CN103376197B - 太阳能电池片、硅片背面光学检测系统 - Google Patents

太阳能电池片、硅片背面光学检测系统 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种太阳能电池片、硅片背面光学检测系统，传送机构能够带动电池片、硅片直线运动定位于机架上，第一、二拨动机构沿传送机构运动方向依次固定于机架上，第一、二拨动机构能够将电池片、硅片沿垂直其运动方向拨动设定距离，所述第一、二拨动机构拨动方向相反，成像装置分别对应第一、二拨动机构固定于传送机构正上方的机架上，成像装置能够分别对经过第一、二拨动机构拨动的电池片、硅片成像输出给处理器，所述机架位于传送机构正下方设有光源，本发明通过对不同位置的硅片分别成像，实现了全面检测，检测精度高，检测效率高，非接触式检测模式，避免了电池片、硅片的损伤，降低了不良率，确保了检测精度。

Description

太阳能电池片、硅片背面光学检测系统
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池片、硅片检测系统，特别涉及一种太阳能电池片、硅片片背面光学检测系统。
背景技术
在太阳能硅片或者电池片的在线光学检测中，由于电池片放置于传输机构上，使得一些检测无法进行，比如AOI的背面检测，再比如红外的检测需要红外光从电池片下方照射，透过电池片成像，在两种情况下，由于皮带的存在使得电池片部分区域无法被检测。目前常见的作法：1.不检测背面；2.对电池片、硅片进行翻转，而翻转的方法容易损害电池片、硅片。
发明内容
为了弥补以上不足，本发明提供了一种太阳能电池片、硅片背面光学检测系统，该太阳能电池片、硅片背面光学检测系统通过非接触的方式对电池片、硅片进行背面光学检测，检测效率高，不损伤电池片、硅片。
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳能电池片、硅片背面光学检测系统，包括机架、传送机构、第一、二拨动机构、成像装置和处理器，所述传送机构能够带动硅片直线运动定位于机架上，第一、二拨动机构沿传送机构运动方向依次固定于机架上，第一、二拨动机构能够将硅片沿垂直其运动方向拨动设定距离，所述第一、二拨动机构拨动方向相反，成像装置分别对应第一、二拨动机构固定于传送机构正上方的机架上，成像装置能够分别对经过第一、二拨动机构拨动的电池片、硅片成像，成像装置能够将成像的数据输出给处理器，所述机架位于传送机构正下方设有光源，光源发光照射传送机构上的电池片、硅片，成像装置分别对经过光源照射的电池片、硅片成像，在电池片、硅片进入到成像装置的成像区位置之前，第一拨动机构拨动电池片、硅片使其发生偏移，成像装置采集该电池片、硅片图像，然后第二拨动机构拨动其复位，再采集第二幅该电池片、硅片图像，经过第一、二拨动机构拨动的电池片、硅片被传送机构遮挡的位置不同，在成像装置上恰呈错位的状态，这样经过两次成像将传送机构的遮挡位置错开，这样就完全呈现出电池片、硅片所有位置的图像信息，使得电池片、硅片任意位置都得到精确的检测，确保检测精确度。
作为本发明的进一步改进，所述第一、二拨动机构结构对称，包括气缸、拨动架和拨动块，气缸固定于机架上，拨动架能够沿垂直传送机构运动方向滑动定位于机架上，气缸的活塞杆与拨动架固连，拨动块固定于拨动架上，一对拨动块恰止挡于电池片、硅片垂直其运动方向的两侧，气缸的活塞杆通过拨动架带动拨动块沿垂直硅片运动方向运动实现了硅片的偏位拨动。
作为本发明的进一步改进，所述成像装置为相机。
作为本发明的进一步改进，所述电池片、硅片恰完全遮挡光源的全部光线，采用利用电池片、硅片自身的尺寸遮挡光源，避免电池片、硅片边缘曝光太强。
本发明的有益技术效果是：本发明通过对不同位置的电池片、硅片分别成像，实现了全面检测，检测精度高，检测效率高，非接触式检测模式，避免了电池片、硅片的损伤，降低了不良率，确保了检测精度。
附图说明
图1为本发明的主视图；
图2为本发明的左视图；
图3为发明的俯视图；
图4为发明的立体图；
图5为本发明的光照原理图。
具体实施方式
实施例：一种太阳能电池片、硅片背面光学检测系统，包括机架1、传送机构2、第一、二拨动机构3、4、成像装置5和处理器，所述传送机构2能够带动电池片、硅片直线运动定位于机架1上，第一、二拨动机构3、4沿传送机构运动方向依次固定于机架1上，第一、二拨动机构3、4能够将电池片、硅片7沿垂直其运动方向拨动设定距离，所述第一、二拨动机构3、4拨动方向相反，成像装置5分别对应第一、二拨动机构3、4固定于传送机构2正上方的机架1上，成像装置能够分别对经过第一、二拨动机构3、4拨动的电池片、硅片成像，成像装置能够将成像的数据输出给处理器，所述机架1位于传送机构2正下方设有光源6，光源6发光照射传送机构上的电池片、硅片，成像装置分别对经过光源6照射的电池片、硅片7成像，在电池片、硅片7进入到成像装置的成像区位置之前，第一拨动机构3拨动硅片使其发生偏移，成像装置采集该硅片图像，然后第二拨动机构4拨动其复位，再采集第二幅该电池片、硅片7图像，经过第一、二拨动机构3、4拨动的电池片、硅片被传送机构2遮挡的位置不同，在成像装置上恰呈错位的状态，这样经过两次成像将传送机构2的遮挡位置错开，这样就完全呈现出电池片、硅片7所有位置的图像信息，使得电池片、硅片任意位置都得到精确的检测，确保检测精确度。
所述第一、二拨动机构3、4结构对称，包括气缸、拨动架和拨动块，气缸固定于机架1上，拨动架能够沿垂直传送机构2运动方向滑动定位于机架1上，气缸的活塞杆与拨动架固连，拨动块固定于拨动架上，一对拨动块恰止挡于硅片垂直其运动方向的两侧，气缸的活塞杆通过拨动架带动拨动块沿垂直电池片、硅片运动方向运动实现了电池片、硅片7的偏位拨动。
所述成像装置5为相机。
所述电池片、硅片恰完全遮挡光源6的全部光线，采用利用电池片、硅片7自身的尺寸遮挡光源6，避免电池片、硅片7边缘曝光太强。

