CN101726793A - 光波导路及其制造方法 - Google Patents

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松尾直之
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Abstract

本发明提供一种光波导路及其制造方法，该光波导路能不易受到因冲击、热而造成的膨胀、收缩等影响，长期发挥稳定的光路变换性能且可靠度高，该光波导路的制造方法不损伤光波导路的外表面，并在位于其内侧的芯层的任意位置上形成光路变换构造，由此能高效率地制造上述可靠度高的光波导路。该光波导路包括作为光路的芯层(1)和夹持-覆盖该芯层的2个敷层(2、2’)，在其内部的芯层的规定区域利用通过上述任一个敷层(2)或(2’)而照射来的多次激光不损伤敷层地有选择地形成有由沿着相对于该芯层的光轴(L)方向倾斜所需要的角度α的假想平面(P-P’)、以规定间隔纵横排列的光路变换用的空隙(C、C、......)构成的光路变换构造。

Description

光波导路及其制造方法
技术领域
本发明涉及在通过芯的光的光路上具有光路变换机构的光波导路及其制造方法。
背景技术
光波导路被装入光波导路器件、光集成电路、光布线基板等的光器件中，广泛地应用于光通信、光信息处理以及其它的一般光学领域。此外，在上述光器件中，例如，为了使来自发光元件的光信号经由光波导路传递到受光元件，有时在光波导路的端部或其它规定区域将光路变换90°。
即，如图3所示，通过将光波导路的光轴(光路)L方向(图示x方向)的一端部或规定区域形成为相对于光波导路的光轴倾斜45°的倾斜面M、M’(微反射镜)，使来自发光元件等的光信号在该倾斜面M、M’反射，将光路变换90°。另外，在图3中，附图标记1是芯层、2是第1(下)敷层、2’是第2(上)敷层、B是切削加工用的刀片(blade)。此外，具有这样的光路变换机构的光波导路作为“光变换元件”用于光电混合基板等。
作为上述光波导路的倾斜面(微反射镜)的形成方法，采用以下的方法：使用金刚石切割刀片(diamond dicing blade)将光波导路的一部分或一端面切削或切断加工成45°的方法、利用激光进行切断等的方法、利用反应性离子蚀刻进行制作的方法等(例如，参照专利文献1～3等)。
其中，使刀尖具有倾斜角的薄的金刚石切割刀片旋转，使该刀片B垂直于光波导路地抵接于光波导路并进行加工的方法(切割刀片法：参照图3)通过选定适当的刀片B，能够容易地形成平滑性优异的镜面(反射镜)，因此，被广泛地应用(参照专利文献4、5)。
专利文献1：日本特开平10-300961号公报
专利文献2：日本特开2005-25019号公报
专利文献3：日本特开2006-251219号公报
专利文献4：日本特开2006-201372号公报
专利文献5：日本特开2007-108228号公报
可是，在利用上述那样的切割刀片法形成光波导路变换用的微反射镜M、M’的方法中，由于使用相对于光路具有足够大小(直径)的圆板状刀片B进行加工，因此，在具有互相平行且接近地配置的多个光波导路的情况下，会切削到与加工对象的光波导路相邻的光波导路，从而存在无法在各光路的长度方向上的分别不同的位置形成微反射镜M、M’这样的问题。
此外，由于切削(或切断)V字状的槽，所以会自切削位置(微反射镜部位)发生裂纹，该裂纹因冲击、热引起的膨胀、收缩等扩大，在最坏的情况下，光波导路整体产生龟裂、断裂，也有可能损伤配设有该光波导路的电路基板等。
发明内容
本发明是鉴于这种情况而提出的，其目的在于提供一种能够不易受到因冲击、热而造成的膨胀、收缩等的影响，长期发挥稳定的光路变换性能的、可靠度高的光波导路，以及提供一种通过不损伤光波导路的外表面地在位于其内侧的芯层的任意位置上形成光路变换构造，由此能够高效率地制造上述可靠度高的光波导路的光波导路的制造方法。
