CN101547567B - 导电线路的制作方法 - Google Patents

导电线路的制作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101547567B
CN101547567B CN200810300777.4A CN200810300777A CN101547567B CN 101547567 B CN101547567 B CN 101547567B CN 200810300777 A CN200810300777 A CN 200810300777A CN 101547567 B CN101547567 B CN 101547567B
Authority
CN
China
Prior art keywords
conducting wire
metal
oxide
nano
manufacture method
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN200810300777.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101547567A (zh
Inventor
刘兴泽
张秋越
林承贤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Peng Ding Polytron Technologies Inc
Avary Holding Shenzhen Co Ltd
Original Assignee
Honsentech Co Ltd
Fukui Precision Component Shenzhen Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honsentech Co Ltd, Fukui Precision Component Shenzhen Co Ltd filed Critical Honsentech Co Ltd
Priority to CN200810300777.4A priority Critical patent/CN101547567B/zh
Priority to US12/235,994 priority patent/US20090246357A1/en
Publication of CN101547567A publication Critical patent/CN101547567A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101547567B publication Critical patent/CN101547567B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/105Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by conversion of non-conductive material on or in the support into conductive material, e.g. by using an energy beam
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/02Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
    • H05K2201/0203Fillers and particles
    • H05K2201/0242Shape of an individual particle
    • H05K2201/0257Nanoparticles
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/0332Structure of the conductor
    • H05K2201/0335Layered conductors or foils
    • H05K2201/0347Overplating, e.g. for reinforcing conductors or bumps; Plating over filled vias
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/01Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0104Tools for processing; Objects used during processing for patterning or coating
    • H05K2203/013Inkjet printing, e.g. for printing insulating material or resist
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/11Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
    • H05K2203/1157Using means for chemical reduction
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/12Using specific substances
    • H05K2203/125Inorganic compounds, e.g. silver salt
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1241Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
    • H05K3/125Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing by ink-jet printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/245Reinforcing conductive patterns made by printing techniques or by other techniques for applying conductive pastes, inks or powders; Reinforcing other conductive patterns by such techniques
    • H05K3/246Reinforcing conductive paste, ink or powder patterns by other methods, e.g. by plating
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base

Abstract

本发明提供一种导电线路的制作方法,首先将纳米金属氧化物油墨通过喷墨打印方式在基板表面形成线路图形。然后将形成线路图形的纳米金属氧化物经还原反应转变成金属单质,从而形成导电线路,或者将形成线路图形的纳米金属氧化物与形成导电线路所需的金属盐溶液发生置换反应,从而转变成过渡氧化物,所述过渡氧化物经还原反应转变成形成导电线路所需的金属单质,从而形成导电线路。该方法利于提高导电线路的连续性及导电性,且避免温度对导电线路制作的影响。

Description

导电线路的制作方法
技术领域
本发明涉及喷墨印刷技术领域,特别涉及一种导电线路的制作方法。
背景技术
喷墨印刷(也称之为:喷墨打印)作为一种印刷工艺,其与平版印刷、丝网印刷一样可用于图形的转移。喷墨印刷为非接触印刷工艺,不需要像活字以及由照相方法制作的印版或软片那样印刷表面,只需将所需图形直接由计算机给出,再通过控制器控制喷墨印刷系统的喷嘴,将油墨颗粒由喷嘴喷出并逐点地形成图形。喷墨印刷可应用在电路板线路制作中,即喷墨打印线路图形。该方法制作线路图形能够精确控制线路的位置及宽度,还降低原料浪费,是一种环保的印刷工艺。
目前,喷墨打印线路图形是将以单分散的纳米颗粒为核心的纳米金属油墨直接喷射在基板表面形成导电线路。请参阅文献:李江,纳米油墨及其应用技术,材料与制备,2005,3:25-29。然而,铜较金或银活泼,且纳米铜的比表面积比一般金属铜大,在空气中纳米铜及易被氧化失去金属的导电性,所以纳米铜不适合作为油墨,也不能满足采用喷墨打印的方式制作铜线路。另外,喷射在基板表面的纳米金属油墨干燥后,还需经过300度高温烧结,使纳米金属颗粒烧结在一起,从而形成连续的导电线路。但是,烧结过程中,温度控制不佳会影响导电线路的连续性及导电性。如烧结温度过低,纳米金属颗粒不能完全被烧结在一起;相反地,烧结温度过高,则基板必须采用耐高温且不易受热变形材料制成。
发明内容
因此,有必要提供一种导电线路的制作方法,以提高导电线路的连续性及导电性。
以下将以实施例说明一种导电线路的制作方法。
所述导电线路的制作方法,首先将纳米金属氧化物油墨通过喷墨打印方式在基板表面形成线路图形。然后将形成线路图形的纳米金属氧化物经还原反应转变成金属单质,从而形成导电线路,或者将形成线路图形的纳米金属氧化物与形成导电线路所需的金属盐溶液发生置换反应,从而转变成过渡氧化物,所述过渡氧化物经还原反应转变成形成导电线路所需的金属单质,从而形成导电线路。
与现有技术相比,该导电线路的制作方法采用包括纳米金属氧化物的油墨。由于纳米金属氧化物比纳米金属的分散性好,且不存在纳米金属易被氧化的问题,因此纳米金属氧化物油墨制作的线路图形分布均匀,利于提高导电线路的连续性及导电性。该方法还通过将纳米金属氧化物转变为金属单质,形成导电线路,避免采用高温烧结形成导电线路,从而使导电线路的制作不必再考虑烧结温度的影响。
附图说明
图1是本技术方案实施例提供的基板的结构示意图。
图2是图1中基板形成线路图形的结构示意图。
图3是图1中基板形成导电线路的结构示意图。
图4是图3中基板的导电线路镀覆金属的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图及实施例对本技术方案实施例提供的导电线路的制作方法作进一步详细说明。
请参阅图1至图4,本实施例提供的导电线路的制作方法。
第一步:提供基板100。
如图1所示,本实施例中,基板100为电路板制作过程中需要进行线路制作的半成品。根据所要制作的电路板的结构可以选择不同结构的基板100。例如,当待制作的电路板为单层板时,所述基板100为一层绝缘层;当待制作的电路板为多层电路板时,所述基板100为一由多层板和一绝缘层压合后所形成的结构,还可为半导体基片。本实施例中,基板100为需要制作单面线路的单层板。该基板100具有用于形成导电线路的表面110。当然,该基板100也可用于制作双面板,只要在基板100相对设置的两个表面上制作即可。
第二步:形成线路图形200于基板100的表面110。
为增加形成的线路图形200与基板100的表面110的结合强度,在基板100形成线路图形200之前,可通过清洗、微蚀等方法对基板110进行表面处理,以除去附着于表面110的污物、氧化物、油脂等。
如图2所示,分别在基板100的表面110通过喷墨印刷方式形成线路图形200。具体地,喷墨打印系统在控制器的控制下根据所需制作的导电线路的图形,将纳米金属氧化物油墨自喷嘴逐点喷洒到表面110,使沉积在表面110的纳米金属氧化物油墨形成线路图形200。该纳米金属氧化物油墨形成的线路图形200与所需制作的导电线路的图形相同。纳米金属氧化物油墨中包括纳米金属氧化物,其可以为氧化铝、氧化锌、氧化铁、氧化镁、氧化铜或其他纳米金属氧化物。本实施例中,纳米金属氧化物为氧化铜。由于纳米金属氧化物比纳米金属的分散性好,可有效防止纳米颗粒发生团聚现象,使纳米颗粒在物体表面分布均匀,因此纳米金属氧化物油墨制作的线路图形分布均匀,使线路图形中各处线路的厚度与宽度相同。
纳米金属氧化物可通过溶胶凝胶法、水解法、水热法、微乳法、沉淀法、固相反应法、电合成法、等离子法或其他方法制备。该纳米金属氧化物油墨是将纳米金属氧化物颗粒均匀的分散到有机溶剂或水溶性介质中而制成。为进一步提高喷出的纳米金属氧化物油墨与基板100表面110的结合能力,还可在制备过程中,向该纳米金属氧化物油墨中加入表面活性剂、分散剂、连接料或高分子聚合物及其它试剂,用以调节油墨的稳定性、表面张力、粘度等性能,从而形成与表面110具有较佳结合力的线路图形200。有机溶剂可以为C8-C22的烃及芳香烃,水溶性介质可以为去离子水、水溶性有机物或两者的混合物。而分散剂可为树脂类聚合物,表面活性剂可为脂肪酸酯、脂肪胺等,连接料可为聚氨酯、聚乙烯醇等树脂。
第三步:形成导电线路300于基板100的表面110。
如图2及图3所示,将形成于基板100表面110的线路图形200转变成导电线路300。即,表面110上形成线路图形200的纳米金属氧化物经化学反应转变为相应地金属单质,从而在表面110上由该金属单质形成导电线路300。
由于形成线路图形200的纳米金属氧化物的组分中包括形成导电线路300所需的金属原子,因此可直接通过还原反应将该纳米金属氧化物中的金属原子还原为相应的金属单质,从而得到由该金属单质形成的导电线路300。本实施例中,线路图形200由氧化铜形成,相应地,采用气体还原剂(如氢气,H2)将形成线路图形200的氧化铜还原为铜单质。具体地,首先将形成线路图形200的基板100置于充满H2的腔体中,使线路图形200被H2包围。然后,加热腔体,使形成线路图形200的氧化铜与H2发生氧化还原反应,氧化铜中的铜原子被还原为铜单质。从而形成导电线路300。该导电线路300的图形与线路图形200相同。在该还原反应中,还原反应温度约在100与200度之间,该还原反应温度小于300度的烧结温度,避免烧结时温度过高对基板100的影响。
可以理解,线路图形200也可在硼氢化钾、硼氢化钠、二甲基氨基硼烷等具有还原性的溶液中进行还原反应,得到由该线路图形200的纳米金属氧化物还原生成的金属单质,从而形成导电线路300。线路图形200也可由其他纳米金属氧化物形成,只要该线路图形200的组分中包括形成导电线路300所需的金属原子即可。此时,线路图形200组分的改变,相应地,所采用还原剂的还原性的强弱以及还原反应的条件,如温度、压力等也应随之改变,使线路图形200中的金属能被还原生成金属单质为宜。
线路图形200的组分中也可不包括形成导电线路300所需的金属原子,但经过上述还原反应无法得到所需金属单质形成的导电线路300。此时,可先通过置换反应使线路图形200的纳米金属氧化物转变为包括所需金属原子的过渡氧化物,然后还原该过渡氧化物,从而在基板100的表面110形成由该过渡氧化物还原生成的金属单质所形成的导电线路300。
例如,当形成线路图形200的纳米金属氧化物的分子式为MxOy,而需要制作铜单质的导电线路300时,可选择采用可溶性的铜盐溶液与线路图形200中的氧化铜发生置换反应。该铜盐溶液包括二价铜离子,如氯化铜(CuCl2),硫酸铜(CuSO4),其反应式为:
MxOy+yCu2+=xM2y/x+yCuO。
经过该置换反应后,基板100的表面110生成过渡氧化物,即氧化铜。然后通过前述还原反应将氧化铜还原为铜单质,从而形成由铜单质形成的导电线路300。当然,如果导电线路300由其他金属形成,只要选择相应地可溶性金属盐溶液与线路图形200发生置换反应即可。
第四步:镀覆金属400于导电线路300。
第二步及第三步中,纳米金属氧化物经喷墨打印系统喷射至基板100的表面110形成线路图形200时,该线路图形200为分布于表面110的纳米金属氧化物形成。该纳米金属氧化物颗粒间可能没有完全结合,其连续性较差,使纳米金属氧化物经反应生成的金属单质也为分布在表面110的连续性较差的金属颗粒,从而降低由该金属单质形成的导电线路300的导电性,使整个导电线路300可能无法达到良好的电性导通。
因此,如图4所示,在导电线路300的金属颗粒表面经过电镀或化学镀的方法镀覆金属400,使导电线路300的金属颗粒通过金属400形成连续的导电线路。镀覆金属400时,形成导电线路300的金属颗粒可作为镀覆反应的催化中心,并以该金属颗粒为中心在其表面形成金属400。而没有完全结合的相邻两个金属颗粒间可由新镀覆的金属400填充,使该两个金属颗粒通过该金属400完全结合,从而实现良好的电性导通。该金属400的金属可与导电线路300的金属种类相同或不同。本实施例中,镀覆的金属400与导电线路300均由铜组成。即在导电线路300的表面直接镀铜单质即可。由于所镀金属与作为被镀件的导电线路300的组成相同,故可保证在导电线路300形成分布均匀的金属400。当然,金属400与导电线路300的金属种类不同时,只要选择合适的镀覆方式即可。
由此完成基板100的表面110具有较高导电性及均匀性的导电线路300的制作,以供后续加工使用。该制作方法采用化学反应与镀覆配合的方式替代高温烧结的方法使纳米金属颗粒结合在一起,以提高线路连续性。解决烧结过程中烧结温度难以控制的问题,提高导电线路的连续性及导电性。
可以理解的是,对于本领域的普通技术人员来说,可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形,而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (8)

