CN103091044A - 一种化学品泄漏自动检测回收装置 - Google Patents

一种化学品泄漏自动检测回收装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103091044A
CN103091044A CN2011103327399A CN201110332739A CN103091044A CN 103091044 A CN103091044 A CN 103091044A CN 2011103327399 A CN2011103327399 A CN 2011103327399A CN 201110332739 A CN201110332739 A CN 201110332739A CN 103091044 A CN103091044 A CN 103091044A
Authority
CN
China
Prior art keywords
leakage
tank
chemical
sensor
transfer tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2011103327399A
Other languages
English (en)
Inventor
孙东丰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenyang Solidtool Co Ltd
Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd filed Critical Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority to CN2011103327399A priority Critical patent/CN103091044A/zh
Publication of CN103091044A publication Critical patent/CN103091044A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

本发明涉及化学品异常泄漏的处理设备,具体地说是一种化学品泄漏自动检测回收装置,包括漏液收集盒、漏液中转TANK、电动阀、化学品回收TANK及PUMP,其中漏液收集盒下部设有漏斗,该漏头的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中转TANK中;所述PUMP的进口通过进液管路与漏液中转TANK相连通,PUMP的出口通过排液管路与化学品回收TANK相连通;在漏液中转TANK及化学品回收TANK的内部分别安装有中转TANK传感器及回收TANK液位传感器,所述PUMP与中转TANK传感器电连接。本发明利用PUMP与电动阀及中转TANK传感器的配合,实现了对意外泄漏的化学品进行自动回收,防止对操作人员造成人身伤害。

Description

一种化学品泄漏自动检测回收装置
技术领域
本发明涉及化学品异常泄漏的处理设备,具体地说是一种化学品泄漏自动检测回收装置,应用于半导体制程中危险化学品异常泄漏的检测回收。
背景技术
在半导体制程中,偶而会发生化学品的意外泄漏,需要及时安全地处理。尤其是刻蚀工艺,会涉及到很多强酸化学品,一旦泄漏,危害很大。传统的化学品泄漏检测无法解决已泄漏出的化学品,就需要操作人员直接面对高浓度的酸,操作非常不方便也不安全;而且,腐蚀性的化学品对人身损害较大,工作环境安全性差。
发明内容
为了解决传统化学品泄漏需要人工进行处理而存在的上述问题,本发明的目的在于提供一种化学品泄漏自动检测回收装置。该自动检测回收装置可实现对异常泄漏的化学品进行回收,保证操作人员的人身安全。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
本发明包括漏液收集盒、漏液中转TANK、化学品回收TANK及PUMP,其中漏液收集盒下部设有漏斗,该漏头的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中转TANK中;所述PUMP的进口通过进液管路与漏液中转TANK相连通,PUMP的出口通过排液管路与化学品回收TANK相连通;在漏液中转TANK及化学品回收TANK的内部分别安装有中转TANK传感器及回收TANK液位传感器,所述PUMP与中转TANK传感器电连接。
其中:所述PUMP与漏液中转TANK之间的进液管路中设有电动阀,该电动阀与所述中转TANK传感器电连接;所述漏斗在竖直方向的截面为倒置的“八”字形,两斜边的夹角为钝角,其中任一条斜边的下部为与漏液中转TANK内壁平行的直边;所述中转TANK传感器具有用于报警漏液中转TANK中回收的化学品6已满的上限位传感器,以及用于检测到回收的化学品6的下限位传感器;所述回收TANK液位传感器具有用于报警化学品回收TANK中回收的化学品已满的上限位传感器。
本发明的优点与积极效果为:
1.本发明利用PUMP与电动阀及中转TANK传感器的配合,实现了对意外泄漏的化学品进行自动回收,防止对操作人员造成人身伤害。
2.本发明的漏斗底部的斜边设计,可防止回收的化学品液体飞溅。
3.本发明的中转TANK传感器设有上限位传感器及下限位传感器,其中下限位传感器可以检测到漏液中转TANK中是否有回收的化学品,而上限位传感器可以在漏液中转TANK中化学品已满时报警,安全性高。
4.本发明的回收TANK液位传感器设有上限位传感器,可在化学品回收TANK中回收的化学品已满时进行报警。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
其中:1为漏液上集盒,2为漏斗,3为漏液中转TANK(罐),4为中转TANK传感器,5为电动阀,6为回收的化学品,7为排液管路,8为化学品回收TANK,9为回收TANK液位传感器,10为PUMP(泵),11为进液管路。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
如图1所示,本发明包括漏液收集盒1、漏液中转TANK3、电动阀5、中转TANK传感器4、电动阀5、化学品回收TANK8、回收TANK液位传感器9及PUMP10,其中漏液收集盒1位于漏液中转TANK3的上方、用于暂存意外泄漏的化学品,在漏液收集盒1的下表面设有漏斗2,该漏斗2在竖直方向的截面为倒置的“八”字形,两斜边的夹角为钝角,其中任一条斜边的下部为与漏液中转TANK3内壁平行的直边;漏斗2的下端插入漏液中转TANK3中,即图1中漏斗2左侧斜边下部为直边、紧贴在漏液中转TANK3左侧的内壁,既便于漏斗2与漏液中转TANK3定位,而且漏斗斜边的设计还能够防止化学品飞溅,避免对溅到操作人员的身体上造成伤害。
PUMP10位于漏液中转TANK3与化学品回收TANK8之间,PUMP10的进口通过进液管路11与漏液中转TANK3相连通,PUMP10的出口通过排液管路与化学品回收TANK8相连通;进液管路11的一端连接于PUMP10的进口、负责进液,另一端插设在漏液中转TANK3底部的出口,可以将漏液中转TANK3中回收的化学品6全部回收,无残留;排液管路7的一端连接于PUMP10的出口,另一端伸至化学品回收TANK8的底部,以避免回收的化学品6由上流下引起飞溅。
在漏液中转TANK3及化学品回收TANK8的内部分别安装有中转TANK传感器4及回收TANK液位传感器9,PUMP10与中转TANK传感器4电连接;在PUMP10与漏液中转TANK3之间的进液管路11中设有电动阀5,该电动阀5位于漏液中转TANK3的出口处、与中转TANK传感器4电连接。所述中转TANK传感器4具有上限位传感器及下限位传感器,其中上限位传感器用于在漏液中转TANK3中回收的化学品6已满时报警,下限位传感器用于检测到回收的化学品6。所述回收TANK液位传感器9具有上限位传感器,用于化学品回收TANK8中回收的化学品6已满时报警。
本发明的中转TANK传感器4为市购产品,购置于东莞事兴电子有限公司,型号为ZC-PP40I;电动阀5为市购产品,购置于CKD公司,型号为AMDZ1-4U58BUS-2-FL-440978;PUMP10为市购产品,购置于美国WILDEN公司,型号为p0.25;回收TANK液位传感器9为市购产品,购置于东莞事兴电子有限公司,型号为ZC-PP100I。
本发明的工作原理为:
工作时,漏液收集盒1用来暂存意外泄漏的化学品,液体的化学品经过漏斗2收集到漏液中转TANK3中,漏斗2的斜坡设计防止化学品飞溅。漏液中转TANK3中设置了中转TANK传感器4,当中转TANK传感器4的下限位传感器检测到回收的化学品6时,便发出信号驱动PUMP10、同时打开电动阀5,开始通过PUMP10从漏液中转TANK3中经进液管路11泵出化学品,直至中转TANK传感器4的下限位传感器检测到无化学品,PUMP10停止工作、关掉电动阀5,化学品经过排液管路7最终收集到化学品回收TANK8中,化学品回收TANK8中设置了回收TANK液位传感器9,回收TANK液位传感器9的上限位传感器起到警报作用,通知操作人员化学品回收TANK8已满。

Claims (5)

1.一种化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:包括漏液收集盒(1)、漏液中转TANK(3)、化学品回收TANK(8)及PUMP(10),其中漏液收集盒(1)下部设有漏斗(2),该漏头(2)的下端插入位于漏液收集盒(1)下方的漏液中转TANK(3)中;所述PUMP(10)的进口通过进液管路(11)与漏液中转TANK(3)相连通,PUMP(10)的出口通过排液管路与化学品回收TANK(8)相连通;在漏液中转TANK(3)及化学品回收TANK(8)的内部分别安装有中转TANK传感器(4)及回收TANK液位传感器(9),所述PUMP(10)与中转TANK传感器(4)电连接。
2.按权利要求1所述的化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:所述PUMP(10)与漏液中转TANK(3)之间的进液管路(11)中设有电动阀(5),该电动阀(5)与所述中转TANK传感器(4)电连接。
3.按权利要求1或2所述的化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:所述漏斗(2)在竖直方向的截面为倒置的“八”字形,两斜边的夹角为钝角,其中任一条斜边的下部为与漏液中转TANK(3)内壁平行的直边。
4.按权利要求1或2所述的化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:所述中转TANK传感器(4)具有用于报警漏液中转TANK(3)中回收的化学品6已满的上限位传感器,以及用于检测到回收的化学品6的下限位传感器。
5.按权利要求1或2所述的化学品泄漏自动检测回收装置,其特征在于:所述回收TANK液位传感器(9)具有用于报警化学品回收TANK(8)中回收的化学品(6)已满的上限位传感器。
CN2011103327399A 2011-10-27 2011-10-27 一种化学品泄漏自动检测回收装置 Pending CN103091044A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011103327399A CN103091044A (zh) 2011-10-27 2011-10-27 一种化学品泄漏自动检测回收装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011103327399A CN103091044A (zh) 2011-10-27 2011-10-27 一种化学品泄漏自动检测回收装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103091044A true CN103091044A (zh) 2013-05-08

Family

ID=48203890

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011103327399A Pending CN103091044A (zh) 2011-10-27 2011-10-27 一种化学品泄漏自动检测回收装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103091044A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103316857A (zh) * 2013-06-07 2013-09-25 合肥彩虹蓝光科技有限公司 一种安全高效回收高危化学药液的装置
CN103759940B (zh) * 2014-01-17 2016-03-30 雪龙集团股份有限公司 一种发动机冷却风扇硅油离合器阻尼测试试验台及方法
CN109724751A (zh) * 2018-12-05 2019-05-07 中国船舶重工集团公司第七一一研究所 一种泄露报警集成装置
CN111505653A (zh) * 2020-06-16 2020-08-07 南京天朗防务科技有限公司 一种高精度漏液检测及回收预警装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4074969A (en) * 1974-07-19 1978-02-21 Cluett, Peabody & Co., Inc. Process for recovery and reuse of ammonia in a liquid ammonia fabric treating system
JPH10323504A (ja) * 1997-05-28 1998-12-08 Sekisui Chem Co Ltd 消泡装置
CN201176388Y (zh) * 2008-03-13 2009-01-07 田勇 流体灌装过程产生的滴漏的回收装置
CN101760744A (zh) * 2008-12-24 2010-06-30 沈阳芯源微电子设备有限公司 多种化学品药液分离、重复使用装置
CN201569739U (zh) * 2009-12-18 2010-09-01 中国电子科技集团公司第十四研究所 水铰链泄漏循环回收装置
CN102078847A (zh) * 2009-11-30 2011-06-01 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 液体回收装置及使用该回收装置的液体回收方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4074969A (en) * 1974-07-19 1978-02-21 Cluett, Peabody & Co., Inc. Process for recovery and reuse of ammonia in a liquid ammonia fabric treating system
JPH10323504A (ja) * 1997-05-28 1998-12-08 Sekisui Chem Co Ltd 消泡装置
CN201176388Y (zh) * 2008-03-13 2009-01-07 田勇 流体灌装过程产生的滴漏的回收装置
CN101760744A (zh) * 2008-12-24 2010-06-30 沈阳芯源微电子设备有限公司 多种化学品药液分离、重复使用装置
CN102078847A (zh) * 2009-11-30 2011-06-01 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 液体回收装置及使用该回收装置的液体回收方法
CN201569739U (zh) * 2009-12-18 2010-09-01 中国电子科技集团公司第十四研究所 水铰链泄漏循环回收装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103316857A (zh) * 2013-06-07 2013-09-25 合肥彩虹蓝光科技有限公司 一种安全高效回收高危化学药液的装置
CN103759940B (zh) * 2014-01-17 2016-03-30 雪龙集团股份有限公司 一种发动机冷却风扇硅油离合器阻尼测试试验台及方法
CN109724751A (zh) * 2018-12-05 2019-05-07 中国船舶重工集团公司第七一一研究所 一种泄露报警集成装置
CN111505653A (zh) * 2020-06-16 2020-08-07 南京天朗防务科技有限公司 一种高精度漏液检测及回收预警装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103091044A (zh) 一种化学品泄漏自动检测回收装置
CN203100984U (zh) 发电机空气冷却器漏水检测装置
CN102348899A (zh) 用于海底压缩机的排液释放系统和对海底压缩机进行排放的方法
CN208951681U (zh) 一种液氨泄漏应急处理回收系统
CN207237554U (zh) 一种除尘过滤装置
CN205151801U (zh) 一种自动加药系统
CN202131157U (zh) 一种甲醇的储存与投加系统装置
CN104003082B (zh) 萘尾气回收系统
CN203924322U (zh) 智能化污水提升净污设备
CN201062209Y (zh) 油田环保污油污水移送装置
CN108019621A (zh) 一种化学品泄漏检测装置
CN102580502A (zh) 自动漏氯吸收应急消毒装置
CN206191280U (zh) 一种化学品泄漏检测装置
CN102814702A (zh) 车床冷却液循环系统
JP2009052715A (ja) フレキシブルホースアダプタ
CN203187385U (zh) 一种液体回收系统
CN212746630U (zh) 一种湿式油烟净化器用防爆监测组件
CN208596761U (zh) 电池电解液自动收集系统及其组件
CN208747621U (zh) 一种多工位高效密闭卸油装置
CN202834775U (zh) 煤气管道冷凝水排放装置
CN105617822A (zh) 一种原油储罐中硫化氢的消除装置及其消除方法
CN205379854U (zh) 浓硫酸稀释中转设备
CN215048766U (zh) 一种污油水回收装置
CN203877895U (zh) 一种移动式危险品废液回收装置
CN211946577U (zh) 一种cip清洗液中和排放系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C05 Deemed withdrawal (patent law before 1993)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130508