为了实现上述目的，本发明的第1技术方案的光波导路包括作为光路的芯层、夹持、覆盖该芯层的2个敷层，其中，利用通过上述任一个敷层照射来的多次的激光，在上述芯层的规定区域沿着相对于该芯层的光轴方向以所需要的角度倾斜的假想平面、以规定间隔有选择地形成有纵横排列的多个光路变换用间隙。
此外，本发明的第2技术方案的光波导路的制造方法是制造由作为光路的芯层和夹持、覆盖该芯层的2个敷层构成的、在上述芯层的规定区域具有以规定的角度反射入射到上述芯层的光的光路变换构造的光波导路的方法，其中，包括：将由上述芯层和各敷层构成的被加工物载置到工作台上的工序；通过对上述芯层照射自脉冲激光器射出并被聚光在规定深度的激光的单脉冲，在上述芯层的希望的部位形成独立的空隙的工序；使上述工作台和上述激光的焦点沿规定方向相对移动规定距离的工序；反复进行上述空隙形成工序和上述相对移动工序，在相对于上述芯层的光轴以所需要的角度倾斜的假想平面内以规定间隔形成纵横排列的多个独立的空隙，不损伤上述敷层地在上述芯层的规定区域有选择地形成上述光路变换构造的工序。
即，本发明人为了解决上述课题反复进行了深入地研究，结果发现，通过使用能振荡以皮秒(ps)或飞秒(fs)为单位的超短脉冲光的脉冲激光器，能够不损伤覆盖芯层的敷层地仅在内部的芯层中整齐地排列形成相互独立的微小的“空隙”，利用由这些空隙构成的矩阵能高效率地反射通过芯层内部的光，从而完成了本发明。
如上所述，因为本发明的光波导路利用通过敷层而照射来的激光，在被2个敷层夹持、覆盖的芯层的规定区域沿着相对于该芯层的光轴方向以所需要的角度倾斜的假想平面、以规定间隔形成有纵横排列的多个间隙，所以这些空隙的矩阵能够作为沿上述假想平面形成的微反射镜发挥功能，能够将通过芯层的光的光路变换(反射)成任意的方向。此外，利用该空隙的光路变换构造不受以往的利用切割刀片法形成微反射镜那样的位置上的制约，也不会产生成为裂纹产生、成长点的切削角。而且，该光波导路不损伤敷层的外表面，上述空隙也能以不暴露于大气中的状态被稳定地保存。因此，本发明的光波导路不易受来自外部的冲击、温度变化、尘土、污垢等的影响，能够长期地发挥稳定的光路变换性能。
特别是在上述各空隙与相邻的空隙不连通，该各空隙的大小为直径5～20μm，且上述相邻的各空隙的间隔为1～20μm的情况下，优选能够高效率地变换通过芯层的光的光路(高效率地反射光)。
此外，作为上述激光的光源，优选脉冲宽度为5000ps以下的皮秒脉冲激光器或飞秒脉冲激光器。利用上述脉冲激光器，能够在芯层中有选择地且高效率地形成上述空隙。
接着，制造本发明的光波导路的方法如下所述：在工作台上载置由上述芯层和各敷层构成的被加工物，利用脉冲激光器对规定的深度聚光照射激光，在上述芯层的希望部位形成独立的空隙。然后，使上述工作台或上述激光的焦点沿规定方向相对移动规定量。之后，反复进行激光脉冲的照射和工作台的相对移动，在上述芯层的规定区域形成由沿着相对于该芯层的光轴方向以所需要的角度倾斜的假想平面以规定的间隔纵横排列的多个空隙构成的光路变换构造。
因此，即使在具有相互平行且接近地配置的多个光波导路的情况下，也能够不影响到与加工对象的光波导路相邻的、加工对象以外的光波导路地在各光路的长度方向上的自由位置形成光路变换构造。而且，采用上述制造方法，因为不损伤敷层的外表面等，这些空隙也不会暴露于大气中，所以不会出现像切割刀片法那样的裂纹的发生、成长，也不可能在光波导路上产生龟裂、断裂，或损伤配设有该光波导路的电路基板等。因此，采用本发明的光波导路的制造方法，能够制造使用寿命长且可靠度高的光波导路。
此外，上述光波导路的制造方法不需要更换磨刀石，制造装置的维护容易，且是非接触加工，因此不确定因素较少，加工的周期(间隔)也较短。因此，采用本发明的光波导路的制造方法，在提高产品的成品率的基础上，能够高效率地制造具有上述光路变换构造的光波导路。
