CN101712131A - 一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置,包括机座,在机座上通过竖直的轴承安装有水平的工作转盘,工作转盘与传动装置连接;在工作转盘上表面等分位置上各安装有多套硅棒定位单元,在机座的侧面固定连接有多个相同结构的磨削单元,每个磨削单元包括一个立柱,在立柱上均通过精密直线运动组件连接有一滑座,精密直线运动组件与精密电机连接;滑座上还安装有冷却水管和竖直安装的电动主轴,电动主轴的下端头安装有磨削砂轮。本发明的装置可以快速地进行硅棒安装,实现多工位、多根棒粗磨、精磨、抛光的循环连续工作,提高了加工精度和生产效率。
Description
技术领域
本发明属于硅棒精细加工设备技术领域,涉及一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置。
背景技术
单晶硅是制造太阳能电池的主要原料,单晶硅方形棒在制成太阳能电池片前,为了保证太阳能电池片尺寸的一致性和提高硅棒切片时的出片率,需要对方形硅棒的四个平面进行磨削,并达到一定的尺寸精度和表面粗糙度要求。目前使用的平面磨削装置主要是用立式铣床改造,将铣刀改为砂轮对方形硅棒的四个平面进行磨削,每次只能加工一根硅棒,并且安装找正时间长,工作效率低,不能满足精密、高效、大规模生产的需要。
发明内容
本发明的目的是提供一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置,解决了现有磨削装置结构设置不合理,效率较低,不适应精密、高效、大批量加工的问题。
本发明所采用的技术方案是,一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置,包括机座,在机座上通过竖直的轴承安装有水平的工作转盘,工作转盘与传动装置连接;在工作转盘上表面等分位置上各安装有多套硅棒定位单元,在机座的侧面固定连接有多个相同结构的磨削单元,每个磨削单元包括一个立柱,在立柱上通过直线运动组件连接有一滑座,直线运动组件与精密电机连接;滑座上还安装有一套冷却水管和一个竖直安装的电动主轴,电动主轴的下端头安装有磨削砂轮。
本发明的磨削装置,其特征还在于:
所述工作转盘上设置有主防护罩,在多个磨削单元处还设置有侧防护罩。
所述磨削单元等间隔的设置三个,三个磨削单元的磨削砂轮分别设置为粗砂轮、细砂轮和抛光轮。
在工作转盘上设置的多套硅棒定位单元分别为安装硅棒工位、夹紧工位、粗磨加工工位、精密磨削工位、抛光加工工位及取出硅棒工位。
所述硅棒定位单元的结构是,包括定位块、压紧块和动作筒,定位块固定在工作转盘上,动作筒的活塞杆端部与压紧块连接,动作筒接受程序控制。
所述动作筒的动力源选用液压、气动、电磁或手动方式。
本发明的有益效果是,该装置可以快速地进行硅棒安装,并能实现多工位、多根棒粗磨、精磨、抛光的循环连续工作,提高了加工精度和生产效率。
附图说明
图1是本发明装置的结构示意图;
图2是图1的K向视图。
图中,1.电动机,2.减速机,3.皮带,4.机座;5.工作转盘,6.定位块,7.硅棒,8.压紧块,9.主防护罩,10.动作筒,11.侧防护罩,12.磨削砂轮,13.冷却水管,14.电动主轴,15.滑座,16.直线运动组件,17.立柱,18.精密电机。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
如图1所示,本发明的多工位单晶硅方形棒平面磨削装置,包括机座4,在机座4上通过竖直的轴承安装有水平的工作转盘5,工作转盘5的转轴带轮通过皮带3依次与减速机2和电动机1连接,实现工作转盘5的匀速旋转,从而实现硅棒的多工位连续加工;在工作转盘5上表面六等分位置上各安装有一套硅棒定位单元。
在机座4的侧面固定连接有三个相同结构的磨削单元,每个磨削单元包括一个立柱17,在立柱17上均通过直线运动组件16连接有一滑座15,直线运动组件16由精密电机18驱动;滑座15上还安装有一套冷却水管13和一个竖直安装的电动主轴14,电动主轴14的下端头安装有磨削砂轮12。滑座15在直线运动组件16的带动下可以沿立柱17上下直线运动,从而带动磨削砂轮12的上下移动,实现磨削砂轮12的快进、工进、快退等动作,电动主轴14带动磨削砂轮12高速旋转,实现对硅棒7的磨削,冷却水管13用于磨削砂轮12工作时的冷却。
