵里面会严重影响机械泵的使用寿命，更重要的是通过机械泵抽过来的粉尘不便于收集，可能导致整个系统瘫痪，无法使用。
发明内容
鉴于背景技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种收尘装置，其能有效地去除粉尘。
本发明的另一目的在于提供一种收尘装置，其能更好地保护价格昂贵的机械泵和恒压真空泵。
为了实现上述目的，本发明提供了一种收尘装置，其包括：主过滤器，连接于产尘装置的出气管以接收来自产尘装置的粉尘，主过滤器在下游端设有连接口；次过滤器，设置在主过滤器的下方，通过连接管与主过滤器下游端的连接口连接；两个平行过滤器，底部通过三通连接管分别与次过滤器的上端连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器，以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器的上部，以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。
本发明的有益效果如下：
本发明的收尘装置经过三级收尘之后可有效地去除粉尘；当产尘装置为化学气相沉积炉时，能够解决化学气相沉积过程中由于粉尘造成的一系列问题；操作简单；根据生产过程时间的长短以及粉尘的多少可以实现方便更换或者清洁，还能更好地保护价格昂贵的机械泵和恒压真空泵。
附图说明
图1为根据本发明的收尘装置的结构示意图；
图2为图1的虚线圆圈部分的放大图。
其中，附图标记说明如下：
具体实施方式
下面参照附图来详细说明根据本发明的收尘装置。
参照图1，根据本发明的收尘装置包括：主过滤器1，连接于产尘装置10的出气管101以接收来自产尘装置10的粉尘，主过滤器1在下游端设有连接口11；次过滤器2，设置在主过滤器1的下方，通过连接管T1与主过滤器1下游端的连接口11连接；两个平行过滤器3，底部通过三通连接管T2分别与次过滤器2的上部连接并分别与次过滤器2受控连通，两个平行过滤器3的一个平行过滤器3为备用，以在两个平行过滤器3中的另一个平行过滤器3不能正常工作时，该备用的平行过滤器3启动并工作；三个收尘桶4，分别安装于次过滤器2与两个平行过滤器3的下方，并分别受控连通于次过滤器2与两个平行过滤器3，以用于收集次过滤器2与两个平行过滤器3里面的粉尘；以及机械泵5，受控连通于两个平行过滤器3的上部，以接收从两个平行过滤器3中的正常工作的平行过滤器3排出的气体并向外排出。
在主过滤器1的一实施例中，主过滤器1为不锈钢圆筒结构。优选地，主过滤器1安装时可相对于产尘装置10向下倾斜。因主过滤器1直接与产尘装置10的出气管101连接，考虑到使粉尘尽可能多的流动到下方的对应的收尘桶4里面，并且还需要考虑到不能使粉尘落到产尘装置10内，影响产品的质量，因此主过滤器1主要采用不锈钢圆筒和挡板15（后面所述）的结构。主过滤器1安装时相对于产尘装置10向下倾斜，有利于粉尘向下的流动。
在主过滤器1的一实施例中，主过滤器1与产尘装置10的本体通过法兰（未示出）连接。优选地，主过滤器1与产尘装置10的本体之间的连接采用密封圈进行密封。
在主过滤器1的一实施例中，参照图1，主过滤器1的一端设置有备用口13和测温口16，以用于分别安装测量产尘装置10内的真空度的真空度计以及测量温度的温度计。
在主过滤器1的一实施例中，参照图1，主过滤器1在其与产尘装置10的出气管101的连接处内设有倾斜并遮挡该连接处的单板14，以用于防止主过滤器1里面的粉尘落到产尘装置10内。在一实施例中，单板14的倾斜角度可为120度。
在主过滤器1的一实施例中，主过滤器1内可拆卸式安装有上下交错排列的挡板15。优选地，各挡板15的外边缘与主过滤器1内壁接合。在主过滤器1的两端设置有定位销（未示出），用来固定该挡板15，在清理主过滤器1里面的粉尘时可以将该挡板15取下，该挡板15的作用主要是用来增加粉尘和气体的行程，使粉尘尽可能多的沉积下来，并且降低从产尘装置10内出来的气体的温度。当主过滤器1为圆筒结构时，挡板15的形状可以相适应地为大半圆形，优选为55%～60%圆缺的大半圆形。
在根据本发明的收尘装置中，次过滤器2与主过滤器1之间采用法兰（未示出）和连接管T1连接。优选地，次过滤器2与主过滤器1之间的连接采用密封圈进行密封。
在根据本发明的收尘装置中，参照图1，次过滤器2和相应的收尘桶4之间设置有阀门V1，用来控制次过滤器2与该收尘桶4的连通。阀门V1可为气动真空球阀。
在收尘桶4的一实施例中，各收尘桶4的底部可安装有万向轮（未示出）或者所述收尘装置还包括承载各收尘桶4的液压升降移动推车（未示出），由此使收尘桶4移动，以方便收尘桶4的清洁与更换。
在根据本发明的收尘装置的一实施例中，参照图1，所述收尘装置还可包括：反吹用气体源S，受控连通于两个平行过滤器3，当两个平行过滤器3中的所述另一个平行过滤器3不能正常工作时向该所述另一个平行过滤器3提供反吹用气体；防腐风机9，受控连通于两个平行过滤器3，以接收所述另一个平行过滤器3反吹处理后的部分气体；以及恒压真空泵6，受控连通于两个平行过滤器3，以对所述另一个平行过滤器3反吹处理后的且被防腐风机9抽吸后的剩余气体进行抽吸。其中，各平行过滤器3还受控连通于外部大气，且各平行过滤器3包括：壳体31；主反吹管32，设置于壳体31内部的上方并固定连接于壳体31且受控连通于反吹用气体源S；多个分反吹管33，位于壳体31内并位于主反吹管32下方且分别与主反吹管32受控连通；滤芯骨架34，位于壳体31内并固定连接于壳体31；布袋35，安装于滤芯骨架34；以及滤布36，设置在分反吹管33和滤芯骨架34之间。
在主过滤器1的一实施例中，参照图1，主过滤器1上设有真空正压安全阀12且受控连通于防腐风机9，当产尘装置10的出气管被粉尘堵塞不能正常出气导致产尘装置10内的压力升高达到真空正压安全阀12设置的安全值后，使产尘装置10、主过滤器1以及防腐风机9连通，以使产尘装置10泄压。真空正压安全阀12可以设置一定的安全值，一旦产尘装置10的出气管被大量的粉尘堵塞不能正常出气时，产尘装置10内的压力会升高，达到真空正压安全阀12设置的安全值后就会自动泄压，用以保护产尘装置10，泄压出来的气体经一管道连接到防腐风机9（甚至连接到后面所述的气体处理装置8），避免造成大气污染。
在根据本发明的收尘装置中，参照图1，所述收尘装置还可包括：控制组件7，通信连接于次过滤器2、两个平行过滤器3、机械泵5、恒压真空泵6、以及防腐风机9。当然，从广义角度讲，阀门V1-V15也可包括在控制组件7之内。
在控制组件7的一实施例中，参照图1，控制组件7可包括：脉冲电磁阀71，安装于各平行过滤器3的主反吹管32与相应的分反吹管33之间，以控制主反吹管32与该相应的分反吹管32之间的通断；差压变送器72，安装于各平行过滤器3的侧面，检测各平行过滤器3与次过滤器2之间的压力差，若压力差高于生产工艺设定的压力差，通过差压变送器72切换两个平行过滤器3，并开启反吹用气体源S、防腐风机9、以及恒压真空泵6对压力差高于生产工艺设定的压力差的平行过滤器3进行反吹操作；以及压力变送器73，安装于平行过滤器3的顶部，控制恒压真空泵6对平行过滤器3抽真空的真空度。
