CN103801828A - 激光装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够使用常用的反射镜容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方，由此，能够实现成本的低廉化的激光装置。激光装置（10A）具备将激光（LB）分割为分割激光（LB1、LB2）的多个反射镜（44、46）与聚光镜（52）。反射镜（46）在能以改变激光（LB）相对于该反射镜（46）的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜（46）反射的分割激光（LB2）相对于聚光镜（52）的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态下配设。

Description

激光装置

技术领域

本发明涉及分割从激光振荡器振荡的激光并照射到工件上的激光装置。

背景技术

激光装置用于例如热交换器的冷却风扇或珠宝饰品的微小部件等的焊接上，近年来，对应用于电子部件向印刷电路板的软钎焊进行了研究。

在激光软钎焊的领域中，已知有使用分割单元将一个激光分割为两个分割激光，并将这些分割激光的各个聚光照射到工件的规定位置的技术思想（例如参照专利文献1～3）。

在使用激光进行焊接或软钎焊等的场合，为了与多种工件对应，期望能容易地调整分割激光的光量比及工件的分割激光的射线间隔。

例如，在专利文献4中，公开了下述激光加工装置：通过能旋转且能移动地配设将一个抛物面反射镜分割为一半而形成的分割抛物面反射镜的各个，能够调整分割激光的光量比及射线间隔。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平7-211424号公报

专利文献2：日本特开2007-289980号公报

专利文献3：日本特开2011-56520号公报

专利文献4：日本特开平4-182087号公报

但是，在上述专利文献4那样的现有技术中，由于使用作为专用品（特殊品）的分割抛物面反射镜，因此存在激光加工装置的成本升高之类的问题。另外，在想要改变焦点距离的场合，需要更换各分割抛物面反射镜，有可能成本进一步升高。

发明内容

本发明是考虑这种课题而完成的，其目的在于提供能够使用常用的反射镜容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方，由此，能够实现成本的低廉化的激光装置。

（1）本发明的激光装置具备使激光振荡的激光振荡器、将上述激光分割为多个分割激光并且朝向工件反射的多个反射镜、将多个上述分割激光聚光到上述工件上的聚光镜，该激光装置的特征在于，多个上述反射镜的至少一个是在能以改变上述激光相对于该反射镜的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜反射的上述分割光相对于上述聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态配设的可动反射镜。

根据本发明的激光装置，能够在以改变上述激光相对于反射镜的入射量的方式进退的状态下配设将激光分割为多个分割激光的多个反射镜的至少一个。在该场合，能够以只使该反射镜进退就能容易地调整多个分割激光的光量比。另外，能够在以能改变由该反射镜反射的分割激光相对于聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态下配设多个上述反射镜的至少一个。在该场合，能够只通过使该反射镜倾斜运动就能容易地调整多个分割激光在工件中的射线间隔。另外，由于不是分割抛物面反射镜那样的特殊品，能够使用普通的反射镜及聚光镜，因此能够实现激光装置的成本的低廉化。另外，即使是想要改变焦点距离的场合，也能够只通过更换上述聚光镜来实现，因此能够适当抑制成本升高。

（2）在上述激光装置中，各上述反射镜构成为具有与上述激光的波长不同的波长的光能通过，上述激光装置还具备图像摄影单元，该图像摄影单元通过接受从上述工件导入并通过了各上述反射镜的上述光来对该工件进行摄影。

根据这种结构，由于具备通过接受从工件导入并通过了各反射镜的光而对该工件进行摄影的图像摄影单元，因此能够比较近地配置图像摄影单元与多个反射镜。由此，能使激光装置紧凑。另外，因为能够使用作为常用品的反射镜（例如平面反射镜），因此即使是接受通过了各反射镜的上述光并对工件进行摄影的场合，也能够适当地抑制摄影所得的图像的紊乱。

（3）在上述激光装置中，多个上述反射镜的一个可以是以相对于上述聚光镜的相对部位不会改变的方式配设的固定反射镜。

根据这种结构，由于多个反射镜的一个是固定反射镜，因此与使全部的反射镜为可动反射镜的场合相比，能够减少用于使反射镜可动的部件。由此，能够进一步实现激光装置的低廉化。

