CN102372146A - 滚轮传送系统 - Google Patents
滚轮传送系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102372146A CN102372146A CN2011102081368A CN201110208136A CN102372146A CN 102372146 A CN102372146 A CN 102372146A CN 2011102081368 A CN2011102081368 A CN 2011102081368A CN 201110208136 A CN201110208136 A CN 201110208136A CN 102372146 A CN102372146 A CN 102372146A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rollers
- roller
- pair
- distance
- rotation axes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 36
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
- B65G13/04—Roller-ways having driven rollers all rollers driven
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors
- B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
- B65G39/04—Adaptations of individual rollers and supports therefor the rollers comprising a number of roller forming elements mounted on a single axle
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors
- B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
- B65G39/07—Other adaptations of sleeves
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明提供一种滚轮传送系统,包含至少三转动轴、一对第一滚轮以及至少一对第二滚轮。至少三转动轴彼此间平行的配置。该对第一滚轮位于每一转动轴上,且该对第一滚轮之间的第一距离于该些转动轴上是固定的。该对第二滚轮位于每一转动轴上的该对第一滚轮之间,且该对第二滚轮之间的第二距离于该些转动轴上是不固定的。第二距离于该些转动轴上的中间的一或二转动轴上是最短的,且第二距离从该些转动轴的中间转动轴向两侧的转动轴逐渐加长。
Description
技术领域
本发明是有关于一种传送系统,且特别是有关于一种滚轮传送系统。
背景技术
已知技术中已提出有许多有关运送货物的传送系统,例如在工厂中使用输送带将物品从一厂房运送到另一厂房或从一储存仓库运送到另一储存仓库。最常见的输送带就是运送已经包装成箱的物品的输送带。
目前无尘室里的滚轮传送系统需要将被传送的物品沿一预定方向传送且运送速度都需要等速的控制。已知的滚轮传送系统在传送物品的方向和运送的速度的控制上都存在太多限制与困难,因此很难将被传送的物品沿一预定方向传送且等速运送。
有鉴于此,一种改良的滚轮传送系统是目前所急迫需要的。
发明内容
因此,本发明的一目的是在提供一种改良的滚轮传送系统。
根据上述目的,提供一种滚轮传送系统,其包含至少三转动轴、一对第一滚轮以及至少一对第二滚轮。至少三转动轴彼此间平行的配置。该对第一滚轮位于每一转动轴上,且该对第一滚轮之间的第一距离于该些转动轴上是固定的。该对第二滚轮位于每一转动轴上的该对第一滚轮之间,且该对第二滚轮之间的第二距离于该些转动轴上是不固定的。第二距离于该些转动轴上的中间的一或二转动轴上是最短的,且第二距离从该些转动轴的中间转动轴向两侧的转动轴逐渐加长。
根据上述目的,提供另一种滚轮传送系统,其包含一腔室、至少三转动轴、一对第一滚轮以及至少一对第二滚轮。腔室具有一入口及一出口。至少三转动轴彼此间平行的配置于腔室内。该对第一滚轮位于每一转动轴上,且该对第一滚轮之间的第一距离于该些转动轴上是固定的。该对第二滚轮位于每一转动轴上的该对第一滚轮之间,且该对第二滚轮之间的第二距离于该些转动轴上是不固定的。第二距离于该些转动轴距离入口或出口最近的转动轴上是最长的,且第二距离逐渐缩短至距离于该些转动轴距离入口及出口最远的转动轴上。
依据本发明一实施例,每一第一滚轮及每一第二滚轮均具有一粗糙外表面,且第一滚轮的直径大于第二滚轮的直径。
依据本发明另一实施例,每一转动轴具有多个凹陷刻度供第一滚轮或第二滚轮固定之用。
依据本发明另一实施例,每一第一轮及每一第二滚轮的粗糙外表面的平均粗糙度Ra范围从0.5微米至30微米。
