CN102141855A - 使用激光烧蚀制造触摸传感器面板 - Google Patents

使用激光烧蚀制造触摸传感器面板 Download PDF

Info

Publication number
CN102141855A
CN102141855A CN2010105835589A CN201010583558A CN102141855A CN 102141855 A CN102141855 A CN 102141855A CN 2010105835589 A CN2010105835589 A CN 2010105835589A CN 201010583558 A CN201010583558 A CN 201010583558A CN 102141855 A CN102141855 A CN 102141855A
Authority
CN
China
Prior art keywords
touch sensor
substrate
conductive layer
deposited
conductive material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2010105835589A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102141855B (zh
Inventor
J·A·哈勒
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Apple Inc
Original Assignee
Apple Computer Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Apple Computer Inc filed Critical Apple Computer Inc
Publication of CN102141855A publication Critical patent/CN102141855A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102141855B publication Critical patent/CN102141855B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0443Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a single layer of sensing electrodes
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0446Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04111Cross over in capacitive digitiser, i.e. details of structures for connecting electrodes of the sensing pattern where the connections cross each other, e.g. bridge structures comprising an insulating layer, or vias through substrate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/43Electric condenser making
    • Y10T29/435Solid dielectric type

Abstract

公开了使用激光烧蚀制造触摸传感器面板。所制造的触摸传感器面板可以具有形成在其盖基板的下表面上的触摸传感器。制造方法可以包括:在基板上沉积导电层;在导电层上沉积电介质材料;烧蚀导电层以界定用于触摸传感器的不同区域;以及在电介质材料上沉积导电材料。另一制造方法可以包括:在基板上的离散位置处将导电材料溅射在基板上;在基板之上沉积导电层;以及可选择地烧蚀在所述离散位置处的导电层以界定用于触摸传感器的不同区域。触摸传感器面板可以被结合到移动电话、数字媒体播放器或个人计算机中。

