CN104280200A - 检测真空腔体密封性能的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种检测真空腔体密封性能的方法,所述真空腔体之闭合处包括双密封圈,所述双密封圈之间形成密封腔,所述密封腔的腔壁处设抽气孔,其特征在于,所述检测真空腔体密封性能的方法包括:将抽气阀通过管路连接至所述抽气孔,形成抽气管路;在所述抽气管路上安装压力计;开启所述抽气阀,对所述密封腔进行抽真空,在抽真空的过程中,监控所述压力计;及根据所述压力计的读数判断所述双密封圈的密封性。本发明能够快速对所述密封腔抽真空,跟据压力计能够判断双密封圈的密封性。

Description

检测真空腔体密封性能的方法
技术领域
[0001] 本发明涉及针对真空腔体闭合处,检测其密封性能的方法。
背景技术
[0002] 真空腔体闭合处一般采取密封圈(Ο-ring)进行密封。现有技术中的一种密封结构为:采用双密封圈进行密封,双密封圈之间的腔壁处有开孔,连接抽气泵(Pump),可对双密封圈之间的空间进行抽气,实现双密封圈之间的抽真空。这种结构虽然能实现密封可靠性的提高,但也存在一定的问题,主要表现在:
[0003] 1、真空受体的开腔体困难,在开腔体时,由于双密封圈之间处于真空状态,需要克服大气压强的存在分离腔体,特别是针对大的腔体则更困难;
[0004] 2、较难保证两根密封圈同时密封好,当两根密封圈之中只有一根密封圈出现密封问题而产生漏气,不会对腔体的密封性产生影响,但此时却失去了双密封圈密封的意义,降低了密封可靠性。
[0005] 因此,如何设计一种真空腔体闭合处的检测密封性能的方法,能够实现快速开腔,容易开腔,而且,能够快速判断真空腔体密封处的密封圈密封性,一直为业界研究的课题。
发明内容
[0006] 本发明所要解决的技术问题在于提供一种检测真空腔体密封性能的方法,可以使阵列基板与彩膜基板的贴合过程中实现精确对位,避免由于搬运或翻转而引起的基板对位不良的情形。
[0007] 为了实现上述目的,本发明实施方式提供如下技术方案:
[0008] 本发明供了一种检测真空腔体密封性能的方法,所述真空腔体之闭合处包括双密封圈,所述双密封圈之间形成密封腔,所述密封腔的腔壁处设抽气孔,所述检测真空腔体密封性能的方法包括:将抽气阀通过管路连接至所述抽气孔,形成抽气管路;在所述抽气管路上安装压力计;开启所述抽气阀,对所述密封腔进行抽真空,在抽真空的过程中,监控所述压力计;根据所述压力计的读数判断所述双密封圈的密封性。
[0009] 其中,根据所述压力计的读数判断所述双密封圈的密封性的方法包括:当所述压力计的读数无法达到第一预定值时,所述第一预定值为所述密封腔处于真空状态下时管路中的压力值,判断所述双密封圈漏气;反之,当所述压力计的读数达到第一预定值时,判断所述双密封圈密封无漏气情况。
[0010] 其中,当判断所述双密封圈漏气时,打开腔体,并清洁所述双密封圈及与所述双密封圈所配合的真空腔体,再闭合所述真空腔体,重复所述开启所述抽气阀对所述密封腔进行抽真空的步骤。
[0011] 其中,当判断所述双密封圈不漏气时,对所述真空腔体内部进行抽真空。
[0012] 其中,当判断所述双密封圈漏气时,所述检测真空腔体密封性能的方法还包括:在所述抽气管路中安装氦气检漏仪,所述氦气检漏仪能够实现在抽真空的过程中检测所述密封腔内是否存在氦气;利用气枪在所述真空腔体的外围,对准所述真空腔体的闭合处,喷射氦气;若所述氦气检漏仪检测到氦气,检测出所述双密封圈中的位于外圈的密封圈漏气;若所述氦气检漏仪没有检测到氦气,证明所述双密封圈中的位于外圈的密封圈不漏气,所述双密封圈中的位于内圈的密封圈漏气。
[0013] 其中,所述密封腔的腔壁处还设有进气孔,所述检测真空腔体密封性能的方法还包括:将进气阀通过管路连接至所述进气孔,形成进气管路;当需要对所述密封腔进行抽真空时,所述进气阀关闭,再开启所述抽气阀;当需要打开所述真空腔体时,所述抽气阀关闭,开启所述进气阀,通过所述进气管路使得外界大气进入所述密封腔内,使得所述密封腔内的气体压力升至大气压。
[0014] 其中,在所述进气管路中安装气压计,通过所述气压计的读数是否接近大气压,来判断是否可以打开所述真空腔体。
[0015] 其中,在所述进气管路中安装气压计,判断所述气压计的读数是否达到,所述第二预设值为大气压或接近大气压的值,当所述气压计的读数达到所述第二预设值时,打开所述真空腔体。
[0016] 其中,在所述进气管路上增设报警装置,当所述气压计的读数达到第二预设值时,所述报警装置报警提醒工作人员打开所述真空腔体。
[0017] 本发明通过在抽气孔处连接抽气管路,利用抽气阀抽气,根据压力计的读数能够判断密封腔是否为真空状态,进而判断双密封圈的密封性能,由于双密封圈之间的密封腔在整个真空腔体中所点的空间很小,其中的真空能够快速抽下去,根据压力表读数,能够快速判断双密封圈的密封性能,避免频繁的开关腔体,为生产节省了时间。
附图说明
[0018] 为了更清楚地说明本发明的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以如这些附图获得其他的附图。
[0019] 图1是本发明一种实施方式提供的检测真空腔体密封性能的方法之需要打开真空腔体时的不意图。
[0020] 图2是本发明一种实施方式提供的检测真空腔体密封性能的方法之需要对密封腔进行抽真空时的示意图。
具体实施方式
[0021] 下面将结合本发明实施方式中的附图,对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0022] 本发明供了一种检测真空腔体密封性能的方法,请参阅图1和图2,所述真空腔体之闭合处包括双密封圈10,所述双密封圈10之间形成密封腔,所述密封腔的腔壁处设抽气孔20,所述检测真空腔体密封性能的方法包括:将抽气阀40通过管路连接至所述抽气孔20,形成抽气管路;在所述抽气管路上安装压力计60 ;开启所述抽气阀40,对所述密封腔进行抽真空,在抽真空的过程中,监控所述压力计60 ;根据所述压力计60的读数判断所述双密封圈10的密封性。
[0023] 本发明通过在抽气孔20处连接抽气管路,利用抽气阀40抽气,根据压力计60的读数能够判断密封腔是否为真空状态,进而判断双密封圈10的密封性能,由于双密封圈10之间的密封腔在整个真空腔体中所点的空间很小,其中的真空能够快速抽下去,根据压力表读数,能够快速判断双密封圈10的密封性能,避免频繁的开关腔体,为生产节省了时间。
[0024] 一种实施方式中,根据所述压力计60的读数判断所述双密封圈10的密封性的方法包括:当所述压力计60的读数无法达到第一预定值时,所述第一预定值为所述密封腔处于真空状态下时管路中的压力值,判断所述双密封圈10漏气;反之,当所述压力计60的读数达到第一预定值时,判断所述双密封圈10密封无漏气情况。本实施方式中,第一预定值为0.1Pa0当所述双密封圈10产生漏气时,密封腔内的压力值一定会大于第一预定值,举例而言,在抽真空的过程中,压力表的值最低只能达到0.5Pa,大于第一预定值0.1Pa,证明所述双密封圈10产生漏气。
[0025] 进一步而言,当判断所述双密封圈10漏气时,漏气的原因可能是双密封圈10的表面有杂物,需要清洁,此时,需要打开腔体,并清洁所述双密封圈10及与所述双密封圈10所配合的真空腔体,再闭合所述真空腔体,重复所述开启所述抽气阀40对所述密封腔进行抽真空的步骤。
[0026] 当判断所述双密封圈10不漏气时,对所述真空腔体内部进行抽真空。
[0027] 本发明一种实施方式中,可以利用氦气漏检的方法检测具体的双密封圈中的哪一条的密封性能不好。具体如下方法如下。
[0028] 当判断所述双密封圈10漏气时,所述检测真空腔体密封性能的方法还包括:在所述抽气管路中安装氦气检漏仪80,所述氦气检漏仪80能够实现在抽真空的过程中检测所述密封腔内是否存在氦气;利用气枪在所述真空腔体的外围,对准所述真空腔体的闭合处,喷射氦气;若所述氦气检漏仪80检测到氦气,氦气检漏仪80检测到氦气时会发出报警,检测出所述双密封圈10中的位于外圈的密封圈漏气;若所述氦气检漏仪80没有检测到氦气,证明所述双密封圈10中的位于外圈的密封圈不漏气,所述双密封圈10中的位于内圈的密封圈漏气。
[0029] 本实施方式中,所述密封腔的腔壁处还设有进气孔30,所述检测真空腔体密封性能的方法还包括如下步骤:
[0030] 将进气阀50通过管路连接至所述进气孔30,形成进气管路。
[0031] 如图2所示,图1中的进气阀50为关闭状态,抽气阀40为开启状态。当需要对所述密封腔进行抽真空时,所述进气阀50关闭,再开启所述抽气阀40,实施上述对密封腔进行抽真空的步骤。
[0032] 如图1所示,图1中的进气阀50为开启状态,抽气阀40为关闭状态。当需要打开所述真空腔体时,所述抽气阀40关闭,开启所述进气阀50,通过所述进气管路使得外界大气进入所述密封腔内,使得所述密封腔内的气体压力升至大气压。当密封腔内气体压力为大气压时,真空腔体就很容易打开了。
[0033] 为了便于判断别密封腔内气体压力是否为大气压,可以在进气管路中安装气压计,通过气压计的读数是否接近大气压,来判断是否可以打开真空腔体。具体而言,设定第二预设值,第二预设值为大气压或接近大气压的值,开启进气阀50时,外界气体慢慢进入密封腔,气压计的读数逐渐变大,当气压计的读数达到第二预设值时,就可以打开真空腔体了。
[0034] 本发明一种实施方式中,还可以在进气管路上增设报警装置,当气压计的读数达到第二预设值时,报警装置报警提醒工作人员打开所述真空腔体。可以利用蜂鸣器进行声响式的报警,也可以利用LED灯,通过亮灯的方式提醒,例如,进气管路中的气压未达到第二预设值时,红色LED灯亮,当进气管路中的气压达到第二预设值时,绿色LED灯亮。
[0035] 以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种检测真空腔体密封性能的方法,所述真空腔体之闭合处包括双密封圈,所述双密封圈之间形成密封腔,所述密封腔的腔壁处设抽气孔,其特征在于,所述检测真空腔体密封性能的方法包括: 将抽气阀通过管路连接至所述抽气孔,形成抽气管路; 在所述抽气管路上安装压力计; 开启所述抽气阀,对所述密封腔进行抽真空,在抽真空的过程中,监控所述压力计; 根据所述压力计的读数判断所述双密封圈的密封性。
2.如权利要求1所述的检测真空腔体密封性能的方法,其特征在于,根据所述压力计的读数判断所述双密封圈的密封性的方法包括:当所述压力计的读数无法达到第一预定值时,所述第一预定值为所述密封腔处于真空状态下时管路中的压力值,判断所述双密封圈漏气;反之,当所述压力计的读数达到第一预定值时,判断所述双密封圈密封无漏气情况。
3.如权利要求2所述的检测真空腔体密封性能的方法,其特征在于,当判断所述双密封圈漏气时,打开腔体,并清洁所述双密封圈及与所述双密封圈所配合的真空腔体,再闭合所述真空腔体,重复所述开启所述抽气阀对所述密封腔进行抽真空的步骤。
4.如权利要求2所述的检测真空腔体密封性能的方法,其特征在于,当判断所述双密封圈不漏气时,对所述真空腔体内部进行抽真空。
5.如权利要求2所述的检测真空腔体密封性能的方法,其特征在于,当判断所述双密封圈漏气时,所述检测真空腔体密封性能的方法还包括: 在所述抽气管路中安装氦气检漏仪,所述氦气检漏仪能够实现在抽真空的过程中检测所述密封腔内是否存在氦气; 利用气枪在所述真空腔体的外围,对准所述真空腔体的闭合处,喷射氦气; 若所述氦气检漏仪检测到氦气,检测出所述双密封圈中的位于外圈的密封圈漏气;若所述氦气检漏仪没有检测到氦气,证明所述双密封圈中的位于外圈的密封圈不漏气,所述双密封圈中的位于内圈的密封圈漏气。
6.如权利要求1所述的检测真空腔体密封性能的方法,其特征在于,所述密封腔的腔壁处还设有进气孔,所述检测真空腔体密封性能的方法还包括: 将进气阀通过管路连接至所述进气孔,形成进气管路; 当需要对所述密封腔进行抽真空时,所述进气阀关闭,再开启所述抽气阀; 当需要打开所述真空腔体时,所述抽气阀关闭,开启所述进气阀,通过所述进气管路使得外界大气进入所述密封腔内,使得所述密封腔内的气体压力升至大气压。
7.如权利要求6所述的检测真空腔体密封性能的方法,其特征在于,在所述进气管路中安装气压计,通过所述气压计的读数是否接近大气压,来判断是否可以打开所述真空腔体。
8.如权利要求6所述的检测真空腔体密封性能的方法,其特征在于,在所述进气管路中安装气压计,判断所述气压计的读数是否达到,所述第二预设值为大气压或接近大气压的值,当所述气压计的读数达到所述第二预设值时,打开所述真空腔体。
9.如权利要求8所述的检测真空腔体密封性能的方法,其特征在于,在所述进气管路上增设报警装置,当所述气压计的读数达到第二预设值时,所述报警装置报警提醒工作人员打开所述真空腔体。
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