CN102858468B - 清洁装置和喷墨涂敷装置 - Google Patents

Abstract

清洁装置是用于擦拭喷墨涂敷装置的喷嘴面(22)的装置。清洁装置具备吸收附着于喷嘴面(22)的油墨的带状编织物(64)。带状编织物(64)具有中央部(61)和设于中央部(61)的两侧、具有比中央部(61)低的吸液性的两侧部(62)而形成。根据该构成，能提供使来自喷墨涂敷装置的油墨的排出稳定化的清洁装置和喷墨涂敷装置。

Description

清洁装置和喷墨涂敷装置

技术领域

本发明一般地涉及清洁装置和喷墨涂敷装置，更特定地涉及用于擦拭喷墨涂敷装置的喷嘴面的清洁装置和具备该清洁装置的喷墨涂敷装置。

背景技术

关于现有的喷墨头的清洁装置，例如在特开2006-248102号公报中，公开了以改善喷墨头的喷嘴面的剩余排出液的擦拭状态、使溶液的排出稳定为目的的喷墨涂敷装置(专利文献1)。

专利文献1所公开的喷墨涂敷装置具有：擦拭布；将该擦拭布伸出到喷墨头的喷嘴面的前面的伸出机构；以及将擦拭布按压到喷嘴面的辊。擦拭布由低起尘性的具有吸水性的带状部件、例如聚酯纤维形成。辊一边将擦拭布向喷嘴面按压，一边沿着喷嘴面移动，由此擦拭喷嘴面。

另外，在特开2005-305845号公报中，公开了以提高液体排出头的喷嘴面的清洁效果为目的的液体排出头的清洁装置(专利文献2)。专利文献2所公开的清洁装置的与喷嘴面接触的面由纤维质吸收体形成，具备擦拭喷嘴面的清洁辊。

另外，在特开2006-7577号公报中，公开了以提高排出可靠性为目的的打字清扫机构(专利文献3)。专利文献3所公开的打字清扫机构具备：清洁辊，其包括有弹性的多孔材料；和清洁辊纸，其包括无纺布，擦拭油墨时配置在供给油墨的头部和清洁辊之间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2006-248102号公报

专利文献2：特开2005-305845号公报

专利文献3：特开2006-7577号公报

发明内容

发明要解决的问题

在基板的表面形成抗蚀剂、取向膜等功能性膜的制造工序中，利用了喷墨涂敷装置。当利用喷墨涂敷装置时，有可能由于附着于喷嘴面的油墨的液膜而妨碍油墨稳定排出，因此，使用用于擦拭附着于喷嘴面的油墨的清洁装置。具体地，以维持喷嘴面一定程度的湿润状态的方式擦拭油墨，由此实现排出的稳定性。

但是，附着于喷嘴面的油墨的量起因于与喷嘴孔的位置关系而随地方的不同而不同。在这种情况下，尽管所附着的油墨量少，但与其它地方同样地擦拭油墨时，在该地方发生喷嘴面干燥、油墨的残渣固化的现象。而且，由于固化的油墨，喷嘴面的状态恶化，当该状态持续时，担心无法稳定地排出油墨。

因此，本发明的目的在于提供解决上述问题的、使来自喷墨涂敷装置的油墨的排出稳定化的清洁装置和喷墨涂敷装置。

用于解决问题的方案

本发明的清洁装置用于擦拭喷墨涂敷装置的喷嘴面。清洁装置具备吸收附着于喷嘴面的油墨的吸收体。吸收体具有中央部和设于中央部的两侧、具有比中央部低的吸液性的两侧部而形成。

根据如此构成的清洁装置，在设想在喷墨涂敷装置的喷嘴面产生所附着的油墨量多的地方和少的地方的情况下，由吸收体的中央部擦拭所附着的油墨量多的地方，由吸收体的两侧部擦拭所附着的油墨量少的地方。由此，能从油墨量多的地方适度地去除油墨，并且能防止油墨量少的地方干燥。由此，能防止在喷嘴面产生油墨的固体物，能使来自喷墨涂敷装置的油墨的排出稳定化。

