CN103681424B - 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构 - Google Patents

一种用于将硅片花篮转向的旋转机构 Download PDF

Info

Publication number
CN103681424B
CN103681424B CN201310642616.4A CN201310642616A CN103681424B CN 103681424 B CN103681424 B CN 103681424B CN 201310642616 A CN201310642616 A CN 201310642616A CN 103681424 B CN103681424 B CN 103681424B
Authority
CN
China
Prior art keywords
transmission unit
rotating mechanism
tensioning
silicon chip
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310642616.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103681424A (zh
Inventor
李广旭
张恒峰
房婷
李补忠
徐现飞
王广明
朱旺平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
North China Science And Technology Group Ltd By Share Ltd
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd filed Critical Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority to CN201310642616.4A priority Critical patent/CN103681424B/zh
Publication of CN103681424A publication Critical patent/CN103681424A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103681424B publication Critical patent/CN103681424B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/6875Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of individual support members, e.g. support posts or protrusions
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明涉及硅片生产领域,尤其涉及一种用于将硅片花篮转向的旋转机构。该旋转机构包括由支架支撑的旋转单元以及由旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元,其中,所述旋转单元为旋转气缸。本发明提供的旋转机构通过旋转气缸的转动来带动传输单元以及位于传输单元上方的硅片花篮转动,以实现硅片花篮的转向,有效地实现了花篮在不同工序间的换向,降低了传送过程中硅片的碎片率,提高了生产效率,而且旋转气缸使得花篮的转向更加平稳、准确。

