CN103091044A - 一种化学品泄漏自动检测回收装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及化学品异常泄漏的处理设备,具体地说是一种化学品泄漏自动检测回收装置,包括漏液收集盒、漏液中转TANK、电动阀、化学品回收TANK及PUMP,其中漏液收集盒下部设有漏斗,该漏头的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中转TANK中;所述PUMP的进口通过进液管路与漏液中转TANK相连通,PUMP的出口通过排液管路与化学品回收TANK相连通;在漏液中转TANK及化学品回收TANK的内部分别安装有中转TANK传感器及回收TANK液位传感器,所述PUMP与中转TANK传感器电连接。本发明利用PUMP与电动阀及中转TANK传感器的配合,实现了对意外泄漏的化学品进行自动回收,防止对操作人员造成人身伤害。
Description
技术领域
本发明涉及化学品异常泄漏的处理设备,具体地说是一种化学品泄漏自动检测回收装置,应用于半导体制程中危险化学品异常泄漏的检测回收。
背景技术
在半导体制程中,偶而会发生化学品的意外泄漏,需要及时安全地处理。尤其是刻蚀工艺,会涉及到很多强酸化学品,一旦泄漏,危害很大。传统的化学品泄漏检测无法解决已泄漏出的化学品,就需要操作人员直接面对高浓度的酸,操作非常不方便也不安全;而且,腐蚀性的化学品对人身损害较大,工作环境安全性差。
发明内容
为了解决传统化学品泄漏需要人工进行处理而存在的上述问题,本发明的目的在于提供一种化学品泄漏自动检测回收装置。该自动检测回收装置可实现对异常泄漏的化学品进行回收,保证操作人员的人身安全。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
本发明包括漏液收集盒、漏液中转TANK、化学品回收TANK及PUMP,其中漏液收集盒下部设有漏斗,该漏头的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中转TANK中;所述PUMP的进口通过进液管路与漏液中转TANK相连通,PUMP的出口通过排液管路与化学品回收TANK相连通;在漏液中转TANK及化学品回收TANK的内部分别安装有中转TANK传感器及回收TANK液位传感器,所述PUMP与中转TANK传感器电连接。
其中:所述PUMP与漏液中转TANK之间的进液管路中设有电动阀,该电动阀与所述中转TANK传感器电连接;所述漏斗在竖直方向的截面为倒置的“八”字形,两斜边的夹角为钝角,其中任一条斜边的下部为与漏液中转TANK内壁平行的直边;所述中转TANK传感器具有用于报警漏液中转TANK中回收的化学品6已满的上限位传感器,以及用于检测到回收的化学品6的下限位传感器;所述回收TANK液位传感器具有用于报警化学品回收TANK中回收的化学品已满的上限位传感器。
本发明的优点与积极效果为:
1.本发明利用PUMP与电动阀及中转TANK传感器的配合,实现了对意外泄漏的化学品进行自动回收,防止对操作人员造成人身伤害。
2.本发明的漏斗底部的斜边设计,可防止回收的化学品液体飞溅。
3.本发明的中转TANK传感器设有上限位传感器及下限位传感器,其中下限位传感器可以检测到漏液中转TANK中是否有回收的化学品,而上限位传感器可以在漏液中转TANK中化学品已满时报警,安全性高。
4.本发明的回收TANK液位传感器设有上限位传感器,可在化学品回收TANK中回收的化学品已满时进行报警。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
其中:1为漏液上集盒,2为漏斗,3为漏液中转TANK(罐),4为中转TANK传感器,5为电动阀,6为回收的化学品,7为排液管路,8为化学品回收TANK,9为回收TANK液位传感器,10为PUMP(泵),11为进液管路。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
如图1所示,本发明包括漏液收集盒1、漏液中转TANK3、电动阀5、中转TANK传感器4、电动阀5、化学品回收TANK8、回收TANK液位传感器9及PUMP10,其中漏液收集盒1位于漏液中转TANK3的上方、用于暂存意外泄漏的化学品,在漏液收集盒1的下表面设有漏斗2,该漏斗2在竖直方向的截面为倒置的“八”字形,两斜边的夹角为钝角,其中任一条斜边的下部为与漏液中转TANK3内壁平行的直边;漏斗2的下端插入漏液中转TANK3中,即图1中漏斗2左侧斜边下部为直边、紧贴在漏液中转TANK3左侧的内壁,既便于漏斗2与漏液中转TANK3定位,而且漏斗斜边的设计还能够防止化学品飞溅,避免对溅到操作人员的身体上造成伤害。