依据本发明另一实施例,每一第一轮及每一第二滚轮的粗糙外表面的平均粗糙度Ra范围从2微米至8微米。
根据上述目的,提供再一种滚轮传送系统,其包含一腔室、至少九转动轴、一对第一滚轮以及至少一对第二滚轮。腔室具有一入口及一出口。至少九转动轴彼此间平行的配置。该对第一滚轮位于每一转动轴上,且该对第一滚轮之间的第一距离于该些转动轴上是固定的。该对第二滚轮位于每一转动轴上的该对第一滚轮之间,且该对第二滚轮之间的第二距离于该些转动轴上是不固定的。第二距离于该些转动轴上的中间与两侧的转动轴是较短的,且第二距离从该些转动轴的中间转动轴向两侧的转动轴逐渐加长后再逐渐缩短。
由上述可知,应用本发明的滚轮传送系统,利用其滚轮位置的特别安排,使得基材能被导向一预定的方向。此外,滚轮的外表面也具有适当的粗糙度,借以减少基材于滚轮上任意的滑动。
附图说明
为让本发明的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂,所附附图的说明如下:
图1是绘示依照本发明一实施例的一种滚轮传送系统的剖面图;
图2是绘示依照本发明另一实施例的一种滚轮传送系统的转动轴;
图3是绘示依照本发明另一实施例滚轮传送系统传递基材的侧视图;
图4是绘示依照本发明又一实施例滚轮传送系统中的滚轮的立体图;
图5是绘示依照本发明另一实施例的一种滚轮传送系统的剖面图;
图6是绘示依照本发明再一实施例的一种滚轮传送系统的剖面图。
【主要组件符号说明】
100滚轮传送系统
101a、101b、101c转动轴
102腔室
102a入口
102b出口
103第一滚轮
105第二滚轮
D第一距离
120方向
d1、d2、d3、d4、d5距离
106马达
106a传送皮带
200滚轮传送系统
200’滚轮传送系统
201转动轴
201a、201b、201c、201d、201e转动轴
201c’、201c”、201b’、201d’转动轴
201r凹陷刻度
202腔室
202a入口
202b出口
203第一滚轮
205第二滚轮
206马达
206a传送皮带
220方向
301第二滚轮
303第一滚轮
305基材
R半径
r半径
401滚轮
401a平坦山顶
401b凹谷
具体实施方式
本案的滚轮传送系统用以传送一基材(例如一玻璃基材或半导体基材),运用滚轮位置的安排将基材朝预定方向传送,且避免基材于滚轮表面任意的滑动。
请参照图1,其绘示依照本发明一实施例的一种滚轮传送系统100的剖面图。滚轮传送系统100包含至少三转动轴(101a、101b、101c)位于腔室102内。每一转动轴(101a、101b、101c)均具有一对第一滚轮103及至少一对第二滚轮105,其位置经特别安排后能借以控制一预定传送方向。每一转动轴(101a、101b、101c)所具有的第一对滚轮103,两滚轮之间的第一距离D是固定的。第一距离D应略大于被传送基材的宽度(例如图3的基材305),因此基材的预定方向120才能介于该对滚轮103之间。每一转动轴(101a、101b、101c)还具有至少一对第二滚轮105(两对以上滚轮亦可),每一对第二滚轮105之间的第二距离是不固定的。该对第二滚轮105之间的第二距离在该些转动轴的中间的一或二转动轴(例如转动轴101b)上是最短的(例如距离d2),且第二距离从该些转动轴的中间转动轴向两侧的转动轴(例如转动轴101a、101c)逐渐加长(例如距离d1、d3)。换言之,第二距离于该些转动轴距离腔室102的入口102a或出口102b最近的转动轴(例如转动轴101a、101c)上是最长的(例如距离d1、d3),且第二距离逐渐缩短至距离于该些转动轴距离腔室102的入口102a及出口102b最远的转动轴上(例如转动轴101b)。在本实施例中,距离d1可等于或不等于距离d3。通过上述的转动轴及滚轮的安排,基材就能准确的朝预定方向120传送,且基材的重量能均匀的分布于所有的第一滚轮103及第二滚轮105上。此外,传动机构还包含至少一马达106、一传送皮带106a或传送齿轮,借以驱动转动轴(101a、101b、101c),每一转动轴的两端是枢接于腔室102的内壁或支称架上。在其它实施例中,滚轮传送系统100亦可不组装于腔室102内(例如不组装于一真空腔室)。
请参照图2,其绘示依照本发明另一实施例的一种滚轮传送系统的转动轴201。转动轴201上具有多个凹陷刻度201r,使得该些第一滚轮103及第二滚轮105能固定于凹陷刻度201r上,便于调整一对滚轮之间的距离。凹陷刻度201r设计的优点在于增加滚轮固定于转动轴的稳固性且便于调整滚轮之间的距离。
请参照图3,其绘示依照本发明另一实施例滚轮传送系统传递基材的侧视图。当一基材305被一对第一滚轮303及一对第二滚轮301所传送时,基材305被夹持于该对第一滚轮303之间,所以基材305传送时不会超出该对第一滚轮303之间的区域。基材的两侧可以被该对第一滚轮303所支撑而传送(如图3所绘示)或不被该对第一滚轮303所支撑而传送(当基材的宽度小于该对第一滚轮303之间的距离)。在本实施例中,第一滚轮303的半径R大于第二滚轮301的半径r,使得基材305能被限制于该对第一滚轮303之间,且同时被第一滚轮303及第二滚轮301所支撑而传送。
请参照图4,其绘示依照本发明又一实施例滚轮传送系统中的滚轮401的立体图。为了控制基材在滚轮上被传送时发生任意滑动的情形(例如不受控制的滑动),滚轮401外表面是特别经过设计。具体而言,滚轮401的粗糙外表面的平均粗糙度Ra范围从0.5微米至30微米,其通过喷砂或其它合适的制程所形成。在其它实施例中,滚轮401的外表面亦可通过沉积一粗糙的表层。在其它实施例中,滚轮401的粗糙外表面的平均粗糙度Ra范围较佳为从2微米至8微米,使得基材能在最少滑动下平顺的被滚轮所传送。此外,滚轮401的外表面亦可具有“平坦山顶401a”及“凹谷401b”的设计,借以在最少滑动下平顺的传送基材。在本实施例中,平坦山顶401a亦可具有粗糙外表面,其具有平均粗糙度Ra范围从0.5微米至30微米,或平均粗糙度Ra范围较佳为从2微米至8微米。
请参照图5,其绘示依照本发明另一实施例的一种滚轮传送系统的剖面图。滚轮传送系统200不同于滚轮传送系统100之处在于滚轮传送系统200包含5转动轴(201a、201b、201c、201d、201e)。滚轮传送系统200包含5转动轴(201a、201b、201c、201d、201e)安装于一腔室202内。五转动轴(201a、201b、201c、201d、201e)可均匀的排列于腔室202内(例如等间距的排列)。
每一转动轴(201a、201b、201c、201d、201e)均具有一对第一滚轮203及至少一对第二滚轮205,其位置经特别安排后能借以控制一预定传送方向。每一转动轴(201a、201b、201c、201d、201e)所具有的第一对滚轮203,两滚轮之间的第一距离D是固定的。第一距离D应略大于被传送基材的宽度(例如图3的基材305),因此基材的预定方向220才能介于该对滚轮203之间。每一转动轴(201a、201b、201c、201d、201e)还具有至少一对第二滚轮205(两对以上滚轮亦可),每一对第二滚轮205之间的第二距离是不固定的。该对第二滚轮205之间的第二距离在该些转动轴的中间的一或二转动轴(例如转动轴201c)上是最短的(例如距离d5),且第二距离从该些转动轴的中间转动轴向两侧的转动轴(例如转动轴201a、201b、201d、201e)逐渐加长(例如距离d3、d4)。换言之,第二距离于该些转动轴距离腔室202的入口202a或出口202b最近的转动轴(例如转动轴201a、201e)上是最长的(例如距离d3),且第二距离逐渐缩短至距离于该些转动轴距离腔室202的入口202a及出口202b最远的转动轴上(例如转动轴201c)。通过上述的转动轴及滚轮的安排,基材就能准确的朝预定方向220传送,且基材的重量能均匀的分布于所有的第一滚轮203及第二滚轮205上。此外,传动机构还包含至少一马达206、一传送皮带206a或传送齿轮,借以驱动转动轴(201a、201b、201c、201d、201e),每一转动轴的两端是枢接于腔室202的内壁或支称架上。在其它实施例中,滚轮传送系统200亦可不组装于腔室202内(例如不组装于一真空腔室)。
请参照图6,其绘示依照本发明另一实施例的一种滚轮传送系统的剖面图。滚轮传送系统200’不同于滚轮传送系统200之处在于滚轮传送系统200’包含九个转动轴(201a、201b、201c、201d、201e、201c’、201c”、201b’、201d’)。滚轮传送系统200’包含九个转动轴安装于一腔室202内。九个转动轴可均匀的排列于腔室202内(例如等间距的排列)。
每一转动轴(201a、201b、201c、201d、201e、201c’、201c”、201b’、201d’)均具有一对第一滚轮203及至少一对第二滚轮205,其位置经特别安排后能藉以控制一预定传送方向。每一转动轴(201a、201b、201c、201d、201e、201c’、201c”、201b’、201d’)所具有的第一对滚轮203,两滚轮之间的第一距离D是固定的。第一距离D应略大于被传送基材的宽度(例如图3的基材305),因此基材的预定方向220才能介于该对滚轮203之间。每一转动轴(201a、201b、201c、201d、201e、201c’、201c”、201b’、201d’)还具有至少一对第二滚轮205(两对以上滚轮亦可),每一对第二滚轮205之间的第二距离是不固定的。该对第二滚轮205之间的第二距离在该些转动轴的中间(例如转动轴201c)及两侧(例如转动轴201c’与转动轴201c”)的转动轴上是最短的或相对短的(例如距离d5),且第二距离从该些转动轴的中间转动轴向两侧的转动轴逐渐加长后再逐渐缩短(例如距离d5=>d4=>d3=>d4=>d5)。通过上述的转动轴及滚轮的安排,基材就能准确的朝预定方向220传送,且基材的重量能均匀的分布于所有的第一滚轮203及第二滚轮205上。此外,传动机构还包含至少一马达206、一传送皮带206a或传送齿轮,借以驱动转动轴,每一转动轴的两端是枢接于腔室202的内壁或支称架上。在其它实施例中,滚轮传送系统200’亦可不组装于腔室202内(例如不组装于一真空腔室)。
