CN101718541A - 涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法 - Google Patents

涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101718541A
CN101718541A CN200810247527A CN200810247527A CN101718541A CN 101718541 A CN101718541 A CN 101718541A CN 200810247527 A CN200810247527 A CN 200810247527A CN 200810247527 A CN200810247527 A CN 200810247527A CN 101718541 A CN101718541 A CN 101718541A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film thickness
sensor
self
measuring unit
slide block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN200810247527A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101718541B (zh
Inventor
陈超
郑彦标
王鹏年
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sichuan COC Display Devices Co Ltd
Original Assignee
Sichuan COC Display Devices Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sichuan COC Display Devices Co Ltd filed Critical Sichuan COC Display Devices Co Ltd
Priority to CN2008102475279A priority Critical patent/CN101718541B/zh
Publication of CN101718541A publication Critical patent/CN101718541A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101718541B publication Critical patent/CN101718541B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,其用于多面取涂敷设备上,该多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器,其中,该自动测量装置包括:滑块,可滑动地设置在横梁上;可伸缩的机械臂,一端固定于滑块上;第二传感器,安装于上述可伸缩的机械臂的另一端,该第二传感器至少具有测量上述ND方向膜厚的第一姿态,以及驱动装置,驱动上述滑块在横梁上滑动,以带动该第二传感器在ND方向移动。本发明还公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法。本发明能解决目前多面取涂层ND方向膜厚不能自动测量的问题,从而减少了对玻璃基板的损伤,并减少了设备的制作成本、节约了工艺动作和时间、提高了生产效率。