Description

使用激光烧蚀制造触摸传感器面板
技术领域
本发明一般地涉及触摸传感器面板,以及更具体地涉及使用激光烧蚀制造触摸传感器面板。
背景技术
触摸传感器面板越来越多地被用作计算系统的输入装置。通常,触摸传感器面板可以包括盖基板(cover substrate)(由玻璃、聚合物或类似物形成)以通过触摸输入信息,以及传感器基板(也由玻璃、聚合物或类似物形成),其具有触摸传感器以感测在盖基板上的触摸。为了制造更薄的触摸传感器面板,期望消除多余的传感器基板厚度。然而,成功地提供没有传感器基板的触摸传感器面板是不容易的。
消除传感器基板需要触摸传感器优选地位于面板的另一已有表面上。优选的表面是盖基板。然而,盖基板由于至少一部分以下原因而不是可行的选择。在一些实施例中,盖基板是由母玻璃片(motherglass sheet)切割成型的玻璃。然后,为了坚固和耐用,通常使用强离子溶液来化学强化盖玻璃,以强化所有的玻璃表面,包括切割成型的边缘。因为化学强化可能损坏触摸传感器的薄膜,所以在强化前将触摸传感器放置在盖玻璃上可能是无效的。然而,在已经完成化学强化之后,传统的触摸传感器放置处理,诸如光刻和蚀刻,它们都是针对较大的母玻璃片开发的,对于较小的盖玻璃(从母玻璃片切割而来),它们在技术上不可行或者太昂贵。因此,在强化之后,可能难以使用传统的放置处理来将触摸传感器放置在盖玻璃上。
因此,使触摸传感器面板变薄的方法已经成为问题。
发明内容
本发明涉及使用激光烧蚀制造触摸传感器面板,其中面板的触摸传感器可以形成在面板的盖基板的下表面上。制造方法可以包括:将导电层沉积在基板上;将电介质材料沉积在导电层上;烧蚀导电层以界定触摸传感器的不同区域;以及在电介质材料上沉积导电材料。另一制造方法可以包括:在基板上的离散位置处,将导电材料溅射在基板上;在所述离散位置处,将电介质材料印刷在所述导电材料上;将导电层沉积在基板之上;以及选择性烧蚀在所述离散位置处的导电层以界定触摸传感器的不同区域。这些制造方法能够有利地在触摸传感器面板的盖基板的下表面上提供触摸传感器,从而得到更薄的面板。
附图说明
图1A和1B分别示出了根据各种实施例的使用激光烧蚀制造的示例性触摸传感器面板的平面视图和截面视图。
图2示出了根据各种实施例的使用激光烧蚀制造触摸传感器面板的示例性方法。
图3A至3F示出了根据各种实施例的使用激光烧蚀制造的示例性触摸传感器面板。
图4示出了根据各种实施例的使用激光烧蚀制造触摸传感器面板的另一示例性方法。
图5A至5G示出了根据各种实施例的使用激光烧蚀制造的另一示例性触摸传感器面板。
图6示出了根据各种实施例的具有使用激光烧蚀制造的触摸传感器面板的示例性移动电话。
图7示出了根据各种实施例的具有使用激光烧蚀制造的触摸传感器面板的示例性数字媒体播放器。
图8示出了根据各种实施例的具有使用激光烧蚀制造的触摸敏感显示器和触摸板的示例性个人计算机。
具体实施方式
在下面的各种实施例的描述中,参考形成实施例一部分的附图,附图通过说明能够被实施的特定实施例被示出。应该理解其它实施例能够被使用并且能够对结构进行改变,而不背离各种实施例的范围。
本发明涉及使用激光烧蚀制造触摸传感器面板。所制造的触摸传感器面板可以在盖基板的下表面上布置有触摸传感器。制造方法可以包括:将导电层沉积在基板上;将电介质材料沉积在该导电层上;烧蚀该导电层以界定用于触摸传感器的不同区域;以及在电介质材料上沉积导电材料。另一制造方法可以包括:在基板上的离散位置处,将导电材料溅射在基板上;在所述离散位置处,将电介质材料印刷在导电材料上;将导电层沉积在基板之上;以及选择性烧蚀在离散位置处的导电层以界定用于触摸传感器的不同区域。这些制造方法可以有利地在触摸触感器面板的盖基板的下表面上提供触摸传感器,从而得到更薄的面板。
图1A和1B分别示出了根据各种实施例的使用激光烧蚀制造的示例性触摸传感器面板的平面视图和截面视图。在图1A和1B的示例中,触摸传感器面板100可以包括盖基板140,盖基板140具有用于供物体(例如用户的手指、触笔等)触摸的触摸表面142。触摸传感器面板100也可以包括布置在盖基板140的下表面144(与触摸表面142相对的表面)上的触摸传感器120,用于感测在触摸表面142上的触摸。导电迹线(trace)的行102和列104可以围绕迹线的交叉区域110形成触摸传感器120。触摸传感器面板100还可以包括布置在盖基板140的下表面144上的不透明掩模(mask)130,用于提供美观的边界以隐藏下面的电路。在一些实施例中,不透明掩模130可以是导电的,并且可以形成用于将触摸传感器120电连接到其它感测电路(未示出)的行连接部112和列连接部114。在其它实施例中,不透明掩模130可以是不导电的并且可以具有形成布置在其上的行连接部112和列连接部114的导电迹线。触摸传感器120、不透明掩模130以及连接部112和114可以例如使用激光烧蚀和印刷(诸如喷墨印刷或丝网印刷)形成在盖基板140上,这将在下面更详细地描述。
应该理解,触摸传感器120不局限于在此示出的行-列布置,而是可以包括辐射状的、圆形的、菱形的、以及其它能够感测触摸的布置。
图2示出了根据各种实施例的使用激光烧蚀制造触摸传感器面板的示例性方法。在图2的示例中,可以提供已经被强化并且成型为用于触摸传感器面板的期望形状的盖基板(205)。盖基板例如可以是玻璃、聚合物或某种其它适当基板。透明导电层可以沉积在盖基板的下表面上,以覆盖该下表面,其中该下表面可以与盖基板触摸表面相对(210)。可以例如使用溅射技术来沉积导电层。导电层可以例如是氧化铟锡(ITO)或某种其它适当导电材料。不透明电介质材料可以围绕盖基板的边界印刷在导电层上以形成不透明掩模,并且可以印刷在盖基板的中央部分中的交叉区域处的导电层上以形成离散的不透明点(215)。交叉区域可以表示盖基板上触摸传感器的行和列可以被形成为彼此交叉并且彼此保持电绝缘的区域。不透明材料可以在单个操作中或分开的相继操作中被印刷在边界处以及交叉区域处。