由上述本发明实施方式可知,应用本发明的滚轮传送系统,利用其滚轮位置的特别安排,使得基材能被导向一预定的方向。此外,滚轮的外表面也具有适当的粗糙度,借以减少基材于滚轮上任意的滑动。
虽然本发明已以实施方式揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何熟悉此技艺者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视所附的权利要求书所界定的范围为准。
Claims (11)
1.一滚轮传送系统,其特征在于,至少包含:
至少三转动轴,彼此间平行的配置;
一对第一滚轮,位于每一该转动轴上,且该对第一滚轮之间的第一距离于该些转动轴上是固定的;以及
至少一对第二滚轮,位于每一该转动轴上的该对第一滚轮之间,且该对第二滚轮之间的第二距离于该些转动轴上是不固定的;
其中该第二距离于该些转动轴上的中间的一或二转动轴上是最短的,且该第二距离从该些转动轴的中间转动轴向两侧的转动轴逐渐加长。
2.根据权利要求1所述的滚轮传送系统,其特征在于,每一该第一滚轮及每一该第二滚轮均具有一粗糙外表面,且该第一滚轮的直径大于该第二滚轮的直径。
3.根据权利要求1所述的滚轮传送系统,其特征在于,每一该转动轴具有多个凹陷刻度供该第一滚轮或该第二滚轮固定之用。
4.根据权利要求1所述的滚轮传送系统,其特征在于,每一该第一轮及每一该第二滚轮的粗糙外表面的平均粗糙度Ra范围从0.5微米至30微米。
5.根据权利要求1所述的滚轮传送系统,其特征在于,每一该第一轮及每一该第二滚轮的粗糙外表面的平均粗糙度Ra范围从2微米至8微米。
6.一滚轮传送系统,其特征在于,至少包含:
一腔室,具有一入口及一出口;
至少三转动轴,彼此间平行的配置于该腔室内;
一对第一滚轮,位于每一该转动轴上,且该对第一滚轮之间的第一距离于该些转动轴上是固定的;以及
至少一对第二滚轮,位于每一该转动轴上的该对第一滚轮之间,且该对第二滚轮之间的第二距离于该些转动轴上是不固定的;
其中该第二距离于该些转动轴距离该入口或该出口最近的转动轴上是最长的,且该第二距离逐渐缩短至距离于该些转动轴距离该入口及该出口最远的转动轴上。
7.根据权利要求6所述的滚轮传送系统,其特征在于,每一该第一滚轮及每一该第二滚轮均具有一粗糙外表面,且该第一滚轮的直径大于该第二滚轮的直径。
8.根据权利要求6所述的滚轮传送系统,其特征在于,每一该转动轴具有多个凹陷刻度供该第一滚轮或该第二滚轮固定之用。
9.根据权利要求6所述的滚轮传送系统,其特征在于,每一该第一轮及每一该第二滚轮的粗糙外表面的平均粗糙度Ra范围从0.5微米至30微米。
10.根据权利要求6所述的滚轮传送系统,其特征在于,每一该第一轮及每一该第二滚轮的粗糙外表面的平均粗糙度Ra范围从2微米至8微米。
11.一滚轮传送系统,其特征在于,至少包含:
一腔室,具有一入口及一出口;
至少九转动轴,彼此间平行的配置;
一对第一滚轮,位于每一该转动轴上,且该对第一滚轮之间的第一距离于该些转动轴上是固定的;以及
至少一对第二滚轮,位于每一该转动轴上的该对第一滚轮之间,且该对第二滚轮之间的第二距离于该些转动轴上是不固定的;
其中该第二距离于该些转动轴上的中间与两侧的转动轴是较短的,且该第二距离从该些转动轴的中间转动轴向两侧的转动轴逐渐加长后再逐渐缩短。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US37246510P | 2010-08-11 | 2010-08-11 | |
| US61/372,465 | 2010-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102372146A true CN102372146A (zh) | 2012-03-14 |
Family
ID=45564003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011102081368A Pending CN102372146A (zh) | 2010-08-11 | 2011-07-19 | 滚轮传送系统 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20120037478A1 (zh) |
| CN (1) | CN102372146A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016095900A1 (de) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | Hanwha Q Cells Gmbh | In-line-nassbankvorrichtung und verfahren für die nasschemische bearbeitung von halbleiterwafern |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6274944B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2018-02-07 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板搬送装置 |