（4）在上述激光装置中，上述固定反射镜构成为具有红外区域的波长的红外光能通过，上述激光装置还具备温度测定单元，该温度测定单元通过接受从上述工件导入并通过了上述固定反射镜的上述红外光来测定该工件的温度。

根据这种结构，由于具备通过接受从工件导入并通过了固定反射镜的红外光而测定该工件的温度的温度测定单元，因此能够比较近地配置温度测定单元与多个反射镜。由此能够使激光装置紧凑。另外，由于接受不是通过可动反射镜而是通过固定反射镜的红外光，因此即使使可动反射镜倾斜运动，该红外光相对于温度测定单元的照射位置也不会移动。由此，能够可靠地测定工件的温度。

（5）在上述激光装置中，上述固定反射镜构成为具有1.8μm～2.3μm的范围的波长的上述红外光能通过，上述温度测定单元可以是接受该红外光并测定上述工件的温度的放射温度计。

根据这种结构，由于温度测定单元是接受具有作为距激光的波长带比较远且黑体辐射光谱的误差比较小的波长带即1.8μm～2.3μm的范围的波长的红外光并测定工件的温度的放射温度计，因此能够正确地测定工件的温度。

（6）在上述激光装置中，上述反射镜设有n个（n是3以上的整数），至少n-1个上述反射镜是上述可动反射镜。

根据这种结构，由于至少n-1个反射镜是可动反射镜，因此能够照射对工件的任意的n处必要的光量的分割激光。由此，能够与多种形状的工件可靠地对应。另外，例如在使n-1个反射镜为可动反射镜并且使一个反射镜为固定反射镜的场合，能够适当地进行所谓的通孔安装。即，由于能够将由固定反射镜反射的分割激光照射到端子（引线部）上，并且将由各可动反射镜反射的各分割激光照射到焊盘上，因此能够使上述端子与上述焊盘平衡性好地升温。

本发明的效果如下。

根据本发明的激光装置，由于使多个反射镜的至少一个为可动反射镜，因此能够容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方。另外，由于能够使用普通的反射镜及聚光镜，因此能够实现激光装置的低廉化。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的激光装置的示意图。

图2是表示上述激光装置的主要部分的方框图。

图3是构成上述激光装置的激光头的局部省略截面立体图。

图4是图1所示的工件的局部省略俯视图。

图5A是表示向上述工件照射了分割激光的第一状态的平面说明图，图5B是表示向该工件照射了分割激光的第二状态的平面说明图，图5C是表示向该工件照射了分割激光的第三状态的平面说明图。

图6是表示用于说明从工件导入的光（红外光及可见光）的光路的上述激光装置的主要部分的方框说明图。

图7A是表示利用第一实施方式的变形例的激光装置的摄像单元进行摄影的第一图像的说明图，图7B是表示利用该摄像单元进行摄影的第二图像的说明图，图7C是表示利用该摄像单元进行摄影的第三图像的说明图。

图8是表示本发明的第二实施方式的激光装置的主要部分的局部省略方框图。

图9是构成图8所示的激光装置的激光头的局部省略截面立体图。

图10A是表示向图8所示的工件照射了分割激光的第一状态的平面说明图，图10B是表示向该工件照射了分割激光的第二状态的平面说明图。

图11是表示将由构成图8所示的激光装置的固定反射镜反射的分割激光聚光照射到端子上，并且将由可动反射镜反射的各分割激光聚光照射到焊盘上的状态的平面说明图。

图中：10A、10B—激光装置，12—工作台，16—LD单元（LD振荡器），44—固定反射镜，46、92—可动反射镜，70—放射温度计（温度测定机构），74—摄像单元（图像摄影单元），IL1、IL2—红外光，LB—激光，LB1～LB3—分割激光，VL1、VL2—可见光，W—工件。

