CN103453858B - 平面度检测修正一体机及检测修正方法 - Google Patents

平面度检测修正一体机及检测修正方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种平面度检测修正一体机，包括机柜组件、用于夹持待检测修改件的夹具组件、用于控制检测修正的控制组件，所述的一体机还包括：检测组件，包括实现X、Y、Z轴移动的龙门架组件及激光位移传感器；修正组件，包括修正机构和接触式数字传感器；所述的检测组件和修正组件与控制组件相连接进行信息交互而实现平面度的检测修正。该平面度检测修正一体机不仅能检测出产品合格与否，而且能对不合格产品进行修正，达到了提高生产效率、提高检测精度、提高产品合格率效果及降低成本的效果。

Description

平面度检测修正一体机及检测修正方法
技术领域
本发明涉及平面度检测领域，尤其是涉及一种平面度检测修正一体机及检测修正方法。
背景技术
平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。电子产品及配件的外壳、机械加工制造业、电子产品组装，在生产过程中需要对工件进行平面度检测。目前，厂家主要是用人工检测的方法进行检测修正，人工检测效率低，精确度低，结果数据一致性差，人为因素造成的误差也比较大，还会对产品造成刮伤、变形、扭曲等不良影响，甚至无法得到产品的真实测量值。现有平面度检测设备中，大都只能检测出产品的合格与否，而不具备对产品的自动修正功能，还需要人工修正。随着各行业的迅速发展，质量控制越显突出，人工成本的不断提高，但只能对此产品平面的变形量的自动化检测，没有对检测的不良品修正，这对产品造成浪费。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种平面度检测修正一体机及修正检测的方法，克服人工检测成本高、效率低、精确度低，易对产品造成人为损害和现有平面度检测设备只能对产品是否合格的自动化检测，而不能对不合格产品进行修正的缺陷。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种平面度检测修正一体机，包括机柜组件、用于夹持待检测修改件的夹具组件、用于控制检测修正的控制组件，所述的一体机还包括：
检测组件，包括实现X、Y、Z轴移动的龙门架组件及至少一个激光位移传感器；
修正组件，包括修正机构和接触式数字传感器；
所述的检测组件和修正组件与控制组件相连接进行信息交互而实现平面度的检测修正。
本发明进一步的优选方案是：所述的龙门架组件包括X轴工作平台、Y轴工作平台和Z轴旋转机构。
本发明进一步的优选方案是：所述的检测组件激光位移传感器为两个，设置于Z旋转机构下端，并随龙门架组件移动。
本发明进一步的优选方案是：所述的修正机构包括伺服电机、滚珠丝杆、光电开关和压头，所述的接触式数字传感器包括接触式探头。
本发明进一步的优选方案是：所述的夹具组件包括定位组件、底板、缓冲器和气缸。
本发明进一步的优选方案是：所述的控制组件包括显示器，和工控机，该工控机与检测组件和修正组件相连接。
本发明还提供一种平面度的检测修正方法，包括以下步骤：
(1)将待检测修正件放置于夹具组件上；
(2)通过龙门架组件实现X、Y、Z轴移动，并带动激光位移传感器移动至检测位置；
(3)将检测信息数据反馈至控制组件进行信息数据处理，取下合格产品，将不合格产品移动至修正组件进行修正，修正完成后再送至检测位置；
(4)重复前述步骤，直至检测合格，完成检测修正。
本发明进一步的优选方案是：所述的控制组件进行信息数据处理包括数据采集、数据分析、数模转换、数据输出和存储步骤。
本发明进一步的优选方案是：所述的龙门架组件包括X轴工作平台、Y轴工作平台和Z轴旋转机构，所述的激光位移传感器设置于Z轴旋转机构的下端，通过龙门架组件的移动而带动激光位移传感器而实现检测。
本发明进一步的优选方案是：所述的修正组件，包括修正机构和接触式数字传感器，该修正机构包括伺服电机、滚珠丝杆、光电开关和压头，所述的接触式数字传感器包括接触式探头；通过伺服电机驱动滚珠丝杆带动压头对不合格产品的平面度进行修正，通过接触式数字传感器的接触式探头检测修正后的平面度，通过光电开关控制修正步骤的运行。
本发明的有益效果在于，通过检测组件和修正组件与控制组件相连接进行信息交互而实现平面度的检测修正，达到了既能检测出产品合格与否，又能对不合格产品进行修正，提高生产效率、提高检测精度、提高产品合格率效果及降低成本的效果；同时，避免产品在检测和修正过程中的表面划伤、变形、扭曲，减少报废，提高质量管控，且可对产品在线或离线检测，并对测量结果批量处理，对整批产品质量状态进行分析，对产品质量进行反馈管控得到提高。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：
图1是本发明实施例的平面度检测修正一体机的立体效果示意图；
图2是本发明实施例的平面度检测修正一体机的主要组成部分分布示意图；
图3是本发明实施例的平面度检测修正一体机的修正组件结构示意图；
图4是本发明实施例的平面度检测修正一体机的平面结构示意图；
图5是本发明实施例的平面度检测修正一体机的内部结构示意图；
具体实施方式
现结合附图，对本发明的较佳实施例作详细说明。