特别是作为上述脉冲激光器的激光，在使用波长：300～2500nm、脉冲宽度：5000ps以下、脉冲能量：100nJ～1mJ/脉冲、能量密度：0.01～1J/cm2的激光脉冲的情况下，优选能够以1脉冲高效率地形成上述直径为5～20μm且其间隔为1～20μm的空隙。
即，在本发明中，因为采用了利用通过敷层照射的激光来有选择地加工被敷层覆盖的芯层的方法，所以作为使用的脉冲激光器，优选使用经过多光子吸收过程的f飞(10-15)秒、p皮(10-12)秒的激光器那样的超短脉冲激光器。
此外，作为使用的激光的波长，优选敷层的光吸收较少的300～2500nm，若是该范围的波长，通过单光子吸收敷层被加工(损伤)的可能性较少。
而且，使用的激光的脉冲宽度最好使用经过上述多光子吸收过程的概率较高的脉冲宽度的激光，可以为5000ps(皮秒)以下，优选为1000ps以下，更优选为100ps以下。另外，下限没有限制。
此外，使用的激光的脉冲能量和能量密度只要能适合于芯层的材料物性即可，脉冲能量的优选范围为1脉冲100nJ～1mJ。另外，在脉冲能量小于100nJ/脉冲时，难以充分地加工芯层，相反地，在脉冲能量大于1mJ/脉冲时，有造成擦伤(abrasion)而难以高精度地形成空隙的倾向。
同样地，激光的能量密度的优选范围是0.01～1J/cm2，在小于0.01J/cm2时，有难以充分地加工芯层的倾向，此外，在能量密度大于1J/cm2时，有造成擦伤而难以高精度地形成空隙的倾向。
附图说明
图1的(a)、(b)均是表示本发明的实施方式的光波导路的光路变换构造的示意图。
图2是表示制作本发明的实施方式的光波导路的光路变换构造的装置的构成的示意图。
图3是表示形成以往的光波导路的光路变换构造(微反射镜)的方法的示意图。
具体实施方式
接着，基于附图详细说明本发明的实施方式。
图1的(a)、(b)是说明本发明的实施方式的光波导路构造的示意图。另外，将沿着自芯层1的端部(省略图示)入射来的光的光路(光轴L)的光波导路的长度方向作为x方向，将与该光轴L正交的光波导路的宽度方向作为y方向，将与该光轴L正交的光波导路的厚度方向作为z方向来进行说明。此外，在图中构成光波导路的芯层和敷层是被夸张其厚度地进行描画的。
本实施方式的光波导路的基本构成与以往的光波导路相同，由作为光路的芯层1、自上下方向(图示z方向)夹持、覆盖该芯层1的2个敷层2、2’构成。此外，在该光波导路的芯层1的局部区域利用通过任一个敷层2、2’照射来的多次的激光(脉冲激光)有选择地形成有多个光路变换用的空隙C、C、......。
这些空隙C、C、......形成为如下：各空隙C的大小是直径5～20μm，相邻的各空隙C的间隔是1～20μm，这些空隙C、C、......整体形成为沿着相对于芯层1的光轴L倾斜角度α(本实施方式中为45°)的假想平面P-P’纵横排列的矩阵状。
在此，在自芯层1的光轴L的一方方向入射例如来自发光元件等的光信号的情况下，沿着上述假想平面P-P’排列成矩阵状的各个空隙C以角度α分别反射通过芯层1的光，因此，由这些空隙C构成的假想平面P-P’能够作为一面微反射镜发挥功能，能够变换上述光的光路(光轴)。
此外，上述实施方式中的各空隙C不损伤敷层2、2’地仅有选择地形成在其内部的芯层1部位，所以以不暴露于大气中的状态进行稳定地保存。因此，本实施方式的光波导路中的光路变换构造不易受来自外部的冲击、温度变化、尘土、污垢等的影响，能够长期地发挥稳定的光路变换性能。
另外，作为本实施方式中所使用的光波导路，优选利用脉冲激光器加工容易的聚合物系光波导路。作为敷层2、2’的形成材料，列举有环氧树脂、聚酰亚胺树脂、丙烯酸树脂、光聚合性树脂、感光性树脂等。其中，从透明性、耐热性、耐湿性方面考虑，优选环氧树脂，特别是更优选含芴结构环氧树脂和脂环式环氧树脂的混合树脂。此外，作为芯层1的形成材料，通常列举有由环氧树脂、聚酰亚胺树脂或丙烯酸树脂等构成的光聚合性树脂，其中，从满足透明性、耐热性、耐湿性的所有方面考虑，能够优选使用含芴结构环氧树脂和氧杂环丁烷化合物的混合树脂。