另外，优选吸收体是由能吸收油墨的带状部件卷绕多层而形成的。中央部设于带状部件的卷绕轴方向的吸收体的中央，两侧部设于带状部件的卷绕轴方向的吸收体的两端。根据如此构成的清洁装置，使吸收体的吸液性在带状部件的卷绕轴方向具有差，由此能实现上述效果。

另外，优选带状部件包括编织物。根据如此构成的清洁装置，油墨浸入编织物的网眼，因此，能使附着于喷嘴面的油墨被吸收体吸收。

另外，优选两侧部的编织物的网眼比中央部的编织物的网眼细。根据如此构成的清洁装置，由于网眼越细，则吸液性越低，网眼越粗，则吸液性越高，因此，能将两侧部的吸液性设定为较低，将中央部的吸液性设定为较高。

另外，优选吸收体是由具有连续气泡结构的多孔材料形成的。根据如此构成的清洁装置，油墨浸入多孔材料的气泡中，因此，能使附着于喷嘴面的油墨被吸收体吸收。

另外，优选两侧部的多孔材料的气泡比中央部的多孔材料的气泡小。根据如此构成的清洁装置，由于形成于多孔材料的气泡越小，则吸液性越低，形成于多孔材料的气泡越大，则吸液性越高，因此，能将两侧部的吸液性设定为较低，将中央部的吸液性设定为较高。

另外，优选清洁装置还具备具有与喷嘴面相对的表面、覆盖吸收体的盖部。在盖部，在上述表面开口的多个孔相互隔开间隔而形成。多个孔将附着于喷嘴面的油墨导入吸收体。在两侧部形成多个孔的间隔比在中央部形成多个孔的间隔大。根据如此构成的清洁装置，由于多个孔越以较宽的间隔形成，则向吸收体的吸液性越低，多个孔越以较窄的间隔形成，则向吸收体的吸液性越高，因此，能将两侧部的吸液性设定为较低，将中央部的吸液性设定为较高。

本发明的喷墨涂敷装置具备上述的任一项所述的清洁装置。喷墨涂敷装置具备：具有喷嘴面的喷墨头；和移动机构部。在喷墨头中形成有：在喷嘴面开口并排出油墨的多个喷嘴孔；和向多个喷嘴孔供给油墨的供给孔。移动机构部在使吸收体与喷嘴面相对的状态下，使吸收体和喷墨头相对移动。在从正面看喷嘴面的情况下，在喷嘴面中规定有：多个喷嘴孔开口的第1区域；和配置在第1区域的两侧、形成供给孔的第2区域。当擦拭喷嘴面时，在中央部与第1区域相对、两侧部与第2区域相对的状态下，吸收体和喷墨头相对移动。

根据如此构成的喷墨涂敷装置，从附着于喷嘴面的油墨量多的第1区域适度地去除油墨，并且能防止附着于喷嘴面的油墨量少的第2区域干燥。由此，能防止在喷嘴面产生油墨的固体物，能经过在喷嘴面开口的喷嘴孔使油墨稳定地排出。