Description

涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法
技术领域
本发明涉及等离子显示器领域,具体而言,涉及一种多面取涂敷设备上的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法。
背景技术
目前平板显示面板制作中的厚膜印刷技术多采用涂敷技术,涂膜厚度的均一性是涂敷工序主要的监控对象,也是判断不良品的主要参数。涂敷机用传感器测量膜厚的过程为:先测量没有涂湿膜的基板上某一条线的表面厚度数据,在涂敷湿膜后,通过传感器再测同一姿态的湿膜表面厚度数据,所得的两组数据相减得膜厚。
为保证在ND方向(喷嘴方向,Nozzle Direction)的膜厚均一性,每次对设备维护或更换浆料后,需对喷嘴进行清洗组装,而对喷嘴进行组装后进行正式涂敷前也须对喷嘴ND方向膜厚均一性进行调整和测试,故生产中ND方向的膜厚测试和调整是非常频繁的。
对于只有一个传感器的单面取涂敷设备,传感器很容易就可在横梁上移动,从而易于实现自动测量ND方向的厚度均一性。而在多面取涂敷设备有多个传感器并排安装在横梁上,使得传感器不能沿着横梁在ND方向移动,导致了不能自动测量ND方向膜厚。
目前,要测ND方向的膜厚较简单的方法是:先涂敷一层湿膜,然后把玻璃基板手动旋转90度,测量一条直线上的湿膜厚度数据,然后把湿膜擦去,测同一姿态的光玻璃的厚度数据,再把玻璃旋转90度回到原处,这样就完成一次ND方向的膜厚测量。这种操作在多面取大面积涂敷调试过程中上是非常不便的,且在实际操作中,ND方向的膜厚均一性调整是一项繁琐的工作,需反复多次才可能完成。而且,该方法要求涂敷机的真空吸附工作台长和宽都须大于玻璃基板的长边,即需制作更大的工作台(工作台为大理石材质,表面平整度高,制作成本也较高),以使玻璃在工作姿态旋转90度后还能良好吸附在工作台上,从而提高了设备的制作成本,且该方法在玻璃转动的过程中极易对玻璃造成损伤、延长了工艺调试时间,工作效率低。
因此,有必要改进涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法。
发明内容
本发明目的在于提供一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法,以解决目前多面取涂敷设备中涂敷层ND方向膜厚不能自动测量的问题。
为此,根据本发明的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,用于多面取涂敷设备上,该多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器,其中,该自动测量装置包括:滑块,可滑动地设置在横梁上;可伸缩的机械臂,一端固定于滑块上;第二传感器,安装于可伸缩的机械臂的另一端,该第二传感器至少具有测量ND方向膜厚的第一姿态,以及驱动装置,驱动滑块在横梁上滑动,以带动该第二传感器在ND方向移动。
其中,上述第二传感器还具有与多个第一传感器平行的测量涂敷方向膜厚的第二姿态。
其中,上述驱动装置包括:伺服马达、以及伺服马达与滑块之间的连动装置。
其中,上述可伸缩的机械臂和上述驱动装置由多面取涂敷设备的主控制器所控制。
其中,上述横梁上形成供滑块滑动的滑轨,或者在横梁上安装滑轨。
另外,本发明还提供涂一种敷层ND方向膜厚的自动测量方法包括以下步骤:先使前面所述的第二传感器在前面所述的第一姿态沿ND方向移动,测量出光玻璃的表面厚度数据;在前面所述的光玻璃进行涂敷之后,再使该第二传感器在该第一姿态沿ND方向移动而测量湿膜的表面厚度数据;以及将两组数据进行相减处理以获得ND方向的膜厚,通过计算即可得到膜厚均一性。
其中,上述自动测量方法,还包括以下步骤:通过控制可伸缩的机械臂,使第二传感器处于测量涂敷方向膜厚的第二姿态以测量涂敷方向的膜厚。
在本发明的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置中,利用传感器在涂敷头方向(ND方向)自由运动,并同时对待检件表面进行扫描得到表面厚度数据,实现了多面取涂层ND方向厚度均一性的自动测量。
除了上面所描述的目的、特征和优点之外,本发明还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图,对本发明的其它的目的、特征和效果作进一步详细的说明。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分。图中,
图1示意性地示出了本发明涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法;
图2示意性地示出了本发明涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的结构;
图3示意性地示出了图2中涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的俯视结构;以及
图4示意性地示出了图2中涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的侧视结构。
具体实施方式
下面将参考附图并结合优选实施例,来详细说明本发明。
图1示意性地示出了本发明涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法。如图1所示,本发明的自动测量ND方向膜厚的方法是:传感器先沿着ND方向运动,使传感器先测出光玻璃的表面厚度数据,再进行涂敷,然后在同一姿态测量湿膜的表面厚度数据,两组数据相减就可得到湿膜ND方向的膜厚,再通过计算即可得到膜厚均一性。
图2示意性地示出了本发明的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的结构,图3示意性地示出了图2中涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的俯视结构,图4示意性地示出了图2中涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的侧视结构。参照图2至图4,涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置用于多面取涂敷设备上,具有横梁1和安装于横梁1上的多个固定传感器5、6、7、8。传感器5、6、7、8固定在横梁1上用于测量涂敷膜层的厚度。
其中,涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置包括:滑块2、传感器4、可伸缩的机械臂3。
滑块2,可滑动地设置在横梁1上。横梁1上可以形成供滑块2滑动的滑轨,也可以安装有供滑块2滑动的滑轨。横梁导轨须有较高的直线度和平整度,使滑块在其上滑动时有良好的直线度并使传感器4能与基板保持较好的平行度,保证传感器一直能聚焦在基板表面,即保证能准确测量待检表面的厚度。
可伸缩的机械臂3,其一端安装于滑块2上。
传感器4用于测量涂敷膜层的厚度,其安装在可伸缩的机械臂3的另一端上。滑块2与传感器4由机械臂连接,实现传感器4在ND方向的移动。通过可伸缩的机械臂3的伸缩,可以实现传感器4在ND的垂直方向上运动。装在滑块2上的可伸缩机械臂3需保证传感器4能垂直于待检表面,以保证能准确测量待检表面的厚度。
块状材料9、10、11、12用于安装固定传感器5、6、7、8并使这四个传感器与固定在电磁铁和铁质材料上的传感器4位于一条平行于横梁的直线上。当然,如果能保证上述五个传感器在一条直线上,也可以不用设置块状材料9、10、11、12。
线性马达14设置于横梁1的一端,用于驱动滑块2,使滑块2在横梁1上来回运动。
连接装置13,用于连接线性马达14和滑块2。
线性马达14以及可伸缩机械臂3的驱动控制需与涂敷机其它驱动控制共同作用,才能实现ND方向膜厚的自动测量,即都可以通过涂敷机的主控制器来控制,不需要单独的控制器。
在正常生产过程中,当只需测量涂敷方向的膜厚时,通过可伸缩机械臂3把传感器4固定在适当的姿态,使五个传感器在一条平行于横梁1的直线上。传感器4先沿着ND方向运动,使传感器4先测出光玻璃的表面厚度数据,再进行涂敷,然后在同一姿态测量湿膜的表面厚度数据,两组数据相减就可得到湿膜ND方向的膜厚。
当需要测量ND方向膜厚均一性时,再通过控制器驱动可伸缩机械臂3伸长至适当姿态,使传感器4在沿着ND方向运动时传感器4不会碰到其它传感器及其它数据线等物体。然后通过涂敷机的控制器驱动线性马达14,通过连接装置13使滑块带动传感器4沿着ND方向往复运动以测量上述涂敷方向的膜厚,再通过程序计算可得ND方向的膜厚均一性,从而实现了多面取涂层ND方向厚度均一性的自动测量。
通过以上描述可以看出,本发明的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法通过传感器在涂敷头方向(ND方向)自由运动,并同时对待检件表面进行扫描得到表面厚度数据,从而实现了自动测量ND方向的膜厚均一性。同时,本发明不同于现有工艺,即:不要求涂敷机的真空吸附工作台长和宽都须大于玻璃基板的长边,不需制作更大的工作台(工作台为大理石材质,表面平整度高,制作成本也较高),以使玻璃在工作姿态旋转90度后还能良好吸附在工作台上。因此,本发明减少了设备的制作成本,而且不需要对玻璃基板转动来测量,避免了现有技术容易对玻璃造成损伤、以及延长了工艺调试时间,工作效率低的问题。因此,本发明可减少设备的制作成本,并减少了玻璃基板在转动工程中的损伤、节约了工艺调试的动作和时间、提高了生产效率。
以上仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,所述自动测量装置用于多面取涂敷设备上,所述多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器,其特征在于,所述自动测量装置包括:
滑块,可滑动地设置在所述横梁上;
可伸缩的机械臂,一端固定于所述滑块上;
第二传感器,安装于所述可伸缩的机械臂的另一端,所述第二传感器至少具有测量所述ND方向膜厚的第一姿态;以及
驱动装置,驱动所述滑块在横梁上滑动。
2.根据权利要求1所述的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,其特征在于,
所述第二传感器还具有与所述多个第一传感器平行的测量涂敷方向膜厚的第二姿态。
3.根据权利要求1所述的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,其特征在于,
所述驱动装置包括:伺服马达、以及所述伺服马达与所述滑块之间的连动装置。
4.根据权利要求1所述的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,其特征在于,
所述可伸缩的机械臂和所述驱动装置由所述多面取涂敷设备的主控制器所控制。
5.根据权利要求1所述的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,其特征在于,所述横梁上形成供所述滑块滑动的滑轨。
6.根据权利要求1所述的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,其特征在于,所述横梁上安装有滑轨。
7.一种根据权利要求1至6中任一项所述自动测量装置的自动测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
先使所述第二传感器在所述第一姿态沿ND方向移动,测量出光玻璃的表面厚度数据;
在所述光玻璃进行涂敷之后,再使所述第二传感器在所述第一姿态沿所述ND方向移动而测量湿膜的表面厚度数据;以及将上述两组数据进行相减处理以获得ND方向的膜厚。
8.根据权利要求6所述的自动测量方法,其特征在于,还包括以下步骤:
通过控制可伸缩的机械臂,使所述第二传感器处于测量涂敷方向膜厚的第二姿态以测量所述涂敷方向的膜厚。
CN2008102475279A 2008-12-30 2008-12-30 涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法 Expired - Fee Related CN101718541B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008102475279A CN101718541B (zh) 2008-12-30 2008-12-30 涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008102475279A CN101718541B (zh) 2008-12-30 2008-12-30 涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101718541A true CN101718541A (zh) 2010-06-02
CN101718541B CN101718541B (zh) 2011-07-27

Family

ID=42433148

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008102475279A Expired - Fee Related CN101718541B (zh) 2008-12-30 2008-12-30 涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101718541B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105241413A (zh) * 2015-09-22 2016-01-13 苏州工业园区职业技术学院 一种多角度膜厚检测装置
CN105698729A (zh) * 2016-02-18 2016-06-22 苏州莱测检测科技有限公司 一种新型测厚仪
CN109465131A (zh) * 2019-01-14 2019-03-15 航天材料及工艺研究所 一种弹体结构功能涂层自动化涂装单元及方法
CN110095590A (zh) * 2019-04-23 2019-08-06 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 玻璃基板残材侦测方法及装置
CN110406650A (zh) * 2019-08-09 2019-11-05 南通理工学院 一种船舶水下船身涂层膜厚检测机器人
CN110542363A (zh) * 2019-10-10 2019-12-06 上海紫燕合金应用科技有限公司 一种高度规
CN113048896A (zh) * 2021-04-12 2021-06-29 南通理工学院 一种手持式的钢结构涂层的湿膜测量装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2216674Y (zh) * 1994-10-05 1996-01-03 哈尔滨科学技术大学 罐壁涂层自动测厚仪
CN1208596C (zh) * 2003-01-08 2005-06-29 友达光电股份有限公司 介电层厚度的测量方法及其装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105241413A (zh) * 2015-09-22 2016-01-13 苏州工业园区职业技术学院 一种多角度膜厚检测装置
CN105698729A (zh) * 2016-02-18 2016-06-22 苏州莱测检测科技有限公司 一种新型测厚仪
CN109465131A (zh) * 2019-01-14 2019-03-15 航天材料及工艺研究所 一种弹体结构功能涂层自动化涂装单元及方法
CN110095590A (zh) * 2019-04-23 2019-08-06 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 玻璃基板残材侦测方法及装置
CN110406650A (zh) * 2019-08-09 2019-11-05 南通理工学院 一种船舶水下船身涂层膜厚检测机器人
CN110542363A (zh) * 2019-10-10 2019-12-06 上海紫燕合金应用科技有限公司 一种高度规
CN113048896A (zh) * 2021-04-12 2021-06-29 南通理工学院 一种手持式的钢结构涂层的湿膜测量装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN101718541B (zh) 2011-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101718541B (zh) 涂敷层nd方向膜厚的自动测量装置及方法
CN101293419B (zh) 玻璃丝网印刷的数字全自动对版系统
CN204695295U (zh) 一种计算器自动测试设备及测试系统
CN201257421Y (zh) 涂胶机
CN101279310B (zh) 基板涂敷设备和所述基板涂敷设备的涂敷方法
JP6078298B2 (ja) 位置補正機能を有する作業装置および作業方法
CN204221197U (zh) 一种金属掩模板切割设备
CN205701313U (zh) 一种三轴联动定位点胶机构
CN104289816A (zh) 一种金属掩模板切割设备
CN209258287U (zh) 利用agv作为运载工具的夹具自动交换装置
CN204196269U (zh) 一种用于光固化快速成型机的刮平机构
CN107991007A (zh) 一种玻璃板应力检测装置
CN111299086A (zh) 一种点胶机构及显示屏生产线
CN102011123A (zh) 一种激光微熔覆专用设备
CN106607312A (zh) 涂胶装置及涂胶方法
CN104289817A (zh) 一种金属掩模板切割设备
CN111495693A (zh) 异步双阀点胶设备
CN1757439B (zh) 基板处理装置及基板处理方法
CN101718540B (zh) 用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置和方法
CN108983460A (zh) 一种探针压接装置的定位精度补偿系统及方法
CN201901704U (zh) 一种激光微熔覆专用设备
CN207343190U (zh) 一种双点胶阀装置
CN209131602U (zh) 基于激光三维轮廓测量仪的涂胶引导及检测系统
JP2007152261A (ja) ペースト塗布装置、ペースト塗布方法及びこれを用いた表示パネルの製造装置
CN110000046A (zh) 一种用于硬质载体的液体涂布设备及方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110727

Termination date: 20161230

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee