CN103851942A - 热管及其加工方法 - Google Patents

Abstract

一种热管加工方法，其包括有下列步骤：提供一两端具有开口的一金属管体，该金属管体内壁具有一毛细结构表面；以及氧化该毛细结构表面以形成氧化结构表面。在另一实施例中，更提供一种热管，其包括一金属管体、一工作流体、以及一第一氧化结构。该金属管体的内管壁具有一第一区域。该工作流体，其充填于该金属管体内。该第一氧化结构，其形成于该第一区域的内管壁上，该工作流体于该第一氧化结构上具有一第一接触角。本发明利用化学反应改变既有热管或均热板的毛细结构表面特性，使热管内的工作流体与热管内壁所具有的经过改质的毛细结构间具有不同的润湿性，促使管内毛细结构所提供驱动工作流体流动的毛细压差提升，以大幅提升热管的最大热传量。

Description

热管及其加工方法

技术领域

本发明为一种热传导技术，尤其是指一种热管及其加工方法。

背景技术

随着集成电路封装技术与工艺的演进，内部线路密集度增加且微型化，使得电子元件运算的速度及频率快速提升，然而当微型化的电子元件于高速频率下运作时，会衍生出元件于单位面积下发热量大幅提升导致热源更为集中于晶片上的问题。统计结果显示因为过热导致所有电子产品损坏的比例高达55％，并经研究指出，每降低温度约10℃可提升运算晶片1-3％的效率，因此电子元件于运作时需要一套有效的散热设计以解决热源过于集中的问题，才可使电子设备于长期使用下保有其可靠度、稳定性及使用寿命。

热管类产品(如热管或均温板)具有将热源所产生的热快速导热至散热端的特征，因此被广泛运用于目前电子元件、发光二极管(LED)、太阳能板等高度热集中且需快速散热的元件上。热管内部为一低压的密封空间，具有毛细结构与填充的工作流体，内部的低压状态促使工作流体液气相变化温度大幅降低，于运作之时，蒸发区遇热产升液气相变化带走大量的热，气化后的工作流体因压力较高而向冷凝区流动，于冷凝区遇冷产生气液相变化而冷凝，毛细结构则负责将冷凝后的工作流体回流至加热端，使加热端持续具有工作流体，保持着一端蒸发、一端冷凝的密闭循环均热系统。

热管使用上有着不同的传热限制，一般电子散热所使用的铜-水热管，应用时常会先遇到的限制为毛细极限，随着热传量增加，工作流体质量流率增加，若超过毛细力将工作流体带回蒸发区的最大量，则会产生蒸发区无工作流体干枯而使热管运作失效的现象，达到热管最大工作传热量极限。

发明内容

本发明提出一种热管及其加工方法，其利用化学反应改变既有热管或均热板的毛细结构表面特性，使热管内的工作流体与热管内壁所具有的经过改质的毛细结构间具有不同的润湿性，促使管内毛细结构所提供驱动工作流体流动的毛细压差提升，藉此方式大幅提升热管的最大热传量。

在一实施例中，本发明提供一种热管加工方法，其包括有下列步骤：提供一两端具有开口的一金属管体，该金属管体内壁具有一毛细结构表面；以及氧化该毛细结构表面以形成氧化结构表面。

在另一实施例中，本发明提供一种热管，其包括：一金属管体，其内管壁具有一第一区域；一工作流体，其充填于该金属管体内；以及一第一氧化结构，其形成于该第一区域的内管壁上，该工作流体于该第一氧化结构上具有一第一接触角。

本发明的有益效果在于：能使热管内的工作流体与热管内壁所具有的经过改质的毛细结构间具有不同的润湿性，促使管内毛细结构所提供驱动工作流体流动的毛细压差提升，从而大幅提升热管的最大热传量。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为本发明热管加工方法第一实施例流程示意图。