参见图1、图2所示，本发明实施例提供一种平面度检测修正一体机，包括，机柜组件10、用于夹持待检测修改件的夹具组件20、用于控制检测修正的控制组件50，检测组件30，修正组件60和上罩组件40。所述的检测组件30和修正组件60与控制组件50相连接进行信息交互而实现平面度的检测修正。所述检测组件30，包括实现X、Y、Z轴移动的龙门架组件及激光位移传感器34。
如图1、2或4所示，本发明实施例所述机柜组件10包括脚轮11、脚杯12、后出线板13、键盘抽屉组件14、按钮板15、机架16和门封板组件17，所述机架16和门封板组件17构成所述一体机下部的柜型空间，用于容纳其它机器部件；所述键盘抽屉组件14和按钮板15位于所述柜型空间顶部前方，所述后出线板13位于所述柜型空间后侧面；所述脚轮11安装在所述机架16的下方，分布于各个角及侧边中点处，且每一个脚轮11旁边都安装有一个脚杯12。所述脚轮11和脚杯12的设计，分别有利于所述一体机的移动和固定。
如图1、2或5所示，本发明实施例所述夹具组件20包括，定位组件21、底板22、缓冲器23和气缸24，所述夹具组件20用于定位夹紧待检测修正的工件，所述定位组件21、缓冲器23和气缸24均安装在底板22上，所述底板22下方有一滑动装置，所述底板22可沿该滑动装置滑动，并能带动整个夹具组件20移动，以配合检测和修正的顺利进行。
如图1、2或5所示，本发明实施例所述检测组件30，包括实现X、Y、Z轴移动的龙门架组件和至少一个激光位移传感器34，所述龙门架组件包括，X轴工作平台31、Y轴工作平台32和Z轴旋转机构33，所述Y轴工作平台和所述X轴工作平台31固定连接，与所述Z轴旋转机构33通过丝杆连接；所述激光位移传感器34的最佳方案为两个，根据产品的大小，可以设置更多，通过多个激光位移传感器34检测后，计算检测到的数据取其平均值，会得到更精准的平面度数据，激光位移传感器34设置于Z旋转机构33下端，并随龙门架组件移动。
如图4所示，本发明实施例所述包括上罩组件40，其包括外罩41，后门组件42和上盖组件43，所述上盖组件43位于所述一体机顶端，其上设有便于其安装和/或拆卸的拉手，该上罩组件40主要用于遮盖和保护该一体机的内部器件。
如图3所示，本发明实施例所述修正组件60包括修正机构和接触式数字传感器65，该修正机构包括伺服电机61、滚珠丝杆62、光电开关63和压头64，接触式数字传感器65包括接触式探头；所述修正组件60工作时，通过伺服电机61驱动滚珠丝杆62带动压头64对不合格产品的平面度进行修正，通过接触式数字传感器65的接触式探头检测修正后的平面度，并通过光电开关63控制修正步骤的运行。
如图4、图5所示，本发明实施例所述控制组件50包括，显示器51，52和工控机53，所述显示器51,52均安装在所述外罩41上部，用于显示检测及修正的相关信息；所述工控机53位于所述机架16和门封板组件17构成的柜型空间内，其与检测组件30和修正组件60相连接，以实现对产品平面度的检测及修正过程的控制，并将相关信息输出到显示器51,52上显示。
本发明实施例所述的一体机的检测修正方法，包括以下步骤：
(1)将待检测修正件放置于夹具组件20上，夹具组件的气缸24顶起产品，定位并夹紧待检测修正件；
(2)通过龙门架组件30在工作平台上实现X、Y、Z轴移动，并带动激光位移传感器34移动至检测位置；
(3)将检测信息数据反馈至控制组件50进行信息数据处理，如果产品合格，人工从夹具组件20上取下合格产品，完成本次测量；如果检测为不合格产品，机械自动将不合格产品移动至修正组件60进行修正，修正完成后再送至检测位置；
(4)重复前述步骤，再次确认是否合格，直至检测合格，人工方可取下检测修正件，完成检测修正。
本发明所述的控制组件50进行信息数据处理包括数据采集、数据分析、数模转换、数据输出和存储步骤。
应当理解的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，对本领域技术人员来说，可以对上述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改和替换只要符合由检测组件和修正组件与控制组件相连接进行信息交互而实现平面度的检测修正这一主题思想的，都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种平面度检测修正一体机，包括机柜组件(10)、用于夹持待检测修改件的夹具组件(20)、用于控制检测修正的控制组件(50)，其特征在于：所述的一体机还包括：
检测组件(30)，包括实现X、Y、Z轴移动的龙门架组件及至少一个激光位移传感器(34)；
修正组件(60)，包括修正机构和接触式数字传感器，所述的修正机构包括伺服电机(61)、滚珠丝杆(62)、光电开关(63)和压头(64)；
所述的检测组件(30)和修正组件(60)与控制组件(50)相连接进行信息交互而实现平面度的检测修正。
2.根据权利要求1所述的平面度检测修正一体机，其特征在于：所述的龙门架组件包括X轴工作平台(31)、Y轴工作平台(32)和Z轴旋转机构(33)。
3.根据权利要求1或2所述的平面度检测修正一体机，其特征在于：所述的激光位移传感器(34)为两个，两个激光位移传感器(34)设置于Z轴旋转机构(33)下端，通过龙门架组件的移动而带动激光位移传感器(34)移动。
4.根据权利要求3所述的平面度检测修正一体机，其特征在于：所述的接触式数字传感器包括接触式探头。