激光可以烧蚀中心部分中的导电层以界定用于触摸传感器的行和列(220)。激光可以去除部分导电层以产生将行和列彼此分开且电绝缘的缝隙。激光还可以去除印刷在导电层被去除位置处的不透明点部分。缝隙可以被图案化为将导电层分成基本上水平的间断区域(形成行)和基本上垂直的连续区域(形成列),其中水平行区域被垂直列区域分割(bisect)。水平行区域被垂直列区域分割的位置可以是能够形成触摸传感器的交叉区域。间断的行区域可以在交叉区域处被电连接到一起,以形成电连续的行,如下面将详细描述的。根据期望的触摸传感器布置,导电层的其它图案也是可以的。例如,行区域可以连续,而列区域可以间断并且被行区域分割。
激光还可以围绕边界处的不透明掩模的内周边烧蚀导电层(220)。激光可以去除部分导电层以产生将行和列与边界处的导电层分开且电绝缘的周边缝隙。
印刷设备可以在交叉区域处的导电层上和不透明点上印刷第二导电材料的点,以桥接间断的行区域,从而将这些区域电连接成行(225)。印刷设备还可以在边界处的不透明掩模上印刷第二导电材料的迹线,以界定至行和列的连接部(225)。第二导电材料可以在单个操作或分开的相继操作中被印刷在边界和交叉区域处。第二导电材料例如可以是银墨、ITO或某种其它适当导电材料。印刷设备可以使用喷墨印刷、丝网印刷或其它适当的印刷技术。在交叉区域中的触摸传感器现在可以被认为已经形成,具有导电列区域、与导电点连接在一起并且与导电列区域交叉的导电行区域、以及在行区域和列区域之间的用于保证它们彼此电绝缘的不透明电介质点。
在一些情况下,印刷设备可能是不精确的,导致点比所需的更大以及通过盖基板可见。可选地,导电点和不透明点的尺寸能够被调节(230)。激光能够烧蚀交叉区域中的不透明点和导电点以去除它们的一部分,从而减少这些点的尺寸和可见性。
钝化层可以可选地被沉积以覆盖盖基板下表面上的所有部件,包括触摸传感器和不透明掩模,除了边界处的一小部分不透明掩模(235)。钝化层例如可以是透明电介质或某种其它适当材料。边界处的一小部分掩模例如可以暴露用于连接至诸如柔性电路等其它感测电路的行连接部和列连接部的端部。钝化层能够保护盖基板部件以免被腐蚀。
在可替换的实施例中,不是在边界处印刷第二导电材料的迹线以界定至行和列的连接部(225),而是可以在边界处印刷第二导电材料的单根宽迹线,以及可以烧蚀该单根宽迹线来产生将材料的各部分彼此分开并电绝缘的缝隙,其中所述各部分可以是连接部。缝隙可以被图案化,以使得界定的连接部可以与中央部分中的相应的行和列对准。如果烧蚀还去除下面的不透明掩模的一些部分,则第二不透明电介质材料可以被印刷在缝隙中以防止盖基板下面的光被泄露。
图3A至3F示出了根据图2的方法制造的示例性触摸传感器面板。在图3A的示例中,触摸传感器面板300可以包括盖基板340,其具有覆盖与触摸表面相对的基板下表面的透明导电层360。交叉区域310可以包括透明导电层360。在图3B的示例中,不透明电介质材料可以围绕盖基板的边界印刷在导电层360上,以形成不透明掩模350。不透明电介质材料还可以在交叉区域处被印刷在导电层360上以形成不透明点330。交叉区域310示出了布置在导电层360上的不透明电介质点330。在一些实施例中,点330可以具有大约100μm×150μm的尺寸。在图3C的示例中,在盖基板的中央部分中的导电层360可以被烧蚀以界定触摸传感器的行302和列304,其中行和列被缝隙306分开和电绝缘。交叉区域310示出了:列304,其形成导电层的连续垂直区域,在其上布置有烧蚀的不透明点330;行302,其形成导电层的两个相邻的间断的水平区域;以及缝隙306,其使行和列彼此电绝缘。在盖基板的边界部分中的不透明掩模350的内周边处的导电层360也可以被烧蚀以形成边界缝隙376。
在图3D的示例中,导电材料点309可以被印刷在交叉区域310中。交叉区域310示出了覆盖不透明点330的一些部分并接触形成行302的两个相邻区域的导电点309。这样,导电点309能够桥接这两个区域以将它们电连接到一起以形成与列304交叉的行302,其中烧蚀的不透明点330将行和列隔开。在一些实施例中,导电点309可以具有大约100μm×150μm的尺寸。导电材料的迹线也可以被印刷在边界处的不透明掩模上以界定行连接部312和列连接部314。行连接部312能够将行302连接至其它感测电路,列连接部314能够将列304连接至其它感测电路。
在图3E的示例中,在交叉区域310中的导电点309和不透明点330可以被烧蚀以去除太大的和/或通过盖基板可见的任何区域388,同时仍然提供行区域之间的电连接以及行和列之间的分隔。在一些实施例中,点309和330的宽度可以被减小到大约25μm。在图3F的示例中,钝化层390可以覆盖部件,除了可被用于连接至其它感测电路的边界部分,例如,可被用作将行连接部312和列连接部314结合至柔性电路(未示出)的结合区域395的部分。
图4示出了根据各种实施例的使用激光烧蚀制造触摸传感器面板的另一示例性方法。在图4的示例中,可以提供已经被强化并成型为用于触摸传感器面板的期望形状的盖基板(405)。盖基板例如可以是玻璃、聚合物或某种其它适当基板。第一导电材料可以围绕盖基板的边界溅射到盖基板的下表面上,以及溅射在盖基板的中央部分中的交叉区域处以形成离散的导电点(410)。第一导电材料例如可以是不透明材料,诸如,黑铬或某种其它适当的不透明导电材料或材料叠层。可替换地,第一导电材料例如可以是透明材料,诸如ITO或某种其它适当的透明导电材料或材料叠层。如前所述的交叉区域可以是导电迹线的行和列交叉以形成触摸传感器的区域。在溅射期间可以使用荫罩(shadow mask)或印刷丝网(print screen)来覆盖盖基板的中央部分,除了对应于交叉区域的离散区域,并且将盖基板的边界部分以及离散区域暴露于溅射导电材料。如果导电材料是不透明的,则导电材料可被用作边界处的掩模。
溅射可能导致沉积具有被粗糙界定的边缘、尺寸和/或形状。因此,可选地,激光可以烧蚀被溅射的导电材料以使边界处的边缘(如果不透明)锋利,以及减小离散导电点(如果不透明)的尺寸以使得它们较不易通过盖基板被看见(415)。