在根据本发明的收尘装置中，参照图1，所述收尘装置还可包括：气体处理装置8，受控连通于平行过滤器3、机械泵5、恒压真空泵6且连通于位于下游的防腐风机9，以对应接收平行过滤器3、机械泵5、恒压真空泵6排出的气体。从平行过滤器3出来的气体基本上已经不再含有粉尘，达到除尘的目的，气体经过机械泵5进入到气体处理装置8里面进行处理。从恒压真空泵6出来的气体同样进入到气体处理装置8里面进行处理。
在气体处理装置8的一实施例中，参照图1，气体处理装置8可为喷淋塔。
在产尘装置10的一实施例中，参照图1，产尘装置10可为化学气相沉积炉。
在根据本发明的收尘装置中，反吹用气体源S为提供氮气的反吹用气体源。
下面以化学气相沉积炉、喷淋塔为例简单说明根据本发明的收尘装置的操作。
参照图1，启动机械泵5、气体处理装置8（即喷淋塔），气体从产尘装置10（即化学气相沉积炉）的出气管101流出，首先进入主过滤器1，在主过滤器1内依次经过单板14和挡板15，之后从主过滤器1中流出进入到次过滤器2中，当次过滤器2中存在有粉尘时，阀门V1开启，使次过滤器2与相应的收尘桶4连通，从而使次过滤器2中被过滤出来的粉尘落入到与其连通的收尘桶4中。
从次过滤器2上部流出的气体经由压差变送器72的控制并经由三通管T2的对应通路进入到平行过滤器3的其中之一（以图1中左侧的平行过滤器3为例）的底部，气体中含有的粉尘在重力的作用下下落，落到与其连通的收尘桶4里面（即阀门V2开启），气体经过平行过滤器3上部的滤芯骨架34和布袋35进行过滤后基本上已经不再含有粉尘，达到除尘目的后沿线路P1流动经过机械泵5（同时线路P2、恒压真空泵6、线路P3不工作，即反吹用气体源S、恒压真空泵6、防腐风机9不进行反吹），通过机械泵5泵送进入到气体处理装置8里面进行处理。
生产过程中，通过差压变送器72检测左侧的平行过滤器3与次过滤器2里面的压力差，若压力差高于生产工艺的设定值，说明此平行过滤器3里面的粉尘很多，布袋35被粉尘堵塞，此时差压变送器72切换两个平行过滤器3（从图1中左侧的平行过滤器3切换到右侧的平行过滤器3，由此次过滤器2上端流出的气体经由三通管T2的对应通路进入到右侧的平行过滤器3的底部，通过右侧的平行过滤器3进行上述除尘操作，达到除尘目的后沿线路P1′流动经过机械泵5，通过机械泵5泵送进入到气体处理装置8里面进行处理，而且线路P2′、恒压真空泵6、线路P3′不工作（即反吹用气体源S、恒压真空泵6、防腐风机9不进行反吹）。对于粉尘堵塞的平行过滤器3（即左侧的平行过滤器3），相应的与外部大气受控连通的阀门V7打开，进行泄压，之后关闭阀门V7，之后反吹用气体源S对应开启（即开启阀门V13）以及防腐风机9对应开启（即开启阀门V11），反吹用气体源S利用氮气对平行过滤器3进行反吹，防腐风机9从平行过滤器3的端口E抽吸出反吹的气体，待一定时间后（即防腐风机9从平行过滤器3的端口E抽吸出大部分反吹的气体之后），阀门V11关闭，恒压真空泵6开启（即开启阀门V12），平行过滤器3内剩余的气体沿P2线路抽出并送达至气体处理装置8里面进行处理（即阀门V15开启），恒压真空泵6对左侧的平行过滤器3进行反吹的真空度由压力变送器73控制。同理，当右侧的平行过滤器3里面的粉尘很多，布袋35被粉尘堵塞时，可以采用前述相同的控制工艺来进行。

Claims (6)

1.一种收尘装置，其特征在于，包括：
主过滤器(1)，连接于产尘装置(10)的出气管(101)以接收来自产尘装置(10)的粉尘，主过滤器(1)在下游端设有连接口(11)；
次过滤器(2)，设置在主过滤器(1)的下方，通过连接管(T1)与主过滤器(1)下游端的连接口(11)连接；
