CN101893451B - 电容式传感器及陀螺仪 - Google Patents

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Abstract

一种电容式传感器，其包括定极板、动极板及弹性装置；定极板包括底板、侧壁、多个第一支架及多个定栅；侧壁呈圆环状，固设于底板边缘；多个第一支架间隔均匀地固设于侧壁内侧；多个定栅沿同一方向垂直固设于第一支架上；弹性装置一端固设于底板上，另一端承载动极板；动极板包括多个第二支架及多个动栅；多个第二支架间隔均匀地固设于弹性装置的另一端；多个动栅沿与定栅的朝向相反的方向垂直固设于第二支架上；定栅与动栅相互交错重叠形成电容的两极。所述电容式传感器通过弹性装置使定栅与动栅之间相对面积改变，实现对带动电容式传感器转动的装置的角速度量测。本发明还提供一种使用该电容式传感器的陀螺仪。

Description

电容式传感器及陀螺仪
技术领域
本发明涉及一种传感器，尤其涉及一种电容式传感器及使用该电容式传感器的陀螺仪。
背景技术
利用电容来测量两个物体之间的相对位置是众所周知的。传统的检测方法是把两片导电板分别固定在两个相对运动的物体上，使得两个导电板彼此对应且间隔一定距离。所述两片导电板和夹在中间的电介质（如空气）一起构成电容，当两片导电板之间的间距一定时，所述电容的电容量依赖于两片导电板彼此重叠的面积。当物体移动时，重叠面积发生变化，导致两片导电板之间的电容量产生相应的变化。根据电容量的变化就可确定物体之间的相对运动量。
然而，传统的电容式传感器一般用于量测两个物体之间的直线运动量或者物体的加速度，不能将物体的角速度上变化转化为导电板之间电容量的变化，从而无法实现对物体角速度的量测。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种能量测物体角速度的电容式传感器及使用该电容式传感器的陀螺仪。
一种电容式传感器，其包括一定极板、一动极板及一弹性装置；所述定极板包括一底板、一侧壁、多个第一支架及多个定栅；所述侧壁呈圆环状，固设于底板边缘；所述多个第一支架间隔均匀地固设于侧壁内侧；所述多个定栅沿同一方向垂直固设于第一支架上；所述弹性装置一端固设于底板上，另一端承载所述动极板；所述动极板包括多个第二支架及多个动栅；所述多个第二支架间隔均匀地固设于弹性装置的另一端；所述多个动栅沿与定栅的朝向相反的方向垂直固设于第二支架上；所述定栅与动栅相互交错重叠从而形成电容的两极。
一种陀螺仪，其包括一承载装置、一电路模块及三个电容式传感器；所述三个电容式传感器分别沿空间坐标轴的三个相互垂直的方向固设在承载装置上；所述电路模块对电容式传感器感测的信号进行处理；所述电容式传感器包括一定极板、一动极板及一弹性装置；所述定极板包括一底板、一侧壁、多个第一支架及多个定栅；所述侧壁呈圆环状，固设于底板边缘；所述多个第一支架间隔均匀地固设于侧壁内侧；所述多个定栅沿同一方向垂直固设于第一支架上；所述弹性装置一端固设于底板上，另一端承载所述动极板；所述动极板包括多个第二支架及多个动栅；所述多个第二支架间隔均匀地固设于弹性装置的另一端；所述多个动栅沿与定栅的朝向相反的方向垂直固设于第二支架上；所述定栅与动栅相互交错重叠从而形成电容的两极。
与现有技术相比，本发明提供的电容式传感器，通过可转动连接于弹性装置的动栅的转动，使动栅与其相互交错重叠的定栅之间相对面积发生改变，从而定极板与动极板之间电容量的变化，则实现对带动电容式传感器转动的装置的角速度量测。本发明还提供一种使用该电容式传感器的陀螺仪。
附图说明
图1为本发明实施方式提供的电容式传感器的结构示意图。
图2为图1中电容式传感器的使用状态示意图。
图3为使用图1中电容式传感器的陀螺仪的立体示意图。
具体实施方式
请参阅图1，本发明实施方式提供的一种电容式传感器100，其用于对物体的角速度进行量测。所述电容式传感器100包括一模拟装置10、一电容量测电路20及一数/模转化模块30。所述模拟装置10用于将角速度转化为电容量的变化，所述电容量测电路20用于将微小的电容量的变化转化为电压信号，所述数/模转化模块30将模拟的电压信号转化为数字信号。
所述模拟装置10呈圆柱状，其是采用MEMS(Micro Electro MechanicalSystems)技术在硅材料上蚀刻而成。该模拟装置10包括一定极板11、一动极板12及一弹性装置13。所述动极板12固设于弹性装置13上，并与所述定极板11相重叠。
所述定极板11包括一底板111、一侧壁112、多个第一支架113及多个定栅114。所述底板111为一圆形基板。所述侧壁112呈圆环状，其固设于底板111边缘，并环绕所述底板111。所述多个第一支架113间隔均匀的设置于侧壁112内侧，且每个第一支架113都垂直于底板111与侧壁112。所述定栅114为多个具有同一圆心的弧形片，所述定栅114沿顺时针方向垂直设置于第一支架113上。设置在同一第一支架113上的多个定栅114呈等间距排列，所述多个定栅114的弧长从靠近侧壁112的一端到远离侧壁112的另一端逐渐减小。本实施方式中，所述定极板11包括四个第一支架113，在每个第一支架113上设置有三个定栅114。
所述动极板12包括多个第二支架121及多个动栅122。所述动栅122为多个具有同一圆心的弧形片，所述动栅122沿逆时针方向垂直固设于第二支架121上。设置于同一第二支架121上的多个动栅122呈等间距排列，所述多个动栅122的弧长从靠近侧壁112的一端到远离侧壁112的另一端逐渐减小。本实施方式中，所述动极板12包括四个第二支架121，在每个第二支架121上设置有三个动栅122。
所述弹性装置13为一弹性材料螺旋上升绕设而成的塔簧，所述弹性装置13由下至上的旋转半径逐渐增大。当在所述弹性装置13的外圈上施加扭力时，所述弹性装置13可向其圆心处收缩或者相对其圆心向外扩展。可以理解，当在所述弹性装置13的外圈上施加压力时，所述弹性装置13的外圈可向其圆心压缩或远离圆心而伸长。所述弹性装置13也可以是弹性材料在同一表面上依次绕设而成的涡卷簧。
在组装过程中，所述弹性装置13圆心处的一端设置于底板111的中心，所述第二支架121间隔均匀的设置在所述弹性装置13的外圈上，且所述第二支架121与所述第一支架113依次交替使得所述定栅114与动栅122相互交错从而形成电容的两极。为提高电容式传感器100的灵敏度，可减小定栅114与动栅122之间的间距，或提高定栅114和动栅122的片数以增加定极板11与动极板12重叠的面积。
请参阅图2，在封装过程中，所述电容式传感器100被封装在一方形壳体200内，所述定极板11固设于所述方形壳体200内。所述方形壳体200包括一电源端201、一接地端202及一信号端203。所述信号端203与数模转化模块30相电性连接。
在量测过程中，封装后所述电容式传感器100放置于待测物体300上，当待测物体300沿如图2所示方向A转动时，由于所述定极板11固设于方形壳体200内，则定极板11与待测物体300一起沿方向A转动。而所述动极板12在惯性的作用下保持不动，所述动极板12相对定极板11沿与方向A相反的方向转动。根据公式：C=εε0A/δ，其中C为电容量，ε0为真空介电常数，ε为极板间介质的相对介电常数，A为极板间相对面积，δ为极板间距。由于动极板12相对定极板11转动过程中，定极板11与动极板12的重叠面积发生改变，且其他参数都没有发生变化，则定极板11与动极板12之间的电容量发生变化。本实施方式中，所述沿方向A的角速度越大，则定极板11与动极板12的重叠面积就越大；反之，则越小。所述电容量测电路20将当前状态定极板11与动极板12之间的电容量的微小变化转化为电压信号。数/模转化模块30将电压信号转化为数字信号，从而完成对待测物体300的角速度的量测。
可以理解，所述电容式传感器100也可用于线速度的量测，当所述待测物体300沿垂直于底板111的方向运动时，所述定极板11与动极板12的重叠面积发生改变，所述电容量测电路20也可根据当前电容量的变化量测出待测物体300的线速度。
请参阅图3，本发明还提供一种陀螺仪400，其包括一承载装置410、一电路模块420及三个电容式传感器100a、100b、100c；所述三个电容式传感100a、100b、100c器分别沿空间坐标轴的三个相互垂直的方向固设在承载装置410上；所述电路模块420对电容式传感器100a、100b、100c感测的信号进行处理；所述电容式传感器100a、100b、100c分别对空间坐标轴X、Y、Z三个方向上的角速度进行量测。可以理解，所述陀螺仪400也可用于对空间坐标系的线速度的量测。
本发明实施方式提供的电容式传感器及陀螺仪，通过可转动连接于弹性装置的动栅的转动，使动栅与其相互交错重叠的定栅之间相对面积发生改变，从而定极板与动极板之间电容量的变化，则实现电容式传感器对角速度的量测。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种电容式传感器，其包括一定极板、一动极板及一弹性装置；所述定极板包括一底板、一侧壁、多个第一支架及多个定栅；所述侧壁呈圆环状，固设于底板边缘；所述多个第一支架间隔均匀地固设于侧壁内侧；所述多个定栅沿同一方向垂直固设于第一支架上；所述弹性装置一端固设于底板上，另一端承载所述动极板；所述动极板包括多个第二支架及多个动栅；所述多个第二支架间隔均匀地固设于弹性装置的另一端；所述多个动栅沿与定栅的朝向相反的方向垂直固设于第二支架上；所述定栅与动栅相互交错重叠从而形成电容器的两极。
2.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述电容式传感器是采用硅材料制成。
3.如权利要求2所述的电容式传感器，其特征在于：所述电容式传感器是采用MEMS技术制造。
4.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述电容式传感器还包括一电容量测电路及一与所述电容量测电路电连接的数/模转化模块，所述定极板与动极板分别与电容量测电路电性连接。
5.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述定栅与动栅都呈圆弧状。
6.如权利要求5所述的电容式传感器，其特征在于：所述定栅的弧长从靠近侧壁的一端到远离侧壁的另一端逐渐减小，所述动栅的弧长从靠近侧壁的一端到远离侧壁的另一端逐渐减小。
7.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述底板为一圆形基板。
8.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述弹性装置为弹性材料螺旋上升绕设而成的塔簧，所述弹性装置的旋转半径由下至上逐渐增大。
9.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于：所述弹性装置为弹性材料在同一表面上依次绕设而成的涡卷簧。
10.一种陀螺仪，其包括一承载装置、一电路模块及三个电容式传感器；所述三个电容式传感器分别沿空间坐标轴的三个相互垂直的方向固设在承载装置上；所述电路模块对电容式传感器感测的信号进行处理；所述电容式传感器包括一定极板、一动极板及一弹性装置；所述定极板包括一底板、一侧壁、多个第一支架及多个定栅；所述侧壁呈圆环状，固设于底板边缘；所述多个第一支架间隔均匀地固设于侧壁内侧；所述多个定栅沿同一方向垂直固设于第一支架上；所述弹性装置一端固设于底板上，另一端承载所述动极板；所述动极板包括多个第二支架及多个动栅；所述多个第二支架间隔均匀地固设于弹性装置的另一端；所述多个动栅沿与定栅的朝向相反的方向垂直固设于第二支架上；所述定栅与动栅相互交错重叠从而形成电容器的两极。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102840822B (zh) * 2012-08-17 2015-04-15 华侨大学 多环并联式电容位移传感器
USD733959S1 (en) * 2014-08-05 2015-07-07 General Luminaire Co., Ltd. Spliceable lamp panel
USD732730S1 (en) * 2014-08-05 2015-06-23 General Luminaire Co., Ltd. Spliceable lamp panel
CN106289253B (zh) * 2016-09-12 2019-07-02 上海航天控制技术研究所 一种船用轻小型惯性姿态敏感器
CN107525461B (zh) * 2017-10-11 2024-02-06 兰州理工大学 隧道变形测量装置及隧道结构
CN109353985B (zh) * 2018-10-15 2021-06-11 北京航天控制仪器研究所 一种微机械静电驱动的弧形梳齿结构
CN109724632A (zh) * 2019-01-24 2019-05-07 长春通视光电技术有限公司 二维曲面电容式编码器
CN112798818B (zh) * 2020-12-30 2023-01-03 中国人民解放军国防科技大学 一种微机械加速度计

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3873916A (en) * 1972-09-07 1975-03-25 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag Capacitive sensor for measuring displacement or position
CN1044853A (zh) * 1990-02-19 1990-08-22 许建平 电容式定向倾斜检测角位移传感器
CN2397473Y (zh) * 1999-09-29 2000-09-20 中国科学院上海冶金研究所 栅型结构电容式微机械谐振陀螺
CN1661332A (zh) * 2004-02-25 2005-08-31 株式会社电装 旋转角度传感器
CN1710383A (zh) * 2005-06-17 2005-12-21 东南大学 调谐式微机电陀螺
CN1782713A (zh) * 2004-12-01 2006-06-07 株式会社电装 具有沿转动方向振荡的惯性质量块的角速度探测器
CN1985149A (zh) * 2004-07-12 2007-06-20 住友精密工业株式会社 角速度传感器
CN101135563A (zh) * 2007-10-15 2008-03-05 北京航空航天大学 一种双质量块调谐输出式硅mems陀螺仪

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5025346A (en) * 1989-02-17 1991-06-18 Regents Of The University Of California Laterally driven resonant microstructures
FR2700014B1 (fr) * 1992-12-08 1995-04-28 Commissariat Energie Atomique Capteur capacitif sensible aux accélérations orientées dans toutes les directions d'un plan.
JPH09145740A (ja) * 1995-09-22 1997-06-06 Denso Corp 加速度センサ
US5955668A (en) * 1997-01-28 1999-09-21 Irvine Sensors Corporation Multi-element micro gyro
US6199430B1 (en) * 1997-06-17 2001-03-13 Denso Corporation Acceleration sensor with ring-shaped movable electrode
US6257062B1 (en) * 1999-10-01 2001-07-10 Delphi Technologies, Inc. Angular Accelerometer
KR100331453B1 (ko) * 2000-07-18 2002-04-09 윤종용 시분할 다중화 방식을 이용한 정전형 ｘｙ 스테이지의위치 검출 장치
US6666092B2 (en) * 2002-02-28 2003-12-23 Delphi Technologies, Inc. Angular accelerometer having balanced inertia mass
US6718826B2 (en) * 2002-02-28 2004-04-13 Delphi Technologies, Inc. Balanced angular accelerometer
US7277267B1 (en) * 2004-05-17 2007-10-02 Wayne Allen Bonin Multi-layer capacitive transducer
EP1519197B1 (en) * 2003-09-26 2007-11-14 STMicroelectronics S.r.l. Planar inertial sensor, in particular for portable devices having a stand-by function
DE602006010534D1 (de) * 2006-07-14 2009-12-31 St Microelectronics Srl Mikro-Elektromechanischer Inertialsensor, insbesondere für Freifall-Anwendungen
US8250921B2 (en) * 2007-07-06 2012-08-28 Invensense, Inc. Integrated motion processing unit (MPU) with MEMS inertial sensing and embedded digital electronics
US7997136B2 (en) * 2008-10-08 2011-08-16 Honeywell International Inc. MEMS force balance accelerometer

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3873916A (en) * 1972-09-07 1975-03-25 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag Capacitive sensor for measuring displacement or position
CN1044853A (zh) * 1990-02-19 1990-08-22 许建平 电容式定向倾斜检测角位移传感器
CN2397473Y (zh) * 1999-09-29 2000-09-20 中国科学院上海冶金研究所 栅型结构电容式微机械谐振陀螺
CN1661332A (zh) * 2004-02-25 2005-08-31 株式会社电装 旋转角度传感器
CN1985149A (zh) * 2004-07-12 2007-06-20 住友精密工业株式会社 角速度传感器
CN1782713A (zh) * 2004-12-01 2006-06-07 株式会社电装 具有沿转动方向振荡的惯性质量块的角速度探测器
CN1710383A (zh) * 2005-06-17 2005-12-21 东南大学 调谐式微机电陀螺
CN101135563A (zh) * 2007-10-15 2008-03-05 北京航空航天大学 一种双质量块调谐输出式硅mems陀螺仪

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