另外，优选经过喷嘴孔向基板排出聚酰亚胺溶液。由清洁装置擦拭附着于喷嘴面的聚酰亚胺溶液。根据如此构成的喷墨涂敷装置，能使聚酰亚胺溶液稳定地向基板排出。

发明效果

如上面所说明的，根据本发明，能提供使来自喷墨涂敷装置的油墨的排出稳定化的清洁装置和喷墨涂敷装置。

附图说明

图1是示出具备本发明的实施方式1的清洁装置的喷墨涂敷装置的侧面图。

图2是示出从图1中的箭头II所示的方向看的喷墨头的仰视图。

图3是示出沿着图2中的III-III线上的喷墨头的截面图。

图4是示出沿着图3中的IV-IV线上的喷墨头的截面图。

图5是示出清洁辊的立体图。

图6是示出由清洁辊进行的喷嘴面的擦拭工序的仰视图。

图7是示出擦拭前的喷嘴面的情况的截面图。

图8是示出使用了用于比较的清洁装置的情况下的喷嘴面的擦拭工序的截面图。

图9是示出实施了图8中的擦拭工序后的喷嘴面的情况的截面图。

图10是示出使用了图1中的清洁装置的情况下的喷嘴面的擦拭工序的截面图。

图11是示出使用了图1中的清洁装置的情况下的喷嘴面的擦拭工序的另一截面图。

图12是示出实施了图10和图11中的擦拭工序后的喷嘴面的情况的截面图。

图13是示出图1中的清洁装置的第1变形例的截面图。

图14是示出图1中的清洁装置的第2变形例的截面图。

具体实施方式

参照附图说明本发明的实施方式。此外，在以下参照的附图中，对相同或相应的部件附上相同的附图标记。

(实施方式1)

图1是示出具备本发明的实施方式1的清洁装置的喷墨涂敷装置的侧面图。参照图1，具备本实施方式的清洁装置50的喷墨涂敷装置10在液晶显示器的制造工序中用于在液晶基板16的表面形成取向膜的工序。

首先，说明喷墨涂敷装置10的基本结构，喷墨涂敷装置10具有：载置台12、搬运臂14以及喷墨头21。

作为排出油墨的对象物的液晶基板16载置于载置台12。液晶基板16具有形成取向膜的主表面16a。液晶基板16以主表面16a在水平方向延伸的方式载置于载置台12。液晶基板16在从正面看主表面16a的情况下具有矩形形状。液晶基板16作为一个例子是具有2160×2460mm或者2850×3050mm的尺寸的大型基板。

在本实施方式中，为了在液晶基板16中形成取向膜而在主表面16a中涂敷聚酰亚胺溶液。此外，液晶基板16的主表面16a所涂敷的材料不限于聚酰亚胺，能适当地选择可成为取向膜的原料的材料。

喷墨头21具有向液晶基板16排出油墨的功能。喷墨头21设于载置台12的上方。喷墨头21具有喷嘴面22。喷嘴面22在水平方向延伸。

搬运臂14作为用于使载置于载置台12的液晶基板16和喷墨头21相对移动的基板用移动机构部而设置。更具体地，搬运臂14设置为与载置台12连接，能在箭头101所示的水平方向搬运载置台12。随着搬运臂14的驱动，载置于载置台12的液晶基板16经过喷墨头21的下方。在该期间，从喷嘴面22向液晶基板16排出聚酰亚胺溶液，由此在主表面16a涂敷聚酰亚胺膜。

图2是示出从图1中的箭头II所示的方向看的喷墨头的仰视图。图3是示出沿着图2中的III-III线上的喷墨头的截面图。

参照图2和图3，在本实施方式中，多个喷墨头21p组合而构成了喷墨头21。多个喷墨头21p在与液晶基板16的搬运方向(图2中的箭头101所示的方向)正交的方向(图2中的箭头103所示的方向)并排设置。多个喷墨头21p以各喷墨头21p的喷嘴面22在同一平面上延伸的方式组合。与液晶基板16的搬运方向正交的方向的喷墨头21的全长设定为比同方向的液晶基板16的宽度大。多个喷墨头21p具有相同结构。

此外，考虑液晶基板16的大小来适当地决定所组合的喷墨头21p的数量。另外，喷墨头21p的组合方法不限于上述方式，例如，也可以是，图2中所示的多个喷墨头21p在液晶基板16的搬运方向并排设有多列。