具体实施方式

下面，对本发明的激光装置示例优选的实施方式，参照附图详细地进行说明。

（第一实施方式）

本发明的第一实施方式的激光装置10A构成为使用激光LB使工件W升温并进行软钎焊的激光软钎焊装置（激光接合装置）。

首先，对在本实施方式中使用的工件W进行说明。如图1及图4所示，工件W具有印刷电路板200、安装在印刷电路板200上的电子部件202。在印刷电路板200上例如形成有多个贯通孔（通孔）204a～204f、配设在各贯通孔204a～204f周围的环状的多个焊盘206a～206f。

在图4中，六个贯通孔204a～204f形成为三行两列的排列。并且，在本实施方式中，将在行方向（图4的箭头X方向）上邻接的贯通孔204a～204f的中心间距离设为La，将在列方向（图4的Y方向）上邻接的贯通孔204a～204f的中心间距离设为Lb。

电子部件202例如构成为连接器，包括连接器主体208（参照图1）与从连接器主体208延伸并插通到各贯通孔204a～204f中的多个端子210a～210f。

如图1所示，激光装置10A具备用于载置工件W的工作台12、LD电源14、根据从LD电源14供给的驱动电流使激光LB振荡的LD单元（激光振荡器）16、传送从LD单元16振荡的激光LB的传送单元18、用于将由传送单元18传送的激光LB照射到工件W上的激光头20、供给软钎料（丝软钎料）S的多个（在本实施方式中为两个）软钎料供给部22、24以及控制部26。

LD单元16例如由FC-LD（光纤连接器激光二极管（ファイバカップリングレーザダイオード））构成，构成为与取出用光纤28一体地结合。LD单元16具有一个或多个LD阵列，从LD电源14供给（注入）所需的驱动电流，例如将1W～200W的高输出LD光作为激光LB振荡输出。

激光LB的波长未特别地限定，例如设定为0.8μm～0.9μm。取出用光纤28例如是SI式光纤，延伸到传送单元18，并且从其出射端面射出激光LB。

传送单元18具有入射部30与光纤32。入射部30包括将从取出用光纤28以规定的宽角度射出的激光LB平行化的校准透镜34、以及将由校准透镜34平行化了的激光LB聚光到光纤32上的聚光镜36。

如图2及图3所示，激光头20具有能收放各种光学设备的激光头主体38、设在激光头主体38上且保持光纤32的出射侧端部的光纤保持部40、将从光纤32以规定的宽角度出射的激光LB平行化的校准透镜42、将从校准透镜42导入的激光LB分割为两个分割激光LB1、LB2的固定反射镜44及可动反射镜46、用于驱动可动反射镜46的驱动机构50、将从固定反射镜44及可动反射镜46导入的各分割激光LB1、LB2聚光到工件W的规定位置的聚光镜52。

固定反射镜44以激光LB的入射角度为规定值（例如45°）的方式通过反射镜架54固定在激光头主体38上。即，固定反射镜44相对于聚光镜52的相对位置不会改变。

固定反射镜44反射激光LB并使与激光LB的波长不同的波长的光通过。固定反射镜44例如能够构成为使可见光VL1及红外光IL1通过的普通的感应体多层膜反射镜（参照图6）。具体地说，固定反射镜44能使具有1.8μm～2.3μm的红外区域的波长的红外光IL1通过。

可动反射镜46例如能够构成为反射激光LB并且使可见光VL2及红外光IL2通过的普通的感应体多层膜。即，可动反射镜46能够构成为与固定反射镜44相同。

但是，可动反射镜46只要构成为至少能使可见光VL2通过即可，红外光IL2可以不通过。另外，可动反射镜46配置在固定反射镜44的前方、即比固定反射镜44靠校准透镜42所处的位置的一侧。

驱动机构50例如具有固定可动反射镜46的移动工作台56、在一方向上滑动自如地支撑移动工作台56的支撑工作台58、用于使移动工作台56相对于支撑工作台58滑动的第一旋钮60、用于使设在支撑工作台58上的支承轴62旋转的第二旋钮64（参照图3）。

根据这样构成的驱动机构50，用户等通过操作第一旋钮60，能够以改变激光LB相对于可动反射镜46的入射光量的方式使可动反射镜46进退，通过操作第二旋钮64，能够以改变由可动反射镜46反射的分割激光LB2相对于聚光镜52的入射角度的方式倾斜运动。但是，驱动机构50未限于上述结构，例如可以具备用于使可动反射镜46进退及倾斜运动的马达等驱动源。

从图2及图6可以看出，激光头20还具有：反射镜66，其反射从工件W导入并通过了固定反射镜44及可动反射镜46的红外光IL1、IL2，并且使从工件W导入并通过了固定反射镜44及可动反射镜46的可见光VL1、VL2通过；对由反射镜66反射的红外光IL1、IL2进行聚光的聚光镜68；接受由聚光镜68聚光的红外光IL1的放射温度计（温度测定单元）70、对通过了反射镜66的可见光VL1、VL2进行聚光的聚光镜72、接受由聚光镜72聚光的可见光VL1、VL2并对工件进行摄影的摄像单元（图像摄影单元）74。

放射温度计70与摄像单元74配设在相对于固定反射镜44及可动反射镜46与工件W所处的一侧相反侧。即，放射温度计70、摄像单元74、固定反射镜44、以及可动反射镜46收放在激光头主体38内，配置为互相比较近。由此，与将放射温度计70与摄像单元74配置在激光头主体38的外侧的场合相比，能够构成为使激光装置10A紧凑。

放射温度计70通过接受通过了固定反射镜44的红外光IL1，测定工件W上的分割激光LB1的照射部位的温度。这样，由于放射温度计70不接受通过可动反射镜46的红外光，而是接受通过了固定反射镜44的红外光IL1，因此即使使可动反射镜46倾斜运动，红外光IL1相对于放射温度计70的照射位置也不会移动。由此，能够可靠地测定工件W上的分割激光LB1的照射部位（软钎焊部）的温度。

摄像单元74对工件W的各分割激光LB1、LB2的照射部位（软钎焊部）进行摄影。并且，由摄像单元74摄影的图像（静止图像或动图像）能利用显示部76显示（参照图7A～图7C）。

各软钎料供给部22、24以规定的输送速度将软钎料S供给到工件W的各焊盘206a～206f。各软钎料供给部22、24在能相对于工作台12相对地位移的状态下设置。由此，能够可靠地将软钎料S供给到工件W的各焊盘206a～206f。

控制部26具有驱动控制LD电源14的电源控制部78、控制部主体80（参照图1）。在控制部主体80上设有驱动控制工作台12的工作台控制部82与驱动控制各软钎料供给部22、24的软钎料供给控制部84。

接着，对使用如上那样构成的激光装置10A的软钎焊进行说明。首先，工作台控制部82通过使工作台12移动，以端子210d及焊盘206d位于从固定反射镜44导入的分割激光LB1的照射位置的方式对工件W进行定位。另外，在该定位工序中，当然可以使激光头20相对于工作台12移动。

接着，用户等通过操作第一旋钮60及第二旋钮64，调整可动反射镜46的位置。具体地说，用户等通过操作第一旋钮60并使可动反射镜46进退，调整分割激光LB1与分割激光LB2的光量比。在本实施方式中，例如使分割激光LB1与分割激光LB2的光量比大致为1比1。

另外，用户等通过操作第二旋钮64使可动反射镜64倾斜运动，调整工件W上的分割光LB2的照射位置。在此，当可动反射镜46倾斜运动时，改变了由该反射镜46反射的分割激光LB2相对于聚光镜52的入射角度，因此工件W上的分割激光LB2的照射位置移动。

在本实施方式中，以工件W上的分割激光LB1与分割激光LB2的射线间隔为Lb的方式操作第二旋钮64。通过这样，能够可靠地将从可动反射镜46导入的分割激光LB2聚光照射到端子210a及焊盘206a上。

接着，电源控制部78驱动LD电源14并从LD单元16使激光LB振荡。从LD单元16振荡的激光LB从取出用光纤28出射并利用校准透镜34平行化后，利用聚光镜36入射到光纤32内并传送到激光头20。从光纤32出射的激光LB在利用校准透镜42平行化后，照射到固定反射镜44及可动反射镜46上。

