CN102266710B - 工艺废气处理装置及工艺废气处理方法 - Google Patents
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Abstract
一种工艺废气处理装置包括腔体与漏斗顶盖环。漏斗设置于腔体下方，具有至少一注入孔，设置于接近腔体之处。
Description
技术领域
本发明是有关于一种工艺废气处理装置及工艺废气处理方法。
背景技术
一般工厂于生产过程中经常会产生废气。这些废气多半有害于环境，需要加以处理后方可排放至一般的环境。现有工艺机台的废气，自工艺反应室中抽离后，会先经过废气处理装置，再做进一步的处理。
高温燃烧为废气处理的方式中最常见的方法之一。高温燃烧所使用的废气处理装置主要由废气处理腔体与漏斗所构成。工艺废气通入处理腔体做废气分解、反应等处理，处理后所产生的固体粉状的凝结物通常会沉积在腔体内壁而成为固体粉状凝结物。
当固体粉状凝结物剥落而掉落在漏斗的表面上时，由于固体粉状凝结物通常呈酸性，时间过久，容易造成漏斗腐蚀的问题。为维护公共安全，在使用一段时间之后，必须更换漏斗，避免废气分解、反应所产生的腐蚀性气体或是有毒气体从腐蚀之处漏出。然而，更换漏斗所需的费用相当可观。
发明内容
本发明提出一种工艺废气处理装置，可以减缓漏斗的内表面腐蚀的现象，延长使用寿命。
本发明提出一种工艺废气处理装置，可以减少维护的成本。
本发明提出一种工艺废气处理方法，可以减缓漏斗的内表面腐蚀的现象。
本发明提出一种工艺废气处理装置，包括腔体与漏斗顶盖环。漏斗设置于腔体下方，具有至少一注入孔，设置于接近腔体之处。
依照本发明实施例所述，上述工艺废气处理装置更包括一顶盖环，顶盖环设置于上述腔体与上述漏斗之间，顶盖环的内径小于上述漏斗的顶部开口的内径。
依照本发明实施例所述，上述工艺废气处理装置中，上述顶盖环为可拆卸式。
依照本发明实施例所述，上述工艺废气处理装置中，上述顶盖环的第二表面上具有至少一凹槽，且具有至少一O型环，设置于凹槽中。
依照本发明实施例所述，上述工艺废气处理装置中，上述漏斗的内表面上具有一抗腐蚀层。
本发明还提出一种工艺废气处理方法，包括在腔体底部设置漏斗，此漏斗具有至少一注入孔，注入孔位于接近腔体之处，在废气通入腔体之后，将清洗液经由注入孔注入于漏斗中，以冲洗漏斗的内表面。
依照本发明实施例所述，上述工艺废气处理方法中，上述清洗液包括水或液碱。
依照本发明实施例所述，上述工艺废气处理方法还包括在上述漏斗与上述腔体之间设置顶盖环，此顶盖环的内径小于上述漏斗的顶部开口的内径。
本发明又提出一种工艺废气处理方法，包括在腔体底部设置漏斗，并在废气通入腔体之前，在漏斗与腔体之间设置顶盖环，此顶盖环的内径小于漏斗顶部开口的内径。
基于上述，本发明在漏斗接近腔体之处开出注入孔，可以将清洗液经由注入孔注入于漏斗中，以冲洗漏斗的内表面，减少生成物附着于漏斗的内表面。
本发明在腔体与漏斗之间设置顶盖环，可以减少水气附着于腔体底部，故可以减少腐蚀的现象，延长腔体的使用寿命。
本发明在腔体与漏斗之间设置顶盖环为可拆卸式，因此，更换非常方便。
本发明在腔体与漏斗之间设置顶盖环相对于漏斗非常便宜，因此，更换顶盖环的费用远低于更换漏斗的费用。
本发明在漏斗的内表面具有抗腐蚀特性，可以减缓漏斗的内表面腐蚀的现象。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图详细说明如下。
附图说明
图1绘示本发明实施例一种工艺废气处理装置的剖面示意图；
图2绘示本发明实施例一种工艺废气处理装置的拆解示意图；
图3绘示工艺废气处理装置的漏斗的示意图；以及
图4绘示漏斗上设置顶盖环的示意图。
【主要组件符号说明】
10：工艺废气处理装置
20：腔体
22：废气入口
28、38：凸橼
28a、38a、48a：螺孔
30：漏斗
