CN103434037A - 一种多晶棒料车削夹具及车削方法 - Google Patents

一种多晶棒料车削夹具及车削方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103434037A
CN103434037A CN2013103840694A CN201310384069A CN103434037A CN 103434037 A CN103434037 A CN 103434037A CN 2013103840694 A CN2013103840694 A CN 2013103840694A CN 201310384069 A CN201310384069 A CN 201310384069A CN 103434037 A CN103434037 A CN 103434037A
Authority
CN
China
Prior art keywords
turning
left end
fixing disk
fixed disk
polycrystalline
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2013103840694A
Other languages
English (en)
Inventor
靳立辉
于书翰
贾弘源
刘旭光
闫耀东
卢君
姚长娟
李立伟
杨春庚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tianjin Huanou Semiconductor Material Technology Co Ltd
Original Assignee
Tianjin Huanou Semiconductor Material Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tianjin Huanou Semiconductor Material Technology Co Ltd filed Critical Tianjin Huanou Semiconductor Material Technology Co Ltd
Priority to CN2013103840694A priority Critical patent/CN103434037A/zh
Publication of CN103434037A publication Critical patent/CN103434037A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Turning (AREA)

Abstract

本发明涉及一种多晶棒料车削夹具及车削方法。左端固定盘为圆柱体，一端为阶梯状，另一端孔内底端为盲孔，孔内上端为内锥面，右端固定盘为圆柱体，一端为平面，另一端为圆凸起面；车削方法如下：车床左端三爪卡盘固定夹紧带内锥面的左端固定盘，加工时用于固定多晶棒料的带锥面一侧，多晶棒料另一侧的端面与右端固定盘胶粘，再用机床尾座的顶尖对中顶紧，将硬质合金刀具卡紧，对好刀后，按优选的工艺参数进行棒料的车削，既切削速度为94m/min，纵向进给比例0.2，进刀量2mm，进刀角度80°，同时开启除尘冷却装置，车削完成后，按加工精度要求进行检验。本发明夹持稳定，径向跳动小，安全性高，提高了加工效率及产品合格率。

Description

一种多晶棒料车削夹具及车削方法
技术领域
本发明涉及半导体行业多晶硅棒料机加工备料领域，特别涉及一种多晶棒料车削夹具及车削方法。
背景技术
多晶棒料的加工是为拉制单晶提供原材料，对加工后棒料的几何形状有严格的尺寸要求。几何形状不规则的棒料在拉晶过程中经常出现问题，不利于晶体的自动生长。
目前行业内普遍采用进口砂带机加工多晶棒料，虽能保证较好的加工精度，但是采购费用高，加工效率低。国内外均无用于多晶棒料的专用车削机床，需对现有普通车床进行相应的技术改造。 
发明内容
鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种多晶棒料车削夹具及车削方法，采用新设计的夹具及新的加工方式，以解决多晶棒料在加工过程中容易出现几何形状不规则，达不到工艺要求的问题，以满足对原材料的加工精度要求。
本发明为实现上述目的，所采用的技术方案是：一种多晶棒料车削夹具及车削方法，其特征在于：所述夹具包括左端固定盘和右端固定盘，所述左端固定盘为圆柱体，其一端为阶梯状，另一端孔内底端为盲孔，孔内上端为内锥面，所述右端固定盘为圆柱体，其一端为平面，另一端为圆凸起面；
所述车削方法步骤如下：将多晶棒料的左端按尺寸磨制一定锥度，将多晶棒料右端切割成平面，且端面与多晶棒料的中心线垂直度小于0.2mm，然后将多晶棒料的右端面与右端固定盘的平面胶粘在一起；将左端固定盘的阶梯状端用车床三爪卡盘卡紧；
将多晶棒料一端的外锥面置于左端固定盘的内锥面内，配合好后可实现自动对中，起到轴向、径向定向作用，其多晶棒料右端上的右端固定盘圆凸起面用车床尾座顶尖顶紧，装卡完毕；
将选定的硬质合金刀具卡紧，对好刀后，按优选的工艺参数进行棒料的车削，既切削速度为94m/min，纵向进给比例0.2，进刀量2mm，进刀角度80°，同时开启除尘冷却装置，既采用工业用吸尘器，将吸头固定于车刀刀架上，吸口对准车刀，车削时强大的气流吸走粉尘的同时也带走了热量，起到除尘冷却的作用，硅粉可直接收集；
车削完成后，按加工精度要求：弯曲度<3mm、椭圆度<3mm、直径偏差<3mm检验。
本发明有益效果是：夹持稳定，径向跳动小。多晶棒料与左端固定盘对中操作省时间，安全性高，提高了加工效率及产品合格率。按照工艺参数进行棒料的车削，保证了加工精度要求，加工精度要求为：弯曲度<3mm、椭圆度<3mm、直径偏差<3mm。
附图说明
图1为本发明使用状态示意图；
图2为本发明左端固定盘的剖视结构示意图；
图3为本发明右端固定盘的结构示意图。
具体实施方式
如图2、3所示，一种多晶棒料车削夹具，夹具包括左端固定盘1、右端固定盘2，左端固定盘1为圆柱体，其一端为阶梯状1-1，另一端孔内底端为盲孔1-2，孔内上端为内锥面1-3，右端固定盘2为圆柱体，其一端为平面2-1，另一端为圆凸起面2-2。
如图1所示，一种多晶棒料的车削方法骤如下：
将多晶棒料3的左端按尺寸磨制一定锥度，将多晶棒料3右端切割成平面，且端面与多晶棒料3的中心线垂直度小于0.2mm，然后将多晶棒料3的右端面与右端固定盘2的平面2-1胶粘在一起； 
将左端固定盘1的阶梯状1-1端用车床三爪卡盘4卡紧；
将多晶棒料3一端的外锥面置于左端固定盘2的内锥面1-3内，配合好后可实现自动对中，起到轴向、径向定向作用，其多晶棒料3右端上的右端固定盘2圆凸起面2-2用车床尾座5顶尖顶紧，装卡完毕；
将选定的硬质合金刀具卡紧，对好刀后，按优选的工艺参数进行棒料的车削，既切削速度为94m/min，纵向进给比例0.2，进刀量2mm，进刀角度80°，同时开启除尘冷却装置，既采用工业用吸尘器，将吸头固定于车刀刀架上，吸口对准车刀，车削时强大的气流吸走粉尘的同时也带走了热量，起到除尘冷却的作用，硅粉可直接收集；
车削完成后，按加工精度要求：弯曲度<3mm、椭圆度<3mm、直径偏差<3mm检验。
刀具的选型：
经过对多种刀具的对比试验选定硬质合金材料的刀具，其特点如下：  
1、能够加工多晶硅材料。
2、无冷却情况下，车刀耐热性稳定，未发生软化。 
3、能进行高转速、大进给量车削，加工效率高。 
4、车刀使用寿命长，间断使用寿命在12小时以上。
5、车削后棒料表面光洁度较好。 
     由于多晶棒料为回转工件，故选定普通车床作为加工设备 。通过对刀具的选型、夹具（夹持系统）的设计、除尘冷却装置设计、工艺方法的设计，形成了一种新的加工多晶棒料的工艺方法。
工艺参数如下表：