喷墨头21p具有：作为支撑部件的头主体31和喷嘴板32、可挠板38、压电元件36以及驱动部34。

在头主体31形成有从其上面贯通到下面的开口部35。在开口部35的内侧，配置有驱动部34和多个压电元件36。在头主体31的下面，以塞住开口部35的方式设有可挠板38。喷嘴板32以覆盖可挠板38的方式安装于头主体31的下面。喷嘴板32具有喷嘴面22。喷嘴面22具有在液晶基板16的搬运方向具有短边，在与液晶基板16的搬运方向正交的方向具有长边的矩形形状。

在喷墨头21p中形成有多个喷嘴孔24。喷嘴孔24是用于向液晶基板16排出油墨的孔。喷嘴孔24形成于喷嘴板32。喷嘴孔24以在喷嘴面22开口的方式形成。多个喷嘴孔24在与液晶基板16的搬运方向正交的方向相互隔开间隔地并排。

在本实施方式中，多个喷嘴孔24沿着与液晶基板16的搬运方向正交的方向锯齿状地并排。在与液晶基板16的搬运方向正交的方向排列的喷嘴孔24的数量比在液晶基板16的搬运方向排列的喷嘴孔24的数量多。

在喷墨头21p中还形成有多个油墨室26。多个油墨室26形成于喷嘴板32。多个油墨室26分别与多个喷嘴孔24对应地形成。各喷嘴孔24与油墨室26连通。油墨室26相对于喷嘴孔24形成在与喷嘴面22相反的一侧。油墨室26以在与喷嘴孔24连通的位置相反的一侧开口的方式形成。在喷嘴板32安装于头主体31的状态下，油墨室26的上述开口被可挠板38闭塞。在油墨室26中，利用后述的油墨供给机构经常积存有油墨。

在可挠板38上固定有多个压电元件36。多个压电元件36分别设置在隔着可挠板38与多个油墨室26相对的位置。在开口部35的内部，压电元件36与驱动部34电连接。当从驱动部34向压电元件36供给驱动电力时，可挠板38向油墨室26内挠曲。随着该可挠板38的变形，油墨室26内的容积减少，因此，存积于油墨室26的油墨通过喷嘴孔24排出。

图4是示出沿着图3中的IV-IV线上的喷墨头的截面图。参照图2至图4，说明用于向油墨室26供给油墨的油墨供给机构。在喷墨头21p中还形成有：作为供给孔的油墨供给管29、油墨供给室28和分支管27。

油墨供给室28形成于喷嘴板32。油墨供给室28在图3和图4中所示的截面中，分别形成在多个喷嘴孔24的两侧的位置。分支管27形成于喷嘴板32。分支管27以将油墨供给室28和多个油墨室26之间分别连通的方式形成。在图4中所示的截面中，分支管27通过在液晶基板16的搬运方向隔开距离的油墨室26之间，沿着与液晶基板16的搬运方向正交的方向按直线状延伸，使2个油墨供给室28之间连通。而且分支管27从其按直线状延伸的部分向各油墨室26分支并延伸。

油墨供给管29形成于头主体31。油墨供给管29与油墨供给室28连通而形成。油墨供给管29在从正面看喷嘴面22的情况下形成在与油墨供给室28重叠的位置。从外部向喷墨头21p供给油墨的配管与油墨供给管29连接。

油墨供给管29和油墨供给室28不在喷嘴面22开口，而形成在喷墨头21p的内部。

根据该构成，通过油墨供给管29向油墨供给室28供给油墨。另一方面，随着通过喷嘴孔24排出油墨，油墨室26的内部成为负压。因此，供给到油墨供给室28的油墨通过分支管27随时补给到油墨室26。

参照图2和图3，在喷嘴面22中规定有：喷嘴孔24开口的喷嘴孔区域41；以及形成有油墨供给管29和油墨供给室28，被闭塞的表面所延伸的闭塞区域42(42m，42n)。闭塞区域42m、喷嘴孔区域41、闭塞区域42n在与液晶基板16的搬运方向正交的方向并排。即，在与液晶基板16的搬运方向正交的方向，喷嘴孔区域41配置在喷嘴面22的中央，闭塞区域42配置在喷嘴面22的两端。