1.一种导电线路的制作方法,其包括以下步骤:
将油墨通过喷墨打印方式在基板表面形成线路图形,所述油墨包括纳米金属氧化物;
将形成线路图形的纳米金属氧化物经还原反应转变成金属单质,从而形成导电线路,或者将形成线路图形的纳米金属氧化物与形成导电线路所需的金属盐溶液发生置换反应,从而转变成过渡氧化物,所述过渡氧化物经还原反应转变成形成导电线路所需的金属单质,从而形成导电线路。
2.如权利要求1所述的导电线路的制作方法,其特征在于,所述纳米金属氧化物为氧化铜、氧化铝、氧化锌、氧化铁或氧化镁。
3.如权利要求1所述的导电线路的制作方法,其特征在于,所述纳米金属氧化物采用溶胶凝胶法、水解法、水热法、微乳法、沉淀法、固相反应法、电合成法或等离子法制备。
4.如权利要求1所述的导电线路的制作方法,其特征在于,所述油墨进一步包括有机溶剂、水溶性载体、分散剂、表面活性剂及连接料。
5.如权利要求1所述的导电线路的制作方法,其特征在于,所述还原反应的还原剂为还原性气体或还原性溶液。
6.如权利要求1所述的导电线路的制作方法,其特征在于,所述导电线路的制作方法进一步包括在所述导电线路的表面镀覆金属的步骤。
7.如权利要求6所述的导电线路的制作方法,其特征在于,在所述导电线路的表面镀覆金属采用电镀或化学镀的方法。
8.如权利要求7所述的导电线路的制作方法,其特征在于,在所述导电线路镀覆的金属与形成导电线路的金属种类相同。
CN200810300777.4A 2008-03-28 2008-03-28 导电线路的制作方法 Expired - Fee Related CN101547567B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200810300777.4A CN101547567B (zh) 2008-03-28 2008-03-28 导电线路的制作方法
US12/235,994 US20090246357A1 (en) 2008-03-28 2008-09-23 Method of forming circuits on circuit board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200810300777.4A CN101547567B (zh) 2008-03-28 2008-03-28 导电线路的制作方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101547567A CN101547567A (zh) 2009-09-30
CN101547567B true CN101547567B (zh) 2011-03-02