5.根据权利要求3所述的平面度检测修正一体机，其特征在于：所述的夹具组件(20)包括定位组件(21)、底板(22)、缓冲器(23)和气缸(24)。
6.根据权利要求3所述的平面度检测修正一体机，其特征在于：所述的控制组件(50)包括显示器(51，52)和工控机(53)，该工控机(53)与检测组件(30)和修正组件(60)相连接。
7.一种平面度的检测修正方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)将待检测修正件放置于夹具组件(20)上；
(2)通过龙门架组件实现X、Y、Z轴移动，并带动激光位移传感器(34)移动至检测位置；
(3)将检测信息数据反馈至控制组件(50)进行信息数据处理，取下合格产品，将不合格产品移动至修正组件(60)进行修正，修正完成后再送至检测位置；所述的修正组件(60)，包括修正机构和接触式数字传感器，该修正机构包括伺服电机(61)、滚珠丝杆(62)、光电开关(63)和压头(64)，所述的接触式数字传感器包括接触式探头；通过伺服电机(61)驱动滚珠丝杆(62)带动压头(64)对不合格产品的平面度进行修正，通过接触式数字传感器的接触式探头检测修正后的平面度，通过光电开关(63)控制修正步骤的运行；
(4)重复前述步骤(3)，直至检测合格，完成检测修正。
8.根据权利要求7所述的检测修正方法，其特征在于：所述的控制组件(50)进行信息数据处理包括数据采集、数据分析、数模转换、数据输出和存储步骤。
9.根据权利要求7所述的检测修正方法，其特征在于：所述的龙门架组件包括X轴工作平台(31)、Y轴工作平台(32)和Z轴旋转机构(33)，所述的激光位移传感器(34)设置于Z轴旋转机构(33)的下端，通过龙门架组件的移动而带动激光位移传感器(34)移动而实现检测。
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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103822589B (zh) * 2014-02-12 2016-09-07 元虎虎 厚度与平面度测试机
CN104034290B (zh) * 2014-05-23 2016-08-31 安徽奥弗橡塑科技有限公司 一种用于检测骨架油封尺寸的自动检测仪
CN104534995B (zh) * 2014-12-26 2018-01-05 大族激光科技产业集团股份有限公司 光学测量设备
CN104677265A (zh) * 2015-03-12 2015-06-03 苏州市吴中区木渎华利模具加工店 压缩机皮带轮检测机
CN104677264A (zh) * 2015-03-12 2015-06-03 苏州市吴中区木渎华利模具加工店 压缩机皮带轮检测机的电控式两轴测量头
CN104677263A (zh) * 2015-03-12 2015-06-03 苏州市吴中区木渎华利模具加工店 压缩机皮带轮检测机的工作方法
CN104742387A (zh) * 2015-04-16 2015-07-01 苏州康鸿电子科技有限公司 一种薄件平整度整形机
CN105423963A (zh) * 2015-12-29 2016-03-23 深圳市宝尔威精密机械有限公司 手机壳平面度测试仪
CN105651178A (zh) * 2016-03-16 2016-06-08 苏州富强科技有限公司 一种基于cmos拍摄成像的测量系统
CN105651175A (zh) * 2016-03-16 2016-06-08 苏州富强科技有限公司 一种基于ccd飞行拍摄成像的测量系统
CN105841630A (zh) * 2016-03-16 2016-08-10 苏州富强科技有限公司 一种基于点激光飞行扫描的测量系统
CN105806225A (zh) * 2016-03-16 2016-07-27 苏州富强科技有限公司 一种基于线激光拍摄成像的测量系统
CN107436126A (zh) * 2016-05-27 2017-12-05 江苏精电气科技有限公司 配电柜折边平板检测装置
CN106247922A (zh) * 2016-08-31 2016-12-21 丰汉电子(上海)有限公司 一种工件表面变形测定探测头、系统及方法
CN108940913B (zh) * 2017-05-23 2020-02-07 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种平面度检测设备
CN107270834B (zh) * 2017-05-24 2020-05-08 大族激光科技产业集团股份有限公司 垂直度检测装置及卷绕机
CN107144220A (zh) * 2017-06-10 2017-09-08 苏州康鸿智能装备股份有限公司 一种点激光测量平台
CN108844501A (zh) * 2018-05-23 2018-11-20 清华大学 一种激光倍频晶体表面立式测量系统及性能表征方法
CN110017772A (zh) * 2019-04-30 2019-07-16 深圳格兰达智能装备股份有限公司 一种检测芯片位置偏移的系统及方法
CN110657763B (zh) * 2019-11-15 2021-07-09 上海宝冶建筑工程有限公司 一种双曲面赛道混凝土面的平整度检测及控制方法