Description

一种用于将硅片花篮转向的旋转机构
技术领域
本发明涉及硅片生产领域,尤其涉及一种用于将硅片花篮转向的旋转机构。
背景技术
随着地球温室效应日益严重,石油、天然气、煤炭的日益枯竭,环保节能已成为世界发展的主题。太阳能作为清洁、安全的可再生能源,是全球新能源的发展方向。在国家新型能源和可再生能源产业政策的指导下以及欧美太阳能市场强劲需求的带动下,近年来国内太阳能光伏产业得到飞速发展。目前,中国已经成为太阳能电池制造大国,拥有全球最多的太阳能电池生产厂家和一半以上的产能。随着全球太阳能光伏产业的爆炸式增长,为了使太阳能领域单位发电成本降低到与常规发电成本相当,太阳能电池片制造商会越来越迫切要求使用高集成、高度自动化的生产线。
目前,晶硅太阳能电池片生产线各个工艺单元之间的硅片传输以堆迭式或卡槽式两种方式装载硅片,然后采用小车人工搬运。这种方式效率低,不利于大规模生产。为了实现全自动化大规模生产,各工艺单元之间的硅片传输必须采用自动传输系统实现。特别地,为了满足加工要求,在自动化生产过程中,被加工件在传输过程中要进行换向,尤其是,对易碎加工件要求换向准确、平稳。但现有旋转机构换向过程的平稳性、准确性无法满足硅片的加工。为此,急需一种用于将硅片花篮转向的旋转机构。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是提供一种用于将硅片花篮转向的旋转机构,以克服现有技术中的旋转机构转向过程中平衡性和准确性较差的缺陷。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种用于将硅片花篮转向的旋转机构,包括由支架支撑的旋转单元以及由所述旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元,其中,所述旋转单元为旋转气缸。
其中,所述传输单元包括两个传输单元支撑板、顶面圆盘、一对主动轮、两对从动轮、两条传送带以及伺服电机,所述传输单元支撑板对称安装在所述连接板的两边,所述顶面圆盘水平安装在所述传输单元支撑板的上部;所述主动轮和从动轮以对称方式旋转安装在两个所述传输单元支撑板上;所述从动轮水平安装在所述传输单元支撑板靠近所述顶面圆盘的位置,所述从动轮的上边缘高于所述顶面圆盘的上盘面;所述两条传送带分别缠绕在位于同一个传输单元支撑板上的主动轮和从动轮上;所述伺服电机通过转动轴与所述主动轮连接,以驱动主动轮转动。
其中,所述传输单元还包括减速器,所述伺服电机通过减速器与所述转动轴连接。
其中,所述顶面圆盘的上盘面设有两条导向条,所述两条导向条分别位于相对应的传送带的外侧,所述两条导向条之间的距离大于硅片花篮的宽度。
其中,所述导向条的两端为喇叭形开口。
其中,还包括张紧调节组件,所述张紧调节组件包括张紧轮、相互平行的张紧静板和张紧动板、里顶螺钉和外拉螺钉,所述张紧静板横跨固定在传输单元支撑板上;所述张紧动板横跨滑动连接在传输单元支撑板上;所述张紧轮旋转安装在张紧动板的两端;所述张紧静板上设有通孔和螺纹孔;所述里顶螺钉安装在张紧静板的螺纹孔上,里顶螺钉的端部顶在张紧动板上;所述外拉螺钉上装有调节螺母,外拉螺钉穿过张紧静板的通孔,其端部固定在张紧动板上。
其中,所述旋转机构还包括控制系统以及与所述控制系统连接的进料传感器、到位传感器和出料传感器;所述控制系统分别与所述旋转单元和传输单元连接;所述进料传感器安装在进料口的位置;所述出料传感器安装在出料口的位置;所述到位传感器安装在所述顶面圆盘上。
其中,所述旋转机构还包括护罩,所述护罩包括罩在所述传输单元上的上护罩和设置在所述支架四周的下护罩。
其中,在两个所述传输单元支撑板之间设有顶面支撑板,顶面支撑板横跨在两个所述传输单元支撑板上,位于所述顶面圆盘的下方。
其中,所述旋转机构旋转的角度为90度。
(三)有益效果
上述技术方案所提供的旋转机构,由支架支撑的旋转单元和由旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元组成。其中,旋转单元为旋转气缸。由传输单元将硅片花篮传送到硅片花篮需要转向的位置,然后通过旋转气缸的转动来带动传输单元以及位于传输单元上方的硅片花篮转动,以实现硅片花篮的转向。该机构通过采用旋转气缸,有效地实现了花篮在不同工序间的换向,降低了传输过程中硅片的碎片率,提高了生产效率,旋转气缸使得花篮的转向更加平稳、准确。此外,该机构结构简单、使用方便。
附图说明
图1是旋转机构的主视图;
图2是旋转机构的俯视图;
图3是旋转机构的内部结构的立体示意图;
图4是图4中I部分的放大图;
图5是旋转机构的传输单元的结构示意图;
图6是图5沿B-B部分的剖视图;
图7是旋转机构的传输单元的仰视图。
其中:1-上护罩;2-下护罩;3-支架;4-护板;5-到位传感器;6-顶面圆盘;7-旋转单元支撑板;8-旋转气缸;9-二位五通双电控电磁阀;10-节流阀;11-连接板;12-伺服电机;13-传输单元支撑板;14-转动轴;15-主动轮;16-从动轮;17-张紧轮;18-皮带;19-张紧动板;20-张紧静板;21-里顶螺钉;22-外拉螺钉;23-调节螺母;24-顶面支撑板;25-进料传感器;26-出料传感器;27-导向条。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。
图1至图7示出本发明用于使硅片花篮转向的旋转机构的一个优选实施例。根据该实施例,本发明的旋转机构包括由支架3支撑的旋转单元以及由旋转单元通过连接板11支撑连接的传输单元,其中,旋转单元用于使传输单元旋转,从而带动位于传输单元上方的硅片花篮转向;而传输单元用于将从花篮传输机构进入旋转机构上的硅片花篮传送到需要转向的位置,并在硅片花篮转向之后将硅片花篮输送到另一花篮传输机构上。该旋转单元包括旋转单元支撑板7以及位于旋转单元支撑板7上的旋转气缸8。该旋转气缸8包括二位五通双电控电磁阀9和节流阀10,通过对二位五通双电控电磁阀9的控制使旋转气缸8进行旋转,旋转气缸8的旋转带动传输单元以及位于传输单元上的硅片花篮进行旋转,具体的旋转角度由所选择的旋转气缸8的旋转角度而定,在该优选实施例中,旋转角度为90°。当然,本领域技术人员也可以设想其它的旋转角度,例如180°和270°。
具体地,传输单元包括两个传输单元支撑板13、顶面圆盘6以及驱动装置,其中,两个传输单元支撑板13对称安装在连接板11的两边,顶面圆盘6水平安装在传输单元支撑板13的上部。驱动装置包括一对主动轮15、两对从动轮16、两条传送带18以及伺服电机12。主动轮15和从动轮16分别以对称方式旋转安装在两个传输单元支撑板13上;两对从动轮16水平安装在传输单元支撑板13靠近顶面圆盘6的位置,从动轮16的上边缘高于顶面圆盘6的上盘面约0.5mm;两条传送带6分别缠绕在位于同一个传输单元支撑板12上的主动轮19和从动轮20上。伺服电机12通过转动轴14与主动轮15连接,用于驱动主动轮15转动,从而带动传送带18移动,使得硅片花篮在顶面圆盘6上方,横跨在两个水平从动轮16上的部分传送带18的带动下平稳地移动。
旋转机构工作时,当硅片花篮进入顶面圆盘6横跨在两条传送带18上时,传输单元中的伺服电机12驱动转动轴14转动,使得主动轮15和从动轮16转动,从而带动传送带6移动,以传送硅片花篮。当硅片花篮移动到设定的转向位置时,传输单元停止工作。然后,启动旋转单元,使安装在旋转单元支撑板7上的旋转气缸8转动,以带动由旋转单元支撑的传输单元进行转动,从而使硅片花篮转动。在该实施例中,当硅片花篮转动90°时,旋转单元停止工作。然后,传输单元继续传输转向后的硅片花篮,直到硅片花篮离开顶面圆盘6,此时传输单元停止工作,旋转单元复位,以便进行下一次转向工作。
进一步地,传输单元还包括减速器(未示出),伺服电机12通过减速器与转动轴14连接。通过伺服电机12与减速器的配合驱动传输单元平稳地移动硅片花篮。
进一步地,顶面圆盘6的上盘面设有两条导向条27,两条导向条27分别位于相对应的传送带18的外侧,两条导向条27之间的距离应大于硅片花篮的宽度。通过该导向条27,使硅片花篮顺利进入顶面圆盘6,同时在顶面圆盘6随着旋转单元旋转时,硅片花篮也能够准确地跟随顶面圆盘6进行旋转,这样保证了转向的准确性。优选地,为了使硅片花篮顺利进入和离开顶面圆盘6,在两条导向条27的两端设有喇叭形开口。
进一步地,如图7所示,为了防止传送带18因长时间使用变松而无法传送硅片花篮,该传输单元还包括张紧调节组件,该张紧调节组件包括张紧轮17、相互平行的张紧动板19和张紧静板20、里顶螺钉21和外拉螺钉22。张紧动板19横跨滑动连接在传输单元支撑板13上;张紧静板20横跨固定在传输单元支撑板13上;张紧轮17旋转安装在张紧动板19的两端,传送带6依次缠绕在主动轮15、从动轮16和张紧轮17上。张紧静板20上设有通孔和螺纹孔,里顶螺钉21安装在张紧静板20的螺纹孔中,里顶螺钉21的端部顶在张紧动板19上;外拉螺钉22上装有调节螺母23,外拉螺钉22穿过张紧静板20的通孔,其端部固定在张紧动板19上。调节螺母23位于螺钉头与张紧静板20之间的位置,在调节张紧轮17时,先把里顶螺钉21拧松,然后拧动调节螺母23,通过调节将调节螺母22外拉张紧动板19,使传送带18张紧,最后把里顶螺钉21拧紧,即完成张紧轮31的调节。
进一步地,该旋转机构还包括控制系统以及分别与控制系统连接的进料传感器25、到位传感器5和出料传感器26;进料传感器25安装在进料口位置,用于检测硅片花篮是否进入到旋转机构;出料传感器26安装在出料口位置,用于检测硅片花篮是否离开旋转机构;到位传感器5安装在顶面圆盘6上,用于检测硅片花篮是否到达预先设定的转向位置。此外,控制系统分别与传输单元和旋转单元连接,用于控制传输单元和旋转单元的启动和停止。
当进料传感器25检测到硅片花篮进入顶面圆盘6的信号时,发送信号给控制系统,然后由控制系统控制传输单元工作,移动硅片花篮;当到位传感器5检测到硅片花篮到达设定的转向位置时,发送信号给控制系统,然后由控制系统控制传输单元停止工作,并控制旋转单元进行旋转,以带动传输单元以及位于传输单元上方的硅片花篮进行转向,当转向结束之后,控制系统再次控制传输单元进行工作,移动硅片花篮;当出料传感器26检测到硅片花篮离开顶面圆盘6时,控制系统控制传输单元停止工作,并控制旋转单元复位,以进行下一次工作。
进一步地,该旋转机构还包括护罩,护罩包括罩在传输单元的上护罩1和设置在支架3四周的下护罩2。护罩将旋转机构的内部元件与外部空间隔开,以防止旋转机构的内部元件沉积灰尘,从而保证旋转机构的正常工作。此外,在将机构安装在工作台的过程中,下护罩2还起到支撑的作用。此外,为了防止硅片花篮从旋转机构滑出,在旋转机构的两侧设置有护板4。
进一步地,为了使传输单元的整体强度和稳定性得到提高,在两个传输单元支撑板13之间设有一个顶面支撑板24,顶面支撑板24横跨在两个传输单元支撑板13上,位于顶面圆盘6的下方。
以上实施方式仅用于说明本发明,而并非对本发明的限制,有关技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,还可以做出各种变化和变型。因此所有等同的技术方案也属于本发明的保护范畴。

