CN101311786A - 液晶显示面板制造方法及干燥装置 - Google Patents
液晶显示面板制造方法及干燥装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101311786A CN101311786A CNA2007100746074A CN200710074607A CN101311786A CN 101311786 A CN101311786 A CN 101311786A CN A2007100746074 A CNA2007100746074 A CN A2007100746074A CN 200710074607 A CN200710074607 A CN 200710074607A CN 101311786 A CN101311786 A CN 101311786A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- filter substrate
- organic film
- colored filter
- drying device
- hot plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
本发明公开一种液晶显示面板制造方法及用于该液晶显示面板制造方法的干燥装置,该干燥装置包括一热板和一气流产生器;该热板用于承载该涂布有一有机薄膜的彩色滤光片基板,该热板上设置多个贯通孔;该气流产生器产生多束热气流,且通过该热板的多个贯通孔吹向该彩色滤光片基板的与涂布该有机薄膜一侧相对的另一侧,以预干燥该有机薄膜。本发明的液晶显示面板制造方法及干燥装置可提高液晶显示面板的制造良率。
Description
技术领域
本发明是关于一种液晶显示面板制造方法及干燥装置。
背景技术
目前,液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)具有轻、薄等特点,使其广泛适用于电脑、个人数字助理(Personal DigitalAssistant,PDA)、手机、电视和多种办公自动化与视听设备。液晶显示面板是液晶显示器的重要组成部分,其中液晶显示面板的配向膜,控制液晶层的液晶分子排列状态,影响液晶显示面板的显示特性。因而,制作配向膜是液晶面板制造过程中重要的步骤。
请参阅图1,是一现有技术待制造的液晶显示面板的结构示意图。该液晶显示面板10包括一彩色滤光片基板110、一配向膜120、一薄膜晶体管基板130和一液晶层140。该彩色滤光片基板110和该薄膜晶体管基板130相对设置并夹持该液晶层140,该配向膜120设置在该彩色滤光片基板110靠近该液晶层140一侧,控制该液晶层140的液晶分子的排列状况。
现以设置在该彩色滤光片基板110靠近该液晶层140一侧的配向膜120为例,说明一种现有技术制造该液晶显示面板10的配向膜120的方法。具体步骤如下所示:
首先,形成一有机薄膜在该彩色滤光片基板110;
提供该彩色滤光片基板110,将由有机溶剂所稀释形成的配向膜材料溶液涂布于该彩色滤光片基板110靠近该液晶层140的一侧面,形成一有机薄膜在该彩色滤光片基板110上。
其次,对该有机薄膜进行预干燥处理;
请参阅图2,是一种现有技术的干燥装置示意图。该干燥装置20包括一热板21、一设置在该热板21内的加热器28和一设置在该热板21一侧的真空泵29。该热板21包括一接触表面22和一与之相接的侧面23。该侧面23设置一排气口24。该接触表面22设置多个凹槽25、多个插脚26和多条通道27,该多个插脚26分别设置在该多个凹槽25内,且可在预干燥结束后伸出该多个凹槽25,突出在该接触表面22。该多条通道27与该多个凹槽25间隔设置,且该多条通道27的底部在该热板21内相通,并连接至该排气口23。该真空泵29连接于该排气口23。