接着，对喷墨涂敷装置10所具备的清洁装置50进行说明。

参照图1，本实施方式的清洁装置50是用于擦拭附着于喷嘴面22的油墨的装置。清洁装置50具有清洁辊51、基础部件54、搬运臂56。

清洁辊51设置为能相对于基础部件54装卸。搬运臂56作为用于使清洁辊51和喷墨头21相对移动的移动机构部而设置。搬运臂56设置为与基础部件54连接，能在箭头102所示的水平方向搬运装载于基础部件54的清洁辊51。在本实施方式中，清洁辊51的搬运方向与液晶基板16的搬运方向是同一方向。

多个清洁辊51分别与图2中所示的多个喷墨头21p对应地设置。随着搬运臂56的驱动，清洁辊51通过喷墨头21p的下方。在该期间，清洁辊51一边抵接到喷嘴面22，一边移动，由此，擦拭附着于喷嘴面22的油墨。

图5是示出清洁辊的立体图。参照图5，清洁辊51具有圆柱状的外观。清洁辊51具有芯筒63和作为吸收体的带状编织物64。

芯筒63具有沿着作为假想线的中心轴110的轴线延伸的筒形。带状编织物64具有在一个方向具有长边，在与该一个方向正交的方向具有短边的带形。带状编织物64相对于芯筒63卷绕多层。带状编织物64以中心轴110为中心卷绕。带状编织物64在中心轴110的轴方向具有固定的直径。

带状编织物64由相对于被用作油墨的聚酰亚胺的溶液为非溶性的材质，例如聚酯形成。此外，可以代替编织物例如使用纺织物、无纺布等。

带状编织物64具有中央部61和两侧部62(62m，62n)而形成。两侧部62与中央部61的两侧相连设置。两侧部62m、中央部61以及两侧部62n按照所举出的顺序，在作为带状编织物64的卷绕轴的中心轴110的轴方向并排。中央部61设于中心轴110的轴方向的带状编织物64的中央，两侧部62设于中心轴110的轴方向的带状编织物64的两端。

两侧部62具有比中央部61低的吸液性。吸液性表示作为吸收体的带状编织物64吸取作为液体的油墨的特性。作为判断吸液性的方法，可以举出以下方法：将中央部61和两侧部62在油墨中浸渍一定时间，对在中央部61和两侧部62吸上油墨的高度进行比较。在这种情况下，在两侧部62吸上油墨的高度比在中央部61吸上液体的高度低。

在本实施方式中，将两侧部62的带状编织物64的网眼设定为比中央部61的带状编织物64的网眼细，由此使两侧部62的吸液性比中央部61的吸液性低。油墨一边浸入带状编织物64的网眼，一边被带状编织物64吸收。在这种情况下，带状编织物64的网眼越细，则油墨越难以被吸收，带状编织物64的网眼越粗，则油墨越易于被吸收。即，将分别形成中央部61和两侧部62的带状编织物64的下端在油墨中浸渍一定时间的情况下，在两侧部62吸上油墨的高度比在中央部61吸上液体的高度低。

图6是示出由清洁辊进行的喷嘴面的擦拭工序的仰视图。参照图6，两侧部62m、中央部61以及两侧部62n在与闭塞区域42m、喷嘴孔区域41以及闭塞区域42n并排的方向平行的方向且在与清洁辊51的搬运方向正交的方向并排。清洁辊51(带状编织物64)在中心轴110的轴方向、即在两侧部62m、中央部61以及两侧部62n并排的方向被设定为比喷嘴面22的整个宽度大一些的尺寸。

当清洁辊51被图1中所示的搬运臂56搬运时，带状编织物64的外周面一边与喷嘴面22接触，一边相对于喷嘴面22的表面平行移动。此时，中央部61通过喷嘴面22的喷嘴孔区域41上，两侧部62m和两侧部62n分别通过喷嘴面22的闭塞区域42m和闭塞区域42n上，由此擦拭油墨所附着的喷嘴面22。

