CN103014874A - 一种蓝宝石晶体退火工艺 - Google Patents

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刘书强
任多奇
樊国岑
于超
魏国涛
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Abstract

本发明公开了一种蓝宝石晶体退火工艺,所述的蓝宝石晶体退火工艺包括以下步骤:高温阶段降温、中温阶段降温及低温阶段降温,且在低温阶段降温中使用惰性气体降温并进行保护。本发明的有益效果是退火时间短,耗能低,较传统退火方法可节省10%左右时间且耗能减少10%提高了生产效率,同事降温均匀迅速,避免蓝宝石晶体应力开裂,提升了产品质量及成品率。

Description

一种蓝宝石晶体退火工艺
技术领域
[0001] 本发明涉及一种蓝宝石晶体退火工艺,属于人工蓝宝石生产技术领域。
背景技术
[0002] 蓝宝石晶体的生长环境温度在2000°C以上,在生长完成后,需对蓝宝石晶体进行退火冷却,传统退火工艺需要6-7天左右,而且传统的退火工艺中,退火温度控制模糊,温降过程不受控制,极易出现因炉内降温速度过快而造成晶体应力开裂;或炉内降温速度过慢而导致退火时间延长,生产效率底下且成本增加。阶段性的退火,使得晶体在高温区时缓慢退火,降低了晶体缺陷,而且在低温区对晶体影响不大的情况下,快速退火降低生产成本。
发明内容
[0003] 本发明目的就在于克服上述不足,提供一种蓝宝石晶体退火工艺。
[0004] 为实现上述目的,本发明是通过以下技术方案来实现:
一种蓝宝石晶体退火工艺,所述的蓝宝石晶体退火工艺包括以下步骤:
第一步:高温阶段,炉内温度采用每小时下降15°C -40°C速度降温,直至炉内温度降至1600 0C ;
第二步:中温阶段,炉内温度采用每小时下降60°C -80°C速度降温,直至炉内温度降至500 0C ;
第三步:低温阶段,关闭炉内加热设备,同时向炉内充入惰性气体冷却至室温即可。
[0005] 蓝宝石单晶生长结束后即蓝宝石单晶生长炉内进行退火。
[0006] 惰性气体压力值为1-L 5个标准大气压。
[0007] 本发明的有益效果是:1、退火时间短,耗能低,较传统退火方法可节省10%左右时间且耗能减少10%提高了生产效率。
[0008] 2、降温均匀迅速,避免蓝宝石晶体应力开裂,提升了产品质量及成品率。
具体实施方式
[0009] 下面结合实施例对本发明进一步说明:
实施例1:
蓝宝石单晶生长结束后即在蓝宝石单晶生长炉内进行退火。
[0010] 第一步:高温阶段,对蓝宝石炉温度采用每小时下降40°C速度进行降温,经10小时左右的降温后,炉内温度由2000°C降至1600°C ;
第二步:中温阶段,对蓝宝石炉采用每小时下降80°C速度降温,经13小时左右的降温后,直至炉内温度降至500°C ;
第三步:低温阶段,关闭炉内加热设备,同时向炉内充入惰性气体冷却至室温即可,其中惰性气体压力值为I个标准大气压。
[0011] 实施例2:
蓝宝石单晶生长结束后即在蓝宝石单晶生长炉内进行退火。
[0012] 第一步:高温阶段,对蓝宝石炉温度采用每小时下降30°C速度进行降温,经13小时左右的降温后,炉内温度由2000°C降至1600°C ;
第二步:中温阶段,对蓝宝石炉采用每小时下降70°C速度降温,经16小时左右的降温后,直至炉内温度降至500°C ; 第三步:低温阶段,关闭炉内加热设备,同时向炉内充入惰性气体冷却至室温即可,其中惰性气体压力值为I个标准大气压。
[0013] 实施例3:
蓝宝石单晶生长结束后即在蓝宝石单晶生长炉内进行退火。
[0014] 第一步:高温阶段,对蓝宝石炉温度采用每小时下降15°C速度进行降温,经26小时左右的降温后,炉内温度由2000°C降至1600°C ;
第二步:中温阶段,对蓝宝石炉采用每小时下降80°C速度降温,经13小时左右的降温后,直至炉内温度降至500°C ;
第三步:低温阶段,关闭炉内加热设备,同时向炉内充入惰性气体冷却至室温即可,其中惰性气体压力值为1. 5个标准大气压。

Claims (3)

1. 一种蓝宝石晶体退火工艺,其特征在于所述的蓝宝石晶体退火工艺包括以下步骤: 第一步:高温阶段,炉内温度采用每小时下降15°c -40°c速度降温,直至炉内温度降至1600 0C ; 第二步:中温阶段,炉内温度采用每小时下降60°C -80°C速度降温,直至炉内温度降至500 0C ; 第三步:低温阶段,关闭炉内加热设备,同时向炉内充入惰性气体冷却至室温即可。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体退火工艺,其特征在于:所述的蓝宝石单晶生长结束后即蓝宝石单晶生长炉内进行退火。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体退火工艺,其特征在于:所述的惰性气体压力值为1-1. 5个标准大气压。
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