Family

ID=41117636

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200810300777.4A Expired - Fee Related CN101547567B (zh) 2008-03-28 2008-03-28 导电线路的制作方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20090246357A1 (zh)
CN (1) CN101547567B (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9431474B2 (en) * 2011-12-20 2016-08-30 Imec Metal-insulator-metal stack and method for manufacturing the same
CN103184440B (zh) * 2011-12-27 2015-12-02 比亚迪股份有限公司 一种表面选择性金属化的制品及其制备方法
WO2013097729A1 (en) * 2011-12-27 2013-07-04 Shenzhen Byd Auto R&D Company Limited Ink composition, method of metalizing surface and article obtainable
CN103194117B (zh) * 2013-04-08 2014-12-03 电子科技大学 一种免烧结超细银纳米油墨的制备方法及其应用
CN103194118A (zh) * 2013-04-23 2013-07-10 电子科技大学 一种免烧结超细银纳米油墨的制备方法及其应用
CN104528801A (zh) * 2014-12-18 2015-04-22 中国科学院深圳先进技术研究院 纳米氧化铜的制备方法以及金属基油墨的印刷方法
CN105086626A (zh) * 2015-08-25 2015-11-25 桐城市福润包装材料有限公司 一种纳米氧化铜喷墨墨水配方
CN107072039A (zh) * 2016-12-23 2017-08-18 中国科学院深圳先进技术研究院 制备导电线路的方法
CN107230747A (zh) * 2017-05-27 2017-10-03 深圳市华星光电技术有限公司 Oled显示面板的制作方法及oled显示面板
CN109936926A (zh) * 2019-03-13 2019-06-25 江西沃格光电股份有限公司 单面柔性基板精细线路及其制备方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007055443A1 (en) * 2005-11-09 2007-05-18 Advanced Nano Products Co., Ltd. Metallic ink, and method for forming of electrode using the same and substrate

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4843164B2 (ja) * 2001-08-21 2011-12-21 日本リーロナール有限会社 銅−樹脂複合材料の形成方法
EP1626614B1 (en) * 2003-05-16 2013-08-28 Harima Chemicals, Inc. Method for forming fine copper particle sintered product type of electric conductor having fine shape, method for forming fine copper wiring and thin copper film
JP4491219B2 (ja) * 2003-10-14 2010-06-30 テセラ・インターコネクト・マテリアルズ,インコーポレイテッド 配線基板とその製造方法
TWI275333B (en) * 2003-12-05 2007-03-01 Ind Tech Res Inst Method for forming metal wire by microdispensing
US7825026B2 (en) * 2004-06-07 2010-11-02 Kyushu Institute Of Technology Method for processing copper surface, method for forming copper pattern wiring and semiconductor device manufactured using such method
CN100393784C (zh) * 2004-12-08 2008-06-11 三之星机带株式会社 一种在聚酰亚胺树脂上形成无机薄膜的方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007055443A1 (en) * 2005-11-09 2007-05-18 Advanced Nano Products Co., Ltd. Metallic ink, and method for forming of electrode using the same and substrate