接着，对制造上述光波导路的装置和方法进行说明。
图2是用于在本实施方式的芯层1中形成由上述空隙C构成的光路变换构造的装置的概略构成图。另外，在图中，附图标记L O表示激光振荡器、AT表示增益控制器(输出调整器)、MS表示机械式闸门、OL表示物镜、ST表示XY工作台、WP表示工件(被加工物)、M1～M3表示全反射镜。
此外，上述工作台ST是沿图示xy的平面2方向能独立地精密地控制其位置的工作台(加工台)，使用的激光加工装置构成为，通过使聚光用物镜OL沿z方向上下运动，能够调整激光束相对于工作台ST上的工件WP的焦点距离。
另外，工件WP和激光束焦点的相对移动(加工的定位)除了如上所述那样地组合使用沿xy的平面2方向能独立地控制的精密工作台ST(加工台)和能够沿上下(z方向)改变照射深度的激光装置的方法之外，还能够利用使用沿相互正交的xyz3方向能独立地控制的精密工作台(加工台)使工件移动的方法来进行，或通过固定工件，利用具有电流扫描(电流反射镜)的激光装置扫描、照射激光的方法来进行。
在芯层1中形成由空隙C构成的光路变换构造的工序如下：首先，将由上述芯层1和各敷层2、2’构成的工件WP以其一个敷层(该情况下为第2敷层2’)朝上地载置在工作台ST上，用固定工具等固定其在该工作台ST上的位置。
接着，将通过了输出调整用增益控制器AT、照射脉冲数控制用机械式闸门MS和聚光用物镜OL(倍率10倍)的激光束的聚光焦点调整为对合上述芯层1的规定部分之后，利用激光振荡器LO振荡激光脉冲，对芯层1照射该1个脉冲，形成1个“空隙”。另外，由激光振荡器LO振荡的激光脉冲是脉冲宽度为5000ps以下的皮秒脉冲或飞秒脉冲。
并且，在上述1个“空隙”形成后，使工作台ST沿图示y方向移动规定量，以芯层1的宽度(y方向的长度)的量反复进行利用上述1个脉冲的振荡形成空隙和移动工作台ST，形成沿y方向的1列空隙(该情况下为最靠近敷层2’的最上层的列)。
之后，使工作台ST沿x方向移动规定量，使激光束的聚光焦点沿z方向移动规定量后，与上述相同地反复利用1个脉冲的激光照射而形成空隙和将工作台ST向y方向移动，形成沿y方向的另1列空隙。
这样，分别一点一点地沿着x方向和y方向错开地形成沿着y方向的1列空隙，最终，能够在芯层1的任意位置上有选择地形成如图1的(b)所示的“沿假想平面P-P’排列成矩阵状的空隙C的集合体”。
如上所述，上述光波导路的制造方法能够不损伤敷层2、2’等地仅在芯层1中有选择地形成这些空隙C。此外，因为这些空隙C不被暴露于大气中，不会发生以往的切割刀片法那样的裂纹的产生、成长，所以不用担心光波导路会产生龟裂、断裂，或损伤配设有该光波导路的电路基板等。因此，采用本实施方式的光波导路的制造方法，能够制造使用寿命长且可靠度高的光波导路。
而且，上述光波导路的制造方法不需要如以往的切割刀片法那样更换磨刀石，制造装置的维护容易，且由于是非接触加工，因此不确定因素较少，加工的周期(间隔)也较短。因此，采用本实施方式的光波导路的制造方法，能够高效率地制造具有上述光路变换构造的光波导路。
另外，在本实施方式中，列举了在光波导路的芯层1中形成相对于光轴L倾斜45°的光路变换构造的例子，但上述假想平面P-P’相对于光轴L倾斜的角度α没有特别的限定，例如能够在10～80°的范围内自由地设定。
此外，采用本实施方式的光波导路的制造方法，即使在存在互相平行且接近地配置的多个光波导路的情况下，也不会影响到与加工对象的光波导路相邻的、加工对象以外的光波导路，能够在各光路的长度方向上的自由位置形成光路变换构造。
接着，说明本发明的实施例。但是，本发明并不限定于实施例。
实施例
光波导路薄膜的制作
首先，以下述的顺序制作了利用激光照射进行加工的光波导路薄膜。
敷层的形成材料
成分A：双苯氧基乙醇芴缩水甘油醚、35重量份；
成分B：作为脂环式环氧树脂的3’，4’-环氧环己基甲基-3，4-环氧己烷羧酸酯(大赛璐化学公司制造、CELLOXIDE2021P)、40重量份；
成分C：作为具有环氧环己烷骨格的脂环式环氧树脂的(3’，4’-环氧环己烷)甲基-3’，4’-环氧环己基-羧酸酯(大赛璐化学公司制造、CELLOXIDE2081)、25重量份；
成分D：4，4’-双[二(β羟基乙氧基)苯基锍]苯硫醚-双-六氟锑酸盐的50％碳酸丙二酯溶液(光酸发生剂)：1重量份，
通过混合上述成分A、B、C、D，调制了下(第1)敷层和上(第2)敷层的形成材料。
芯层的形成材料
成分A：双苯氧基乙醇芴缩水甘油醚、70重量份；
成分E：1，3，3-三{4-[2-(3-氧杂环丁烷基)]丁氧基苯基}丁烷、30重量份；
成分D：4，4’-双[二(β羟基乙氧基)苯基锍]苯硫醚-双-六氟锑酸盐的50％碳酸丙二酯溶液(光酸发生剂)：0.5重量份，
通过将上述成分A、E、D溶解到乳酸乙酯28重量份中，从而调制芯层的形成材料。
下敷层的制作
在玻璃板上用双面粘接带粘贴PET薄膜，在该PET薄膜上利用旋涂法涂敷上述“敷层的形成材料”，形成了膜厚25μm的涂敷层。之后，用超高压水银灯对涂敷层的整个面照射紫外线(i线：以365nm为基准累计光量为1000mJ/cm2)，使该涂敷层固化，获得了下敷层。
芯层的制作
接着，在上述下敷层上表面利用旋涂法涂敷上述“芯层的形成材料”，通过在80℃的加热板上加热5分钟，使溶剂挥发，形成了芯层形成用的树脂层。另外，芯层用的树脂层的涂敷厚度在进行上述溶剂挥发处理后调整为膜厚为50μm。接着，隔着具有规定的开口图案(开口宽度：50μm、相邻开口之间的间隙：200μm)的光掩模，用超高压水银灯照射紫外线(i线：以365nm为基准累计光量为2000mJ/cm2)，并进行了曝光。然后，在120℃的加热板上加热15分钟，使反应结束之后，通过用γ-丁内酯的10重量％水溶液进行显影，溶解去除了未曝光部分。之后，通过进行了120℃×15分钟的加热干燥处理，形成了上述下敷层上的芯层(膜厚50μm)。
上敷层的制作
接着，在上述上敷层上的芯层的上表面覆盖该芯层地利用旋涂法涂敷上述“敷层的形成材料”，形成了膜厚约为25μm的上敷层用的涂敷层。另外，该上敷层用的涂敷层的涂敷厚度调整为除了PET薄膜之外的“光波导路薄膜”的总厚度为100μm。此外，相邻的芯层之间的槽(上述未曝光部分)也被上述敷层的形成材料埋入。之后，与上述下敷层相同地，用超高压水银灯对涂敷层的整个面照射紫外线(i线：以365nm为基准累计光量为1000mJ/cm2)，使该涂敷层固化，获得了在2个敷层之间夹持-覆盖有芯层的光波导路薄膜(总厚度为100μm)。另外，在以下的激光加工实验中，在剥离了上述PET薄膜的状态下使用。
激光加工装置
将飞(10-15)秒fs脉冲激光器(Cyber Laser公司制，最高平均输出功率：0.5W，重复频率：1kHz)作为激光振荡器来使用。
激光脉冲
激光调整为波长：800nm、脉冲宽度：150fs以下、脉冲能量：1.5μJ/脉冲(功率：0.0015W)。
装置的整体构成与上述实施方式(图2)的例子相同，利用全反射镜M 1～M3的光路，将通过了输出调整用增益控制器AT、照射脉冲数控制用机械式闸门MS和聚光用物镜OL(倍率10倍)的激光束的聚光焦点调整为对合上述光波导路薄膜的芯层的规定部分。
此外，固定工件(被加工物)的工作台ST也是由能够沿xy的平面2方向独立地以μm数量级控制其位置的工作台(加工台)构成。另外，激光束的焦点距离(z方向)的改变通过调整相对于上述聚光用物镜OL的对象物的高度来进行。
光路变换用空隙的形成
首先，将由上述芯层和各敷层构成的工件WP以其一个敷层(该情况下为上敷层)朝上地载置在工作台ST上，用固定工具等固定其在该工作台ST上的位置。
接着，利用调整好的激光振荡器LO振荡上述“激光脉冲”，对芯层的规定位置照射该1个脉冲，形成1个“空隙”(平均直径：10μm)。然后，形成上述1个“空隙”后，使工作台ST沿图示y方向移动5μm，以芯层的宽度(y方向的长度：50μm)的量反复进行利用上述1个脉冲的振荡形成空隙和移动工作台ST，形成沿y方向的另1列空隙(该情况下为最靠近上敷层的最上层的列)。
之后，使工作台ST沿x方向移动5μm，使激光束的聚光焦点沿z方向移动5μm后，与上述相同地反复进行利用1个脉冲的激光照射而形成空隙和将工作台ST向y方向移动5μm，形成沿y方向的另1列空隙。
这样，分别一点一点地沿着x方向和y方向错开地形成沿着y方向的1列空隙，作为光波导路薄膜的光路变换构造，能够不损伤敷层地在芯层的任意位置上有选择地形成如图1的(b)那样的“沿相对于光轴L倾斜45°的假想平面纵横(矩阵状)排列的空隙C的集合体”。
接着，以下述的方法进行了获得的光波导路薄膜的性能确认实验。
通过上敷层自上方(z方向)垂直入射的光(VCSEL光源：850nm)接触到由上述实施例获得的光波导路薄膜的“由空隙C的集合体构成的光路变换构造”部位，利用该光路变换构造将光路变换90°，用受光元件观察沿着芯层到达该光波导路的端部的光，测量了其耦合损失。另外，作为发光元件，使用了VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)光源(Ulm Photonics公司制)，经由多模光纤进行了照射。此外，作为受光元件，使用了光电检测器PD(Roithner Laser Technik公司制)。
此外，耦合损失(dB)是通过从用上述PD测量发光元件的光量I0和将光路变换90°后自光波导路端部射出的光量I中减去预先求得的光波导路芯的传播损失(0.15dB/cm)而计算得出的。
结果可知，将光路变换90°的耦合损失约为2.0dB，与以往的切割刀片法的45°的微反射镜(耦合损失：0.8dB)相比，在实用上具有充分的光路变换性能。此外，利用显微镜等光学观察确认到，获得的光波导路(薄膜)在敷层的外表面和内部没有损伤等问题，上述各空隙C仅在芯层中有选择地形成。

Claims (5)

1.一种光波导路，包括作为光路的芯层和夹持、覆盖该芯层的2个敷层，其特征在于，利用通过上述任一个敷层而照射来的多次的激光，在上述芯层的规定区域沿着相对于该芯层的光轴方向以所需要的角度倾斜的假想平面、以规定间隔有选择地形成有纵横排列的多个光路变换用间隙。
2.根据权利要求1所述的光波导路，上述各空隙与相邻的各空隙不连通，该各空隙的大小为直径5～20μm，且上述相邻的各空隙的间隔为1～20μm。
3.根据权利要求1或2所述的光波导路，上述激光的光源是脉冲宽度为5000ps以下的皮秒脉冲激光器或飞秒脉冲激光器。
4.一种光波导路的制造方法，是制造由作为光路的芯层和夹持、覆盖该芯层的2个敷层构成的、且在上述芯层的规定区域具有以规定的角度反射入射到该芯层的光的光路变换构造的光波导路的方法，其特征在于，包括：将由上述芯层和各敷层构成的被加工物载置到工作台上，利用脉冲激光器对规定的深度聚光照射激光，在上述芯层的希望的部位形成1个独立的空隙后，使上述工作台或上述激光的焦点沿规定方向相对移动规定量，利用新的激光脉冲，在形成与上述空隙不连通的另外的空隙的同时反复进行上述激光脉冲的照射与工作台的相对移动，在上述芯层的规定区域不损伤上述敷层地有选择地形成光路变换构造，该光路变换构造由沿相对于该芯层的光轴方向以所需要的角度倾斜的假想平面、以规定间隔纵横排列的多个空隙构成。
5.根据权利要求4所述的光波导路的制造方法，上述脉冲激光器的激光的波长：300～2500nm、脉冲宽度：5000ps以下、脉冲能量：100nJ～1mJ/脉冲、能量密度：0.01～1J/cm2。
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