CN111060037A (zh) * 2019-12-31 2020-04-24 芜湖哈特机器人产业技术研究院有限公司 一种泵轴铣面平面度测量装置及操作方法
CN111829462B (zh) * 2020-07-24 2022-06-28 重庆大泰电子科技有限公司 一种平面度检测设备及其检测方法
CN115265409A (zh) * 2022-08-01 2022-11-01 郑州华泰联合工业自动化有限公司 一种物联网设备制造用检测辅助装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003344034A (ja) * 2002-05-23 2003-12-03 Mitsutoyo Corp 表面性状測定装置及び表面性状センサ
US20060092430A1 (en) * 2004-10-29 2006-05-04 Lizotte Todd E Displacement and flatness measurements by use of a laser with diffractive optic beam shaping and a multiple point sensor array using the back reflection of an illuminating laser beam
CN201803706U (zh) * 2010-07-30 2011-04-20 浙江摩多巴克斯汽配有限公司 排气岐管法兰平面度的检测装置
CN102519404A (zh) * 2011-12-07 2012-06-27 上海长星船舶设备服务有限公司 一种大直径法兰面平整度的测量和校正方法
CN202420447U (zh) * 2011-11-25 2012-09-05 深圳众为兴技术股份有限公司 一种板平面度测量装置
CN102706315A (zh) * 2012-03-20 2012-10-03 深圳市大族激光科技股份有限公司 平台台面的平面度测量装置及测量方法
CN202511761U (zh) * 2012-01-19 2012-10-31 昆山思拓机器有限公司 Wafer厚度及平面度的测量装置
CN103090840A (zh) * 2011-10-28 2013-05-08 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 平面度检测装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11132762A (ja) * 1997-10-30 1999-05-21 Nikon Corp 走査型露光装置の長尺鏡の平面度差の測定方法
JP2009014579A (ja) * 2007-07-06 2009-01-22 Lasertec Corp 平坦度評価方法、及びパターン基板の製造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003344034A (ja) * 2002-05-23 2003-12-03 Mitsutoyo Corp 表面性状測定装置及び表面性状センサ
US20060092430A1 (en) * 2004-10-29 2006-05-04 Lizotte Todd E Displacement and flatness measurements by use of a laser with diffractive optic beam shaping and a multiple point sensor array using the back reflection of an illuminating laser beam
CN201803706U (zh) * 2010-07-30 2011-04-20 浙江摩多巴克斯汽配有限公司 排气岐管法兰平面度的检测装置
CN103090840A (zh) * 2011-10-28 2013-05-08 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 平面度检测装置
CN202420447U (zh) * 2011-11-25 2012-09-05 深圳众为兴技术股份有限公司 一种板平面度测量装置
CN102519404A (zh) * 2011-12-07 2012-06-27 上海长星船舶设备服务有限公司 一种大直径法兰面平整度的测量和校正方法
CN202511761U (zh) * 2012-01-19 2012-10-31 昆山思拓机器有限公司 Wafer厚度及平面度的测量装置
CN102706315A (zh) * 2012-03-20 2012-10-03 深圳市大族激光科技股份有限公司 平台台面的平面度测量装置及测量方法

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Patentee before: HAN'S LASER TECHNOLOGY INDUSTRY GROUP Co.,Ltd.

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