图2为本发明的金属管体一端截面侧视示意图。

图3A至图3C为接触角示意图。

图4A与图4B为本发明的利用混合反应溶液氧化金属管体内壁示意图。

图5A为经过步骤21的氧化程序后的金属管体剖面示意图。

图5B为经过步骤22的氧化程序后形成的具有长碳链的氧化结构示意图。

图5C为经过热管加工方法第一实施例所形成的热管结构剖面示意图。

图6A为本发明热管加工方法第二实施例流程示意图。

图6B为经过热管加工方法第二实施例所形成的热管结构剖面示意图。

图7A与图7B为本发明热管加工方法其他实施例流程示意图。

图8为本发明的热管加工方法另一实施例流程示意图。

图9A为金属管体剖面示意图。

图9B为经过图8的热管加工方法所形成的热管剖面示意图。

其中，附图标记

2-热管加工方法

20～23-步骤

3-热管加工方法

30～33-步骤

40～41-步骤

50～51--步骤

6-热管加工方法

60～63-步骤

7-热管

70-金属管体

700-蒸发区

701-冷凝区

702-隔热区

71-毛细结构

72、73-氧化结构表面

80-金属管体

800、801、802、803-区域

81-毛细结构

82、84-第一氧化结构表面

83、85-第二氧化结构表面

830-长碳链结构

90a～90c-金属表面

91-工作流体

92-混合反应溶液

93-管路

94-泵

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明技术方案进行详细的描述，以更进一步了解本发明的目的、方案及功效，但并非作为本发明所附权利要求保护范围的限制。

请参阅图1所示，该图为本发明热管加工方法第一实施例流程示意图。在本实施例中，该方法2包括有步骤20提供一两端具有开口的一金属管体。如图2所示，该图为本发明的金属管体一端截面侧视示意图。该金属管体80为具有一长度的柱状空心的管体，内壁具有一毛细结构表面81。本实施例中，该毛细结构表面81，为在金属管体内管壁形成凹槽结构。在另一实施例中，也可以在该内管壁上形成网目结构或者是烧结而成具有多孔隙的金属结构，并利用网目或烧结金属的孔隙作为毛细结构。毛细结构表面81的形成方式为本领域技术人员所熟知，因此并不以前述的毛细结构表面81的态样为本发明的限制。该金属管体80可以选择导热性良好的材质，例如：铜或铝等材质。在本实施例中，该金属管体80为铜管。要说明的是，本发明的金属管体80的截面形状可以为圆形，但不以此为限。

再回到图1所示，接着进行步骤21，氧化该毛细结构表面以形成氧化结构表面，该氧化结构表面与工作流体(例如：水，但不以此为限制)间具有一第一接触角。请参阅第3A至图3C所示，该图为接触角示意图。所谓接触角的定义为工作流体表面与金属表面接触时的夹角。在第3A至图3C中，显示出工作流体91和不同金属表面90a，90b，与90c间的接触角关系，其中θ1＜θ2＜θ3，接触角越小代表金属表面属于亲水性的表面而具有较高润湿性，而接触角越大则代表金属表面属于疏水性的表面，其润湿性相较于接触角小的金属表面差。

再回到图1，在步骤21中氧化的方式，可以有很多种方式，在一实施例中，将该具有毛细结构的金属管体，在两端未封口的情况下，如图4A所示，将金属管体80浸渍于过硫酸铵与一碱性溶液的混合反应溶液92中，或者如图4B所示，是经由管路93与泵94的导引使该混合反应溶液92流入该金属管体80内与该毛细结构接触等方式，使该混合反应溶液92对该金属管体80的内管壁进行氧化反应。该碱性溶液可以为氢氧化钠或氢氧化钾，但不以此为限制。而该过硫酸铵亦可以用过硫酸钾或过硫酸钠来替代。以过硫酸铵与氢氧化钠的混合反应溶液为例，在与金属管体的内管壁反应的过程中，藉由调整氢氧化钠与过硫酸铵的浓度、浓度比例、反应时间以及反应温度等参数，可以将该金属管体的内管壁所具有的毛细结构表面改质为氧化结构表面。以铜管为例，氢氧化钠的浓度可以在0.25～5M之间、而氢氧化钠与过硫酸铵的浓度比例(NaOH/(NH₄)₂S₂O₈＝4～50)与反应时间介于0～12小时、反应温度0～70℃之间，使得该氧化结构表面为蓝色的氢氧化铜微结构所形成的表面，其反应方程式如下式(1)所示。要说明的是，氢氧化钠可以用氢氧化钾来替代。