Claims (1)

1.一种多晶棒料车削夹具及车削方法，其特征在于：所述夹具包括左端固定盘（1）和右端固定盘（2），所述左端固定盘（1）为圆柱体，其一端为阶梯状（1-1），另一端孔内底端为盲孔（1-2），孔内上端为内锥面（1-3），所述右端固定盘（2）为圆柱体，其一端为平面（2-1），另一端为圆凸起面（2-2）；
所述车削方法步骤如下：将多晶棒料（3）的左端按尺寸磨制一定锥度，将多晶棒料（3）右端切割成平面，且端面与多晶棒料（3）的中心线垂直度小于0.2mm，然后将多晶棒料（3）的右端面与右端固定盘（2）的平面（2-1）胶粘在一起；将左端固定盘（1）的阶梯状（1-1）端用车床三爪卡盘（4）卡紧；
将多晶棒料（3）一端的外锥面置于左端固定盘（2）的内锥面（1-3）内，配合好后可实现自动对中，起到轴向、径向定向作用，其多晶棒料（3）右端上的右端固定盘（2）圆凸起面（2-2）用车床尾座（5）顶尖顶紧，装卡完毕；
将选定的硬质合金刀具卡紧，对好刀后，按优选的工艺参数进行棒料的车削，既切削速度为94m/min，纵向进给比例0.2，进刀量2mm，进刀角度80°，同时开启除尘冷却装置，既采用工业用吸尘器，将吸头固定于车刀刀架上，吸口对准车刀，车削时强大的气流吸走粉尘的同时也带走了热量，起到除尘冷却的作用，硅粉可直接收集；
车削完成后，按加工精度要求：弯曲度<3mm、椭圆度<3mm、直径偏差<3mm检验。
CN2013103840694A 2013-08-30 2013-08-30 一种多晶棒料车削夹具及车削方法 Pending CN103434037A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2013103840694A CN103434037A (zh) 2013-08-30 2013-08-30 一种多晶棒料车削夹具及车削方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2013103840694A CN103434037A (zh) 2013-08-30 2013-08-30 一种多晶棒料车削夹具及车削方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103434037A true CN103434037A (zh) 2013-12-11

