CN102841505A - 一种可精确定位基板的工件台 - Google Patents
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Abstract
一种可精确定位基板的工件台，其特征在于在工件台上还包括X向和Y向固定定位元件，以及活动轴承定位元件；活动轴承定位元件上安装有传感器，即时测量出基板安装的位置偏差。本发明的可以进行基板预对准操作的工件台，可以直接在工件台上快速简单进行基板的预对准操作，并且对准精度高，重复定位精度可以达到微米级别。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种光刻装置中可用来精确定位基板的工件台。
背景技术
在光刻装置中，玻璃基板上载到工件台上时，玻璃基板有一个需求的理想位置。但是在实际操作过程中，玻璃基板与理想位置相比，会有一定的偏心和偏向，通常需要计算基板在P处的偏心值和偏向值，从而调整基板承载台的位置。为了确定玻璃基板实际中心的位置，在光刻机内部采用基于光学测量的机器视觉系统CCD来实现玻璃基板的定位，即位于基板两个边上的CCD1和CCD2用于确定玻璃基板的偏心值，同时利用同一边上的CCD2和CCD3确定玻璃基板的偏向值，测量完毕后将上述测量值反馈给工件台系统，通过工件台系统进行补偿，调整基板的偏心和偏向。由于光学测量的机器视觉系统CCD的视觉范围有一定需求，故在基板上载到工件台之前需要对其进行初步预对准操作，同时由于CCD机械结构较为复杂，同时在控制上需要相关图像采集和处理的板卡，整体成本比较高。根据SEMI D12-95标准，不同基板之间的尺寸存在一定的公差范围，如370×470mm的玻璃基板长边尺寸范围在469.7mm至470.3mm之间，短边尺寸369.8mm至370.2mm之间，故基板每次传输到工件台上的位置都是不定的，所以基板在后续工艺操作之前需要对其进行预对准操作。
发明内容
本发明的目的在于提出一种可以进行基板预对准操作的工件台，可以直接在工件台上快速简单进行基板的预对准操作。
一种可精确定位基板的工件台，其特征在于在工件台上还包括X向和Y向固定定位元件，以及活动轴承定位元件；活动轴承定位元件上安装有传感器，即时测量出基板安装的位置偏差。
其中，活动轴承定位元件通过直线驱动装置与工件台连接。
其中，传感器与直线驱动装置的动子连接，与活动轴承定位元件同步运动。
本发明的可以进行基板预对准操作的工件台，可以直接在工件台上快速简单进行基板的预对准操作，并且对准精度高，重复定位精度可以达到微米级别。
附图说明
关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。
图1所示为光刻装置中工件台的定位控制结构图；
图2所示为本发明工件台上玻璃基板定位控制结构图；
图3所示为本发明工件台上轴承定位元件与工件台连接结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。
如图1所示，工件台1跨骑在X向导轨5上，两侧用气浮轴承分别与X向导轨5侧向连接，底部也利用气浮轴承和光滑平台2连接。气浮轴承的使用可实现无摩擦的相对运动，在工件台1内部装有驱动装置(图中未显示)，如直线电机的动子，在X向导轨5上装有对应定子，利用该驱动装置实现X向的直线往复运动。同时，Y向驱动装置10中装有动子，Y向导轨3上装有对应定子12，利用该驱动装置实现Y向的直线往复运动，再通过X向导轨5与Y向直线驱动装置10相连，从而实现了工件台1在X、Y两个方向上的运动定位。
工件台1跨骑在X向导轨5上，两侧用气浮轴承与X向导轨5连接，工件台1底部设有气浮孔和真空腔，从而形成具有双向刚度的气浮轴承。此处所说的双向刚度就是气浮块通过连接外部压力泵使空气通过气浮孔产生浮力，同时内部真空腔所连接的外部真空泵抽取腔内空气，使其产生真空吸力。通过调整气浮力和真空吸引力使两者处于动态平衡，从而使气浮块悬浮于平台或导轨之上，控制这两个力的大小可实现与平台或导轨之间5-10um的稳定气膜间隙和良好的气浮刚度。这样气浮块的往复运动的摩擦阻力可以忽略，因此该气浮平台具有反应速度快，可控精度高的特点。
如图2和图3所示，图2为本发明工件台1上玻璃基板预对准定位控制结构示意图。玻璃基板4放置在工件台1上，当工件台1做X、Y向高速运动时，通过工件台1和玻璃基板4之间的真空腔将基板4吸住。当通过机械手向工件台1上上板时机械手的上板精度一般较低，故基板4每次传输到工件台1上的位置都是不定的，故基板4在后续工艺操作之前需要对其进行预对准操作。固定在工件台1上的X向定位元件20和Y向定位元件30分别可以限制基板的X、Y方向自由度，在实际预对准操作中，利用轴承定位元件40将基板4固定在被定位元件20或定位元件30固定。
图3为轴承定位元件40与工件台1连接结构示意图。轴承定位元件40固定在转接件60上，转接件60通过螺钉固定在直线驱动装置动子120上，此处的驱动装置可以是直线电机或者汽缸等。驱动装置定子130固定在工件台1上，驱动装置动子120的初始位置可以通过行程调节螺钉100来调节。
由于不同批次基板4尺寸不一致，导致每次基板4预对准时轴承定位元件40的位移不一致，也就是驱动装置动子120的行程不一致。在本发明中在与动子120连接的连接件50上安装有霍尔传感器70，同时在霍尔传感器70正下方装有磁铁90，磁铁90粘接在安装座80上，安装座80再通过螺钉安装在工件台1上。这样定位轴承40的每次预对准操作均会带着霍尔传感器70做同步运动，通过霍尔传感器70可以检测预对准操作每次的行程ΔX、ΔY，即基板的位置偏差，通过该测量值ΔX、ΔY可以换算出基板的中心位置坐标，再通过工件台的X、Y运动来补偿该部分位移。
本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。
Claims (3)
1.一种可精确定位基板的工件台，其特征在于在工件台上还包括X向和Y向固定定位元件，以及活动轴承定位元件；活动轴承定位元件上安装有传感器，即时测量出基板安装的位置偏差。
2.如权利要求1所述的工件台，其中，活动轴承定位元件通过直线驱动装置与工件台连接。
3.如权利要求2所述的工件台，其中，传感器与直线驱动装置的动子连接，与活动轴承定位元件同步运动。
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|---|---|
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Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103713478A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-09 | 四川聚能核技术工程有限公司 | 预对位装置 |
| CN104842077A (zh) * | 2015-06-09 | 2015-08-19 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种铝合金微波组件钎焊片加工方法 |
| CN105655280A (zh) * | 2016-04-21 | 2016-06-08 | 上海华力微电子有限公司 | 一种静电吸附盘及其位置调整方法 |
| CN107290932A (zh) * | 2016-03-30 | 2017-10-24 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 运动台测量系统、方法以及运动台 |
| CN107756349A (zh) * | 2017-10-19 | 2018-03-06 | 巴中市新越不锈钢有限公司 | 用于板状不锈钢产品抽检的支撑机构 |
| CN107803800A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-03-16 | 诸暨市斯博申机电设备设计有限公司 | 一种改进型工件调控装置 |
| CN107803801A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-03-16 | 诸暨市斯博申机电设备设计有限公司 | 一种新型工件调控装置 |
| CN108393850A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-08-14 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种基板定位装置及基板投料系统 |
| CN109375472A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-02-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝边机及基板曝边方法 |
| CN110900541A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-03-24 | 张家港市三林金泰新能源有限公司 | 用于法兰加工的操作台 |
| CN111650815A (zh) * | 2019-03-04 | 2020-09-11 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种掩模台及光刻系统 |
| CN112578639A (zh) * | 2019-09-29 | 2021-03-30 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 限位机构、掩模台及光刻机 |
| CN114227440A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-25 | 青岛融合光电科技有限公司 | 载板玻璃研磨用进刀量自动调整装置及调整方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1536640A (zh) * | 2003-02-20 | 2004-10-13 | 应用材料有限公司 | 相对于支撑台定位基片的方法与设备 |
| CN1938843A (zh) * | 2004-04-05 | 2007-03-28 | 株式会社井口机工制作所 | 基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法 |
| CN201698768U (zh) * | 2010-05-05 | 2011-01-05 | 西安交通大学 | 基于磁悬浮平面电机的定位装置 |
-
2011
- 2011-06-22 CN CN201110168705.0A patent/CN102841505B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1536640A (zh) * | 2003-02-20 | 2004-10-13 | 应用材料有限公司 | 相对于支撑台定位基片的方法与设备 |
| CN1938843A (zh) * | 2004-04-05 | 2007-03-28 | 株式会社井口机工制作所 | 基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法 |
| CN201698768U (zh) * | 2010-05-05 | 2011-01-05 | 西安交通大学 | 基于磁悬浮平面电机的定位装置 |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103713478B (zh) * | 2013-12-31 | 2017-02-01 | 四川聚能核技术工程有限公司 | 预对位装置 |
| CN103713478A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-09 | 四川聚能核技术工程有限公司 | 预对位装置 |
| CN104842077A (zh) * | 2015-06-09 | 2015-08-19 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种铝合金微波组件钎焊片加工方法 |
| CN107290932A (zh) * | 2016-03-30 | 2017-10-24 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 运动台测量系统、方法以及运动台 |
| CN105655280A (zh) * | 2016-04-21 | 2016-06-08 | 上海华力微电子有限公司 | 一种静电吸附盘及其位置调整方法 |
| CN107756349B (zh) * | 2017-10-19 | 2020-12-01 | 巴中市新越不锈钢有限公司 | 用于板状不锈钢产品抽检的支撑机构 |
| CN107756349A (zh) * | 2017-10-19 | 2018-03-06 | 巴中市新越不锈钢有限公司 | 用于板状不锈钢产品抽检的支撑机构 |
| CN107803800A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-03-16 | 诸暨市斯博申机电设备设计有限公司 | 一种改进型工件调控装置 |
| CN107803801A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-03-16 | 诸暨市斯博申机电设备设计有限公司 | 一种新型工件调控装置 |
| CN108393850A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-08-14 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种基板定位装置及基板投料系统 |
| CN108393850B (zh) * | 2018-02-05 | 2019-11-26 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种基板定位装置及基板投料系统 |
| CN109375472A (zh) * | 2018-10-23 | 2019-02-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝边机及基板曝边方法 |
| CN111650815A (zh) * | 2019-03-04 | 2020-09-11 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种掩模台及光刻系统 |
| KR20200106835A (ko) * | 2019-03-04 | 2020-09-15 | 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 | 마스크 스테이지 및 포토리소그래피 시스템 |
| KR102336210B1 (ko) | 2019-03-04 | 2021-12-07 | 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 | 마스크 스테이지 및 포토리소그래피 시스템 |
| CN112578639A (zh) * | 2019-09-29 | 2021-03-30 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 限位机构、掩模台及光刻机 |
| CN112578639B (zh) * | 2019-09-29 | 2022-02-15 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 限位机构、掩模台及光刻机 |
| CN110900541A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-03-24 | 张家港市三林金泰新能源有限公司 | 用于法兰加工的操作台 |
| CN114227440A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-25 | 青岛融合光电科技有限公司 | 载板玻璃研磨用进刀量自动调整装置及调整方法 |
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