Cu+(NH₄)₂S₂O₈+NaOH→Cu(OH)₂+2Na₂SO₄+2NH₃+2H₂O...(1)

在另一实施例中，该氧化结构表面可以将蓝色的氢氧化铜微结构进一步脱水成黑色的氧化铜微结构，其反应方程式如下式(2)所示。

Cu+(NH₄)₂S₂O₈+NaOH→Cu(OH)₂+2Na₂SO₄+2NH₃+2H₂O

Cu(OH)₂→CuO+H₂O   ... (2)

步骤21的氧化的另一实施例，基本上与上述式(1)与(2)的方法类似，差异的是本实施例藉由调整混合反应溶液的成分，以过硫酸钾与氢氧化钾溶液的浓度、比例、反应时间与反应温度，将铜表面氧化成具有蓝色氢氧化铜的微结构，如下述式(3)所示。要说明的是，过硫酸钾可以用过硫酸钠来替代，氢氧化钾亦可以用氢氧化钠来替代。

Cu+K₂S₂O₈+2KOH  →Cu(OH)₂+2K₂SO₄   ...(3)

在另一实施例中，该氧化结构表面可以将蓝色的氢氧化铜微结构进一步脱水成黑色的氧化铜微结构，其反应方程式如下式(4)所示。

Cu+K₂S₂O₈+2KOH→Cu(OH)₂+2K₂SO₄

Cu(OH)₂→CuO+H₂O    ...(4)

此外，在步骤21中，氧化的另一实施例为通过温度处理的方式来进行氧化，亦即，本实施例的氧化方式并不需要藉由反应溶液来氧化，而是利用温度与时间的控制来达成氧化的效果。在一实施例中，将具传统毛细结构的金属管体，两端未封口的状态下，放置于含氧环境(例如：大气环境)的高温烘箱中，经过一氧化温度以及一氧化时间，而使得金属管体的内管壁的毛细结构改质成金属氧化物。以铜管为例，可以将其置于温度范围250～450℃，反应时间0.5～6小时下，使铜管内壁表面改质成氧化铜，如下式(5)所示。

前述的式(1)～(5)所形成的氧化结构表面，以铜为例，与此表面微结构的水与铜所形成的氧化结构的接触角几乎为零度，增加了经过氧化改质的毛细结构的亲水性。再回到图1所示，步骤21之后，可以进一步进行步骤22，对该金属管体的内管壁所具有的部份区域进行第二次的氧化反应或对该部分区域的第一氧化结构表面进行改质而形成一第二氧化结构表面，该第二氧化结构表面具有一第二接触角。在本实施例中，该第二接触角大于该第一接触角。请参阅图5A所示，该图为经过步骤21后关于图2的金属管体剖面示意图。图中具有多个点所示的区域代表内管壁上的第一氧化结构82。以铜管为例，步骤22中，氧化的实施例为依据前述式(1)至(5)的反应式完成第一氧化方式后，再执行第二氧化方式，其将该金属管体80的部份区域800，浸渍于氟代烷基硅氧烷[CF₃(CF₂)_n(CH₂)₂Si(OCH₂CH₃)₃or CF₃(CF₂)_n(CH₂)₂Si(OCH₃)₃]、氟代烷基三氯硅烷[CF₃(CF₂)_n(CH₂)₂SiCl₃]、氟代烷基二甲基氯硅烷[CF₃(CF₂)_n(CH₂)₂SiCl(CH₂)₂]、烷基硅氧烷[CH₃(CH₂)_nSi(OCH₂CH₃)₃orCH₃(CH₂)_nSi(OCH₃)₃]、烷基三氯硅烷[CH₃(CH₂)_nSiCl₃]、烷基二甲基氯硅烷[CH₃(CH₂)_nSiCl(CH₂)₂]或硫醇[CH₃(CH₂)_nSH]的稀释溶液(ex：1H，1H，2H，2H-perfluorooctyltrichlorosilane浓度为1w.t.％的乙醇溶液)中反应0～1hr，取出后清洗并放置于烘箱中干燥(25～150℃)，使该第一氧化结构表面82改质成为如图5B所示的具长碳链结构830的第二氧化结构表面83。该长碳链结构830可以为长碳链氟代烷基或长碳链烷基。此外，第二氧化结构表面83与工作流体间(例如：水)具有一第二接触角，该第二接触角大于该第一接触角。