印刷设备可以在交叉区域处的导电点上印刷透明电介质材料点(420)。印刷设备可以使用喷墨印刷、丝网印刷或一些其它适当的印刷技术。电介质点可被印刷以覆盖导电点的一部分而不是全部。导电点的未覆盖部分可以如下面将更详细描述的那样被使用。
第二导电材料可以沉积在盖基板的下表面之上以覆盖该下表面,包括覆盖第一导电材料和透明电介质材料(425)。第二导电材料例如可以是ITO或某种其它适当导电材料。激光可以烧蚀在中央部分中的第二导电材料,以便通过去除部分导电材料以产生使行和列被隔开和电绝缘的缝隙,来界定用于触摸传感器的行和列(430)。缝隙可以被图案化以产生行和列,如前所述的。例如,行可以是连续的水平区域,而列可以是被水平行区域分割的间断的垂直区域。激光的波长、脉冲持续时间、功率等可以被调节,从而选择性地烧蚀第二导电材料,但是在下面的电介质点或下面的导电点上终止。交叉区域中的触摸传感器现在可以被认为形成了,具有与盖基板上的导电点的未覆盖部分连接在一起的导电列区域、与导电列区域交叉的导电行区域、以及在行和列区域之间的用于保证它们彼此电绝缘的透明电介质。
激光还可以烧蚀边界部分中的第二导电材料和第一导电材料以界定至行和列的连接部(430)。激光能够去除部分第一和第二导电材料以产生缝隙来使连接部被隔开和电绝缘(415)。缝隙可以被图案化,从而界定的连接部可以与中央部分中的相应的行和列对准。
印刷设备可以在边界区域中的连接部之间的缝隙上印刷不透明墨以防止盖基板下面的光被泄露(435)。如果第一导电材料是透明的,则印刷设备可以在整个边界部分上印刷不透明墨以形成不透明掩模。
可选地,钝化层可以被沉积以覆盖盖基板上的所有部件,包括触摸传感器和连接部,除了边界处的一小部分(440)。这一小部分例如可以暴露行和列连接部的端部,该端部用于连接到其它感测电路,诸如柔性电路。钝化层可以保护盖基板部件以免被腐蚀。
图5A至5G示出了根据图4的方法制造的示例性触摸传感器面板。在图5A的示例中,触摸传感器面板500可以包括盖基板540,不透明导电材料围绕盖基板的边界溅射在下表面上以形成不透明掩模,以及溅射在盖基板上的交叉区域510处以形成离散点。交叉区域510可以包括不透明导电材料点530。在图5B的示例中,在交叉区域510中的不透明导电点530可以被烧蚀得更细并且更不易通过盖基板540被看见。在一些实施例中,点530可以具有大约20μm×200μm的烧蚀尺寸。在图5C的示例中,透明电介质材料点508可以被印刷在交叉区域510中的不透明导电点530上。在图5D的示例中,导电层560可以被沉积在整个盖基板540之上,包括沉积在不透明导电点530、不透明掩模550和透明电介质点508上。
在图5E的示例中,盖基板540的中央部分中的导电层560可以被烧蚀以界定触摸传感器的行502和列504,其中行和列被缝隙506隔开并且电绝缘。交叉区域510示出了行502,其形成了导电层的连续水平区域;列504,其形成了导电层的两个相邻的间断的垂直区域;以及缝隙506,其使行和列彼此电绝缘。不透明导电点530可以桥接两个垂直区域以将它们电连接在一起以形成与行502交叉的列504,其中电介质点508将行和列隔开。在盖基板540的边界部分中的不透明掩模550和导电层560也可以被烧蚀以界定至行502和列504的行连接部512和列连接部514,其中这些连接部被相应的缝隙572和574隔开并电绝缘。在图5F的示例中,不透明墨596可以被印刷在盖基板540的边界部分中的缝隙572和574上。
在图5G的示例中,钝化层590可以覆盖盖基板部件,除了可以被用于连接至其它感测电路的边界部分,例如,可被用作用于柔性电路(未示出)的结合区域595的部分。
在可替换的实施例中,不是如图5A至5G所示的使用不透明导电材料,而是可以使用透明导电材料。这样,导电点530不需要被烧蚀来使它们更不易通过盖基板被看见(如图5B所示),并且可以围绕整个边界沉积不透明墨596以形成不透明掩模(如图5F所示)。
图6示出了示例性移动电话600,其可以包括根据各种实施例使用激光烧蚀制造的显示器636和触摸传感器面板624。
图7示出了示例性数字媒体播放器700,其可以包括根据各种实施例使用激光烧蚀制造的显示器736和触摸传感器面板724。
图8示出了示例性个人计算机800,其可以包括触摸敏感显示器836和触摸传感器面板(轨迹板(trackpad))824,其中,触摸敏感显示器和轨迹板可以根据各种实施例使用激光烧蚀而被制造。
利用根据各种实施例制造的触摸传感器面板,图6至图8的移动电话、媒体播放器和个人计算机可以更薄。
尽管实施例描述了触摸传感器,但是应该理解接近传感器和其它类型的传感器也可以被使用。
尽管实施例描述了触摸传感器被形成在强化的已形成的盖基板的单个面上,但是应该理解,触摸传感器或其部分可以形成在盖基板的多个面上或准备用在触摸传感器面板中的某些其它适当的基板上。
尽管已经参考附图完全描述了实施例,但是应该注意对于本领域的技术人员来说各种变化和修改将变得显而易见。这些变化和修改应该被理解为包括在所附权利要求限定的各种实施例的范围内。
下面描述本发明的其它实施例。
触摸传感器面板包括:具有可触摸表面的盖基板;多个触摸传感器,形成在盖基板的与所述可触摸表面相对的表面上,触摸传感器已经通过烧蚀和印刷导电材料和电介质材料中的至少一种来形成;以及多个连接部,形成在盖基板的与所述可触摸表面相对的表面上以连接到触摸传感器,所述连接部已经通过烧蚀和印刷所述导电材料和所述电介质材料中的至少一种来形成。在一些实施例中,烧蚀包括激光烧蚀。在一些其它实施例中,印刷包括喷墨印刷或丝网印刷。
一种设备,包括:基板,已经被强化和形成为一种形状;导电图案,在基板的第一表面上形成为触摸传感器,该导电图案已经被烧蚀和印刷在第一表面上;以及掩模图案,形成在基板的第一表面上,与导电图案接触,掩模图案已经被烧蚀和印刷在第一表面上。在一些实施例中,导电图案形成用于触摸传感器的菱形图案。