Claims (4)

1.一种太阳能电池片、硅片背面光学检测系统，其特征是：包括机架(1)、传送机构(2)、第一、二拨动机构(3、4)、成像装置(5)和处理器，所述传送机构(2)能够带动电池片、硅片(7)直线运动定位于机架(1)上，第一、二拨动机构(3、4)沿传送机构(2)运动方向依次固定于机架(1)上，第一、二拨动机构(3、4)能够将电池片、硅片(7)沿垂直其运动方向拨动设定距离，所述第一、二拨动机构(3、4)拨动方向相反，成像装置(5)分别对应第一、二拨动机构(3、4)固定于传送机构(2)正上方的机架(1)上，成像装置(5)能够分别对经过第一、二拨动机构(3、4)拨动的电池片、硅片(7)成像，成像装置(5)能够将成像的数据输出给处理器，所述机架(1)位于传送机构(2)正下方设有光源(6)。
2.如权利要求1所述的太阳能电池片、硅片背面光学检测系统，其特征是：所述第一、二拨动机构(3、4)结构对称，包括气缸、拨动架和拨动块，气缸固定于机架(1)上，拨动架能够沿垂直传送机构(2)运动方向滑动定位于机架(1)上，气缸的活塞杆与拨动架固连，拨动块固定于拨动架上，一对拨动块恰止挡于电池片、硅片(7)垂直其运动方向的两侧。
3.如权利要求1所述的太阳能电池片、硅片背面光学检测系统，其特征是：所述成像装置(5)为相机。
4.如权利要求1所述的太阳能电池片、硅片背面光学检测系统，其特征是：所述电池片、硅片(7)恰完全遮挡光源(6)的全部光线。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106124516B (zh) * 2016-07-21 2019-06-07 无锡先导智能装备股份有限公司 一种移动式电池串检测装置
TWI618165B (zh) * 2016-12-28 2018-03-11 中美矽晶製品股份有限公司 晶片檢測裝置及其檢測方法
CN107131825B (zh) * 2017-03-24 2019-08-09 北京工业大学 一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5696002A (en) * 1995-03-01 1997-12-09 Texas Instruments Incorporated Method for forming electrical contact to the optical coating of an infrared detector from the backside of the detector
CN101285783A (zh) * 2007-04-13 2008-10-15 华泰电子股份有限公司 基板检测装置
CN101382743A (zh) * 2008-10-27 2009-03-11 上海微电子装备有限公司 同轴双面位置对准系统及位置对准方法
CN101509878A (zh) * 2009-03-09 2009-08-19 北京航空航天大学 一种零件视觉检测装置
CN102141525A (zh) * 2011-01-01 2011-08-03 上海创波光电科技有限公司 可调节的正、背光源照明检测装置
CN102384913A (zh) * 2010-09-02 2012-03-21 致茂电子(苏州)有限公司 太阳能晶圆位置校准装置及具有该检测装置的检测机台
CN202511957U (zh) * 2012-04-16 2012-10-31 苏州中导光电设备有限公司 太阳能电池片、硅片背面光学检测系统

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10142160A (ja) * 1996-11-15 1998-05-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学的検査方法とその装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5696002A (en) * 1995-03-01 1997-12-09 Texas Instruments Incorporated Method for forming electrical contact to the optical coating of an infrared detector from the backside of the detector
CN101285783A (zh) * 2007-04-13 2008-10-15 华泰电子股份有限公司 基板检测装置
CN101382743A (zh) * 2008-10-27 2009-03-11 上海微电子装备有限公司 同轴双面位置对准系统及位置对准方法
CN101509878A (zh) * 2009-03-09 2009-08-19 北京航空航天大学 一种零件视觉检测装置
CN102384913A (zh) * 2010-09-02 2012-03-21 致茂电子(苏州)有限公司 太阳能晶圆位置校准装置及具有该检测装置的检测机台
CN102141525A (zh) * 2011-01-01 2011-08-03 上海创波光电科技有限公司 可调节的正、背光源照明检测装置
CN202511957U (zh) * 2012-04-16 2012-10-31 苏州中导光电设备有限公司 太阳能电池片、硅片背面光学检测系统

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