两个平行过滤器(3)，底部通过三通连接管(T2)分别与次过滤器(2)的上端连接并分别与次过滤器(2)受控连通，两个平行过滤器(3)的一个平行过滤器(3)为备用以在两个平行过滤器(3)中的另一个平行过滤器(3)不能正常工作时该备用的平行过滤器(3)启动并工作；
三个收尘桶(4)，分别安装于次过滤器(2)与两个平行过滤器(3)的下方，并分别受控连通于次过滤器(2)与两个平行过滤器(3)，以用于收集次过滤器(2)与两个平行过滤器(3)里面的粉尘；以及
机械泵(5)，受控连通于两个平行过滤器(3)的上部，以接收从两个平行过滤器(3)中的正常工作的平行过滤器(3)排出的气体并向外排出；
所述收尘装置还包括：
反吹用气体源(S)，受控连通于两个平行过滤器(3)，当两个平行过滤器(3)中的所述另一个平行过滤器(3)不能正常工作时向该所述另一个平行过滤器(3)提供反吹用气体；
防腐风机(9)，受控连通于两个平行过滤器(3)，以接收所述另一个平行过滤器(3)反吹处理后的部分气体；以及
恒压真空泵(6)，受控连通于两个平行过滤器(3)，以对所述另一个平行过滤器(3)反吹处理后的且被防腐风机(9)抽吸后的剩余气体进行抽吸；
其中，各平行过滤器(3)还受控连通于外部大气，且各平行过滤器(3)包括：
壳体(31)；
主反吹管(32)，设置于壳体(31)内部的上方并固定连接于壳体(31)且受控连通于反吹用气体源(S)；
多个分反吹管(33)，位于壳体(31)内并位于主反吹管(32)下方且分别与主反吹管(32)受控连通；
滤芯骨架(34)，位于壳体(31)内并固定连接于壳体(31)；
布袋(35)，安装于滤芯骨架(34)；以及
滤布(36)，设置在分反吹管(33)和滤芯骨架(34)之间；
主过滤器(1)安装时相对于产尘装置(10)向下倾斜。
2.根据权利要求1所述的收尘装置，其特征在于，主过滤器(1)上设有真空正压安全阀(12)且受控连通于防腐风机(9)，当产尘装置(10)的出气管被粉尘堵塞不能正常出气导致产尘装置(10)内的压力升高达到真空正压安全阀(12)设置的安全值后，使产尘装置(10)、主过滤器(1)以及防腐风机(9)连通，以使产尘装置(10)泄压。
3.根据权利要求1所述的收尘装置，其特征在于，所述收尘装置还包括：
控制组件(7)，通信连接于次过滤器(2)、平行过滤器(3)、机械泵(5)、恒压真空泵(6)以及防腐风机(9)。
4.根据权利要求3所述的收尘装置，其特征在于，控制组件(7)包括：
脉冲电磁阀(71)，安装于各平行过滤器(3)的主反吹管(32)与相应的分反吹管(33)之间，以控制主反吹管(32)与该相应的分反吹管(32)之间的通断；
差压变送器(72)，安装于各平行过滤器(3)的侧面，检测各平行过滤器(3)与次过滤器(2)之间的压力差，若压力差高于生产工艺设定的压力差，通过差压变送器(72)切换两个平行过滤器(3)，并开启反吹用气体源(S)、防腐风机(9)、以及恒压真空泵(6)对压力差高于生产工艺设定的压力差的平行过滤器(3)进行反吹操作；以及
压力变送器(73)，安装于平行过滤器(3)的顶部，控制恒压真空泵(6)对平行过滤器(3)抽真空的真空度。
5.根据权利要求3所述的收尘装置，其特征在于，所述收尘装置还包括：
气体处理装置(8)，受控连通于平行过滤器(3)、机械泵(5)、恒压真空泵(6)且连通于位于下游的防腐风机(9)，以对应接收平行过滤器(3)、机械泵(5)、恒压真空泵(6)排出的气体。
6.根据权利要求5所述的收尘装置，其特征在于，气体处理装置(8)为喷淋塔，产尘装置(10)为化学气相沉积炉，反吹用气体源(S)为提供氮气的反吹用气体源。
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