| FR3045021B1 (fr) * | 2015-12-15 | 2020-11-27 | Rene Brunone | Rouleau pour convoyeur a bande mobile, convoyeur a bande et procede de fabrication associes |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100841345B1 (ko) * | 2007-02-28 | 2008-06-26 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
| US20080286084A1 (en) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Soon-Gyu Ho | Substrate transporting apparatus and substrate guide unit for use therein |
| CN201284146Y (zh) * | 2008-11-10 | 2009-08-05 | 亚智科技股份有限公司 | 输送导正机构 |
| CN201473030U (zh) * | 2009-09-17 | 2010-05-19 | 胡荣宝 | 一种物流系统用组合式滚轴 |
| JP2010195571A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Toppan Printing Co Ltd | 搬送装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1412969A (en) * | 1918-08-14 | 1922-04-18 | Sachs Philip | System of transportation |
| US1834304A (en) * | 1927-12-31 | 1931-12-01 | United Eng Foundry Co | Heating furnace |
| US3082774A (en) * | 1961-02-08 | 1963-03-26 | Ct Circuits Inc | Etching machine |
| US3042989A (en) * | 1961-05-08 | 1962-07-10 | Dow Chemical Co | Slat expander roll |
| GB1317118A (en) * | 1971-10-13 | 1973-05-16 | Fromme Foerderanlagen Gmbh | Pallet conveyors |
| US5566816A (en) * | 1994-10-11 | 1996-10-22 | Illinois Tool Works Inc. | Conveying and centering apparatus |
| JPH10218418A (ja) * | 1997-02-14 | 1998-08-18 | Noritsu Koki Co Ltd | 搬送用ローラおよびその製造方法 |
| US20060260911A1 (en) * | 2003-03-18 | 2006-11-23 | Shuttleworth, Inc. | Rapid reconfigurable servo correction cone conveyor |
| JP4291817B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2009-07-08 | 平田機工株式会社 | チェーン駆動機構のチェーン弛み防止方法 |
-
2011
- 2011-07-15 US US13/183,443 patent/US20120037478A1/en not_active Abandoned
- 2011-07-19 CN CN2011102081368A patent/CN102372146A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100841345B1 (ko) * | 2007-02-28 | 2008-06-26 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
| US20080286084A1 (en) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Soon-Gyu Ho | Substrate transporting apparatus and substrate guide unit for use therein |
| CN201284146Y (zh) * | 2008-11-10 | 2009-08-05 | 亚智科技股份有限公司 | 输送导正机构 |
| JP2010195571A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Toppan Printing Co Ltd | 搬送装置 |
| CN201473030U (zh) * | 2009-09-17 | 2010-05-19 | 胡荣宝 | 一种物流系统用组合式滚轴 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016095900A1 (de) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | Hanwha Q Cells Gmbh | In-line-nassbankvorrichtung und verfahren für die nasschemische bearbeitung von halbleiterwafern |
| CN107408523A (zh) * | 2014-12-18 | 2017-11-28 | 韩华 Q Cells有限公司 | 用于半导体晶片的湿化学处理的直排湿式工作台装置及方法 |
| CN107408523B (zh) * | 2014-12-18 | 2021-02-23 | 韩华 Q Cells有限公司 | 用于半导体晶片的湿化学处理的直排湿式工作台装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20120037478A1 (en) | 2012-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7445111B2 (en) | Transport system including vertical rollers | |
| US8033383B2 (en) | Clean, high density, soft-accumulating conveyor | |
| CN107250006B (zh) | 用于清洁环境的高容量输送传送装置 | |
| WO2016208736A1 (ja) | 搬送装置、面状搬送装置並びに搬送ユニット | |
| US7441648B1 (en) | Systems and methods for transport through curves | |
| CA2473821A1 (en) | Apparatus for rotating an article | |
| TWI393205B (zh) | 基板搬送裝置及基板搬送方法 | |
| EP3064455A1 (en) | Conveyor device | |
| CN102372146A (zh) | 滚轮传送系统 | |
| CN109319454B (zh) | 可分流传送装置及可分流传送方法 | |
| US7434678B1 (en) | Systems and methods for transport through curved conveyance sections | |
| CN210619235U (zh) | 用于蒸笼机的输送机构及蒸笼机 | |
| KR102173607B1 (ko) | 스토커 컨베이어 | |
| US20070289843A1 (en) | Conveyor System Including Offset Section | |
| US20080050208A1 (en) | High speed transporter including horizontal belt | |
| TW201318938A (zh) | 潔淨、高密度、柔性聚集傳送裝置 | |
| KR101116654B1 (ko) | 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
| KR101071268B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
| KR100813617B1 (ko) | 기판 이송 유닛 및 이를 이용한 기판 이송 방법 | |
| KR101040695B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
| JP2002534800A (ja) | 搬送装置 | |
| TW201336761A (zh) | 直接傳動式平板運送裝置 | |
| US20100006394A1 (en) | Transitions between conveyance paths | |
| WO2022193338A1 (zh) | 一种晶圆传送系统 | |
| KR101040696B1 (ko) | 기판 이송 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120314 |