CN103728846A - 去光阻液回收系统 - Google Patents

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CN103728846A CN201210393186.2A CN201210393186A CN103728846A CN 103728846 A CN103728846 A CN 103728846A CN 201210393186 A CN201210393186 A CN 201210393186A CN 103728846 A CN103728846 A CN 103728846A
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孟文雄
许誉腾
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Abstract

本发明提出一种去光阻液回收系统,至少包括薄膜蒸发器、过滤装置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路,其中排放管路的一端接设于薄膜蒸发器的出液口,另一端接设于过滤装置的流入口;流入管路的一端接设于过滤装置的流出口,另一端则接设于薄膜蒸发器的进液口;排渣管路一端连通于排放管路,另一端则连通于流入管路;回收管路一端接设于过滤装置的排渣口,另一端则接设于回收槽的回收口。如此,前述各个装置借由各个管路相互连结后,便组成了一个去光阻液的回收系统。利用去光阻液回收系统进行废渣排放作业时,去光阻液自过滤装置的流出口进入于过滤装置内,并将废渣带走,经由排渣口流入回收管路中,再流入回收槽中进行回收。

Description

去光阻液回收系统
技术领域
[0001] 本发明有关于一种去光阻液回收系统,特别是一种能自动排出废渣的去光阻液回收系统。
背景技术
[0002] 在半导体或液晶面板等的制造制程中,会利用在基板上涂布光阻液而曝光显影的微影技术。而在曝光显影后欲进行下个制程前,又必需要将光阻去除,此时就必需再使用去光阻液来达到目的。相对的,伴随着近年来液晶面板等的大型化,所使用的基板亦在朝大型化方向发展,因此去光阻液的使用量亦在增大。
[0003] 在使用去光阻液除去基板光阻后,必需要将已用过的去光阻液进行回收。如图1所示,为目前所使用的去光阻回收系统10,其包括有薄膜蒸发器11、过滤器12、加压器13以及回收槽14,其中过滤器12设置于薄膜蒸发器11与加压器13之间,也就是说,过滤器12位于加压器13的入口端处,由于去光阻回收系统10采用负压设计,在目前过滤器12位于加压器13入口端处的配置下,容易发生孔蚀及空抽的现象。
[0004] 此外,由于过滤器12必需定期清理,在进行清理时必需要停机,且必需由人工进行清理,十分耗时耗力。而且在去光阻回收系统10停/开机时,需要进行降/升温暖机,过程需要约2至4小时,不仅耗时而且又耗能。
[0005] 因此,就经济方面、环境方面考虑,业界均期望对于去光阻液的回收系统能够有一套更有效率的方式来进行回收。
发明内容
[0006] 有鉴于现有技术问题,本发明提出一种去光阻液回收系统,本实施例的光阻液回收系统至少包括有薄膜蒸发器、过滤装置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路,其中排放管路的一端接设于薄膜蒸发器的出液口,另一端则接设于过滤装置的流入口 ;流入管路的一端接设于过滤装置的流出口,另一端则接设于薄膜蒸发器的进液口 ;排渣管路一端连通于排放管路,另一端则连通于流入管路;回收管路一端接设于过滤装置的排渣口,另一端则接设于回收槽的回收口。如此,前述各个装置在藉由各个管路相互连结后,便组成了 一个去光阻液的回收系统。
[0007] 除此之外,在此去光阻液回收系统中还可以包括有加压装置,其设置于排放管路上,提供适当的压力,使回收系统中的去光阻液能够于各管路及各装置间流动。
[0008] 本实施例中的去光阻液回收系统中还包括第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀,其中第一控制阀设置于流入管路上,借以控制流入管路的启闭,第二控制阀设置于回收管路上,藉以控制回收管路的启闭,第三控制阀设置于排渣管路上,同样可借以控制排渣管路的启闭。
[0009] 另外,本发明中的过滤装置是针对去光阻液回收系统所设计,其除了包括在过滤装置的本体上的流入口、流出口与排渣口等构件外,在过滤装置的实施例中还包括隔板以及过滤组件,其中隔板径向设置于本体内,使本体内形成有上下层迭的第一空间与第二空间,而过滤组件则设置于隔板下方,并位于第二空间中,借由此种设计方式,可使得流出口与第一空间连通,而流入口与排放口则与第二空间连通。
[0010] 最后,在利用本发明的去光阻液回收系统进行废渣排放作业时,其中第一控制阀为紧闭的状态,以确认流入管路为断路形态,第二控制阀为开启的状态,使回收管路为通路形态,最后第三控制阀则为开启的状态,使排渣管路为通路形态,此时由薄膜蒸发器流出的去光阻液,自出液口流出后,经由排放管路及排放管路上的加压装置进行加压后,去光阻液自过滤装置的流出口进入于过滤装置的第一空间内,在去光阻液由第一空间通过滤组件进入第二空间后,会将位于第二空间内的废渣同时带走,并经由排渣口而流入回收管路中,再从回收管路自回收口流入于回收槽中进行回收,此即为废渣排放作业流程。
[0011] 通过上述设计,去光阻液回收系统在进行废渣排放作业时无需停机,利用系统的自动排液设计,经由切换管路,便可达到排液时顺带将废渣一并排除的目的。
[0012] 为让本发明的目的、特征和优点能使本领域普通技术人员更易理解,下文举一优选实施例,并结合附图作详细说明如下。
附图说明
[0013] 图1为目前所使用的去光阻回收系统示意图。
[0014] 图2为本发明去光阻液回收系统的实施例示意图。
[0015] 图3为本发明过滤装置的实施例示意图。
[0016] 图4为本发明去光阻液回收系统的废液回收示意图。
[0017] 图5为本发明去光阻液回收系统的废渣回收示意图。
[0018] 符号说明
[0019] 去光阻回收系统10
[0020] 薄膜蒸发器11
[0021] 过滤器12
[0022] 加压器13
[0023] 回收槽14
[0024] 去光阻液回收系统20
[0025] 加压装置21
[0026] 第一控制阀22
[0027] 第二控制阀23
[0028] 第三控制阀24
[0029] 薄膜蒸发器30
[0030]出液口 31
[0031]进液口 32
[0032] 过滤装置40
[0033]流入口 41
[0034]流出口 42
[0035]排渣 口 43[0036] 本体 44
[0037] 第一空间441第二空间442
[0038]隔板 45
[0039] 过滤组件46
[0040] 回收槽5O
[0041]回收口 51
[0042] 排放管路60
[0043] 流入管路70
[0044] 排渣管路80
[0045] 回收管路90
[0046] 去光阻液w
[0047]废渣 d
具体实施方式
[0048] 如图2、3图所示,图2是本发明去光阻液回收系统的实施例示意图、图3是本发明过滤装置的实施例示意图,在本实施例中的去光阻液回收系统20至少包括薄膜蒸发器30、过滤装置40、回收槽50、排放管路60、流入管路70、排洛管路80以及回收管路90,而上述的各个组件装置仍分别具有细部的构件,且各个组件装置间具有相互的连结关系,其多以管路来作为各装置间的连结,详细说明如下:其中薄膜蒸发器30,具有出液口 31与进液口 32 ;过滤装置40则具有流入口 41、流出口 42与排渣口 43 ;回收槽50具有回收口 51 ;以下即为用于连接各装置的各式管路,说明如下:其中排放管路60的一端接设于薄膜蒸发器30的出液口 31,另一端则接设于过滤装置40的流入口 41 ;流入管路70的一端接设于过滤装置40的流出口 42,另一端则接设于薄膜蒸发器30的进液口 32 ;排渣管路80 —端连通于排放管路,另一端则连通于流入管路70 ;回收管路90 —端接设于过滤装置40的排渣口 43,另一端则接设于回收槽50的回收口 51。如此,前述各个装置在藉由各个管路相互连结后,便组成了一个去光阻液的回收系统,而在此去光阻液的回收系统中还可以包括有加压装置21,其设置于排放管路60上,提供适当的压力,使回收系统中的去光阻液能够于各管路及各装置间流动。此外,去光阻液的回收系统中还包括了有第一控制阀22、第二控制阀23、第三控制阀24,其中第一控制阀22设置于流入管路70上,借以控制流入管路70的启闭,第二控制阀23设置于回收管路90上,借以控制回收管路90的启闭,最后第三控制阀23,其设置于排渣管路80上,同样可借以控制排渣管路80的启闭。
[0049] 另外,在本发明的各个装置中,要特别说明的是过滤装置40,本发明中的过滤装置40是针对去光阻液回收系统所设计,除了包括在过滤装置40的本体44上的流入口 41、流出口 42与排渣口 43等构件外,在过滤装置40的实施例中还包括隔板45以及过滤组件46,其中隔板45径向设置于本体44内,使本体44内形成有上下层迭的第一空间441与第二空间442,而过滤组件46则设置于隔板45下方,并位于第二空间442中,更进一步说,过滤组件46用于区隔本体44的内部空间,使本体44内形成二个独立的空间配置,因此,第一空间441与第二空间442在隔板间隔的部分是不连通的,但是经由设置于隔板45下方的过滤组件46,则可使第一空间441与第二空间442,借由过滤组件46形成连通,而形成连通的方式,例如在隔板上开设有通孔,而过滤组件46则对应通孔设置,由于过滤组件46本身即具有使流体通过的设计,故可以达到第一空间441与第二空间442连通的目的,因此借由此种设计方式,可使得流出口 42与第一空间441连通,而流入口 41与排放口 43则与第二空间442连通。
[0050] 通过上述设计,在去光阻液回收系统20进行正常循环作业时,其中的第一控制阀22为开启的状态,使流入管路70为通路形态,第二控制阀23为紧闭的状态,使回收管路90为断路形态,最后第三控制阀23亦为紧闭的状态,使排渣管路80同样为断路形态,此时由薄膜蒸发器30流出的具有废渣的去光阻液W,自出液口 31流出后,经由排放管路60及排放管路60上的加压装置21进行加压后,自过滤装置40的流入口 41进入于过滤装置40的第二空间442内,再借由位于第二空间442内的过滤组件46过滤后,具有废渣的去光阻液W,其废渣d便会留在第二空间442内,而通过过滤组件46流入于第一空间441内的去光阻液w便不会含有废渣d,成为过滤完成干净可用的去光阻液《,此时,干净可用的去光阻液w再经由流出口 42流入至流入管路70中,并经由进液口 32再进入于薄膜蒸发器30中重新使用,此即为正常的循环过滤流程。
[0051] 但在去光阻液w使用一段时间后,仍会质变需要进行更换,如图4所示,为本发明去光阻液回收系统的废液回收实施例示意图,在去光阻液回收系统20进行废液排放作业时,其中的第一控制阀22为开启的状态,使流入管路70为通路形态,第二控制阀23为开启的状态,使回收管路90为通路形态,最后第三控制阀23仍为紧闭的状态,使排渣管路80为断路形态,此时由薄膜蒸发器30流出的具有废渣的去光阻液W,自出液口 31流出后,经由排放管路60及排放管路60上的加压装置21进行加压后,自过滤装置40的流入口 41进入于过滤装置40的第二空间442内,此时,部分具有废渣的去光阻液W,会直接经由排渣口 43而流入回收管路90中,并经由回收管路90自回收口 51流入于回收槽50中进行回收,而部分具有废渣的去光阻液w,再同样借由位于第二空间442内的过滤组件46过滤后,具有废渣的去光阻液W,其废渣d便会留在第二空间442内,而通过过滤组件46流入于第一空间441内的去光阻液w便不会含有废渣d,成为过滤完成干净可用的去光阻液W,此时,干净可用的去光阻液w再经由流出口 42流入至流入管路70中,并经由进液口 32再进入于薄膜蒸发器30中,此即为废液排放作业流程。
[0052] 最后,如图5所示,为本发明去光阻液回收系统的废渣排放实施例示意图,在去光阻液回收系统20进行废渣排放作业时,其中的第一控制阀22为紧闭的状态,使流入管路70为断路形态,第二控制阀23为开启的状态,使回收管路90为通路形态,最后第三控制阀23则为开启的状态,使排渣管路80为通路形态,此时由薄膜蒸发器30流出的去光阻液W,自出液口 31流出后,经由排放管路60及排放管路60上的加压装置21进行加压后,去光阻液w自过滤装置40的流出口 42进入于过滤装置40的第一空间441内,此时,去光阻液w为反向流入过滤装置40中,在去光阻液w由第一空间441通过滤组件46进入第二空间442后,会将位于第二空间442内的废渣同时带走,并经由排渣口 43而流入回收管路90中,再从回收管路90自回收口 51流入于回收槽50中进行回收,此即为废渣排放作业流程,借由此设计,在进行废渣排放作业时无需停机,利用系统的自动排液设计,经由切换管路,便可达到排液时顺带将废渣一并排除的目的。
[0053] 虽然本发明是结合以上实施例进行描述的,但本发明并不限定于上述实施例,而只受所附权利要求的限定,本领域普通技术人员能够容易地对其进行修改和变化,但并不离开本发明的实质构思和范围。

Claims (6)

1.一种去光阻液回收系统,包括: 薄膜蒸发器,具有出液口与进液口 ; 过滤装置,具有流入口、流出口与排渣口 ; 回收槽,具有回收口 ; 排放管路,一端接设于所述出液口,另一端接设于所述流入口 ; 流入管路,一端接设于所述流出口,另一端接设于所述进液口 ; 排渣管路,一端连通于所述排放管路,另一端连通于所述流入管路;以及 回收管路,一端接设于所述排渣口,另一端接设于所述回收口。
2.如权利要求1所述的去光阻液回收系统,其特征在于,还包括加压装置,设置于所述排放管路上。
3.如权利要求1所述的去光阻液回收系统,其特征在于,还包括第一控制阀,设置于所述流入管路上。
4.如权利要求1所述的去光阻液回收系统,其特征在于,还包括第二控制阀,设置于所述回收管路上。
5.如权利要求1所述的去光阻液回收系统,其特征在于,还包括第三控制阀,设置于所述排渣管路上。
6.一种过滤装置,适用于去光阻液回收系统,包括: 本体,其上具有流入口、流出口与排渣口 ; 隔板,径向设置于所述本体内,使所述本体内形成有上下层迭的第一空间与第二空间; 过滤组件,设置于所述隔板下方,并位于所述第二空间中; 其中,所述流出口与所述第一空间连通,而所述流入口与排放口则与所述第二空间连通。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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