如图5C所示，其中区域800的管壁内部的斜线区域代表形成于内管壁的第二氧化结构83。经过步骤21之后，区域801所形成的氧化结构可以视为亲水性的氧化结构，而步骤22后，区域800所形成的氧化结构，相对于区域801的氧化结构可以视为疏水性的氧化结构。再回到图1所示，最后以步骤23将金属管体进行一加工程序以形成一热管。在本步骤23中，该加工程序可以分成几个阶段，第一阶段先将该金属管体的一端封闭，然后第二阶段，对该金属管体抽真空，再进行第三阶段将工作流体，例如：水充填至该一端封闭的金属管体内，随后第四阶段将该金属管体的另一端封闭以形成两端封闭的结构，最后，再进行对该热管进行表面处理清洁以形成热管。而在步骤23之后，在另一实施例中，可以将该热管进行塑形加工，以形成各种不同形状的热管，例如：U形管、L形管或者是环形管等。

请参阅图6A所示，该图为本发明的另一实施例流程示意图。在本实施例中，主要是加热的方式使金属管体内壁的毛细结构被改质成氧化结构。该方法3同样以步骤30提供一两端未封闭的金属管体，该金属管体的特征如前述步骤20的金属管体所述，在此不作赘述。接着以步骤31使该金属管体置于具有一第一氧化温度的含氧环境内，经过一第氧化时间而得到该第一氧化结构表面。以铜管为例，该第一氧化温度为80℃～150℃，该第一氧化时间为0～10小时。经过步骤31所形成的第一氧化结构与工作流体之间具有一第一接触角。在本实施例中，该金属管体为铜管，因此该第一氧化结构为氧化亚铜。接着再进行步骤32，将具有该第一氧化结构表面的金属管体的一部份区域进行另一氧化处理，以形成一第二氧化结构表面。如图6B所示，在本实施例中，该氧化处理的方式为将该金属管体80的区域802内的具有第一氧化结构表面置于具有一第二氧化温度的含氧环境内，经过一第二氧化时间而得到该第二氧化结构。在本实施例中，该第二氧化温度为250℃～450℃，该第二氧化时间为0.5～6小时。经过步骤32所得到的第二氧化结构表面85具有一第二接触角，该第二接触角小于另一区域803内的第一氧化结构表面84(如图6B中具有多个点的区域)所具有的第一接触角。要说明的是，如果利用加热方式形成第二氧化结构85(如图6B中的管壁内的斜线区域)，为了避免热传导效果影响原先具有第一氧化结构的区域803，因此可以在对区域802进行热处理时，同时对区域803进行冷却，例如：冰浴或者是通过液态气体来冷却，以加热区域802时所产生的热经由热传导效应影响到区域803。此外步骤32的氧化方式，除了利用热之外，亦可以利用如前述第(1)至(4)式的方式来制作，亦即利用浸渍的方式，使混合反应溶液与金属管体80的区域802内所具有该第一氧化结构表面接触，进而让具有第一氧化结构的金属管体经过该混合反应溶液的改质，而形成第二氧化结构表面85。该第二氧化结构表面85可以为金属氧化物或者金属氢氧化物，例如：氧化铜或者是氢氧化铜。再回到图6A所示，步骤32之后，同样以步骤33将金属管体进行一加工程序以形成一热管。该加工程序分成几个阶段，第一阶段先将该金属管体的一端封闭，然后第二阶段，对该金属管体抽真空，再进行第三阶段将工作流体，例如：水充填至该一端封闭的金属管体内，随后第四阶段将该金属管体的另一端封闭以形成两端封闭的结构，最后，再进行对该热管进行表面处理清洁以形成热管。而在步骤33之后，在另一实施例中，可以将该热管进行塑形加工，以形成各种不同形状之热管，例如：U形管、L形管或者是环形管等。