Claims (9)

1.一种用于将硅片花篮转向的旋转机构,包括由支架支撑的旋转单元以及由所述旋转单元通过连接板支撑连接的传输单元,其特征在于,所述旋转单元为旋转气缸;
其中,所述传输单元包括两个传输单元支撑板、顶面圆盘、一对主动轮、两对从动轮、两条传送带以及伺服电机,所述传输单元支撑板对称安装在所述连接板的两边,所述顶面圆盘水平安装在所述传输单元支撑板的上部;所述主动轮和从动轮以对称方式旋转安装在两个所述传输单元支撑板上;所述从动轮水平安装在所述传输单元支撑板靠近所述顶面圆盘的位置,所述从动轮的上边缘高于所述顶面圆盘的上盘面;所述两条传送带分别缠绕在位于同一个传输单元支撑板上的主动轮和从动轮上;所述伺服电机通过转动轴与所述主动轮连接,以驱动主动轮转动。
2.根据权利要求1所述的旋转机构,其特征在于,所述传输单元还包括减速器,所述伺服电机通过减速器与所述转动轴连接。
3.根据权利要求1所述的旋转机构,其特征在于,所述顶面圆盘的上盘面设有两条导向条,所述两条导向条分别位于相对应的传送带的外侧,所述两条导向条之间的距离大于硅片花篮的宽度。
4.根据权利要求3所述的旋转机构,其特征在于,所述导向条的两端为喇叭形开口。
5.根据权利要求1所述的旋转机构,其特征在于,还包括张紧调节组件,所述张紧调节组件包括张紧轮、相互平行的张紧静板和张紧动板、里顶螺钉和外拉螺钉,所述张紧静板横跨固定在传输单元支撑板上;所述张紧动板横跨滑动连接在传输单元支撑板上;所述张紧轮旋转安装在张紧动板的两端;所述张紧静板上设有通孔和螺纹孔;所述里顶螺钉安装在张紧静板的螺纹孔上,里顶螺钉的端部顶在张紧动板上;所述外拉螺钉上装有调节螺母,外拉螺钉穿过张紧静板的通孔,其端部固定在张紧动板上。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的旋转机构,其特征在于,所述旋转机构还包括控制系统以及与所述控制系统连接的进料传感器、到位传感器和出料传感器;所述控制系统分别与所述旋转单元和传输单元连接;所述进料传感器安装在进料口的位置;所述出料传感器安装在出料口的位置;所述到位传感器安装在所述顶面圆盘上。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的旋转机构,其特征在于,所述旋转机构还包括护罩,所述护罩包括罩在所述传输单元上的上护罩和设置在所述支架四周的下护罩。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的旋转机构,其特征在于,在两个所述传输单元支撑板之间设有顶面支撑板,顶面支撑板横跨在两个所述传输单元支撑板上,位于所述顶面圆盘的下方。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的旋转机构,其特征在于,所述旋转机构旋转的角度为90度。
CN201310642616.4A 2013-12-03 2013-12-03 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构 Active CN103681424B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310642616.4A CN103681424B (zh) 2013-12-03 2013-12-03 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310642616.4A CN103681424B (zh) 2013-12-03 2013-12-03 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103681424A CN103681424A (zh) 2014-03-26
CN103681424B true CN103681424B (zh) 2016-03-30

