CN103770397B - 一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层 - Google Patents
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Abstract
一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层,它是由(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层与TiAlN涂层交替层叠而成,其中(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层厚度范围为5-8nm,其成分含量分别为Ti:15-20at%,Al:15-20at%,Si:5-10at%,Mo:5-10at%,Ag:10-15at%,N:28-36at%,S:5-10at%;其中TiAlN涂层厚度范围为15-20nm,其成分含量分别为Ti:20-30at%,Al:20-30at%,N:48-50at%;本发明在室温-800℃温度范围内能够始终保持较低的摩擦系数和优良的抗磨损性能,可广泛应用于刃具等机械加工行业,对推动绿色加工行业的发展并节能降耗,具有重要的实际意义。
Description
技术领域
本发明涉及一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层。
背景技术
我国现在已成为能源消耗大国,摩擦磨损是造成高能耗的一个主要原因。2006年全国消耗在摩擦磨损方面的资金高达9500亿元,其中润滑是减少摩擦磨损、降低能耗的最为有效的措施之一。
20世纪60年代问世的硬质涂层技术使刀具材料出现了一次重大变革。近10年来,硬质涂层技术受到了越来越多的关注和研究,其中,最典型的两类涂层是以TiAlN涂层为基础的超硬涂层(硬度大于40GPa)和金刚石涂层。目前,TiAlN涂层由于具有内应力较小、高硬度和良好的抗高温氧化性能,被广泛应用于机械加工行业。以TiAlN涂层为基础的超硬涂层,如TiAlSiN涂层,虽然其硬度高,但是其内应力大、摩擦系数大(室温摩擦系数通常大于0.7)、韧性差,金刚石涂层由于具有极高的硬度和极小的摩擦系数,广泛应用于低速机械加工领域,但由于金刚石涂层本身脆性大,在高温下很容易发生氧化,故金刚石涂层不能应用于高速机械加工或高进刀量机械加工。
近几年来,具有润滑特性的耐磨涂层受到了人们的广泛关注和研究,如MoS2是一种性能优良且广泛应用的固体润滑剂,具有六方结构的MoS2晶胞包含两个MoS2分子,其具有层状结构。MoS2涂层具有非常低的摩擦系数,但是其很少单独使用,原因是:MoS2涂层具有多孔结构和极强的化学反应活性,在空气或水蒸汽环境中很容易生成氧化物而增加摩擦系数。在硬质涂层中,加入贵金属元素,如Au、Ag, 或者加入在高温下能形成具有润滑作用的氧化物形成元素,如W、Mo、V等,在室温和中温条件下能够降低硬质涂层的摩擦系数,提高涂层的耐磨性能。有研究表明,对于CrAlN-Ag纳米复合涂层,当Ag含量为5at%,复合涂层具有最高的硬度,Ag含量为8at%时,复合涂层的摩擦系数仅为0.23,磨损量为3.0×10−8mm3/Nm。TiAlSiN涂层在高温时的耐磨性显著优于室温时的耐磨性,其主要原因是TiAlSiN涂层在高温磨损过程中生成了以Al2O3和SiO2为主的磨损产物,其在高温下具有润滑减磨的特性。现有的高硬度氮化物减磨涂层构成简单,润滑组元单一,不能使刃具涂层在作业过程中始终保持优良的耐磨属性。
刃具涂层在作业过程中,特别是间歇作业时,会发生温度的剧烈变化,涂层中单一的润滑组元不能在宽温范内始终具有良好的润滑效果。
发明内容
本发明的目的在于提供了一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层,它在宽温范内具有良好的润滑效果。
本发明是这样来实现的,首先,采用TiAlSiAg靶和MoS2靶双靶共同反应磁控溅射技术获得(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层作为该纳米多层涂层的一种单层,通过调节靶成分和这两个靶的功率,使其成分范围如下:Ti:15-20at%,Al:15-20at%,Si:5-10at%,Mo:5-10at%,Ag:10-15at%,N:28-36at%,S:5-10at%;其次,采用TiAl合金靶制备反应溅射制备TiAlN单层,通过调节靶成分,使TiAlN层的成分如下:Ti:20-30at%,Al:20-30at%,N:48-50at%;最后,通过调整TiAlSiAg靶、MoS2靶和TiAl靶的溅射功率以及试样转架的公转速度,使(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag涂层单层厚度范围为5-8nm,TiAlN涂层单层的厚度为15-20nm
本发明的技术效果是:为了使高硬度的氮化物涂层在宽温范内具有良好的润滑效果,本发明创造性的利用磁控溅射技术制备了一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层,其中TiAlN为承载相,Mo(S,N)2、Ag、(Ti,Al,Si)N分别在室温、中温(200-400℃)和高温(400-800℃)起润滑作用;本发明在室温-800℃温度范围内能够始终保持较低的摩擦系数和优良的抗磨损性能,可广泛应用于刃具等机械加工行业,对推动绿色加工行业的发展并节能降耗,具有重要的实际意义。
附图说明
图1为本发明(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层沉积过程示意图。
图2为(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做详细阐述:
实施例一、在高速钢W6Mo5Cr4V2上制备(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层,其具体的制备工艺如下:
1)前处理:将W6Mo5Cr4V2高速钢钢板切割成20mm×20mm×3mm的试样,试样的中上部钻直径为3mm的通孔,试样经粗磨、细磨和抛光处理,使其表面粗糙度小于0.5微米;
2)双靶共溅制备单层(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag涂层的工艺参数和技术条件如下:N2分压0.5Pa,Ar分压0.25Pa,温度150℃,时间是200min,偏压-100V,占空比30%,采用粉末冶金的方法制备TiAlSiAg靶,其成分:Ti:32at%,Al:30at%,Si:20at%,Ag:18at%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:10mm,溅射功率:250W,供电方式:恒流,采用粉末冶金的方法制备MoS2靶,粉末纯度:大于99wt%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:5mm,溅射功率:70W,供电方式:射频;
3)单靶磁控溅射制备单层TiAlN涂层的工艺参数和技术条件如下:N2分压0.5Pa,Ar分压0.25Pa,温度150℃,时间是200min,偏压-100V,占空比30%,采用粉末冶金的方法制备TiAl靶,其成分:Ti:52at%,Al:48at%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:10mm,溅射功率:500W,供电方式:恒流;
4)试样转架公转速率:10转/分钟,试样转架自转速率:30转/分钟。这样,获得的(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag单层涂层的厚度约7nm,其成分含量分别为Ti:19at%,Al:16at%,Si:7at%,Mo:5at%,Ag:12at%,N:36at%,S:5at%,TiAlN单层涂层的厚度约为18nm,其成分含量分别为Ti:28at%,Al:24at%,N:48at%;所制备的 (Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层沉积过程如附图1;其结构如附图2。
经试验测试,实施例所获得的(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层能够在20℃-800℃的范围内保持0.2-0.25的摩擦系数,抗磨性能比现有的普通TiAlSiN涂层提高2-3倍。
实施例二、在高速钢W6Mo5Cr4V2上制备(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层,其具体的制备工艺如下:
1)前处理:将W6Mo5Cr4V2高速钢钢板切割成20mm×20mm×3mm的试样,试样的中上部钻直径为3mm的通孔,试样经粗磨、细磨和抛光处理,使其表面粗糙度小于0.5微米;
2)双靶共溅制备单层(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag涂层的工艺参数和技术条件如下:N2分压0.5Pa,Ar分压0.25Pa,温度150℃,时间是200min,偏压-100V,占空比30%,采用粉末冶金的方法制备TiAlSiAg靶,其成分:Ti:27at%,Al:38at%,Si:15at%,Ag:20at%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:10mm,溅射功率:180W,供电方式:恒流,采用粉末冶金的方法制备MoS2靶,粉末纯度:大于99wt%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:5mm,溅射功率:70W,供电方式:射频;
3)单靶磁控溅射制备单层TiAlN涂层的工艺参数和技术条件如下:N2分压0.5Pa,Ar分压0.25Pa,温度150℃,时间是200min,偏压-100V,占空比30%,采用粉末冶金的方法制备TiAl靶,其成分:Ti:40at%,Al:60at%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:10mm,溅射功率:600W,供电方式:恒流;
4)试样转架公转速率:10转/分钟,试样转架自转速率:30转/分钟。这样,获得的(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag单层涂层的厚度约5nm,其成分含量分别为Ti:15at%,Al:19at%,Si:5at%,Mo:8at%,Ag:14at%,N:32at%,S:7at%,TiAlN单层涂层的厚度约为20nm,其成分含量分别为Ti:21at%,Al:30at%,N:49at%;所制备的 (Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层沉积过程如附图1;其结构如附图2。
经试验测试,实施例所获得的(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层能够在20℃-800℃的范围内保持0.18-0.25的摩擦系数,抗磨性能比现有的普通TiAlSiN涂层提高2.5-3.5倍。
实施例三、在高速钢W6Mo5Cr4V2上制备(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层,其具体的制备工艺如下:
1)前处理:将W6Mo5Cr4V2高速钢钢板切割成20mm×20mm×3mm的试样,试样的中上部钻直径为3mm的通孔,试样经粗磨、细磨和抛光处理,使其表面粗糙度小于0.5微米;
2)双靶共溅制备单层(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag涂层的工艺参数和技术条件如下:N2分压0.5Pa,Ar分压0.25Pa,温度150℃,时间是200min,偏压-100V,占空比30%,采用粉末冶金的方法制备TiAlSiAg靶,其成分:Ti:30at%,Al:28at%,Si:26at%,Ag:16at%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:10mm,溅射功率:290W,供电方式:恒流,采用粉末冶金的方法制备MoS2靶,粉末纯度:大于99wt%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:5mm,溅射功率:90W,供电方式:射频;
3)单靶磁控溅射制备单层TiAlN涂层的工艺参数和技术条件如下:N2分压0.5Pa,Ar分压0.25Pa,温度150℃,时间是200min,偏压-100V,占空比30%,采用粉末冶金的方法制备TiAl靶,其成分:Ti:60at%,Al:40at%,靶材尺寸:直径100mm,厚度:10mm,溅射功率:450W,供电方式:恒流;
4)试样转架公转速率:12转/分钟,试样转架自转速率:30转/分钟。这样,获得的(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag单层涂层的厚度约8nm,其成分含量分别为Ti:17at%,Al:15at%,Si:10at%,Mo:10at%,Ag:10at%,N:28at%,S:10at%,TiAlN单层涂层的厚度约为15nm,其成分含量分别为Ti:30at%,Al:20at%,N:50at%;所制备的 (Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层沉积过程如附图1;其结构如附图2。
经试验测试,实施例所获得的(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层能够在20℃-800℃的范围内保持0.25-0.30的摩擦系数,抗磨性能比现有的普通TiAlSiN涂层提高1.5-2.5倍。
Claims (1)
1.一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层,其特征在于,它是由(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层与TiAlN涂层交替层叠而成,其中(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层厚度范围为5-8nm,其成分含量分别为Ti:15-20at%,Al:15-20at%,Si:5-10at%,Mo:5-10at%,Ag:10-15at%,N:28-36at%,S:5-10at%;其中TiAlN涂层厚度范围为15-20nm,其成分含量分别为Ti:20-30at%,Al:20-30at%,N:48-50at%。
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