虽然图1与图6A所示的流程，为同一金属管体内制作不同接触角的氧化结构的方法，但实际上，并不一定要同时采用两阶段的氧化程序。在一实施例中，如图7A所示，可以步骤40提供两端未封闭的具有毛细结构的金属管体，例如：铜管。接着将该金属管体的特定区域以步骤41将该区域的金属管体内壁上的毛细结构氧化，形成亲水性的区域。该步骤41的方式如前述步骤21的方式所述，在此不作赘述。之后再将该金属管体的一端封闭，然后对该金属管体抽真空，再将工作流体，例如：水充填至该一端封闭的金属管体内，随后将该金属管体的另一端封闭以形成两端封闭的结构，最后再进行表面处理与清洁以形成热管。在另一实施例中，如图7B所示，同样可以步骤50提供两端未封闭的具有毛细结构的金属管体，例如：铜管。接着以步骤51氧化该金属管体所具有一特定区域上的毛细结构氧化，形成疏水性的区域。该步骤51的方式如前述步骤31的方式或者是前述步骤21至步骤22的流程所述，在此不作赘述。其中，如果以前述步骤31的加热金属管体的方式来实施时，对于不想要受热而氧化的区域可以通过冷却的方式，例如：冰浴或者是通过液态气体来冷却，以避免加热该特定区域而形成氧化结构时，热传导效应影响到其他区域。之后再将该金属管体的一端封闭，然后对该金属管体抽真空，再将工作流体，例如：水充填至该一端封闭的金属管体内，随后将该金属管体的另一端封闭以形成两端封闭的结构，最后再进行表面处理与清洁以形成热管。一般而言，以铜材质为例，热管内如单纯为毛细结构时，其与工作流体，例如：水，的接触角介于70～80度间，但是藉由本发明的氧化方式所形成的氧化结构，可以让亲水性区域内的氧化结构与水的接触角为小于70度，因此该亲水区域可以作为热管的蒸发区；以及让疏水性区域内的氧化结构与水的接触角为大于80度，因此该疏水区域可以作为热管的冷凝区。

请参阅图8所示，该图为本发明的热管加工方法另一实施例流程示意图。在本实施例中，该方法6包括有步骤60提供一两端未封闭的金属管体。如图9A所示，该图为金属管体剖面示意图。该金属管体70内壁具有毛细结构71(如图9A中具有多个点的区域)，该金属管体70的内壁可以分成一蒸发区700、一冷凝区701以及一隔热区702。接着进行步骤61，氧化该蒸发区700内的毛细结构71，以将该毛细结构71改质形成一第一氧化结构，该第一氧化结构具有一第一接触角。在步骤61中，氧化的方式可以利用前述步骤21所揭露的三种方式来形成亲水性佳的氧化结构，在一实施例中，该第一接触角小于70度。接着，在步骤62中，氧化该冷凝区701内的毛细结构71，以将该毛细结构71改质形成一第二氧化结构，该第二氧化结构具有一第二接触角。在步骤62中，氧化的方式可以利用前述步骤31所发明的方式或者是利用步骤21与22的方式来形成疏水性的氧化结构，在一实施例中，该疏水性氧化结构的第二接触角大于80度。接着再以步骤63，将金属管体进行一加工程序以形成一热管。该加工程序分成几个阶段，第一阶段先将该金属管体的一端封闭，然后第二阶段，对该金属管体抽真空，再进行第三阶段将工作流体，例如：水充填至该一端封闭的金属管体内，随后第四阶段将该金属管体的另一端封闭以形成两端封闭的结构，最后，再进行对该热管进行表面处理清洁以形成热管。请参阅图9B所示，该图为步骤63所形成的热管剖面示意图。其中蒸发区700内具有的氧化结构表面72(如图9B中蒸发区700内的管壁内的斜线区域)为亲水性的氧化结构，可以产生具有小于70度的接触角。而冷凝区701内具有的氧化结构表面73(如图9B中冷凝区701内的管壁内的斜线区域)为疏水性的氧化结构，可以产生具有大于80度的接触角。