30a：表面
30c：内表面
32：注入孔
34、44：凹槽
35：开口
36：抗腐蚀层
40：顶盖环
40a、40b：表面
42：中心开口
50：螺丝钉
52：螺帽
54：O型环
D1：内径
D2：开口的内径
T：厚度
具体实施方式
图1绘示本发明实施例一种工艺废气处理装置的剖面示意图。图2绘示本发明实施例一种工艺废气处理装置的拆解示意图。图3绘示工艺废气处理装置的漏斗的示意图。图4绘示漏斗上设置顶盖环的示意图。
请参照图1，工艺废气处理装置10包括腔体20、漏斗30与顶盖环40。腔体20具有至少一废气入口22，其可导入工艺机台所产生的工艺废气。在附图中，废气的入口22设置在腔体20的侧壁，但不以此为限，废气的入口22也可以依据实际的需要而设置在合适的位置，例如是腔体20的上方。腔体20中可以是具有多个加热装置(未绘示)，例如是电热式加热装置，用以加热所通入的工艺废气，使其反应或分解。所导入的工艺废气例如是SiH4、NF3或C3F8，但并不以此为限。腔体20的形状可以是圆柱状、方柱状或其它任何形状。腔体20的材质一般是由单一材料所构成，例如是不锈钢材料所构成。
请参照图1至3，漏斗30设置于腔体20下方。漏斗30具有至少一注入孔32。在一实施例中，注入孔32设置于接近腔体20之处，例如是设置在凸橼38之内。在废气通入腔体20之后，清洗液经由注入孔32注入于漏斗30中，利用清洗液所产生扰流可用来冲洗漏斗30的内表面30c，带走反应所产生的生成物，减少生成物附着于漏斗30的内表面30c上所衍生的腐蚀问题。注入孔32所通入的清洗液例如是水或是液碱。
漏斗30的材质可以与腔体20相同或是相异。漏斗30的材质一般是由单一材料所构成，例如是不锈钢材料所构成。由于工艺废气可能具有腐蚀性，为能延长使用的寿命，在一实施例中，整个漏斗30可以是由抗腐蚀的材料制成。抗腐蚀的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。在另一实施例中，漏斗30是由非抗腐蚀的材料制成，而其内表面30c上具有一抗腐蚀层36。非抗腐蚀的材料例如是不锈钢或塑钢。抗腐蚀层36的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。
请参照图1至4，顶盖环40设置于腔体20与漏斗30之间。顶盖环40的第一表面40a耦接漏斗30，顶盖环40的第二表面耦接40b腔体20的底部，且顶盖环40的内径D1小于漏斗30的顶部开口35的内径D2。由于顶盖环40的内径D1小于漏斗30的顶部开口35的内径D2，因此，顶盖环40也可以隔绝漏斗30所通入的清洗液的蒸气(例如水气)，避免蒸气向上窜而停留在腔体20底部，故可以防止腔体20底部的腐蚀问题。在一实施例中，顶盖环40的内径D1比漏斗30的顶部开口35的内径D2小3至5公分。在一实施例中，顶盖环40的内径D1例如是45公分，漏斗30的顶部开口35的内径D2例如是50公分。顶盖环40的厚度T例如是0.8至1公分。
顶盖环40的材质可以与腔体20的材质相同或是相异。顶盖环40的材质可以与漏斗30的材质相同或是相异。顶盖环40的材质一般是由单一材料所构成，例如是不锈钢材料所构成。顶盖环40的材质也可以是由复合材料所构成。由于工艺废气可能具有腐蚀性，为能延长使用的寿命，在一实施例中，整个顶盖环40是由抗腐蚀的材料制成。抗腐蚀的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。在另一实施例中，顶盖环40是由非抗腐蚀的材料制成，而其表面上具有抗腐蚀层。非抗腐蚀的材料例如是不锈钢或全氟化合物。抗腐蚀层的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。
在一实施例中，顶盖环40为可拆卸式。当顶盖环40腐蚀或不堪使用时，可以方便更换，并且由于顶盖环40的造型简单，造价相当便宜，因此更换顶盖环40所需的费用远低于更换漏斗或是整个工艺废气处理装置所需的费用。
腔体20、漏斗30与顶盖环40可以以任何的方式组装成工艺废气处理装置10。在一实施例中，腔体20以及漏斗30皆具有凸橼28、38，且腔体20以及漏斗30的凸橼28、48以及顶盖环40皆设有螺孔28a、38a、48a，通过螺丝钉50与螺帽52，可将腔体20、漏斗30与顶盖环40密合组装完成，但，腔体20、漏斗30与顶盖环40组装的方式并不以此为限。
在另一实施例中，为能提升顶盖环40与漏斗30之间的密合性，与顶盖环40耦接的漏斗30的凸橼28表面30a上设有至少一凹槽34，与漏斗30耦接的顶盖环40第二表面40b上设有与凹槽34相对应的凹槽44，且凹槽34与凹槽44之中设有至少一O型环54。
请参照图1，工艺气体经由入口22通入腔体20之后，通过顶盖环40的中心开口42向下流入漏斗30之中。漏斗30的注入孔32所注入的清洗液可以加快废气的生成物通过漏斗30，缩短生成物停留在漏斗30的时间。而装设顶盖环40则可以隔绝漏斗30注入孔32所通入的清洗液的蒸气，避免蒸气上窜而停留在腔体20底部造成腐蚀，故可延缓工艺废气处理装置至泵之间管路阻塞的现象，维持腔体的燃烧效率。经实验显示透过注入孔注入清洗液并装设顶盖环40，可以减少管路阻塞的现象，其腔体20内压过大所导致的泵跳脱的次数可从12次/年减少为2次/年，并且可使得漏斗的寿命从3月延长为12月。
基于上述，本发明在漏斗接近腔体之处开出注入孔，可以将清洗液经由注入孔注入于漏斗中，以迅速冲洗漏斗之内表面，减缓生成物附着于漏斗的内表面上所衍生的腐蚀问题。
本发明在腔体与漏斗之间设置顶盖环，可以避免水气附着于腔体底部，故可以减少腔体底部腐蚀的现象，延长腔体的使用寿命。
本发明在腔体与漏斗之间设置顶盖环为可拆卸式，因此，更换非常方便。
本发明在腔体与漏斗之间设置顶盖环相对于漏斗非常便宜，因此，更换顶盖环的费用远低于更换漏斗的费用。
本发明在漏斗的内表面具有抗腐蚀特性，可以减缓漏斗的内表面腐蚀的现象。
虽然本发明已以实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许之更动与润饰，故本发明的保护范围应当以权利要求所界定的范围为准。
Claims (8)
1.一种工艺废气处理装置，包括：
一腔体；以及
一漏斗，该漏斗设置于该腔体下方，具有至少一注入孔，设置于接近该腔体之处；
其中，在装置的腔体与漏斗之间设置一个内径小于漏斗顶部开口内径的顶盖环，使漏斗的内表面具有抗腐蚀性。
2.如权利要求1所述的工艺废气处理装置，其中该顶盖环为可拆卸式。
3.如权利要求1所述的工艺废气处理装置，其中：
该顶盖环的该第一表面上具有至少一凹槽；以及
至少一O型环，设置于该凹槽中。
4.如权利要求1所述的工艺废气处理装置，其中该漏斗的内表面上覆盖一抗腐蚀层。
5.一种工艺废气处理方法，包括：
在一腔体底部设置一漏斗，该漏斗具有至少一注入孔，该注入孔位于接近该腔体之处；以及
将一废气通入该腔体之后，经由该注入孔，将一清洗液注入该漏斗中，以冲洗该漏斗的内表面；
其中，在腔体与漏斗之间设置一个内径小于漏斗顶部开口内径的顶盖环，使漏斗的内表面具有抗腐蚀性。
6.如权利要求5所述的工艺废气处理方法，该清洗液包括水或液碱。
7.一种工艺废气处理方法，包括：
在一腔体底部设置一漏斗；以及
将一废气通入该腔体之前，在该漏斗与该腔体之间设置一顶盖环，该顶盖环的内径小于该漏斗的顶部开口的内径；
其中，在漏斗上接近腔体之处设置有用来注入清洗液的注入孔，使漏斗的内表面具有抗腐蚀性。
8.如权利要求7所述的工艺废气处理方法，其中该顶盖环为可拆卸式。
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