并且，入射到固定反射镜44上的一部分的激光LB由该固定反射镜44反射并作为分割激光LB1通过聚光镜52聚光照射到端子210d及焊盘206d上，并且入射到可动反射镜46上的剩余的激光LB由该可动反射镜46反射并作为分割激光LB2通过聚光镜52聚光照射到端子210a及焊盘206a上（参照图5A）。

由此，照射了分割激光LB1的端子210d及焊盘206d吸收该分割激光LB1并升温，并且照射了分割激光LB2的端子210a及焊盘206a吸收该分割激光LB2并升温。

此时，如图6所示，从端子210d及焊盘206d产生的红外光IL1通过了聚光镜52后，通过固定反射镜44。通过固定反射镜44的红外光IL1由反射镜66反射并利用聚光镜68聚光，并由放射温度计70接受。

另一方面，从端子210a及焊盘206a产生的红外光IL2通过了聚光镜52后，通过可动反射镜46。通过了可动反射镜46的红外光IL2在由反射镜66反射后，未由放射温度计70接受。由此，工件W上的分割激光LB1的照射部位的温度由放射温度计70测定。

当工件W上的各分割激光LB1、LB2的照射部位的温度达到规定温度以上时，从软钎料供给部22供给到焊盘206a的软钎料S熔融，并且从软钎料供给部24供给到焊盘206d的软钎料S熔融。

之后，软钎料供给控制部84停止各软钎料供给部22、24的驱动并停止软钎料S的供给，电源控制部78停止LD电源14的驱动并停止激光LB的振荡。由此，端子210a与焊盘206a的软钎焊和端子210d与焊盘206d的软钎焊大致同时完成。

在本实施方式中，摄像单元74对工件W的状态（软钎焊前后的状态及软钎焊中的状态）进行摄影。即，由端子210d及焊盘206d反射的自然光或照明光反射光通过聚光镜52导入固定反射镜44，该反射光中具有可见区域的波长的可见光VL1通过固定反射镜44。通过了固定反射镜44的可见光VL1通过反射镜66并由聚光镜72聚光，并由摄像单元74接受。

另一方面，由端子210a及焊盘206a反射的自然光或照明光等反射光通过聚光透镜52导入可动反射镜46，该反射光中具有可见区域的波长的可见光VL2通过可动反射镜46。通过了可动反射镜46的可见光VL2通过反射镜66，由聚光镜72聚光，并且由摄像单元74接受。

即使这样对工件W上的各分割激光LB1、LB2的照射部位进行摄影的场合，由于由感应体多层膜反射镜（平面反射镜）构成固定反射镜44及可动反射镜46，因此能够适当地抑制由摄像单元74拍摄的图像的紊乱。

在本实施方式中，当端子210a及焊盘206a的软钎焊与端子210d及焊盘206d的软钎焊结束时，工作台控制部82以规定距离La使工作台12在行方向（图5A的X方向，左侧）上移动。

这样，由于在列方向上邻接的贯通孔204a～204f的中心间距离为Lb是一定的（参照图4），因此端子210e及焊盘206e位于分割激光LB1的照射位置，并且端子210b及焊盘206b位于分割激光LB2的照射位置（参照图5B）。由此，能够不调整可动反射镜46的位置且大致同时地调整端子210b及焊盘206b的软钎焊和端子210e及焊盘206e的软钎焊。

之后，工作台控制部82使工作台12以规定距离La在行方向上（图5A的X方向，左侧）进一步移动。由此，能够不调整可动反射镜46的位置且大致同时地进行端子210c及焊盘206c的软钎焊和端子210f及焊盘206f的软钎焊（参照图5C）。这样，在本实施方式中，能够有效地进行六处软钎焊。

根据本实施方式，在能以改变激光LB相对于可动反射镜46的入射量的方式进退的状态下配设可动反射镜。在该场合，能够通过只操纵第一旋钮60并使可动反射镜46进退就能容易地调整分割激光LB1与分割激光LB2的光量比。

另外，在能以改变从可动反射镜46导入的分割激光LB2相对于聚光透镜52的入射角度的方式倾斜运动的状态下配设可动反射镜46。在该场合，能够通过只操作第二旋钮64并使可动反射镜46倾斜运动就能容易地调整工件W的分割激光LB1与分割激光LB2的射线间隔。

另外，由于不是分割抛物面反射镜等那样的特殊品，而是使用作为普通品的固定反射镜44、可动反射镜46及聚光镜52，因此能够实现激光装置10A的成本的低廉化。另外，即使是想要改变焦点距离的场合，也能够通过只更换聚光镜52就能实现，因此能够适当地抑制成本升高。

在本实施方式的激光装置10A中，由于用于分割激光LB的两个反射镜中的一个是固定反射镜44，因此可以只设置一个驱动机构50。即，由于不需要在固定反射镜44上设置驱动机构50，因此与使全部的反射镜为可动反射镜46的场合相比，能够减少部件件数。由此，能够实现激光装置10A的成本的进一步的低廉化。

另外，由于放射温度计70一般接受距用于工件W的加工等的激光LB的波长带（在本实施方式中为0.8μm～0.9μm）比较远且黑体辐射光谱的误差比较少的波长带即1.8μm～2.3μm的范围的波长的红外光IL1来测定工件W的温度，因此能够正确地测定工件W的温度。

本实施方式的激光装置10A未限于上述结构。例如可动反射镜46可以在能以改变激光LB相对于该可动反射镜46的入射量的方式进退的状态、或能以改变由该可动反射镜46反射的分割激光LB2相对于聚光透镜52的入射角的方式倾斜运动的状态下配设。

另外，在上述激光装置10A中，可以构成为更替放射温度计70与摄像单元74的位置。在该场合，反射镜66反射可见光VL1、VL2，并且至少使红外光IL1通过。

另外，本实施方式的激光装置10A可以代替固定反射镜44设置可动反射镜46与其驱动机构50。在该场合，例如使两个可动反射镜46倾斜来改变工件W上的分割激光LB1与分割激光LB2的射线间隔。

这样，如图7A～图7C所示，在显示部76所显示的图像中，能够使工件W上的分割激光LB1的照射位置与分割激光LB2的照射位置相对于图像中心O左右对称地移动。在该场合，能够容易地将各分割激光LB1、LB2的照射部位集中在显示部76的画面内。

在本实施方式中，设有多个LD单元16，并且可以使从各LD单元16延伸的取出用光纤28构成为捆绑光纤。通过这样，能够利用上述捆绑光纤捆绑从各LD单元16振荡的激光LB。由此，能够将最高输出的激光LB用于软钎焊（加工）。

另外，在本实施方式中，取出用光纤28可以构成为直接连接在激光头主体38上。由此，能够省略入射部30及光纤32的结构，因此能够使激光装置10A的结构简单化。

（第二实施方式）

接着，参照图8～图11对本发明的第二实施方式的激光装置10B进行说明。另外，在第二实施方式的激光装置10B中，对与第一实施方式的激光装置10A相同或起到相同的功能及效果的要素标注相同的参照符号并省略详细的说明。

如图8及图9所示，在构成本实施方式的激光装置10B的激光头90上追加构成为与上述可动反射镜46及驱动机构50相同的可动反射镜92及驱动机构94。即，激光装置10B具备一个固定反射镜44与两个可动反射镜46、92。可动反射镜46、92配设在比固定反射镜44靠前方。另外，在激光装置10B上追加有软钎料供给部96。

在以上那样构成的激光装置10B中，例如在操作一方的驱动机构50的第二旋钮64并使可动反射镜46倾斜运动的场合，能够调整由该可动反射镜46反射的分割激光LB2与由固定反射镜44反射的分割激光LB1的射线间隔，在操作另一方的驱动机构94的第二旋钮64并使可动反射镜92倾斜运动的场合，能够调整由该可动反射镜92反射的分割激光LB3与由固定反射镜44反射的分割激光LB1的射线间隔。

在本实施方式中，以工件W上的邻接的分割激光LB1～LB3的射线间隔为La的方式操作各驱动机构50、94的第二旋钮64。由此，入射到固定反射镜44上的一部分的激光LB由该固定反射镜44反射并作为分割激光LB1通过聚光镜52聚光照射到端子210b及焊盘206b上，入射到可动反射镜46上的一部分的激光LB由该可动反射镜46反射并作为分割激光LB2通过聚光镜52聚光照射到端子210a及焊盘206a上，入射到可动反射镜92上的剩余的激光LB由该可动反射镜92反射并作为分割激光LB3通过聚光镜52聚光照射到端子210c及焊盘206c上（参照图10A）。在该场合，能够大致同时进行三处的软钎焊。

另外，在上述软钎焊结束后，工作台控制部82以固定距离Lb使工作台12在列方向（图10A的箭头Y方向，上侧）上移动。这样，由于在行方向上邻接的贯通孔204a～204f的中心间距离为La是一定的（参照图4），因此端子210e及焊盘206e位于分割激光LB1的照射位置，端子210d及焊盘206d位于分割激光LB2的照射位置，端子210f及焊盘206f位于分割激光LB3的照射位置（参照图10B）。

由此，能够不调整各可动反射镜46、92的位置且大致同时地进行端子210d及焊盘206d的软钎焊、端子210e及焊盘206e的软钎焊、端子210f及焊盘206f的软钎焊。

根据本实施方式，由于设置一个固定反射镜44与两个可动反射镜46、92，因此能够照射对工件W上的任意三处必要的光量的分割激光LB1～LB3。由此，能够有效地进行上述那样的形状的工件W的软钎焊。另外，也能够与上述以外的多种形状的工件对应。

本实施方式的激光装置10B例如如图11所示，可以通过将从固定反射镜44导入的分割激光LB1聚光照射到端子210a上，将从可动反射镜46、92导入的分割激光LB2、LB3聚光照射在焊盘206a上来进行软钎焊。在该场合，由于能够使端子210a与焊盘206a平衡性好地升温，因此能够进行高品质的软钎焊。

在上述中，列举了对本发明优选的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，当然能在不脱离本发明的主旨的范围内进行多种改变。

例如，本发明的激光装置可以具有三个以上的可动反射镜。在该场合，可以设置一个固定反射镜，也可以不设置固定反射镜。另外，本实施方式的激光装置除了激光软钎焊加工外，例如也能够用于激光熔接、激光焊接、开孔加工等。

Claims (6)

1.一种激光装置，其具备：

使激光振荡的激光振荡器；

将上述激光分割为多个分割激光并且朝向工件反射的多个反射镜；以及

将多个上述分割激光聚光到上述工件上的聚光镜，

该激光装置的特征在于，

多个上述反射镜的至少一个是在能以改变上述激光相对于该反射镜的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜反射的上述分割激光相对于上述聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态下配设的可动反射镜。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

各上述反射镜构成为具有与上述激光的波长不同的波长的光能通过，

上述激光装置还具备图像摄影单元，该图像摄影单元通过接受从上述工件导入并通过了各上述反射镜的上述光来对该工件进行摄影。

3.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，

多个上述反射镜的一个是以相对于上述聚光镜的相对位置不会改变的方式配设的固定反射镜。

4.根据权利要求3所述的激光装置，其特征在于，

上述固定反射镜构成为具有红外区域的波长的红外光能通过，

上述激光装置还具备温度测定单元，该温度测定单元通过接受从上述工件导入并通过了上述固定反射镜的上述红外光来测定该工件的温度。

5.根据权利要求4所述的激光装置，其特征在于，

上述固定反射镜构成为具有1.8μm～2.3μm的范围的波长的上述红外光能通过，

上述温度测定单元是接受该红外光并测定上述工件的温度的放射温度计。

6.根据权利要求1～5任一项所述的激光装置，其特征在于，

上述反射镜设有n个，其中，n是3以上的整数，

至少n-1个上述反射镜是上述可动反射镜。

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