工作转盘5上设置有主防护罩9,三个磨削单元处还设置有侧防护罩11,主防护罩9和侧防护罩11是防止磨削砂轮12在对硅棒7磨削时,从冷却水管13中喷出的冷却水及粉尘对生产设备产生污染。
如图2所示,本发明实施例中,三个磨削单元的立柱17等间隔分布在机座4侧面的A、B、C位置,在A、B、C三个位置上安装的磨削砂轮12分别为粗砂轮、细砂轮和抛光轮,实现对相应工位位置硅棒的粗磨、精磨和抛光。在工作转盘5上表面设置有六个工位,其中,a工位安装硅棒,b工位实现夹紧,c工位完成粗磨,d工位完成精密磨削,e工位完成抛光,f工位取出硅棒。工作转盘5按照设定程序运转一圈,即可完成一个工作循环。
本装置根据需要还可以设置6-12个加工工位和相应的加工功能。
参照图1、图2,前述的每套硅棒定位单元的结构是,包括定位块6、压紧块8和动作筒10,定位块6固定在工作转盘5上,动作筒10的活塞杆端部与压紧块8连接,动作筒10接受程序控制,配合各个工位的实施,依次完成相应的伸缩动作,动作筒10带动压紧块8,压紧块8将待加工的硅棒7与定位块6定位夹紧或松开。
动作筒10的动力源可以选用液压、气动、电磁或手动方式。
本发明的磨削装置具有结构简单、操作方便、生产高效、工作稳定可靠等特点,可以实现对单晶硅方形棒的多工位精密平面磨削,广泛适用于太阳能硅单晶方棒、多晶硅铸锭方棒的精密加工。
Claims (6)
1.一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置,其特征在于:包括机座(4),在机座(4)上通过竖直的轴承安装有水平的工作转盘(5),工作转盘(5)与传动装置连接;在工作转盘(5)上表面等分位置上各安装有多套硅棒定位单元,在机座(4)的侧面固定连接有多个相同结构的磨削单元,每个磨削单元包括一个立柱(17),在立柱(17)上通过直线运动组件(16)连接有一滑座(15),直线运动组件(16)与精密电机(18)连接;滑座(15)上还安装有一套冷却水管(13)和一个竖直安装的电动主轴(14),电动主轴(14)的下端头安装有磨削砂轮(12)。
2.根据权利要求1所述的磨削装置,其特征在于:所述的工作转盘(5)上设置有主防护罩(9),在多个磨削单元处还设置有侧防护罩(11)。
3.根据权利要求1所述的磨削装置,其特征在于,所述的磨削单元等间隔的设置三个,三个磨削单元的磨削砂轮(12)分别设置为粗砂轮、细砂轮和抛光轮。
4.根据权利要求1所述的磨削装置,其特征在于,在工作转盘(5)上设置的多套硅棒定位单元分别为安装硅棒工位、夹紧工位、粗磨加工工位、精密磨削工位、抛光加工工位及取出硅棒工位。
5.根据权利要求1或4所述的磨削装置,其特征在于,所述的硅棒定位单元的结构是,包括定位块(6)、压紧块(8)和动作筒(10),定位块(6)固定在工作转盘(5)上,动作筒(10)的活塞杆端部与压紧块(8)连接,动作筒(10)接受程序控制。
6.根据权利要求5所述的磨削装置,其特征在于,所述的动作筒(10)的动力源选用液压、气动、电磁或手动方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009103117567A CN101712131B (zh) | 2009-12-18 | 2009-12-18 | 一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009103117567A CN101712131B (zh) | 2009-12-18 | 2009-12-18 | 一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101712131A true CN101712131A (zh) | 2010-05-26 |
CN101712131B CN101712131B (zh) | 2011-10-05 |
Family
ID=42416327
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009103117567A Expired - Fee Related CN101712131B (zh) | 2009-12-18 | 2009-12-18 | 一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101712131B (zh) |
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