请参阅下式(6)所示，其为热管内毛细压差的计算方程式。

$\mathrm{\ΔP}={\left(\frac{2\mathrm{\σ}\cos {\mathrm{\θ}}_e}{r}\right)}_{\mathrm{evap}}-{\left(\frac{2\mathrm{\σ}\cos {\mathrm{\θ}}_c}{r}\right)}_{\mathrm{cond}}\·\·\·\left(6\right)$

其中ΔP为毛细压差，σ为表面张力，θ_e为工作流体与蒸发区内的毛细结构的接触角，θ_c为工作流体与冷凝区内的毛细结构的接触角，r为毛细半径，evap表示蒸发区，cond表示冷凝区。传统热管工作流体填充量会与毛细结构等高，当蒸发区遇热使工作流体挥发时，会使工作流体于蒸发区的接触角低于冷凝区的接触角，使之产生毛细压差而运作。不同毛细结构其毛细半径亦不同，为提高运作时的毛细压差，可藉由改变毛细结构的设计来达到，另外，一般热管内毛细结构为均一材质，因此工作流体与毛细结构的接触角为固定值。

反观利用本发明的方式，若能以同样的毛细结构半径，亦不改变工作流体表面张力，利用化学表面改质方式使工作流体于蒸发区与冷凝区有不同的润湿性，亦即改变蒸发区与冷凝区的接触角，带入公式(6)可发现亦可达成提升毛细压差与最大热传量的效果。以本发明的图9B的实施例为例，在该实施例中，经过前述的氧化工艺后，蒸发区700的氧化结构表面72可以达到约57度的接触角，而冷凝区701的氧化结构表面73可以达到约137度的接触角，因此可以在不改变热管内工作流体表面张力，利用化学表面改质方式使热管7内的工作流体(例如：水)于蒸发区700与冷凝区701有不同的润湿性，进而提升毛细压差而产生最大热传量的效果。

例如，在一实施例中，以工作流体为水，而管体的材质为铜的热管，且热管内具有沟槽毛细结构为例，总管长25公分、管径6厘米，沟槽高度0.34厘米、宽度0.21厘米、总沟槽数55，藉由通过化学表面改质处理，可将水与铜之接触角于冷凝区提升的接触角至137度，若蒸发区固定为水与铜的接触角78度，并套入公式估计最大热传量，此热管的最大热传量为128.3W。相较于传统未改变热管而言，其所能达到的最大热传量仅28.4W，可以区别出，经过化学氧化改质的毛细结构提升的更多的热传量。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (27)

1.一种热管加工方法，其特征在于，包括有下列步骤：

提供一两端具有开口的一金属管体，该金属管体内壁具有一毛细结构表面；以及

氧化该毛细结构表面以形成第一氧化结构表面。

2.如权利要求1所述的热管加工方法，其特征在于，该金属管体的材料为铜。

3.如权利要求1所述的热管加工方法，其特征在于，该第一氧化结构表面与一工作流体间具有一第一接触角。

4.如权利要求3所述的热管加工方法，其特征在于，氧化该金属管体的内壁的方式更包括有下列步骤：

提供一氧化溶液；以及

使该氧化溶液将该金属管体的内壁表面氧化形成该第一氧化结构表面。

5.如权利要求4所述的热管加工方法，其特征在于，该氧化溶液选择为过硫酸铵与氢氧化钠的混和溶液、过硫酸铵与氢氧化钾的混和溶液、过硫酸钾与氢氧化钾的混和溶液、过硫酸钾与氢氧化钠的混和溶液、过硫酸钠与氢氧化钾的混和溶液以及过硫酸钠与氢氧化钠的混和溶液其中之一。

6.如权利要求4所述的热管加工方法，其特征在于，该第一氧化结构表面为由金属氢氧化物或金属氧化物所形成的表面。

7.如权利要求4所述的热管加工方法，其特征在于，更包括有以一含烷基的溶液对该第一氧化结构表面的一部分区域进行改质而形成具有长碳链含烷基结构的一第二氧化结构表面，其与该工作流体具有一第二接触角，该第二接触角大于该第一接触角。