Family

ID=49687798

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2013103840694A Pending CN103434037A (zh) 2013-08-30 2013-08-30 一种多晶棒料车削夹具及车削方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103434037A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104309016A (zh) * 2014-09-30 2015-01-28 天津市环欧半导体材料技术有限公司 一种大直径多晶棒料的加工方法
CN105014536A (zh) * 2015-08-14 2015-11-04 麦斯克电子材料有限公司 一种晶棒滚磨前对中装置
CN115815635A (zh) * 2022-11-14 2023-03-21 中钢集团邢台机械轧辊有限公司 一种提高加工线棒辊扁面粗糙度的方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0229687A2 (en) * 1986-01-07 1987-07-22 Siemens Solar Industries L.P. Method of manufacturing wafers of semiconductor Material
US4819387A (en) * 1987-12-16 1989-04-11 Motorola, Inc. Method of slicing semiconductor crystal
CN201361952Y (zh) * 2009-03-10 2009-12-16 宁晋松宫电子材料有限公司 一种硅棒粘结机构
CN201669577U (zh) * 2010-05-26 2010-12-15 陕西方圆汽车标准件有限公司 一种用于车削加工的内顶尖装置和夹具
CN202053394U (zh) * 2011-04-13 2011-11-30 济宁佳华电子材料有限公司 籽晶切割夹具
CN202114579U (zh) * 2011-06-08 2012-01-18 云南蓝晶科技股份有限公司 晶棒端头定位粘接装置
CN202239647U (zh) * 2011-09-23 2012-05-30 长春轨道客车装备有限责任公司 车削加工工装
CN202572682U (zh) * 2012-03-15 2012-12-05 阳光硅谷电子科技有限公司 一种石墨电极棒专用辅助装卡装置
CN102806476A (zh) * 2012-07-24 2012-12-05 苏州市建军纺机配件厂 一种圆弧锥形件车削加工用夹具

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0229687A2 (en) * 1986-01-07 1987-07-22 Siemens Solar Industries L.P. Method of manufacturing wafers of semiconductor Material
EP0229687A3 (en) * 1986-01-07 1989-02-15 Atlantic Richfield Company Method of manufacturing wafers of semiconductor material
US4819387A (en) * 1987-12-16 1989-04-11 Motorola, Inc. Method of slicing semiconductor crystal
CN201361952Y (zh) * 2009-03-10 2009-12-16 宁晋松宫电子材料有限公司 一种硅棒粘结机构
CN201669577U (zh) * 2010-05-26 2010-12-15 陕西方圆汽车标准件有限公司 一种用于车削加工的内顶尖装置和夹具
CN202053394U (zh) * 2011-04-13 2011-11-30 济宁佳华电子材料有限公司 籽晶切割夹具
CN202114579U (zh) * 2011-06-08 2012-01-18 云南蓝晶科技股份有限公司 晶棒端头定位粘接装置
CN202239647U (zh) * 2011-09-23 2012-05-30 长春轨道客车装备有限责任公司 车削加工工装
CN202572682U (zh) * 2012-03-15 2012-12-05 阳光硅谷电子科技有限公司 一种石墨电极棒专用辅助装卡装置
CN102806476A (zh) * 2012-07-24 2012-12-05 苏州市建军纺机配件厂 一种圆弧锥形件车削加工用夹具

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104309016A (zh) * 2014-09-30 2015-01-28 天津市环欧半导体材料技术有限公司 一种大直径多晶棒料的加工方法
CN104309016B (zh) * 2014-09-30 2016-02-17 天津市环欧半导体材料技术有限公司 一种大直径多晶棒料的加工方法
CN105014536A (zh) * 2015-08-14 2015-11-04 麦斯克电子材料有限公司 一种晶棒滚磨前对中装置
CN105014536B (zh) * 2015-08-14 2017-06-16 麦斯克电子材料有限公司 一种晶棒滚磨前对中装置
CN115815635A (zh) * 2022-11-14 2023-03-21 中钢集团邢台机械轧辊有限公司 一种提高加工线棒辊扁面粗糙度的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102886544B (zh) 带工件回转装置的单轴钻床
CN206780002U (zh) 数控铣削中心快速换刀系统
CN204339346U (zh) 长轴类零件自动夹紧夹具
CN103434037A (zh) 一种多晶棒料车削夹具及车削方法
CN207326096U (zh) 一种外圆倒角器
CN201940784U (zh) 一种大长径比有色金属阶梯深孔的加工装置
CN106425592B (zh) 一种斜壁钻孔均匀去毛刺的方法
CN203804253U (zh) 一种可调节平衡的车床夹具
CN109128723B (zh) 一种曲轴连杆颈v型贯通式减重孔的加工方法
CN111890052B (zh) 一种多轴深孔加工机床专用倒角刀具
CN203091797U (zh) 一种旋转夹紧装置
CN201922130U (zh) 一种倒角和去毛刺工具
CN105583579A (zh) 半圆垫圈加工方法
CN204686205U (zh) 去除工件毛边的装置
CN208438116U (zh) 一种用于立式加工中心的磨槽工具
CN203460334U (zh) 一种多晶棒料车削夹具
CN202606865U (zh) 一种加工球形工装
CN207578041U (zh) 一种自动上下料外圆磨床
CN204818307U (zh) 一种去内孔口毛刺的刀具
CN204221017U (zh) 一种刀具
CN106001781A (zh) 去除工件毛边的装置
CN204954001U (zh) 一种可用端面定位加工的刀具
CN204413247U (zh) 一种精密球道刀
CN205702490U (zh) 一种双车刀加工型车床装置
CN205342592U (zh) 一种用于压缩机转子车削的固定轴

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20131211