CN102502652A - 一种多晶硅料的清洗工艺 - Google Patents
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Abstract
一种多晶硅料的清洗工艺,包括将多晶硅料用纯水洗净,然后置入硝酸和氢氟酸的混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液比例为4.5-9L:1-5L,时间30s—50s;捞出浸入纯水中;再置入第二道混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液比例为9-15L:1-5L,时间8s—20s;捞出浸入纯水中;超声清洗;离心甩干与烘干炉干燥去水;分选;包装入库即可。解决了多晶硅料清洗成本偏高和清洗质量偏低的问题。具有成本低、质量好的特点,且操作简单、方便。
Description
技术领域
本发明涉及一种多晶硅料的清洗工艺,特别是一种用于拉制单晶用的多晶硅料的清洗工艺。
背景技术
单晶硅太阳能电池比多晶硅太阳能电池发电效率高1-2%,所以单晶硅电池很受欢迎。拉制单晶硅棒和多晶硅锭一样都使用多晶硅原料,而其所用原料都需清洗,去除硅料表面杂质。
单晶拉制用多晶硅料,目前采用手动和机动清洗方式,存在用酸成本偏高和清洗质量偏低问题。
发明内容
本发明其目的就在于提供一种多晶硅料的清洗工艺,解决了多晶硅料清洗成本偏高和清洗质量偏低的问题。具有成本低、质量好的特点,且操作简单、方便。本发明工艺路线为:多晶硅料装入花篮,浸入纯水,捞取滤干,置入第一道混合酸液,浸入纯水,置入第二道混合酸,浸入纯水,三级溢流清洗,超声清洗,硅料甩干脱水,干燥,冷却,挑选包装入库。
实现上述目的而采取的技术方案,包括
(1) 将多晶硅料用纯水洗净,然后置入硝酸和氢氟酸的混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液比例为4.5-9L:1-5L,时间30s—50s;
(2) 捞出浸入纯水中;
(3) 再置入第二道混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液比例为9-15L:1-5L,时间8s—20s;
(4) 捞出浸入纯水中;
(5) 超声清洗;
(6) 离心甩干与烘干炉干燥去水;
(7) 分选;
(8) 包装入库即可。
与现有技术相比,本发明的有益效果在于,两种不同配比的酸洗液循环交替使用,直至酸液变成淡绿色才排放。酸洗液的多次使用,降低了酸的消耗量,同时提高了单晶用多晶硅料的品质,可降低生产成本。解决了多晶硅料清洗成本偏高和清洗质量偏低的问题。具有成本低、质量好的特点,且操作简单、方便。
具体实施方式
本发明包括:
(1) 将多晶硅料用纯水洗净,然后置入硝酸和氢氟酸的混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液比例为4.5-9L:1-5L,时间30s—50s;
(2) 捞出浸入纯水中;
(3) 再置入第二道混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液比例为9-15L:1-5L,时间8s—20s;
(4) 捞出浸入纯水中;
(5) 超声清洗;
(6) 离心甩干与烘干炉干燥去水;
(7) 分选;
(8) 包装入库即可。
所述的超声清洗设有三级溢流工序。
所述的硝酸浓度为65%—68%,氢氟酸浓度为49%纯度为EL级。
实施例
方案为:将多晶硅料置入硝酸和氢氟酸的混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液重量比为4.5-9L:1-5L,时间30s—50s捞出浸入纯水中;再置入第二道混合液(比例为9-15L:1-5L)中清洗,时间8s—20s捞出浸入纯水中,继而用硅料清洗机中的超声清洗、再经过硅料清洗机中的三级溢流段,然后转入离心甩干与烘干炉干燥去水、分选、包装入库即可。清洗合格的多晶硅料最显著的特点是:有银色光亮的光泽。
回收利用方法,第一道酸洗液因长时间清洗,氢氟酸(HF)量会减少,相应与SIO2反应能力会减弱,这时应陆续补充加入氢氟酸(HF),达到清洗效果。补充了氢氟酸(HF)量的第一道酸洗液比例已和原来的第二道酸洗液相似,将其转为以后酸洗硅料的第一道酸洗液使用;而第二道混合液也随着时间变长,慢慢减弱其腐蚀硅料的作用,所以酸洗后的硅料光亮会减弱。此时,第二道酸可转为第一道酸洗液使用。
一开始将多晶硅料置入纯水中浸湿,使水渗透至多晶硅料的空隙中,会形成一种水膜保护硅料;如一开始将多晶硅料放入酸液中,酸会渗透到其空隙中易形成酸斑而不易洗干净。所以硅料一开始浸入纯水中,除上述效果外可洗去硅料表面的粉尘。
混合酸是硝酸和氢氟酸配置,溶液为体积比,硝酸浓度为65%—68%,氢氟酸浓度为49%纯度为EL级。
用本清洗方法清洗的多晶硅单晶用料,表面光亮、无酸斑、无水渍,清洗效果好。清洗成本底操作简单,易于控制清洗质量,提高了清洗收益率。
Claims (3)
1. 一种多晶硅料的清洗工艺,其特征在于,包括:
(1)将多晶硅料用纯水洗净,然后置入硝酸和氢氟酸的混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液比例为4.5-9L:1-5L,时间30s—50s;
(2)捞出浸入纯水中;
(3)再置入第二道混合液中清洗,硝酸和氢氟酸的混合液比例为9-15L:1-5L,时间8s—20s;
(4)捞出浸入纯水中;
(5)超声清洗;
(6)离心甩干与烘干炉干燥去水;
(7)分选;
(8)包装入库即可。
2.根椐权利要求1所述的一种多晶硅料的清洗工艺,其特征在于,所述的超声清洗设有三级溢流工序。
3.根椐权利要求1所述的一种多晶硅料的清洗工艺,其特征在于,所述的硝酸浓度为65%—68%,氢氟酸浓度为49%纯度为EL级。
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WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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