Family

ID=50318576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310642616.4A Active CN103681424B (zh) 2013-12-03 2013-12-03 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103681424B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108389819B (zh) * 2018-05-10 2023-08-18 罗博特科智能科技股份有限公司 一种花篮快速旋转装置
CN113511516B (zh) * 2020-04-10 2023-04-14 深圳市嘉能新能源科技有限公司 一种太阳能电池片输送装置
CN114273272A (zh) * 2021-12-27 2022-04-05 苏州科韵激光科技有限公司 一种物料分选机构

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101961947A (zh) * 2010-10-12 2011-02-02 东莞市科隆威自动化设备有限公司 光伏太阳能印刷机
CN102024729A (zh) * 2010-09-17 2011-04-20 沈阳芯源微电子设备有限公司 双向传递片盒机构
CN203746810U (zh) * 2013-12-03 2014-07-30 北京七星华创电子股份有限公司 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100071550A (ko) * 2008-12-19 2010-06-29 한미반도체 주식회사 웨이퍼 카세트 반송장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102024729A (zh) * 2010-09-17 2011-04-20 沈阳芯源微电子设备有限公司 双向传递片盒机构
CN101961947A (zh) * 2010-10-12 2011-02-02 东莞市科隆威自动化设备有限公司 光伏太阳能印刷机
CN203746810U (zh) * 2013-12-03 2014-07-30 北京七星华创电子股份有限公司 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构

Also Published As

Publication number Publication date
CN103681424A (zh) 2014-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202076306U (zh) 一种全自动硅片翻转叠双片插片机
CN103681423B (zh) 传输硅片花篮的90°旋转机构
CN103681424B (zh) 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构
CN204167281U (zh) 太阳能电池片串焊机的上料输送机构
CN208746902U (zh) 全自动化圆柱电池上料转盘
CN203746810U (zh) 一种用于将硅片花篮转向的旋转机构
CN103662683B (zh) 升降机
CN201625910U (zh) 一种玻璃板四角高精度倒角装置
CN203659826U (zh) 传输硅片花篮的90°旋转机构
CN203534981U (zh) 动力锂离子电池极片缺陷自动检测线
CN103662772B (zh) 一种翻转机构
CN207592286U (zh) 一种自动排除电池隐裂片的上料设备及上料系统
CN203652712U (zh) 一种翻转机构
CN202491154U (zh) 多工位磨削机
CN203653016U (zh) 升降机
CN210325742U (zh) 一种电池片用快速对中结构
CN208979863U (zh) 一种一次性锂锰电池正极片生产用的收料系统
CN208012725U (zh) 一种锂电池称重装置
CN208345629U (zh) 一种方便折叠收纳的小吊机
CN209651488U (zh) 自动插页设备
CN208132290U (zh) 锂电子电池超焊定位夹具
CN206969698U (zh) 一种用于锂电池盖帽检测系统的上下料设备
CN202642696U (zh) 一种双轨道输送装置
CN203103394U (zh) 一种真空加酸机
CN203229145U (zh) 一种可调导向轮

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 100015 No. 1 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District

Patentee after: North China Science and technology group Limited by Share Ltd.

Address before: 100015 Jiuxianqiao Chaoyang District, East Beijing Road, building M2, floor 1, No. 2

Patentee before: BEIJING SEVENSTAR ELECTRONIC Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20180316

Address after: 100176 Beijing economic and Technological Development Zone, Wenchang Road, No. 8, No.

Patentee after: BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT Co.,Ltd.

Address before: 100015 No. 1 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District

Patentee before: North China Science and technology group Limited by Share Ltd.