此外，擦拭时带状编织物64的移动方向不限于与喷嘴面22平行的方向，例如在从中心轴110的轴方向看的情况下，可以使带状编织物64相对于喷嘴面22按圆弧状移动。另外，也可以是使喷墨头21相对于静止的清洁辊51移动，由此进行喷嘴面22的擦拭。

下面，说明将清洁装置50应用于图1中的喷墨涂敷装置10的情况下所起的作用、效果。

图7是示出擦拭前的喷嘴面的情况的截面图。在图7和后面所说明的图中，代表性地放大示出闭塞区域42m与喷嘴孔区域41的边界部分。

参照图7，随着油墨从喷嘴孔24被排出，油墨附着于喷嘴面22。此时，在离喷嘴孔24近的喷嘴孔区域41中，所附着的油墨量变多，在离喷嘴孔24远的闭塞区域42中，所附着的油墨量变少。在喷嘴面22中形成有厚膜的油墨膜的情况下执行油墨的排出工序时，发生与可挠板38(参照图3)的变形相伴的驱动力不会充分地传播到喷嘴面22表层的油墨、不能适当地排出墨滴的问题。因此，在本实施方式的喷墨涂敷装置10中，使用清洁装置50来实施喷嘴面22的擦拭工序。

图8是示出使用了用于比较的清洁装置的情况下的喷嘴面的擦拭工序的截面图。图9是示出实施了图8中的擦拭工序后的喷嘴面的情况的截面图。

参照图8和图9，在图中示出使用了用于比较的清洁辊151的情况下的喷嘴面22的擦拭工序。在清洁辊151中，带状编织物64在任一地方均具有均匀的吸液性。

使用清洁辊151时，无论在喷嘴孔区域41还是在闭塞区域42，附着于喷嘴面22的油墨均被带状编织物64均匀地吸收。在这种情况下，在所附着的油墨量相对少的闭塞区域42中，成为油墨变干的状态，随着时间的经过，油墨的残渣变为固体。其结果是，在喷嘴面22中产生固体物73。在这种产生了固体物73的状态下，当由清洁辊151继续进行擦拭工序时，有可能因为固体物73而在带状编织物64的外周面和喷嘴面22之间产生微小的间隙，喷嘴面22的擦拭性降低。另外，带状编织物64的外周面与固体物73摩擦，由此，带状编织物64的起尘性有可能降低。

图10是示出使用了图1中的清洁装置的情况下的喷嘴面的擦拭工序的截面图。

参照图10，相比之下，在本实施方式的清洁装置50中，当擦拭喷嘴面22时，具有相对高的吸液性的中央部61经过喷嘴孔区域41上，具有相对低的吸液性的两侧部62经过闭塞区域42上。因此，在闭塞区域42内从喷嘴面22吸收到带状编织物64的油墨量变少，能使闭塞区域42的表面维持适度湿润的状态。

图11是示出使用了图1中的清洁装置的情况下的喷嘴面的擦拭工序的另一截面图。

参照图11，随着重复进行擦拭工序，油墨缓缓地向带状编织物64浸透。另外，当初次使用清洁辊51时，有时为了喷嘴面22上的油墨不被过度地擦拭而使带状编织物64预先吸收油墨。在这些情况下，如图中的线115所示，存在以下倾向：在具有相对高的吸液性的中央部61，油墨渗透到带状编织物64的深的位置为止，在具有相对低的吸液性的两侧部62，油墨渗透到带状编织物64的浅的位置为止。即，油墨的吸液性与油墨的浸透力具有关联性，油墨的吸液性越高，则浸透力越大，油墨的吸液性越低，则浸透力越小。

在这种情况下，两侧部62与中央部61相比，在离带状编织物64的表层近的位置含有较多的油墨。即，在两侧部62，在带状编织物64的表层产生油墨的积液。因此，在利用该带状编织物64擦拭喷嘴面22的情况下，若换个观点，则可以说在闭塞区域42内从带状编织物64向喷嘴面22转移的油墨量变多。因此，可以将闭塞区域42的表面维持适度湿润的状态。

图12是示出实施了图10和图11中的擦拭工序后的喷嘴面的情况的截面图。参照图12，在使用了图1中的清洁装置50的情况下，从喷嘴孔区域41的表面去除适度量的油墨，并且能防止闭塞区域42的表面干燥。由此，能防止在喷嘴面22产生油墨的固体物。

对上面所说明的、本发明的实施方式1的清洁装置和喷墨涂敷装置的结构进行汇总说明：本实施方式的清洁装置50是用于擦拭喷墨涂敷装置10的喷嘴面22的装置。清洁装置50具备作为吸收附着于喷嘴面22的油墨的吸收体的带状编织物64。带状编织物64具有中央部61和设于中央部61的两侧、具有比中央部61低的吸液性的两侧部62而形成。

另外，本实施方式的喷墨涂敷装置10具备上述清洁装置50。喷墨涂敷装置10具备：具有喷嘴面22的喷墨头21(21p)；和作为移动机构部的搬运臂56。在喷墨头21形成有：在喷嘴面22开口、排出油墨的多个喷嘴孔24；和作为向多个喷嘴孔24供给油墨的供给孔的油墨供给管29和油墨供给室28。搬运臂56在使带状编织物64和喷嘴面22相对的状态下，使带状编织物64和喷墨头21相对移动。在从正面看喷嘴面22的情况下，在喷嘴面22中规定有：作为多个喷嘴孔24开口的第1区域的喷嘴孔区域41；和作为配置在喷嘴孔区域41的两侧、形成有油墨供给管29和油墨供给室28的第2区域的闭塞区域42。当擦拭喷嘴面22时，在中央部61与喷嘴孔区域41相对、两侧部62与闭塞区域42相对的状态下，带状编织物64和喷墨头21相对移动。

根据如此构成的、本发明的实施方式1的清洁装置50和喷墨涂敷装置10，将在吸液性上有差异的2种材料用于带状编织物64，由此控制喷嘴孔区域41和闭塞区域42的油墨的吸收量，防止喷嘴面22局部地干燥。由此，能实现防止在喷嘴面22产生油墨的固体物、从喷嘴孔24稳定地排出油墨的喷墨涂敷装置10。

此外，在本实施方式中，说明了喷墨涂敷装置10用于在液晶显示器用基板表面形成取向膜的工序的情况，但本发明不限于此，例如也可以用于在基板表面形成抗蚀剂的工序。

(实施方式2)

在本实施方式中，说明实施方式1的清洁装置50的各种变形例。

图13是示出图1中的清洁装置的第1变形例的截面图。参照图13，本变形例的清洁装置代替图5中的清洁辊51而具有清洁辊81。清洁辊81由作为多孔材料的海绵86形成。

海绵86具有每个孔彼此相连的连续气泡结构。海绵86与图5中的清洁辊51同样地，具有圆柱形状的外观，具有在其轴方向并排的中央部61和两侧部62(62m，62m)而形成。在本变形例中，两侧部62的海绵86的气泡82比中央部61的海绵86的气泡83小。根据该构成，两侧部62的吸液性被设定为比中央部61的吸液性低。

图14是示出图1中的清洁装置的第2变形例的截面图。参照图14，本变形例的清洁装置代替图5中的清洁辊51而具有清洁辊91。清洁辊91具有作为吸收体的海绵92和盖体96而形成。

海绵92具有连续气泡结构，在本变形例中，整体地形成有均匀大小的气泡。海绵92具有中央部61和配置在其两侧的两侧部62(62m，62n)而形成。此外，可以代替海绵92，作为吸收体配置编织物、纺织物、无纺布等。

盖体96以覆盖海绵92的方式设置。盖体96以擦拭喷嘴面22时介于海绵92和喷嘴面22之间的方式设置。盖体96具有与喷嘴面22相对的表面98。在盖体96中形成有多个孔97。多个孔97由在表面98开口的贯通孔形成。多个孔97以能将附着于喷嘴面22的油墨导入海绵92的方式形成。

多个孔97在两侧部62设置间隔B 1而形成，在中央部61设置间隔B2而形成。间隔B 1比间隔B2大。根据该构成，两侧部62的吸液性设定为比中央部61的吸液性低。

根据如上所说明的、本发明的实施方式2的清洁装置，能同样地得到实施方式1所述的效果。

应考虑此次公开的实施方式在全部方面均为示例而不是限制性内容。本发明的范围不是由上述说明示出，而是由权利要求示出，旨在包括与权利要求均等的含义和范围内的所有变更。

工业上的可利用性

本发明主要用作在基板上形成液晶显示器的取向膜、抗蚀剂等功能膜的装置。

附图标记说明

10：喷墨涂敷装置；12：载置台；14、56：搬运臂；16：液晶基板；16a：主表面；21、21p：喷墨头；22：喷嘴面；24：喷嘴孔；26：油墨室；27：分支管；28：油墨供给室；29：油墨供给管；31：头主体；32：喷嘴板；34：驱动部；35：开口部；36：压电元件；38：可挠板；41：喷嘴孔区域；42、42m、42n：闭塞区域；50、81、91：清洁装置；51、151：清洁辊；54：基础部件；61：中央部；62、62m、62n：两侧部；63：芯筒；64：带状编织物；73：固体物；86：海绵；92：海绵；96：盖体；97：孔；98：表面；110：中心轴；115：线。

Claims (5)

1.一种清洁装置，

用于擦拭喷墨涂敷装置的喷嘴面(22)，其中，

具备吸收附着于喷嘴面(22)的油墨的吸收体(64，86，92)，

上述吸收体(64，86，92)具有中央部(61)和设于上述中央部(61)的两侧、具有比上述中央部(61)低的吸液性的两侧部(62)而形成，

上述吸收体(64)是由能吸收油墨的带状部件卷绕多层而形成的，

上述中央部(61)设于上述带状部件的卷绕轴方向的上述吸收体(64)的中央，上述两侧部(62)设于上述带状部件的卷绕轴方向的上述吸收体(64)的两端。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，

上述带状部件包括编织物。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，

上述两侧部(62)的编织物的网眼比上述中央部(61)的编织物的网眼细。

4.一种喷墨涂敷装置，

具备权利要求1至3中的任一项所述的清洁装置，其中，

具备：

喷墨头(21)，其具有喷嘴面(22)，在上述喷嘴面(22)开口、排出油墨的多个喷嘴孔(24)和向上述多个喷嘴孔(24)供给油墨的供给孔(29，28)形成于上述喷墨头(21)；以及

移动机构部(56)，其在使上述吸收体(64，86，92)与上述喷嘴面(22)相对的状态下，使上述吸收体(64，86，92)和上述喷墨头(21)相对移动，

在从正面看上述喷嘴面(22)的情况下，在上述喷嘴面(22)中规定有：上述多个喷嘴孔(24)开口的第1区域(41)；和配置在上述第1区域(41)的两侧、形成上述供给孔(29，28)的第2区域(42)，

当擦拭上述喷嘴面(22)时，在上述中央部(61)与上述第1区域(41)相对、上述两侧部(62)与上述第2区域(42)相对的状态下，上述吸收体(64，86，92)和上述喷墨头(21)相对移动。

5.根据权利要求4所述的喷墨涂敷装置，

经过上述喷嘴孔(24)向基板排出聚酰亚胺溶液，

由上述清洁装置擦拭附着于上述喷嘴面(22)的聚酰亚胺溶液。