Also Published As

Publication number Publication date
CN101547567A (zh) 2009-09-30
US20090246357A1 (en) 2009-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101547567B (zh) 导电线路的制作方法
CN102823335B (zh) 双面印刷电路板的制造方法
KR101263003B1 (ko) 도전선 패턴 형성을 위한 은 오르가노 졸 잉크
TWI642556B (zh) 用噴印形成金屬化圖案方法及其塑模互連元件
CN101553084B (zh) 线路基板及线路基板的制作方法
CN101754585B (zh) 导电线路的制作方法
US20150382445A1 (en) Double-sided flexible printed circuit board including plating layer and method of manufacturing the same
CN101640979A (zh) 导电线路的制作方法
JP6165063B2 (ja) 導電性粒子およびその製造方法
CN105379436B (zh) 印刷电路板的制造方法及印刷电路板
KR20100038015A (ko) 양면 인쇄회로기판의 제조방법
KR101489206B1 (ko) 도금층을 포함하는 양면 연성 인쇄회로기판 및 이의 제조방법
TWI509114B (zh) 使用印刷金屬化圖案製作塑模互連元件的方法及其塑模互連元件
CN101600301A (zh) 电路板及其制作方法
CN101597440B (zh) 油墨、利用该油墨制作导电线路的方法及线路板
JP2005029735A (ja) ポリイミド樹脂の無機薄膜形成方法及び表面改質した無機薄膜形成用ポリイミド樹脂の製造方法
KR20140108770A (ko) 레이저와 인쇄방식이 하이브리드된 플렉서블 기판 및 이의 제조 방법
KR20120053902A (ko) 팔라듐 촉매잉크 조성물, 이를 이용한 금속 패턴 형성방법 및 기판 표면처리 방법
CN101636043A (zh) 制作导电线路的方法
CN102080223A (zh) 置换无电镀金溶液及使用该溶液形成金镀层的方法
JP2009007613A (ja) ポリイミド樹脂基材への金属薄膜パターン形成方法、金属薄膜回路パターン形成方法、金属薄膜基板、及び金属薄膜回路基板
Zhu et al. Fabrication of double-sided FPC by hydrolyzing-doping-plating additive process
TWI393503B (zh) 製作導電線路之方法
TWI357632B (en) Circuit substrate and method for manufacturing the
KR101489205B1 (ko) 도금층을 포함하는 비아가 형성된 연성 인쇄회로기판 및 이의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 518103 Shenzhen Province, Baoan District Town, Fuyong Tong tail Industrial Zone, factory building, building 5, floor, 1

Co-patentee after: Zhending Technology Co., Ltd.

Patentee after: Fuku Precision Components (Shenzhen) Co., Ltd.

Address before: 518103 Shenzhen Province, Baoan District Town, Fuyong Tong tail Industrial Zone, factory building, building 5, floor, 1

Co-patentee before: Honsentech Co., Ltd.

Patentee before: Fuku Precision Components (Shenzhen) Co., Ltd.

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20170302

Address after: 518103 Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Songgang streets Yan Chuanyan Luzhen Luo Ding Technology Park plant A1 building to building A3

Patentee after: Fuku Precision Components (Shenzhen) Co., Ltd.

Patentee after: Peng Ding Polytron Technologies Inc

Address before: 518103 Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Songgang streets Yan Chuanyan Luzhen Luo Ding Technology Park plant A1 building to building A3

Patentee before: Fuku Precision Components (Shenzhen) Co., Ltd.

Patentee before: Zhending Technology Co., Ltd.

CP03 Change of name, title or address

Address after: Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Songgang street Chuanyan Luo Lu Yan

Co-patentee after: Peng Ding Polytron Technologies Inc

Patentee after: Peng Ding Holdings (Shenzhen) Limited by Share Ltd

Address before: 518000 Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Songgang streets Yan Chuanyan Luzhen Luo Ding Technology Park plant A1 building to building A3

Co-patentee before: Peng Ding Polytron Technologies Inc

Patentee before: Fuku Precision Components (Shenzhen) Co., Ltd.

CP03 Change of name, title or address
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110302

Termination date: 20200328

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee