CN103894885B - 加工设备的运动位置检知装置及其方法 - Google Patents

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    • B23H7/14—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply
    • B23H7/18—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply for maintaining or controlling the desired spacing between electrode and workpiece

Abstract

本发明是关于一种加工设备的运动位置检知装置及其方法，其于加工设备的运动期间量测加工设备的一加速度，并产生一加速度讯号，并依据多个取样时间取样加速度讯号而产生多个取样讯号，且运算该些取样讯号以获得加工设备的加速度的至少一斜率，再依据该斜率与多个参考信息而检知出加工设备的运动位置。如此，本发明的检知装置可在极短时间得知目前加工设备的运动位置，且可以模块化且体积小，因此设置容易、降低设置成本及减少设置空间。

Description

加工设备的运动位置检知装置及其方法
技术领域
本发明有关于一种运动位置检知装置，其尤指一种加工设备的运动位置检知装置及其方法。
背景技术
一般加工机械设备需要利用传动方式移行刀具或工件，以进一步对工件进行加工。然而，加工机械设备因受磨擦力或机械力的影响，而无法控制刀具精准的传动至预定位置，如此加工机械设备即会产生加工不准确等问题。因此，为克服加工机械设备无法精确运动至预定位置进行加工而导致加工不准确的问题，习知解决方式为利用量测位置的线性光学尺或旋转编码器等量测器而取得各轴向的移行尺寸，以进一步补正传动上的误差值，因此习知加工机械设备常将量测器设置于传动轴向，并需要利用夹具等零部件正确地将量测器设置于传动装置的相对位置上，如此，习知加工机械设备配置量测器的空间位置，及配置量测器后的正确位置的校正等皆为重要课题，其主要原因是用于量测位置的量测器的配置地方与校正对量测器截取的信息影响甚大，以致于关系到加工机械设备的传动装置移行尺寸的补偿值。
此外，传统加工机械设备所处环境为油气及水气混杂的环境，所以传统加工机械设备的量测器所处环境也是如此，因此一般都会藉由合适的预防设施而适当的保护加工机械设备的量测器。然而，当加工机械设备的量测器使用于易腐蚀环境时，例如电化学加工设备，其量测器容易因盐类气氛而导致量测器易被腐蚀损坏，且诸如加工机械设备的夹治具与量测器的配置空间及校正的准确性等限制，限制加工机械设备的量测器应用于电化学加工装置上的用途。虽然现今有运用加速度量测器量测电化学加工装置的加速度，而控制电化学加工装置的电极与工件间的间隙，例如中华人民共和国专利申请案第200780035799.6号，然而其必须量测电化学加工装置的整段加速度周期内的加速度讯号，如此耗费时间，而无法在极短时间得知运动位置。
因此，本发明提供一种运动位置检知装置及其方法，以解决习知加工设备上不易设置用于量测位置的量测器及设置成本高与不易防护等问题。
发明内容
本发明的主要目的，是提供一种加工设备的运动位置检知装置及其方法，其于加工设备运动时量测加工设备的加速度，并运算出加速度的斜率，以依据斜率检知目前加工设备的运动位置，如此即可在极短时间检知出加工设备的运动位置。
本发明的次要目的，是提供一种加工设备的运动位置检知装置及其方法，其运用量测加速度的量测单元即可检知出加工设备的运动位置，由于量测加速度的量测单元的体积小，所以设置容易、降低设置空间与成本，且容易防护。
为了达到上述所指称的各目的与功效，本发明揭示了一种加工设备的运动位置检知装置，其包含有一量测单元与一运算电路，量测单元于加工设备的运动期间量测加工设备的一加速度，并产生一加速度讯号。运算电路依据多个取样时间取样加速度讯号而产生多个取样讯号，并运算该些取样讯号以获得加工设备的加速度的至少一斜率，并依据斜率与多个参考信息而检知加工设备的运动位置。
另外，本发明揭示了一种加工设备的运动位置检知方法，其于加工设备的运动期间量测加工设备的加速度，并产生加速度讯号；之后，依据多个取样时间取样加速度讯号而产生多个取样讯号；接续，运算该些取样讯号以获得加工设备的加速度的至少一斜率；然后，依据斜率与多个参考信息而检知加工设备的运动位置。
实施本发明产生的有益效果是：本发明的运动位置检知装置及其方法是量测加工设备的加速度，进而依据加速度而求得加工设备位于不同时间的加速度的斜率，如此再比对参考信息即可检知出加工设备的运动位置。由于本发明的运动位置检知装置的体积小，所以降低设置空间而易安装，且容易防护与降低成本。另外，本发明的运动位置检知装置可模块化为芯片，且可于加工在线操作使用，而在极短时间检知出加工设备的运动位置。因此，本发明的运动位置检知装置可应用于任何具有加速度的运动的加工设备。
附图说明
图1：其为本发明的加工设备的一实施例的示意图；
图2：其为本发明的加工设备的运动位置检知装置的一实施例的方块图；
图3：其为本发明的加工设备的一实施例的加速度的波形图；
图4：其为本发明的运动位置检知方法的一实施例的流程图；以及
图5：其为本发明的运动位置检知方法的另一实施例的流程图。
【图号对照说明】
1 加工设备 10 壳体
11 旋转件 12 曲柄
13 加工电极 14 加工槽
15 运动位置检知装置 150 量测单元
152 运算电路 153 储存单元
17 电源供应器 2 工件
4 伺服单元 A 加速度
CS1 对照斜率 CS2 对照斜率
CS3 对照斜率 GSN 对照斜率
PO1 运动位置 PO2 运动位置
PO10 运动位置 PON 运动位置
RP1 参考位置 RP2 参考位置
RP3 参考位置 RPN 参考位置
SA 加速度讯号 SB 运动位置讯号
SCTRL1 第一控制讯号 SCTRL2 第二控制讯号
SP1 斜率 SP2 斜率
SP3 斜率 SPN 斜率
t 时间 tS1 取样时间
tS2 取样时间 tS3 取样时间
tSN 取样时间
具体实施方式
为了使本发明的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，特用较佳的实施例及配合详细的说明，说明如下：
请参阅图1，其系本发明的加工设备的一实施例的示意图。此实施例的加工设备1为振动电化学加工设备。如图所示，加工设备1包含一壳体10、一旋转件11、一曲柄12、一加工电极13、一加工槽14与一电源供应器17(如图2所示)。加工槽14容置有电解液，一工件2放置于加工槽14中。旋转件11设于壳体10内，曲柄12的一端设置于旋转件11，加工电极13设置于曲柄12的另一端。加工电极13往复运动于壳体10，加工电极13往复运动时，其一部分外露于壳体10。电源供应器17的阳极耦接工件2，而阴极则耦接加工电极13。
旋转件11旋转时，其会带动曲柄12运动，而带动加工电极13进行上下往复运动，加工电极13即相当于作上下振动，如此加工设备1的加工电极13会上下往复进入加工槽14，而对工件2进行电化学加工。加工设备1驱使加工电极13进行往复运动而对工件2进行电化学加工，所以加工设备1进行往复运动而对工件2进行电化学加工的期间称作为加工期间或运动期间，而下述说明是以运动期间称的。再者，加工电极13于运动期间的位置称作为运动位置，例如图1所示的PO1、PO2与PO10。此外，此加工设备1进行运动时，其具有一加速度A，加速度A的轨迹如图3所示。于此实施例中，加速度A的轨迹为弦波。
复参阅图1，本发明的加工设备1的运动位置检知装置15设于加工设备1，其可设置于旋转件11或可以设于曲柄12。本发明的运动位置检知装置15于加工设备1的运动期间可检知出加工设备1目前的运动位置，也就是运动位置检知装置15于加工设备1的运动期间可检知出加工电极13的运动位置。
请参阅图3，其为本发明的加工设备的一实施例的加速度的波形图。如图所示，加工设备1的加速度周期(运动周期)内的加速度A会随着时间变化，即加速度周期内的每个时间点的加速度值都不相同，如此每任两时间点间的加速度A的斜率也会不同。此外，加工设备1在运动周期内的运动位置也是随着时间而变化，如此任意各两点间的加速度A的斜率即可用于表示各个时间点的运动位置。譬如加工设备1于运动期间的第一秒与第二秒间的加速度A的斜率可以表示加工设备1于第二秒的运动位置。第二秒与第三秒间的加速度A的斜率可以表示加工设备1于第三秒的运动位置。
本发明的运动位置检知装置15是量测加工设备1运动的加速度A，进而依据获得的加速度A运算出不同时间点的加速度A的斜率，再比对加速度A的斜率与预先提供的多个参考信息即可检知出加工设备1于不同时间点的运动位置。于此实施例中，运动位置检知装置15是量测旋转件11或曲柄12的运动加速度而得知加工电极13于不同时间点的运动位置。
承接上述，运动位置检知装置15量测加工设备1的加速度A而产生一加速度讯号SA，其波形如图3所示。尔后，运动位置检知装置15再依据多个取样时间ts1、ts2…tsN取样加速度讯号SA而产生多个取样讯号，即取样加速度讯号SA的值，并运算该些取样讯号以获得加速度A的至少一斜率SP1、SP2…或SPN(如图3所示)。又，运动位置检知装置15分别比对斜率SP1、SP2…及SPN与多个参考信息即可检知出加工设备1的加工电极13于取样时间ts1、ts2…tsN的运动位置。
请一并参阅图1及图2，图2系本发明的加工设备的运动位置检知装置的一实施例的方块图。如图2所示，一伺服单元4用于产生一第一控制讯号SCTRL1控制加工设备1作动而进行具有加速度A的往复运动，且伺服单元4依据加工设备1的运动位置产生一第二控制讯号SCTRL2控制电源供应器17提供电源至工件2与加工设备1的加工电极13，以对工件2进行电化学加工。运动位置检知装置15可以设于加工设备1而量测加工设备1的加速度A，以检知出加工设备1的运动位置。
承接上述，运动位置检知装置15获得加工设备1的运动位置后传输一运动位置讯号SB至伺服单元4，如此伺服单元4即可得知加工设备1的运动位置，即加工电极13的位置，伺服单元4再依据加工电极13的运动位置判断是否控制电源供应器17提供电源至加工设备1与工件2，例如加工电极13的运动位置尚未接近工件2，如图1所示的PO1与PO2时，伺服单元4则控制电源供应器17不供应电源至加工电极13与工件2，以节省电源；当加工电极13的运动位置为接近工件2，如图1所示的PO10时，伺服单元4则控制电源供应器17供应电源至加工电极13与工件2，以对工件2进行电化学加工。之后，加工电极13的运动位置为离开工件2时，伺服单元4则控制电源供应器17不供应电源至加工电极13与工件2。此外，伺服单元4亦可实时显示加工电极13的运动位置，以供操作人员参考。
上述仅为本发明的运动位置检知装置15提供加工设备1的运动位置而控制加工进行的一实施例，其不限制本发明的运动位置检知装置15仅能运用于上述实施例。本发明的运动位置检知装置15主要用于检知出加工设备1目前的运动位置，再依据加工需求而控制加工设备1或者其接口设备，以提高加工精度。
请一并参阅图2及图3。如图2所示，运动位置检知装置15包含一量测单元150、一运算电路152及一储存单元153。运动位置检知装置15的量测单元150于加工设备1的运动期间量测加工设备1的加速度A，并产生加速度讯号SA。运算电路152接收加速度讯号SA，并依据多个取样时间tS1～tSN而取样加速度讯号SA，以取得多个取样讯号，该些取样讯号即为加速度讯号SA的数值，运算电路152运算该些取样讯号而获得加速度A于该些取样时间的斜率，并比对储存单元153所储存的该些参考信息，以检知出加工设备1的加工电极13于各个取样时间的运动位置。请参阅下表一与表二，其为本发明设定该些取样时间的取样表的一实施例以及本发明提供参考信息的一实施例的参数表。
表二
复参阅图3及表一，图3绘示加速度A的轨迹，即加速度讯号SA的波形图，且绘示表一的取样时间tS1、tS2及tS3以及对应取样时间tS1、tS2及tS3的斜率SP1、SP2与SP3。表一所设定的该些取样时间tS1、tS2及tS3为依据加工需求而设定，若欲获得更精确的运动位置，则表一的该些取样时间tS1、tS2、tS3…及tSN的间隔系设定为较短时间间隔。也就是说，取样时间tS1、tS2、tS3…及tSN的时间间隔可依据加工需求而设定为一样或不一样。上表一仅为实施例的说明，而本发明并未限定表一的该些取样时间tS1、tS2、tS3…及tSN仅于如此。
请参阅表二，其系本发明的运动位置检知装置的一实施例的参数表。参数表包含多个参考信息，且该些参考信息包含多个对照斜率CS1、CS2、CS3…及CSN与多个参考位置RP1、RP2、RP3…及RPN。该些对照斜率CS1、CS2、CS3…及CSN分别对应该些RP1、RP2、RP3…及RPN，即第一对照斜率CS1对应第一参考位置RP1，第二对照斜率CS2对应第二参考位置RP2，以此类推。
请一并参阅图1、图2、图3、表一与表二，下述系举例详细说明运动位置检知装置15如何检知出加工设备1的加工电极13的运动位置。首先，运动位置检知装置15的量测单元150会量测加工设备1的加速度A，以产生加速度讯号SA。再者，运算电路152依据取样时间tS1而取样加速度讯号SA，如此即得知加工设备1于取样时间tS1的加速度值。运算电路152运算取样时间tS1与初始时间0的间的加速度斜率SP1，即先运算取样时间tS1的加速度值与初始时间0的加速度值的间的差值，再除以取样时间tS1与初始时间0的间的时间间隔。由于在初始时间0时，加工设备1尚未开始运动所以初始加速度值为零，因此斜率SP1为取样时间tS1的加速度值除以取样时间tS1与初始时间0的间的时间间隔。
运算电路152运算出斜率SP1之后，系会进一步比对斜率SP1与表二的参考信息。运算电路152比对斜率SP1与该些对照斜率CS1、CS2、CS3…及CSN。于此实施例中，斜率SP1相同于对照斜率CS1，如此对照斜率CS1对应的参考位置RP1即为加工设备1的加工电极13于取样时间tS1的运动位置。如图1所示，图1的运动位置PO1即为参考位置RP1。
接着，运算电路152依据取样时间tS2而取样加速度讯号SA，如此即得知加工设备1于取样时间tS2的加速度值。运算电路152依据取样时间tS1与tS2的取样讯号，而运算出取样时间tS1与tS2的间的加速度斜率SP2，即运算取样时间tS2的加速度值与取样时间tS1的加速度值的间的差值，再除以取样时间tS2与tS1的间的时间间隔。之后，再比对斜率SP2与表二的参考信息的该些对照斜率CS1、CS2、CS3…及CSN。于此实施例中，斜率SP2相同于对照斜率CS2，如此对照斜率CS2对应的参考位置RP2即为加工设备1的加工电极13于取样时间tS2的运动位置。所以，图1的运动位置PO2即为参考位置RP2。加工设备1于其余取样时间tS3…及tSN的运动位置即可依据上述方式而检知。
再者，运算电路152更可以依据加工设备1于该些取样时间的运动位置与该些参考信息而估算出加工设备1于目前时间点的运动位置。举例来说，当加工设备1目前的运动时间位于取样时间tS2与tS3的间，运算电路152利用取样时间tS2所对应的参考位置RP2(运动位置PO2)与取样时间tS3所对应的参考位置RP3而估运算出加工设备1目前于取样时间tS2与tS3的间的运动位置。也就是说，当运算电路152运算出取样时间tS2的运动位置PO2后，加工电极13仍持续在运动所以加工电极13的运动位置已是取样时间tS2的运动位置PO2再加上一个位移量。故本发明的运算电路152更可以依据取样时间所对应的运动位置而估算出加工电极13目前时间点的运动位置。其估算方式可运用内插运算方式或者采用两取样时间点对应的参考位置的平均方式估算出加工电极13目前时间点的运动位置，或者运用现有其它估算方式，于此不再详述。
由于本发明的量测单元150为用于量测加速度的量测器，现今常用的加速度量测器皆体积小而易安装，例如重力传感器(Gravity-sensor)，所以其设置容易、降低设置空间与成本，且容易防护。另外，本发明的量测单元150与运算电路152可模块化而为芯片，且可于加工在线操作使用。此外，由上述可知，本发明的运动位置检知装置15只需量两个时间点的加速度值即可检知出加工电极13的运动位置，所以运动位置检知装置15在极短时间即可检知出加工电极13的运动位置，如此可实时控制加工设备1，而提高加工精度。
