CN103334678B - 用于真空室的气动式仓门密封结构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于真空室的气动式仓门密封结构，包括真空室，在真空室的前端部设置有仓门，真空室与仓门接触的部位设置有密封圈，在真空室的前端部上方设置有支架，在支架上安装有气缸，仓门通过连接套和销轴与气缸的气缸杆连接，在仓门的两侧分别设有导向轨和导向销。在导向轨的中上部形成上左下右的弯曲的导向槽，导向销的一端与仓门固定连接，另一端插入导向槽内、并能在导向槽内自由滑动。本发明结构简单、操作方便，动作灵活、密封性好，真空度可达≤6Pa，漏率≤10-7Pa·m-3·s-1，开启或关闭时间小于3s。可连续工作，适应大批量生产线的需要。

Description

用于真空室的气动式仓门密封结构
技术领域
本发明属于一种真空密封结构，具体涉及一种用于真空室的气动式仓门密封结构。
背景技术
大批处于自动生产线上的专用工件，需要逐批进入真空室，要求在真空度≤6Pa的条件下完成规定的工序操作，且要求仓门启闭和抽空时间≤4分钟。
目前现有技术的真空室仓门密封结构一般为螺栓－法兰式、螺栓－铰链－法兰式和电动闸板式，其中前两种结构开启或关闭均需手工操作，耗时费力，效率很低，电动闸板式结构工作真空度低，漏率大，密封件极易损坏，维护周期短。
显然现有技术的真空室仓门密封结构不能满足专用工件的工艺要求，需设计新型的仓门密封结构，以满足大批量处于自动生产线上的专用工件的工艺要求。
发明内容
本发明是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的，其目的是提供一种效率高、密封性好的用于真空室的气动式仓门密封结构。
本发明的技术方案：一种用于真空室的气动式仓门密封结构，包括真空室，在真空室的前端部设置有仓门，真空室与仓门接触的部位设置有密封圈，在真空室的前端部上方设置有支架，在支架上安装有气缸，仓门通过连接套和销轴与气缸的气缸杆连接，在仓门的两侧分别设有导向轨和导向销。
在所述的仓门的一侧设置有破空阀。
所述的支架的高度应大于仓门的高度，以便使仓门上下移动时关闭和开启。
所述的导向轨的外形为“折线型”板结构，在导向轨的中上部形成上左下右的弯曲的导向槽，导向销的一端与仓门固定连接，另一端插入导向槽内、并能在导向槽内自由滑动。
本发明的有益效果是：
本发明结构简单、操作方便，动作灵活、密封性好，真空室的工作真空度可达≤6Pa，仓门处的漏率≤10-7Pa·m-3·s-1，开启或关闭时间小于3s。可连续工作，适应大批量生产线的需要。
附图说明
图1是本发明真空室仓门关闭时的结构示意图；
图2是图1中沿A-A线的剖面图；
图3是本发明的导向轨的主视图；图4是本发明真空室仓门开启时的结构示意图。
图中：
1真空室2仓门
3气缸4支架
5连接套6销轴
7气缸杆8密封圈
9破空阀10导向轨
11导向销12导向槽
具体实施方式
下面，结合附图和实施例对本发明用于真空室的气动式仓门密封结构进行详细说明：如图1所示，一种用于真空室的气动式仓门密封结构，包括真空室1，在真空室1的前端部设置有仓门2，在真空室1与仓门2接触的部位设置有密封圈8，在真空室1的前端部上方设置有支架4，在支架4上安装有气缸3，仓门2通过连接套5和销轴6与气缸3的气缸杆7连接。在仓门2的一侧设置有破空阀9。
如图2、3所示，在仓门2的两侧分别设有导向轨10和导向销11，导向轨10的外形为“折线型”板结构，在导向轨10的中上部形成上左下右的弯曲的导向槽12，导向销11的一端与仓门2固定连接，另一端插入导向槽12内、并能在导向槽12内自由滑动。
支架4的高度应大于仓门2的高度，以便使仓门2上下移动时关闭和开启。
仓门2材质为不锈钢304B，且内表面进行抛光处理，密封圈8材质为氟橡胶。
本发明的开启和关闭的过程是：
如图1、4所示，是真空室仓门关闭时的状态，当需要开启仓门时，首先启动气缸，气缸的气缸杆通过连接套和销轴带动仓门上升，仓门上的导向销沿着导向槽向上升，在仓门上升的同时向左移动，仓门开启。
关闭仓门时，气缸的气缸杆通过连接套和销轴带动仓门下降，仓门上的导向销沿着导向槽向下降，在仓门下降的同时向右移动，仓门关闭。
本发明结构简单、操作方便，动作灵活、密封性好，真空室的工作真空度可达≤6Pa，仓门处的漏率≤10-7Pa·m-3·s-1，开启或关闭时间小于3s。可连续工作，适应大批量生产线的需要。

Claims (3)

1.一种用于真空室的气动式仓门密封结构，包括真空室（1），在真空室（1）的前端部设置有仓门（2），其特征在于：在所述的真空室（1）与仓门（2）接触的部位设置有密封圈（8），在真空室（1）的前端部上方设置有支架（4），在支架（4）上安装有气缸（3），仓门（2）通过连接套（5）和销轴（6）与气缸（3）的气缸杆（7）连接，在仓门（2）的两侧分别设有导向轨（10）和导向销（11），所述的导向轨（10）的外形为“折线型”板结构，在导向轨（10）的中上部形成上左下右的弯曲的导向槽（12），导向销（11）的一端与仓门（2）固定连接，另一端插入导向槽（12）内、并能在导向槽（12）内自由滑动。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空室的气动式仓门密封结构，其特征在于：在所述的仓门（2）的一侧设置有破空阀（9）。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空室的气动式仓门密封结构，其特征在于：所述的支架（4）的高度应大于仓门（2）的高度，以便使仓门（2）上下移动时关闭和开启。
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