8.如权利要求7所述的热管加工方法，其特征在于，该含烷基的溶液为氟代烷基硅氧烷、氟代烷基三氯硅烷、氟代烷基二甲基氯硅烷、烷基硅氧烷、烷基三氯硅烷、烷基二甲基氯硅烷或烷基硫醇的稀释溶液。

9.如权利要求7所述的热管加工方法，其特征在于，长碳链含烷基结构为长碳链氟代烷基或长碳链烷基的微结构。

10.如权利要求3所述的热管加工方法，其特征在于，氧化该金属管体的内壁的方式为将该金属管体置于具有一氧化温度的含氧环境内，经过一氧化时间而得到该第一氧化结构表面。

11.如权利要求10所述的热管加工方法，其特征在于，该氧化温度为250℃~450℃，该氧化时间为0.5~6小时。

12.如权利要求11所述的热管加工方法，其特征在于，更包括有一含烷基的溶液对该第一氧化结构表面的一部分区域改质，而形成具有长碳链含烷基结构的一第二氧化结构表面，其与该工作流体具有一第二接触角，该第二接触角大于该第一接触角。

13.如权利要求12所述的热管加工方法，其特征在于，该含烷基的溶液为氟代烷基硅氧烷、氟代烷基三氯硅烷、氟代烷基二甲基氯硅烷、烷基硅氧烷、烷基三氯硅烷、烷基二甲基氯硅烷或烷基硫醇的稀释溶液。

14.如权利要求12所述的热管加工方法，其特征在于，长碳链含烷基结构为长碳链氟代烷基或长碳链烷基的微结构。

15.如权利要求10所述的热管加工方法，其特征在于，该第一氧化温度为80℃~150℃，该第一氧化时间为0~10小时。

16.如权利要求15所述的热管加工方法，其特征在于，更包括有下列步骤：

提供一氧化溶液；以及

使该氧化溶液将该第一氧化结构表面氧化形成一第二氧化结构表面，其具有一第二接触角，该第二接触角小于该第一接触角。

17.如权利要求16所述的热管加工方法，其特征在于，该氧化溶液选择为过硫酸铵与氢氧化钠的混和溶液、过硫酸铵与氢氧化钾的混和溶液、过硫酸钾与氢氧化钾的混和溶液、过硫酸钾与氢氧化钠的混和溶液、过硫酸钠与氢氧化钾的混和溶液以及过硫酸钠与氢氧化钠的混和溶液其中之一。

18.如权利要求16所述的热管加工方法，其特征在于，该第二氧化结构表面为由金属氢氧化物或金属氧化物所形成的表面。

19.一种热管，其特征在于，包括：

一金属管体，其内管壁具有一第一区域；

一工作流体，其充填于该金属管体内；以及

一第一氧化结构，其形成于该第一区域的内管壁上，该工作流体于该第一氧化结构上具有一第一接触角。

20.如权利要求19所述的热管，其特征在于，该第一氧化结构为一金属氢氧化物或一金属氧化物所形成的氧化结构。

21.如权利要求20所述的热管，其特征在于，该金属管体的内管壁更具有一第二区域，以及一第二氧化结构，其形成于该第二区域的内管壁上，该工作流体于该第二氧化结构上具有一第二接触角，其大于该第一接触角。

22.如权利要求21所述的热管，其特征在于，该第二氧化结构为具有长碳链含烷基结构的一结构表面。

23.如权利要求22所述的热管，其特征在于，该长碳链含烷基结构为长碳链氟代烷基或长碳链烷基的微结构。

24.如权利要求19所述的热管，其特征在于，该金属管体的材料为铜。

25.如权利要求24所述的热管，其特征在于，该第一氧化结构为一氧化铜或一氧化亚铜。

26.如权利要求19所述的热管，其特征在于，该第一氧化结构为具有长碳链含烷基结构的一结构表面。

27.如权利要求26所述的热管，其特征在于，该长碳链含烷基结构为长碳链氟代烷基或长碳链烷基的微结构。

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