上述表二的该些参考信息是预先储存于储存单元153。建立该些参考信息的方式的一为先运用运动位置检知装置15的量测单元150量测加工设备1的加速度A并产生加速度讯号SA，如此即得到如图3所示的加速度讯号SA的波形图。之后，运算电路152依据该些取样时间tS1、tS2、tS3…及tSN取样加速度讯号SA而获得多个取样讯号，如此即可运算出加速度A于任两取样时间0、tS1、tS2、tS3…及tSN的每一加速度斜率而作为对照斜率CS1、CS2、CS3…及CSN。此外，根据每一取样时间0、tS1、tS2、tS3…及tSN量测并纪录加工电极13实际运动的每一个运动位置而作为参考位置RP1、RP2、RP3…及RPN。
由上述可知，该些参考信息就是以运动位置检知装置15依据各个取样时间tS1、tS2、tS3…及tSN预先运算出的每一斜率作为每一个对照斜率CS1、CS2、CS3…及CSN，以及依据各个取样时间预先量测加工设备1的实际运动位置而作每一个参考位置RP1、RP2、RP3…及RPN。换言之，每一个对照斜率CS1、CS2、CS3…及CSN及每一个参考位置RP1、RP2、RP3…及RPN对应每一取样时间tS1、tS2、tS3…及tSN。该些参考信息为预先建立的信息，其会依据加工设备1不同的加工状态而改变。
本发明亦可依据加速度讯号SA的波形建立关联于时间的方程式，并微分此方程式而获得关联于时间的加速度斜率方程式，再依据各取样时间带入此方程式中即可获得各取样时间的加速度斜率而作为对照斜率，如此系不需运用运算电路152进行取样与运算。
本发明的运算电路152在检知加工设备1的运动位置过程中，其运算出该些斜率后更可以进一步再比对所求得的该些斜率，以判断该些斜率中是否有异常偏离，例如目前求得的斜率相较于上一求得的斜率异常高出很多或者异常低很多，如此即判断此斜率为一偏离斜率，并舍弃此偏离斜率。再者，运算电路152依据非偏离斜率的其它斜率作为目前取样时间的加速度的斜率，譬如以前一次求得的斜率作为目前取样时间的加速度的斜率，或者以前两次求得的斜率的平均值并乘上一比例而作为目前取样时间的加速度的斜率。
另外，若运算电路152求得的斜率无法比对到参考信息的对照斜率时，于本发明的一实施例中，运算电路152会比对到最接近求得的斜率的对照斜率，并以此对照斜率对应的参考位置作为加工设备1目前的运动位置，或者以最接近的对照斜率与所对应的参考位置和求得的斜率进行内插运算，而估算出加工设备1目前的运动位置，又或者运用其它现有估算方式运算最接近的对照斜率或者其它对照斜率而估算出加工设备1目前的运动位置。
请参阅图4，其系本发明的运动位置检知方法的一实施例的流程图。图4为上述实施例的流程图。本发明的运动位置检知方法先进行步骤S11，量测单元150于加工设备1的运动期间量测加工设备1的加速度A并产生加速度讯号SA；之后，如步骤S12所示，运算电路152接收预先设定的多个取样时间，该些取样时间可预先设定于运算电路152或者储存于储存单元153。然后，如步骤S13所示，运算电路152依据该些取样时间取样加速度讯号SA而产生多个取样讯号。
接着，执行步骤S14，运算电路152运算该些取样讯号，以获得加工设备1的加速度A的至少一斜率，即获得在取样时间的加速度A的斜率；之后，如步骤S15所示，运算电路152接收储存单元153的多个参考信息，以进行步骤S16，运算电路152依据所取得的斜率与该些参考信息而检知出加工设备1的运动位置，即比对所取得的斜率与该些参考信息的该些对照斜率，以寻找到符合所取得的斜率的对照斜率，如此依据符合的对照斜率所对应的参考位置即可检知出加工设备1位于取样时间的运动位置。如此即如步骤S17所示，运动位置检知装置15获得目前加工设备1的运动位置。此外，若加工设备1目前时间点并非为取样时间，更可进一步依据上一取样时间所获知的运动位置与该些参考信息而估算出加工设备1于目前时间点的运动位置。
请参阅图5，其为本发明的运动位置检知方法的另一实施例的流程图。如图所示，此实施例的检知方法与图4的检知方法的差异为此实施例的检知方法更比对所求得的斜率，而判断所求得的斜率是否为偏离斜率，若求得的斜率有偏离斜率则舍弃偏离斜率。如图5所示，运算电路152于步骤S14中获得多个斜率后，更进一步进行步骤S21，运算电路152比对所获得的该些斜率而判断该些斜率是否有偏离斜率，若所求得的斜率为偏离斜率则舍弃此偏离斜率。之后，进行步骤S23以检知出加工设备1的运动位置，运算电路152会依据其它斜率之一或其它斜率的部分斜率以及依据步骤S15所提供的多个参考信息，而检知出加工设备1的运动位置。如此，即如步骤S24所示，运动位置检知装置15检知出加工设备1目前运动位置。