Claims (25)

1.一种制造触摸传感器面板的方法,包括:
将导电层沉积在基板上;
将电介质材料沉积在所述导电层上;
烧蚀所述导电层以界定触摸传感器的不同区域;以及
将导电材料沉积在所述电介质材料上。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,烧蚀所述导电层包括去除所述导电层的一些部分以在所述不同区域之间形成缝隙。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述不同区域包括行和列,所述行和所述列彼此电绝缘,所述行在其中具有间断并且具有与所述导电材料的触点以桥接所述间断。
4.根据权利要求1所述的方法,其中,沉积所述电介质材料包括在所述不同区域之间形成电绝缘体。
5.根据权利要求1所述的方法,其中,沉积所述导电材料包括在所述不同区域之间形成电导体。
6.根据权利要求1所述的方法,包括烧蚀所述电介质材料和所述导电材料以减小所述电介质材料和所述导电材料的可见性。
7.根据权利要求1所述的方法,其中,所述触摸传感器被配置为感测在所述基板的与其上沉积有所述导电层、所述电介质材料和所述导电材料的表面相对的表面上的触摸。
8.一种制造触摸传感器面板的方法,包括:
在基板上的离散位置处,将导电材料沉积在所述基板上;
在所述离散位置处,将电介质材料印刷在所述导电材料上;
将导电层沉积在所述基板之上;以及
选择性烧蚀在所述离散位置处的所述导电层以界定触摸传感器的不同区域。
9.根据权利要求8所述的方法,还包括:烧蚀所沉积的导电材料以去除所述导电材料的一些部分并减小其尺寸,其中所述导电材料是透明的或不透明的。
10.根据权利要求8所述的方法,其中,印刷所述电介质材料包括在所述导电材料和所述导电层之间印刷电绝缘体。
11.根据权利要求8所述的方法,其中,选择性烧蚀所述导电层包括去除所述导电层的一些部分以在所述不同区域之间形成缝隙,而不去除在下面的电介质材料和导电材料中的至少一些。
12.根据权利要求8所述的方法,其中,所述不同区域包括行和列,所述行和所述列彼此电绝缘,所述列在其中在所述离散位置处具有间断并且具有与所述导电材料的触点以桥接所述间断。
13.根据权利要求8所述的方法,其中,所沉积的导电材料被配置为电连接至少一些所述不同区域。
14.根据权利要求8所述的方法,还包括在所述导电层上沉积钝化层。
15.一种制造触摸传感器面板的方法,包括:
在基板上沉积第一材料;
在所述基板上沉积第二材料;
烧蚀至少一些所沉积的第二材料以界定触摸传感器;以及
将至少一些所沉积的第一材料与至所述触摸传感器的连接部相关联。
16.根据权利要求15所述的方法,其中,
沉积所述第一材料包括围绕所述基板的边界沉积至少一些所述第一材料,所述第一材料是导电且不透明的;以及
沉积所述第二材料包括围绕所述基板的所述边界沉积至少一些所述第二材料,所述第二材料是导电且透明的,所述方法包括:
围绕所述基板的所述边界烧蚀所沉积的第二材料和所沉积的第一材料以界定至所述触摸传感器的所述连接部。
17.根据权利要求15所述的方法,其中,沉积所述第一材料包括围绕所述基板的边界沉积至少一些所述第一材料,所述第一材料是电介质且不透明,所述方法包括:
围绕所述基板的所述边界在所沉积的第一材料上沉积第三材料,所述第三材料是导电的;以及
烧蚀所沉积的第三材料以界定至所述触摸传感器的所述连接部。
18.根据权利要求17所述的方法,包括:
在烧蚀所沉积的第三材料期间,围绕所述基板的所述边界烧蚀至少一些所沉积的第一材料;以及
将第四材料沉积到通过烧蚀所沉积的第一材料形成的缝隙中,所述第四材料是电介质且不透明。
19.一种触摸传感器面板,包括:
具有可触摸表面的盖基板;
多个触摸传感器,形成在所述盖基板的与所述可触摸表面相对的表面上,所述触摸传感器已经通过烧蚀和印刷导体材料和电介质材料中的至少一种来形成;以及
多个连接部,形成在所述盖基板的与所述可触摸表面相对的表面上以连接至所述触摸传感器,所述连接部已经通过烧蚀和印刷所述导电材料和所述电介质材料中的至少一种来形成。
20.根据权利要求19所述的触摸传感器面板,被结合到移动电话、数字媒体播放器和个人计算机中的至少一种中。
21.一种设备,包括:
基板,已经被加固并形成为一种形状;
导电图案,在所述基板的第一表面上形成为触摸传感器;所述导电图案已经被烧蚀和印刷在所述第一表面上;以及
掩模图案,形成在所述基板的第一表面上,与所述导电图案接触,所述掩模图案已经被烧蚀和印刷在所述第一表面上。
22.根据权利要求21所述的设备,包括:
另一导电图案,形成在所述基板的第二表面上,所述另一导电图案已经被烧蚀和印刷在所述第二表面上;
其中所述第二表面与所述第一表面相对。
23.一种具有根据权利要求19所述的触摸传感器面板的移动电话。
24.一种具有根据权利要求19所述的触摸传感器面板的数字媒体播放器。
25.一种具有根据权利要求19所述的触摸传感器面板的个人计算机。
CN201010583558.9A 2009-12-07 2010-12-07 使用激光烧蚀制造触摸传感器面板 Expired - Fee Related CN102141855B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US26734609P 2009-12-07 2009-12-07
US61/267,346 2009-12-07
US12/642,466 US20110134050A1 (en) 2009-12-07 2009-12-18 Fabrication of touch sensor panel using laser ablation
US12/642,466 2009-12-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102141855A true CN102141855A (zh) 2011-08-03
CN102141855B CN102141855B (zh) 2016-01-20

Family

ID=44081544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201010583558.9A Expired - Fee Related CN102141855B (zh) 2009-12-07 2010-12-07 使用激光烧蚀制造触摸传感器面板

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20110134050A1 (zh)
CN (1) CN102141855B (zh)
TW (1) TWI444864B (zh)
WO (1) WO2011071784A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112230762A (zh) * 2014-11-03 2021-01-15 西北大学 用于具有同时感测和致动的触觉显示器的材料和结构

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8633915B2 (en) 2007-10-04 2014-01-21 Apple Inc. Single-layer touch-sensitive display
US20090174676A1 (en) 2008-01-04 2009-07-09 Apple Inc. Motion component dominance factors for motion locking of touch sensor data
US8922521B2 (en) 2009-02-02 2014-12-30 Apple Inc. Switching circuitry for touch sensitive display
US9261997B2 (en) * 2009-02-02 2016-02-16 Apple Inc. Touch regions in diamond configuration
US8593410B2 (en) 2009-04-10 2013-11-26 Apple Inc. Touch sensor panel design
US8957874B2 (en) * 2009-06-29 2015-02-17 Apple Inc. Touch sensor panel design
US9652088B2 (en) 2010-07-30 2017-05-16 Apple Inc. Fabrication of touch sensor panel using laser ablation
KR101733140B1 (ko) * 2010-09-14 2017-05-08 삼성디스플레이 주식회사 터치스크린패널 일체형 영상표시장치 및 그 제조방법
US9652089B2 (en) * 2010-11-09 2017-05-16 Tpk Touch Solutions Inc. Touch panel stackup
EP2638453A4 (en) 2010-11-09 2015-11-25 Tpk Touch Solutions Inc TOUCH SCREEN DEVICE
US9563315B2 (en) * 2010-11-09 2017-02-07 Tpk Touch Solutions Inc. Capacitive touch panel and method for producing the same
FR2967101B1 (fr) * 2010-11-10 2017-04-21 Valeo Systemes Thermiques Facade de controle electronique pour vehicule automobile
US9944554B2 (en) 2011-09-15 2018-04-17 Apple Inc. Perforated mother sheet for partial edge chemical strengthening and method therefor
US9259904B2 (en) 2011-10-20 2016-02-16 Apple Inc. Opaque thin film passivation
JP5939766B2 (ja) * 2011-11-04 2016-06-22 株式会社ジャパンディスプレイ タッチパネル
CN103176640B (zh) * 2011-12-24 2016-05-25 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控面板及其制造方法
TWM441878U (en) * 2012-03-13 2012-11-21 Inv Element Inc Embedded touch display panel structure
US9329723B2 (en) 2012-04-16 2016-05-03 Apple Inc. Reconstruction of original touch image from differential touch image
JP2013246626A (ja) * 2012-05-25 2013-12-09 Panasonic Corp タッチパネル及びこれを用いた入力装置
EP2992407B1 (en) 2013-04-30 2019-09-04 Applied Materials, Inc. Multilevel mask circuit fabrication and multilayer circuit
US9886141B2 (en) 2013-08-16 2018-02-06 Apple Inc. Mutual and self capacitance touch measurements in touch panel
US8927069B1 (en) 2013-10-02 2015-01-06 Eritek, Inc. Method and apparatus for improving radio frequency signal transmission through low-emissivity coated glass
FR3013472B1 (fr) 2013-11-19 2016-07-08 Fogale Nanotech Dispositif accessoire couvrant pour un appareil portable electronique et/ou informatique, et appareil equipe d'un tel dispositif accessoire
US20150212609A1 (en) * 2014-01-28 2015-07-30 Apple Inc. Light block for transparent touch sensors
US10936120B2 (en) 2014-05-22 2021-03-02 Apple Inc. Panel bootstraping architectures for in-cell self-capacitance
US10289251B2 (en) 2014-06-27 2019-05-14 Apple Inc. Reducing floating ground effects in pixelated self-capacitance touch screens
US9880655B2 (en) 2014-09-02 2018-01-30 Apple Inc. Method of disambiguating water from a finger touch on a touch sensor panel
US10705658B2 (en) 2014-09-22 2020-07-07 Apple Inc. Ungrounded user signal compensation for pixelated self-capacitance touch sensor panel
TWI549031B (zh) * 2014-10-24 2016-09-11 群創光電股份有限公司 觸控面板與觸控顯示裝置
US10712867B2 (en) 2014-10-27 2020-07-14 Apple Inc. Pixelated self-capacitance water rejection
WO2016126525A1 (en) 2015-02-02 2016-08-11 Apple Inc. Flexible self-capacitance and mutual capacitance touch sensing system architecture
US10488992B2 (en) 2015-03-10 2019-11-26 Apple Inc. Multi-chip touch architecture for scalability
US10365773B2 (en) 2015-09-30 2019-07-30 Apple Inc. Flexible scan plan using coarse mutual capacitance and fully-guarded measurements
JP6074533B2 (ja) * 2016-05-17 2017-02-01 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
AU2017208277B2 (en) 2016-09-06 2018-12-20 Apple Inc. Back of cover touch sensors
US10386965B2 (en) 2017-04-20 2019-08-20 Apple Inc. Finger tracking in wet environment
US11157109B1 (en) 2019-09-06 2021-10-26 Apple Inc. Touch sensing with water rejection
US11662867B1 (en) 2020-05-30 2023-05-30 Apple Inc. Hover detection on a touch sensor panel

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040119701A1 (en) * 2002-12-19 2004-06-24 Mulligan Roger C. Lattice touch-sensing system
EP1986084A1 (en) * 2007-04-27 2008-10-29 TPK Touch Solutions Inc. Conductor pattern structure of capatitive touch panel
US20090205879A1 (en) * 2007-07-27 2009-08-20 Donnelly Corporation Touch sensor and method for manufacturing same
US20090277695A1 (en) * 2008-05-12 2009-11-12 Chen-Yu Liu Method of Forming Touch Sensing Circuit Pattern

Family Cites Families (91)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4090092A (en) * 1976-07-16 1978-05-16 General Electric Company Shielding arrangement for a capacitive touch switch device
US4087625A (en) * 1976-12-29 1978-05-02 International Business Machines Corporation Capacitive two dimensional tablet with single conductive layer
US4475235A (en) * 1982-01-04 1984-10-02 Rolm Corporation Signature verification sensor
US4659874A (en) * 1985-09-23 1987-04-21 Sanders Associates, Inc. X-Y position sensor
US5459463A (en) * 1990-05-25 1995-10-17 Sextant Avionique Device for locating an object situated close to a detection area and a transparent keyboard using said device
GB2245708A (en) * 1990-06-29 1992-01-08 Philips Electronic Associated Touch sensor array systems
US5483261A (en) * 1992-02-14 1996-01-09 Itu Research, Inc. Graphical input controller and method with rear screen image detection
US5880411A (en) * 1992-06-08 1999-03-09 Synaptics, Incorporated Object position detector with edge motion feature and gesture recognition
EP0574213B1 (en) * 1992-06-08 1999-03-24 Synaptics, Inc. Object position detector
US5488204A (en) * 1992-06-08 1996-01-30 Synaptics, Incorporated Paintbrush stylus for capacitive touch sensor pad
US5317919A (en) * 1992-06-16 1994-06-07 Teledyne Industries, Inc. A precision capacitor sensor
GB9406702D0 (en) * 1994-04-05 1994-05-25 Binstead Ronald P Multiple input proximity detector and touchpad system
US5825352A (en) * 1996-01-04 1998-10-20 Logitech, Inc. Multiple fingers contact sensing method for emulating mouse buttons and mouse operations on a touch sensor pad
US5835079A (en) * 1996-06-13 1998-11-10 International Business Machines Corporation Virtual pointing device for touchscreens
US6310610B1 (en) * 1997-12-04 2001-10-30 Nortel Networks Limited Intelligent touch display
EP1717682B1 (en) * 1998-01-26 2017-08-16 Apple Inc. Method and apparatus for integrating manual input
US8479122B2 (en) * 2004-07-30 2013-07-02 Apple Inc. Gestures for touch sensitive input devices
US7663607B2 (en) * 2004-05-06 2010-02-16 Apple Inc. Multipoint touchscreen
US6188391B1 (en) * 1998-07-09 2001-02-13 Synaptics, Inc. Two-layer capacitive touchpad and method of making same
WO2000044018A1 (en) * 1999-01-26 2000-07-27 Harald Philipp Capacitive sensor and array
US6730863B1 (en) * 1999-06-22 2004-05-04 Cirque Corporation Touchpad having increased noise rejection, decreased moisture sensitivity, and improved tracking
US7030860B1 (en) * 1999-10-08 2006-04-18 Synaptics Incorporated Flexible transparent touch sensing system for electronic devices
JP2003173237A (ja) * 2001-09-28 2003-06-20 Ricoh Co Ltd 情報入出力システム、プログラム及び記憶媒体
US6788301B2 (en) * 2001-10-18 2004-09-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Active pixel determination for line generation in regionalized rasterizer displays
US6690387B2 (en) * 2001-12-28 2004-02-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. Touch-screen image scrolling system and method
US20040017362A1 (en) * 2002-07-23 2004-01-29 Mulligan Roger C. Thin face capacitive touch screen
US20040090429A1 (en) * 2002-11-12 2004-05-13 Geaghan Bernard O. Touch sensor and method of making
US7129935B2 (en) * 2003-06-02 2006-10-31 Synaptics Incorporated Sensor patterns for a capacitive sensing apparatus
GB0313808D0 (en) * 2003-06-14 2003-07-23 Binstead Ronald P Improvements in touch technology
US20050069718A1 (en) * 2003-09-30 2005-03-31 Voss-Kehl Jessica L. Printable insulating compositions and printable articles
US20050073507A1 (en) * 2003-10-06 2005-04-07 Richter Paul J. Touch input sensing device
US8068186B2 (en) * 2003-10-15 2011-11-29 3M Innovative Properties Company Patterned conductor touch screen having improved optics
US7339579B2 (en) * 2003-12-15 2008-03-04 3M Innovative Properties Company Wiring harness and touch sensor incorporating same
US7307624B2 (en) * 2003-12-30 2007-12-11 3M Innovative Properties Company Touch sensor with linearized response
US7737953B2 (en) * 2004-08-19 2010-06-15 Synaptics Incorporated Capacitive sensing apparatus having varying depth sensing elements
KR20060062164A (ko) * 2004-12-03 2006-06-12 삼성전자주식회사 광센서를 내장하는 표시 장치
KR100651559B1 (ko) * 2004-12-30 2006-11-29 삼성전기주식회사 잡음 특성이 개선된 고주파 신호 전송 선로
US7138686B1 (en) * 2005-05-31 2006-11-21 Freescale Semiconductor, Inc. Integrated circuit with improved signal noise isolation and method for improving signal noise isolation
ES2359680T3 (es) * 2005-06-29 2011-05-25 Danieli Corus Technical Services Bv Separador ciclónico para gas de alto horno.
GB2428306B (en) * 2005-07-08 2007-09-26 Harald Philipp Two-dimensional capacitive position sensor
US20070012665A1 (en) * 2005-07-12 2007-01-18 Hewlett-Packard Development Company Lp Laser ablation
US7932898B2 (en) * 2005-09-20 2011-04-26 Atmel Corporation Touch sensitive screen
JP2007086990A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Smk Corp タッチパネル
US7864160B2 (en) * 2005-10-05 2011-01-04 3M Innovative Properties Company Interleaved electrodes for touch sensing
US7218124B1 (en) * 2006-01-30 2007-05-15 Synaptics Incorporated Capacitive sensing apparatus designs
US7538760B2 (en) * 2006-03-30 2009-05-26 Apple Inc. Force imaging input device and system
US8144125B2 (en) * 2006-03-30 2012-03-27 Cypress Semiconductor Corporation Apparatus and method for reducing average scan rate to detect a conductive object on a sensing device
US8264466B2 (en) * 2006-03-31 2012-09-11 3M Innovative Properties Company Touch screen having reduced visibility transparent conductor pattern
US20070229470A1 (en) * 2006-03-31 2007-10-04 Warren Snyder Capacitive touch sense device having polygonal shaped sensor elements
DE202007005237U1 (de) * 2006-04-25 2007-07-05 Philipp, Harald, Southampton Hybrides kapazitives Berührungsbildschirmelement
US20070262963A1 (en) * 2006-05-11 2007-11-15 Cypress Semiconductor Corporation Apparatus and method for recognizing a button operation on a sensing device
US8552989B2 (en) * 2006-06-09 2013-10-08 Apple Inc. Integrated display and touch screen
KR102125605B1 (ko) * 2006-06-09 2020-06-22 애플 인크. 터치 스크린 액정 디스플레이
US8599144B2 (en) * 2006-07-31 2013-12-03 Cypress Semiconductor Corporation Grounded button for capacitive sensor
US20080074398A1 (en) * 2006-09-26 2008-03-27 David Gordon Wright Single-layer capacitive sensing device
US20080136787A1 (en) * 2006-12-11 2008-06-12 I-Hau Yeh Touchpad having Single Layer Layout
US8026903B2 (en) * 2007-01-03 2011-09-27 Apple Inc. Double-sided touch sensitive panel and flex circuit bonding
US7812827B2 (en) * 2007-01-03 2010-10-12 Apple Inc. Simultaneous sensing arrangement
US9176318B2 (en) * 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
TW200842681A (en) * 2007-04-27 2008-11-01 Tpk Touch Solutions Inc Touch pattern structure of a capacitive touch panel
TW200844827A (en) * 2007-05-11 2008-11-16 Sense Pad Tech Co Ltd Transparent touch panel device
JP2008306080A (ja) * 2007-06-11 2008-12-18 Hitachi Ltd 光センサ素子、およびこれを用いた光センサ装置、画像表示装置
TW200901014A (en) * 2007-06-28 2009-01-01 Sense Pad Tech Co Ltd Touch panel device
US8258986B2 (en) * 2007-07-03 2012-09-04 Cypress Semiconductor Corporation Capacitive-matrix keyboard with multiple touch detection
KR100902051B1 (ko) * 2007-07-12 2009-06-15 주식회사 하이닉스반도체 오류 검사 코드 생성장치 및 방법
US20090054107A1 (en) * 2007-08-20 2009-02-26 Synaptics Incorporated Handheld communication device and method for conference call initiation
US8587559B2 (en) * 2007-09-28 2013-11-19 Samsung Electronics Co., Ltd. Multipoint nanostructure-film touch screen
US8633915B2 (en) * 2007-10-04 2014-01-21 Apple Inc. Single-layer touch-sensitive display
ES2542856T3 (es) * 2007-10-12 2015-08-12 Delphi International Operations Luxembourg S.À R.L. Mejoras relacionadas con bombas de combustible
US20090182189A1 (en) * 2007-11-06 2009-07-16 President And Fellows Of Harvard College Architectural Strategies to obtain light characteristics appropriate for human circadian stimulation
US20090135157A1 (en) * 2007-11-27 2009-05-28 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Capacitive Sensing Input Device with Reduced Sensitivity to Humidity and Condensation
US8405622B2 (en) * 2008-01-23 2013-03-26 Cypress Semiconductor Corporation Capacitance sensor, sense method, and manufacturing method
TWI361996B (en) * 2008-03-21 2012-04-11 Elan Microelectronics Corp Touch panel device
TWI389020B (zh) * 2008-03-25 2013-03-11 Elan Microelectronics 觸控面板裝置
US8487898B2 (en) * 2008-04-25 2013-07-16 Apple Inc. Ground guard for capacitive sensing
US20090273577A1 (en) * 2008-04-30 2009-11-05 Apple Inc. Moire-Free Touch Screen with Tilted or Curved ITO Pattern
US8120371B2 (en) * 2008-06-27 2012-02-21 Synaptics, Inc. Object position sensing apparatus
US8508495B2 (en) * 2008-07-03 2013-08-13 Apple Inc. Display with dual-function capacitive elements
US8629842B2 (en) * 2008-07-11 2014-01-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device
US20100059294A1 (en) * 2008-09-08 2010-03-11 Apple Inc. Bandwidth enhancement for a touch sensor panel
US8624845B2 (en) * 2008-09-26 2014-01-07 Cypress Semiconductor Corporation Capacitance touch screen
US8373667B2 (en) * 2008-11-05 2013-02-12 Massachusetts Institute Of Technology Flat panel display with capacitance sensing touch screen
EP2350790A4 (en) * 2008-11-06 2013-03-27 Uico Inc CAPACITIVE TOUCH SCREEN AND STRATEGIC GEOMETRIC ISOLATION ETCHING METHOD FOR THE PRODUCTION OF TOUCH SCREENS
US8187795B2 (en) * 2008-12-09 2012-05-29 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Patterning methods for stretchable structures
US8319747B2 (en) * 2008-12-11 2012-11-27 Apple Inc. Single layer touch panel with segmented drive and sense electrodes
US9261997B2 (en) * 2009-02-02 2016-02-16 Apple Inc. Touch regions in diamond configuration
US8537126B2 (en) * 2009-04-06 2013-09-17 Apple Inc. Integrated touch sensitive display gate driver
US8593410B2 (en) * 2009-04-10 2013-11-26 Apple Inc. Touch sensor panel design
US9916045B2 (en) * 2009-10-26 2018-03-13 Amtel Corporation Sense electrode design
US8933907B2 (en) * 2010-04-30 2015-01-13 Microchip Technology Incorporated Capacitive touch system using both self and mutual capacitance
US9652088B2 (en) * 2010-07-30 2017-05-16 Apple Inc. Fabrication of touch sensor panel using laser ablation

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040119701A1 (en) * 2002-12-19 2004-06-24 Mulligan Roger C. Lattice touch-sensing system
EP1986084A1 (en) * 2007-04-27 2008-10-29 TPK Touch Solutions Inc. Conductor pattern structure of capatitive touch panel
US20090205879A1 (en) * 2007-07-27 2009-08-20 Donnelly Corporation Touch sensor and method for manufacturing same
US20090277695A1 (en) * 2008-05-12 2009-11-12 Chen-Yu Liu Method of Forming Touch Sensing Circuit Pattern

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112230762A (zh) * 2014-11-03 2021-01-15 西北大学 用于具有同时感测和致动的触觉显示器的材料和结构

Also Published As

Publication number Publication date
US20110134050A1 (en) 2011-06-09
TWI444864B (zh) 2014-07-11
CN102141855B (zh) 2016-01-20
TW201131441A (en) 2011-09-16
WO2011071784A1 (en) 2011-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102141855B (zh) 使用激光烧蚀制造触摸传感器面板
EP2770409B1 (en) Touch panel and manufacturing method thereof
US9652088B2 (en) Fabrication of touch sensor panel using laser ablation
JP5066272B2 (ja) 入力装置及びその製造方法
JP5091182B2 (ja) タッチスクリーンパネル及びその製造方法
KR101719368B1 (ko) 정전용량 방식 터치 스크린 패널 및 그 제조방법
US20110099805A1 (en) Method of Fabricating Capacitive Touch-Screen Panel
CN202422087U (zh) 触摸位置感测面板
US20170192544A9 (en) Touch panel and manufacturing method thereof
KR20120018059A (ko) 터치 스크린 패널용 기판, 터치 스크린 패널 및 이들의 제조방법
CN103186273A (zh) 触控装置及其制造方法
CN106201136A (zh) 触控基板及其制作方法、触摸屏
KR101931179B1 (ko) 터치 패널 및 이의 제조방법
TWI512698B (zh) 具有觸控螢幕之平面面板顯示裝置
TW201243665A (en) Fabrication method of touch device
CN202433856U (zh) 触摸位置感测面板和触摸感测装置
KR20140143645A (ko) 터치 센서 패널 및 그 제조 방법
KR101118727B1 (ko) 박막형 멀티 터치 스크린 패널 및 그 제조방법
KR20160026359A (ko) 표시 패널, 마스크 및 마스크를 이용한 표시 패널의 제조 방법
JP5878593B2 (ja) 入力装置の製造方法
KR101325654B1 (ko) 터치 스크린 패널 및 제조방법
KR20180134818A (ko) 터치 패널 및 이의 제조방법
KR20130008745A (ko) 터치 패널의 제조 방법
KR102212918B1 (ko) 터치 패널
JP2011186977A (ja) 入力装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160120

Termination date: 20201207

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee