CN104307353A - 一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂、装置及使用方法 - Google Patents

一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂、装置及使用方法 Download PDF

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Abstract

一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂占处理剂的质量百分比为50～95%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为5～50%。本发明的固体处理剂通过吸收剂将磷化氢气体氧化成磷酸盐，以及吸附剂吸收部分磷化氢气体，从而达到进化磷化氢气体的目的；该固体处理剂用于净化磷化氢气体方便简单，净化效率高达99%以上，无二次污染，不产生废液，对环境零污染。本发明还公开了一种用于净化磷化氢气体的装置及使用方法。

Description

一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂、装置及使用方法
技术领域
本发明涉及一种有毒气体处理剂及处理装置，尤其是涉及一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂、装置及使用方法。
背景技术
粮食、烟草、中草药等行业需要长时间的仓储，在仓储的过程中很容易产生虫害。因此，国内大部分粮库、烟厂、中草药药库，分别在春季、秋季(害虫幼虫和卵孵化期)分两次进行储存仓库的杀虫作业。杀虫过程中首先需要将库房进行密闭或用塑料薄膜制成帐幕将需要进行杀虫的储物进行密封，在密闭空间内通入磷化氢气体，利用磷化氢的生物毒性将害虫杀死。但在杀虫后，库房或帐幕内会残留大量的磷化氢气体，而磷化氢气体具有毒性，对人体健康以及大气环境会产生威胁，必须去除。
目前，常用的磷化氢气体的处理方法有干法和湿法两大类，如燃烧法、吸附法和氧化法等。
现有技术中的溶液氧化吸收法一般使用次氯酸盐作为处理剂，当使用次氯酸钠作为处理剂时，一般会发生如下的化学反应：
主反应：PH3+2Ca(ClO)2→2CaCl2+H3PO4
副反应：3CaCl2+4H3PO4+2Ca(ClO)2→2Ca3(PO4)2+6Cl2↑+6H2O
由上述处理过程中发生的化学反应可以看出，在处理过程中产生了二次污染气体—氯气。上述溶液氧化吸收法使用次氯酸盐作为处理剂时，次氯酸盐需要配制成溶液，且需要相应的湿法设备，比如填料塔、喷淋塔、鼓泡塔等，这些设备一般体积较大，搬运不方便，不适合流动操作作业。
CN 104098094 A公开了一种吸附磷化氢的活性炭及其制备方法，该吸附磷化氢的活性炭及其制备方法是将蒙脱土、高岭土、焦煤及锯末混合后经破碎和磨粉后得混合料，将所述混合料与改性剂及水按比例拌匀并进行挤压成型得成型料；所述改性剂为甲硝胺、碘化钾及碳酸氢钠的混合液；将所述的成型料置入炭化炉中炭化后得炭化料；将所述的炭料置入活化炉中活化后得活性炭。该发明的吸附磷化氢的活性炭制备复杂，且在使用时容易造成含磷的活性炭的二次污染。
CN 102240499 B公开了一种用于处理磷化氢气体的复合固体吸收剂及其制备方法，其中复合固体吸收剂的原料按质量白分比构成为氧化剂75～90%，膨松剂5～20%，吸附剂0～5%，防结块剂0～2. 5%，分散剂0～2. 5%；其中氧化剂为次氯酸钙或次氯酸钾，膨松剂为木屑或白炭黑，吸附剂为颗粒状活性炭或粉末状活性炭，防结块剂为石墨粉，分散剂为滑石粉或腻子粉；本复合固体吸收剂是通过等量倍增法搅拌混合得到的。该发明的用于处理磷化氢气体的复合固体吸收剂仍然无法避免处理过程中产生氯气的二次污染问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种无二次污染，不产生废液且使用方便的用于净化磷化氢气体的固体处理剂、装置及使用方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂用于构成所述磷化氢气体的通道，吸附磷化氢气体并延长其与吸收剂的反应时间。
进一步，所述吸收剂占处理剂的质量百分比为50~95%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为5~50%。
进一步，所述过氧化物为过氧化钠、过氧化钾、过氧化钙、过氧化镁、过氧化锌、过一硫酸氢钾、过氧化二苯甲酰等过氧化物中的一种或几种。
进一步，所述吸附剂为分子筛、活性氧化铝或活性碳中的一种或几种。
进一步，所述处理剂还包括分散剂，膨松剂和防潮剂中的一种或几种。
进一步，所述处理剂呈蜂窝型、菱形、五面体、六面体或八面体。
一种用于净化磷化氢气体的装置，包括净化罐，进气管，出气管，电磁阀，磷化氢传感器和滤盒；所述净化罐的底部设有进气管；所述进气管的末端设有气体均布器；所述净化罐的顶部设有出气管；所述进气管和出气管上设有电磁阀；所述电磁阀与PLC控制器电连接；所述出气管下方设有磷化氢传感器；所述磷化氢传感器与PLC控制器连接；所述滤盒放置在净化罐内；所述滤盒内填充有用于净化磷化氢气体的固体处理剂。
一种用于净化磷化氢气体的装置的使用方法，含磷化氢的气体从进气管通过气体均布器均匀分散进入净化罐内，并逐级通过滤盒，滤盒内的固体处理剂通过吸收剂将磷化氢氧化吸收以及吸附剂的吸附，通过PLC控制器设置需要调控的磷化氢气体浓度的目标值；当磷化氢传感器检测到磷化氢气体浓度低于目标值时，PLC控制器开启电磁阀，净化后的气体经出气管排出；当磷化氢传感器检测到磷化氢气体浓度高于 目标值时，PLC控制器关闭电磁阀，待气体中的磷化氢气体浓度降低至 目标值时，PLC控制器开启电磁阀，净化后的气体经出气管排出。
进一步，所述磷化氢气体浓度的目标值不高于0.25 mg/m3。
本发明之一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂的有益效果：通过吸收剂将磷化氢气体氧化成磷酸盐，以及吸附剂吸收部分磷化氢气体，从而达到进化磷化氢气体的目的；该固体处理剂用于净化磷化氢气体方便简单，净化效率高达99%以上，无二次污染，不产生废液，对环境零污染。
本发明之一种用于净化磷化氢气体的装置及使用方法的有益效果：该装置结构简单，自动化控制，且净化效率高达99%以上；使用方法操作简单方便。
附图说明
图1—为实施例1一种用于净化磷化氢气体的装置的结构示意图；
图2—为实施例2一种用于净化磷化氢气体的装置的结构示意图；
图3—为实施例3一种用于净化磷化氢气体的装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
实施例1
一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂用于构成所述磷化氢气体的通道，吸附磷化氢气体并延长其与吸收剂的反应时间。
所述吸收剂占处理剂的质量百分比为50%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为50%。
所述过氧化物为过氧化钠。
所述吸附剂为分子筛。
所述处理剂呈蜂窝型。
参照图1，一种用于净化磷化氢气体的装置，包括净化罐4，进气管1，出气管9，电磁阀2，磷化氢传感器8和滤盒6；所述净化罐4的底部设有进气管1；所述进气管1的末端设有气体均布器3；所述净化罐4的顶部设有出气管9；所述进气管1和出气管9上设有电磁阀2；所述电磁阀2与PLC控制器5电连接；所述出气管9下方设有磷化氢传感器8；所述磷化氢传感器8与PLC控制器5连接；所述滤盒6放置在净化罐4内；所述滤盒6内填充有用于净化磷化氢气体的固体处理剂7。
所述滤盒6为方形，相邻的滤盒6间隔0.5m。
一种用于净化磷化氢气体的装置的使用方法，含磷化氢的气体从进气管1通过气体均布器3均匀分散进入净化罐4内，并逐级通过滤盒6，滤盒6内的固体处理剂7通过吸收剂将磷化氢氧化吸收以及吸附剂的吸附，通过PLC控制器设置需要调控的磷化氢气体浓度的目标值 为0.15mg/m3；当磷化氢传感器8检测到磷化氢气体浓度低于目标值时，PLC控制器5开启电磁阀2，净化后的气体经出气管排出；当磷化氢传感器8检测到磷化氢气体浓度高于目标值时，PLC控制器5关闭电磁阀2，待气体中的磷化氢气体浓度降低至目标值以下时，PLC控制器5开启电磁阀2，净化后的气体经出气管9排出。
本实施例的一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂的工作原理：固体处理剂中吸收剂与磷化氢气体发生如下化学反应：
PH3+4Na2O2+H2O→Na3PO4+5NaOH
本实施例中的处理过程中发生的化学反应可以看出，使用本实施例中的处理剂处理磷化氢气体简单易行，无二次污染，不产生废水，且处理效率高。使用本实施例中的处理剂对磷化氢气体进行处理时，由于该处理剂中使用了吸附剂构成了磷化氢气体进入处理剂的通道，提高了对磷化氢的处理效果。
一个体积为1000m3的仓库，熏蒸后的磷化氢浓度为200mg/m3，在滤盒内放置固体处理剂５Kg，磷化氢尾气在风机作用下，从仓库由进气管1进入净化罐4，通过净化罐4中的滤盒6，在滤盒6中与Na2O2发生化学氧化还原反应，转化成无毒无害的物质；或被滤盒6中的分子筛吸附剂吸附；净化后的气体由出气管9排出，净化后的仓库经检测磷化氢浓度为0.11mg/m3。
实施例2
一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂用于构成所述磷化氢气体的通道，吸附磷化氢气体并延长其与吸收剂的反应时间；还包括分散剂和膨松剂。
所述吸收剂占处理剂的质量百分比为87.5%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为10%；所述分散剂占处理剂的质量百分比为2%；所述膨松剂占处理剂的质量百分比为0.5%。
所述过氧化物为过氧化钙。
所述吸附剂为活性氧化铝。
所述处理剂呈六面体。
参照图2，一种用于净化磷化氢气体的装置，包括净化罐4，进气管1，出气管9，电磁阀2，磷化氢传感器8和滤盒6；所述净化罐4的底部设有进气管1；所述进气管1的末端设有气体均布器3；所述净化罐4的顶部设有出气管9；所述进气管1和出气管9上设有电磁阀2；所述电磁阀2与PLC控制器5电连接；所述出气管9下方设有磷化氢传感器8；所述磷化氢传感器8与PLC控制器5连接；所述滤盒6放置在净化罐4内；所述滤盒6内填充有用于净化磷化氢气体的固体处理剂7。
所述净化罐4内底部和顶部的滤盒6呈蘑菇形，中间的滤盒6为方形，相邻的滤盒6间隔0.8m。
一种用于净化磷化氢气体的装置的使用方法，含磷化氢的气体从进气管1通过气体均布器3均匀分散进入净化罐4内，并逐级通过滤盒6，滤盒6内的固体处理剂7通过吸收剂将磷化氢氧化吸收以及吸附剂的吸附，通过PLC控制器设置需要调控的磷化氢气体浓度的目标值 为0.10mg/m3；当磷化氢传感器8检测到磷化氢气体浓度低于目标值时，PLC控制器5开启电磁阀2，净化后的气体经出气管排出；当磷化氢传感器8检测到磷化氢气体浓度高于目标值时，PLC控制器5关闭电磁阀2，待气体中的磷化氢气体浓度降低至目标值以下时，PLC控制器5开启电磁阀2，净化后的气体经出气管9排出。
本实施例的一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂的工作原理：固体处理剂中吸收剂与磷化氢气体发生如下化学反应：
2PH3+8CaO2+2H2O→Ca3(PO4)2+5Ca(OH)2
本实施例中的处理过程中发生的化学反应可以看出，使用本实施例中的处理剂处理磷化氢气体简单易行，无二次污染，不产生废水，且处理效率高。使用本实施例中的处理剂对磷化氢气体进行处理时，由于该处理剂中使用了吸附剂构成了磷化氢气体进入处理剂的通道，提高了对磷化氢的处理效果。
一个体积为1000m3的仓库，熏蒸后的磷化氢浓度为1mg/m3，在滤盒内放置固体处理剂1Kg，磷化氢尾气在风机作用下，从仓库由进气管1进入净化罐4，通过净化罐4中的滤盒6，在滤盒6中与CaO2发生化学氧化还原反应，转化成无毒无害的物质；或被滤盒6中的分子筛吸附剂吸附；净化后的气体由出气管9排出，净化后的仓库经检测磷化氢浓度为0 mg/m3。
实施例3
一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂用于构成所述磷化氢气体的通道，吸附磷化氢气体并延长其与吸收剂的反应时间；还包括分散剂和膨松剂。
所述吸收剂占处理剂的质量百分比为70%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为26.5%；所述分散剂占处理剂的质量百分比为2.5%；所述防潮剂占处理剂的质量百分比为1.0%。
所述过氧化物为过氧化钾。
所述吸附剂为活性炭。
所述处理剂呈八面体。
参照图3，一种用于净化磷化氢气体的装置，包括净化罐4，进气管1，出气管9，电磁阀2，磷化氢传感器8和滤盒6；所述净化罐4的底部设有进气管1；所述进气管1的末端设有气体均布器3；所述净化罐4的顶部设有出气管9；所述进气管1和出气管9上设有电磁阀2；所述电磁阀2与PLC控制器5电连接；所述出气管9下方设有磷化氢传感器8；所述磷化氢传感器8与PLC控制器5连接；所述滤盒6放置在净化罐4内；所述滤盒6内填充有用于净化磷化氢气体的固体处理剂7。
所述净化罐4内底部滤盒6呈倒蘑菇形，顶部的滤盒呈椎体；中间的滤盒6为方形，相邻的滤盒6间隔0.6m。
一种用于净化磷化氢气体的装置的使用方法，含磷化氢的气体从进气管1通过气体均布器3均匀分散进入净化罐4内，并逐级通过滤盒6，滤盒6内的固体处理剂7通过吸收剂将磷化氢氧化吸收以及吸附剂的吸附，通过PLC控制器设置需要调控的磷化氢气体浓度的目标值 为0.25mg/m3；当磷化氢传感器8检测到磷化氢气体浓度低于目标值时，PLC控制器5开启电磁阀2，净化后的气体经出气管排出；当磷化氢传感器8检测到磷化氢气体浓度高于目标值时，PLC控制器5关闭电磁阀2，待气体中的磷化氢气体浓度降低至目标值以下时，PLC控制器5开启电磁阀2，净化后的气体经出气管9排出。
本实施例的一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂的工作原理：固体处理剂中吸收剂与磷化氢气体发生如下化学反应：
PH3+4K2O2+H2O→K3PO4+5KOH
本实施例中的处理过程中发生的化学反应可以看出，使用本实施例中的处理剂处理磷化氢气体简单易行，无二次污染，不产生废水，且处理效率高。使用本实施例中的处理剂对磷化氢气体进行处理时，由于该处理剂中使用了吸附剂构成了磷化氢气体进入处理剂的通道，提高了对磷化氢的处理效果。
一个体积为1000m3的仓库，熏蒸后的磷化氢浓度为400mg/m3，在滤盒内放置固体处理剂10Kg，磷化氢尾气在风机作用下，从仓库由进气管1进入净化罐4，通过净化罐4中的滤盒6，在滤盒6中与K2O2发生化学氧化还原反应，转化成无毒无害的物质；或被滤盒6中的分子筛吸附剂吸附；净化后的气体由出气管9排出，净化后的仓库经检测磷化氢浓度为0.21 mg/m3。
实施例4
一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂用于构成所述磷化氢气体的通道，吸附磷化氢气体并延长其与吸收剂的反应时间；还包括分散剂和膨松剂。
所述吸收剂占处理剂的质量百分比为77%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为20%；所述分散剂占处理剂的质量百分比为2.0%；所述蓬松剂占处理剂的质量百分比为0.5%；所述防潮剂占处理剂的质量百分比为0.5%。
所述过氧化物为过氧化二苯甲酰。
所述吸附剂为活性氧化铝。
所述处理剂呈五面体。
一种用于净化磷化氢气体的装置及使用方法同实施例3。
一个体积为1000m3的仓库，熏蒸后的磷化氢浓度为300mg/m3，在滤盒内放置处理剂7.5Kg，磷化氢尾气在风机作用下，从仓库由进气管1进入净化罐4，通过净化罐4中的滤盒6，在滤盒6中与过氧化二苯甲酰发生化学氧化还原反应，转化成无毒无害的物质；或被滤盒6中的分子筛吸附剂吸附；净化后的气体由出气管9排出，净化后的仓库经检测磷化氢浓度为0.17mg/m3。
实施例5
一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂用于构成所述磷化氢气体的通道，吸附磷化氢气体并延长其与吸收剂的反应时间；还包括分散剂和膨松剂。
所述吸收剂占处理剂的质量百分比为83%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为15%；所述分散剂占处理剂的质量百分比为1.0%；所述蓬松剂占处理剂的质量百分比为0.5%；所述防潮剂占处理剂的质量百分比为0.5%。
所述过氧化物为过氧化镁。
所述吸附剂为分子筛。
所述处理剂呈蜂窝型。
一种用于净化磷化氢气体的装置及使用方法同实施例1。
一个体积为1000m3的仓库，熏蒸后的磷化氢浓度为100mg/m3，在滤盒内放置处理剂2Kg，磷化氢尾气在风机作用下，从仓库由进气管1进入净化罐4，通过净化罐4中的滤盒6，在滤盒6中与过氧化镁发生化学氧化还原反应，转化成无毒无害的物质；或被滤盒6中的分子筛吸附剂吸附；净化后的气体由出气管9排出，净化后的仓库经检测磷化氢浓度为0.08mg/m3。
实施例6
一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂用于构成所述磷化氢气体的通道，吸附磷化氢气体并延长其与吸收剂的反应时间；还包括分散剂和膨松剂。
所述吸收剂占处理剂的质量百分比为95%，其中过氧化锌的含量为50%，过一硫酸氢钾的含量为45%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为5%。
所述过氧化物为过氧化锌和过一硫酸氢钾。
所述吸附剂为活性过氧化铝。
所述处理剂呈蜂窝型。
一种用于净化磷化氢气体的装置及使用方法同实施例2。
一个体积为1000m3的仓库，熏蒸后的磷化氢浓度为10mg/m3，在滤盒内放置处理剂10Kg，磷化氢尾气在风机作用下，从仓库由进气管1进入净化罐4，通过净化罐4中的滤盒6，在滤盒6中与过氧化锌和过一硫酸氢钾发生化学氧化还原反应，转化成无毒无害的物质；或被滤盒6中的分子筛吸附剂吸附；净化后的气体由出气管9排出，净化后的仓库经检测磷化氢浓度为0.03mg/m3。
实施例7
一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层；所述吸收剂用于构成所述磷化氢气体的通道，吸附磷化氢气体并延长其与吸收剂的反应时间；还包括分散剂和膨松剂。
所述吸收剂占处理剂的质量百分比为77%，其中过氧化钾的含量为50%，过氧化二苯甲酰的含量为27%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为10%；所述分散剂占处理剂的质量百分比为1.5%；所述蓬松剂占处理剂的质量百分比为0.9%；所述防潮剂占处理剂的质量百分比为0.6%。
一种用于净化磷化氢气体的装置及使用方法同实施例1。
一个体积为3000m3的仓库，熏蒸后的磷化氢浓度为150mg/m3，在滤盒内放置处理剂30Kg，磷化氢尾气在风机作用下，从仓库由进气管1进入净化罐4，通过净化罐4中的滤盒6，在滤盒6中与过氧化钾和过氧化二苯甲酰发生化学氧化还原反应，转化成无毒无害的物质；或被滤盒6中的分子筛吸附剂吸附；净化后的气体由出气管9排出，净化后的仓库经检测磷化氢浓度为0.08mg/m3。
一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，其组成成分还可以是质量比为1:1的过氧化钠和过氧化二苯甲酰的混合物，总含量占处理剂的质量百分比为80%，以及20%的活性炭；或者质量比为3:1的过氧化钙和过氧化二苯甲酰的混合物，总含量占处理剂的质量百分比为78%，以及20%的活性过氧化铝，1.5%的分散剂， 1.0%的蓬松剂， 0.5%的防潮剂；或者质量比为2:2:1的过氧化钠、过氧化钙和过一硫酸氢钾的混合物，总含量占处理剂的质量百分比为80.5%，以及18%的分子筛，1.5%的分散剂。以上技术特征的改变，本领域的技术人员通过文字描述可以理解并实施，故不再另作附图加以说明。

Claims (9)

1.一种用于净化磷化氢气体的固体处理剂，其特征在于，包括吸收剂和吸附剂；所述吸收剂为过氧化物；所述吸收剂附着在吸附剂的外表层。
2.如权利要求1所述用于净化磷化氢气体的固体处理剂，其特征在于，所述吸收剂占处理剂的质量百分比为50~95%；所述吸附剂占处理剂的质量百分比为5~50%。
3.如权利要求1所述用于净化磷化氢气体的固体处理剂，其特征在于，所述过氧化物为过氧化钠、过氧化钾、过氧化钙、过氧化镁、过氧化锌、过一硫酸氢钾、过氧化二苯甲酰中的一种或几种。
4. 如权利要求1所述用于净化磷化氢气体的固体处理剂，其特征在于，所述吸附剂为分子筛、活性氧化铝或活性碳中的一种或几种。
5.如权利要求1~4任一项所述用于净化磷化氢气体的固体处理剂，其特征在于，所述处理剂还包括分散剂，膨松剂和防潮剂中的一种或几种。
6.如权利要求1~4任一项所述用于净化磷化氢气体的固体处理剂，其特征在于，所述处理剂呈蜂窝型、菱形、五面体、六面体或八面体。
7.一种用于净化磷化氢气体的装置，其特征在于，包括净化罐，进气管，出气管，电磁阀，磷化氢传感器和滤盒；所述净化罐的底部设有进气管；所述进气管的末端设有气体均布器；所述净化罐的顶部设有出气管；所述进气管和出气管上设有电磁阀；所述电磁阀与PLC控制器电连接；所述出气管下方设有磷化氢传感器；所述磷化氢传感器与PLC控制器连接；所述滤盒放置在净化罐内；所述滤盒内填充有如权利要求1~6任一项所述的用于净化磷化氢气体的固体处理剂。
8.一种如权利要求7所述的用于净化磷化氢气体的装置的使用方法，其特征在于，含磷化氢的气体从进气管通过气体均布器均匀分散进入净化罐内，并逐级通过滤盒，滤盒内的固体处理剂通过吸收剂将磷化氢氧化吸收以及吸附剂的吸附，通过PLC控制器设置需要调控的磷化氢气体浓度的目标值；当磷化氢传感器检测到磷化氢气体浓度低于目标值时，PLC控制器开启电磁阀，净化后的气体经出气管排出；当磷化氢传感器检测到磷化氢气体浓度高于 目标值时，PLC控制器关闭电磁阀，待气体中的磷化氢气体浓度降低至 目标值时，PLC控制器开启电磁阀，净化后的气体经出气管排出。
9.一种如权利要求8所述的用于净化磷化氢气体的装置的使用方法，其特征在于，所述磷化氢气体浓度的目标值不高于0.25 mg/m3。
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