综合上述，本发明的运动位置检知装置及其方法是量测加工设备的加速度，进而依据加速度而求得加工设备位于不同时间的加速度的斜率，如此再比对参考信息即可检知出加工设备的运动位置。由于本发明的运动位置检知装置的体积小，所以降低设置空间而易安装，且容易防护与降低成本。另外，本发明的运动位置检知装置可模块化为芯片，且可于加工在线操作使用，而在极短时间检知出加工设备的运动位置。因此，本发明的运动位置检知装置可应用于任何具有加速度的运动的加工设备。
上文仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的范围，凡依本发明权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本发明的权利要求范围内。

Claims (11)

1.一种加工设备的运动位置检知装置，其特征在于，其包含：
一量测单元，于该加工设备的运动期间量测该加工设备的一加速度，并产生一加速度讯号；及
一运算电路，依据多个取样时间取样该加速度讯号而产生多个取样讯号，并运算该些取样讯号以获得该加工设备的该加速度的至少一斜率，并依据该斜率与多个参考信息而检知该加工设备的运动位置。
2.如权利要求1所述的运动位置检知装置，其特征在于，其中该运算电路依据该加速度的该斜率与该些参考信息而得知该加工设备于该些取样时间的运动位置，该运算电路更依据该加工设备于该些取样时间的运动位置与该些参考信息而运算出该加工设备于目前时间点的运动位置。
3.如权利要求1所述的运动位置检知装置，其特征在于，其中该参考信息包含多个对照斜率与多个参考位置，该些对照斜率相对应于该些参考位置，该运算电路比对该加工设备的该加速度的该斜率及该些对照斜率，以依据对应的该参考位置检知该加工设备的运动位置。
4.如权利要求1所述的运动位置检知装置，其特征在于，其中该运算电路运算该加速度讯号而获得多个斜率时，该运算电路比对该些斜率而判断该些斜率是否为偏离斜率，若该些斜率的至少一个为偏离斜率，该运算电路则舍弃该偏离斜率，而依据其它斜率的至少一个与该些参考信息而检知该加工设备的运动位置。
5.如权利要求1所述的运动位置检知装置，其特征在于，更包含：
一储存单元，储存该些参考信息。
6.如权利要求1所述的运动位置检知装置，其特征在于，其中该加工设备为一电化学加工的一振动装置。
7.一种加工设备的运动位置检知方法，其特征在于，其步骤包含：
于该加工设备的运动期间量测该加工设备的一加速度，并产生一加速度讯号；
依据多个取样时间取样该加速度讯号而产生多个取样讯号；
运算该些取样讯号以获得该加工设备的该加速度的至少一斜率；以及
依据该斜率与多个参考信息而检知该加工设备的运动位置。
8.如权利要求7所述的运动位置检知方法，其特征在于，其中依据该斜率与多个参考信息而检知该加工设备的运动位置的步骤包含：
依据该加速度的该斜率与该些参考信息而得知该加工设备于该些取样时间的运动位置。
9.如权利要求8所述的运动位置检知方法，其特征在于，更包含：
依据该加工设备于该些取样时间的运动位置与该些参考信息而运算出该加工设备于目前时间点的运动位置。
10.如权利要求7所述的运动位置检知方法，其特征在于，其中该参考信息包含多个对照斜率与多个参考位置，该些对照斜率相对应于该些参考位置，比对该加工设备的该加速度的该斜率及该些对照斜率，以依据对应的该参考位置检知该加工设备的运动位置。
11.如权利要求7所述的运动位置检知方法，其特征在于，其中运算该加速度讯号而获得多个斜率时，比对该些斜率而判断该些斜率是否为偏离斜率，若该些斜率的至少一个为偏离斜率则舍弃该偏离斜率，而依据其它斜率的至少一个与该些参考信息而检知该加工设备的运动位置。
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