PUMP10位于漏液中转TANK3与化学品回收TANK8之间,PUMP10的进口通过进液管路11与漏液中转TANK3相连通,PUMP10的出口通过排液管路与化学品回收TANK8相连通;进液管路11的一端连接于PUMP10的进口、负责进液,另一端插设在漏液中转TANK3底部的出口,可以将漏液中转TANK3中回收的化学品6全部回收,无残留;排液管路7的一端连接于PUMP10的出口,另一端伸至化学品回收TANK8的底部,以避免回收的化学品6由上流下引起飞溅。
在漏液中转TANK3及化学品回收TANK8的内部分别安装有中转TANK传感器4及回收TANK液位传感器9,PUMP10与中转TANK传感器4电连接;在PUMP10与漏液中转TANK3之间的进液管路11中设有电动阀5,该电动阀5位于漏液中转TANK3的出口处、与中转TANK传感器4电连接。所述中转TANK传感器4具有上限位传感器及下限位传感器,其中上限位传感器用于在漏液中转TANK3中回收的化学品6已满时报警,下限位传感器用于检测到回收的化学品6。所述回收TANK液位传感器9具有上限位传感器,用于化学品回收TANK8中回收的化学品6已满时报警。
本发明的中转TANK传感器4为市购产品,购置于东莞事兴电子有限公司,型号为ZC-PP40I;电动阀5为市购产品,购置于CKD公司,型号为AMDZ1-4U58BUS-2-FL-440978;PUMP10为市购产品,购置于美国WILDEN公司,型号为p0.25;回收TANK液位传感器9为市购产品,购置于东莞事兴电子有限公司,型号为ZC-PP100I。
本发明的工作原理为:
工作时,漏液收集盒1用来暂存意外泄漏的化学品,液体的化学品经过漏斗2收集到漏液中转TANK3中,漏斗2的斜坡设计防止化学品飞溅。漏液中转TANK3中设置了中转TANK传感器4,当中转TANK传感器4的下限位传感器检测到回收的化学品6时,便发出信号驱动PUMP10、同时打开电动阀5,开始通过PUMP10从漏液中转TANK3中经进液管路11泵出化学品,直至中转TANK传感器4的下限位传感器检测到无化学品,PUMP10停止工作、关掉电动阀5,化学品经过排液管路7最终收集到化学品回收TANK8中,化学品回收TANK8中设置了回收TANK液位传感器9,回收TANK液位传感器9的上限位传感器起到警报作用,通知操作人员化学品回收TANK8已满。
Claims (5)
1.一种化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:包括漏液收集盒(1)、漏液中转TANK(3)、化学品回收TANK(8)及PUMP(10),其中漏液收集盒(1)下部设有漏斗(2),该漏头(2)的下端插入位于漏液收集盒(1)下方的漏液中转TANK(3)中;所述PUMP(10)的进口通过进液管路(11)与漏液中转TANK(3)相连通,PUMP(10)的出口通过排液管路与化学品回收TANK(8)相连通;在漏液中转TANK(3)及化学品回收TANK(8)的内部分别安装有中转TANK传感器(4)及回收TANK液位传感器(9),所述PUMP(10)与中转TANK传感器(4)电连接。
2.按权利要求1所述的化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:所述PUMP(10)与漏液中转TANK(3)之间的进液管路(11)中设有电动阀(5),该电动阀(5)与所述中转TANK传感器(4)电连接。
3.按权利要求1或2所述的化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:所述漏斗(2)在竖直方向的截面为倒置的“八”字形,两斜边的夹角为钝角,其中任一条斜边的下部为与漏液中转TANK(3)内壁平行的直边。
4.按权利要求1或2所述的化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:所述中转TANK传感器(4)具有用于报警漏液中转TANK(3)中回收的化学品6已满的上限位传感器,以及用于检测到回收的化学品6的下限位传感器。
5.按权利要求1或2所述的化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:所述回收TANK液位传感器(9)具有用于报警化学品回收TANK(8)中回收的化学品(6)已满的上限位传感器。
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