进行预干燥时,首先,将涂布有该有机薄膜的彩色滤光片基板110以该有机薄膜朝上的方式放置在该热板21的接触表面22,与该多个凹槽25和该多条通道27所在区域对应;该真空泵29开始工作,抽出该多条通道27内的空气,使该彩色滤光片基板110紧贴该热板21;然后,该加热器28加热该热板21,该热板21以100℃左右的温度预干燥该彩色滤光片基板110上的有机薄膜。预干燥结束后,该多个插脚26自该多个凹槽25中伸出,将该彩色滤光片基板110顶离该热板21,提供一机械臂(图未示)从该多个插脚26之间的间隙处托起该彩色滤光片基板110,并将其传送至下一步骤处理。
再次,进行该有机薄膜的烧成处理;
将预干燥后的有机薄膜以180℃以上的温度烧成,再进行后续定向处理,完成该配向膜120的制造。
上述液晶显示面板10的配向膜120的制造过程中,在预干燥该有机薄膜时,需通过该真空泵29将该彩色滤光片基板110紧贴在热板21上,以使该热板21传递该加热器28产生的热量预干燥该彩色滤光片基板110上的有机薄膜。在该预干燥制程结束后,需将该彩色滤光片基板110在其紧贴的热板21上剥离,因而,在剥离时易出现破片现象;从而使得该液晶显示面板10的显示特性不良,制造该液晶显示面板10的良率较低。
发明内容
为了解决上述液晶显示面板制造方法制造良率较低的问题,提供一种制造良率较高的液晶显示面板制造方法实为必要。
为了解决上述干燥装置制造液晶显示面板良率较低的问题,提供一种制造良率较高的液晶显示面板干燥装置实为必要。
一种液晶显示面板制造方法,其包括以下步骤:提供一彩色滤光片基板;涂布一有机薄膜在该彩色滤光片基板;预干燥该有机薄膜,提供多束热气流烘烤该彩色滤光片基板的与涂布该有机薄膜一侧相对的另一侧,以预干燥该有机薄膜。
一种干燥装置,其包括一热板和一气流产生器;该热板用于承载该涂布有一有机薄膜彩色滤光片基板,该热板上设置多个贯通孔;该气流产生器产生多束热气流,且通过该热板的多个贯通孔吹向该彩色滤光片基板的与涂布该有机薄膜一侧相对的另一侧,以预干燥该有机薄膜。
相较于现有技术,本发明的液晶显示面板制造方法通过热气流烘烤该彩色滤光片基板的与涂布该有机薄膜一侧相对的另一侧,以预干燥该有机薄膜,因而,该彩色滤光片基板无须紧贴承载其的热板,则在预干燥后,转移该彩色滤光片基板至下一制程时,易将该彩色滤光片基板在该热板上移离,因而,移离时不易发生破片的现象,提高了该液晶显示面板的良率。
相较于现有技术,本发明的干燥装置设置一气流产生器,产生多束气流穿过该热板的多个贯通孔,烘烤该彩色滤光片基板的与涂布该有机薄膜一侧相对的另一侧,以预干燥该有机薄膜。由于该多束气流具有一定的气压,则该彩色滤光片基板在加热预干燥时不会紧贴承载其的热板,则在预干燥后,易将该彩色滤光片基板移离该热板,因而,移离时不易发生破片的现象,提高了制造该液晶显示面板的良率。
附图说明
图1是一现有技术待制造的液晶显示面板的结构示意图。
图2是一种现有技术的干燥装置示意图。
图3是本发明待制造的液晶显示面板的结构示意图。
图4是图3所示液晶显示面板的制造流程图。
图5是图3所示液晶显示面板的彩色滤光片基板的平面示意图。
图6是图3所示液晶显示面板的薄膜晶体管基板的平面示意图。
图7是涂布一有机薄膜于该彩色滤光片基板的平面示意图。
图8是用于预干燥该有机薄膜的干燥装置的结构示意图。
图9是图8所示热板的平面示意图。
图10是本发明液晶显示面板制造方法第二实施方式采用的干燥装置的结构示意图。
图11是图10所示热板的平面示意图。
具体实施方式
请参阅图3,是本发明待制造的液晶显示面板的结构示意图。该液晶显示面板30包括一彩色滤光片基板310、一配向膜320、一薄膜晶体管基板330和一液晶层340。该彩色滤光片基板310和该薄膜晶体管基板330夹持该液晶层340,该配向膜320设置在该彩色滤光片基板310靠近该液晶层340一侧,控制该液晶层340的液晶分子的排列状况。
请参阅图4,是图3所示液晶显示面板30的制造流程图。该液晶显示面板制造方法的第一实施方式的具体制造步骤如下所示:
步骤S1:提供一第一基板和一第二基板;
步骤S2:分别形成彩色滤光片基板和薄膜晶体管基板;
请一并参阅图5,是图3所示液晶显示面板30的彩色滤光片基板310的平面示意图。在该第一基板311上,通过该前段制程形成一黑矩阵312和多束彩色滤光单元313,进而形成该彩色滤光层314;再通过前段制程形成其它薄膜(图未示)在该彩色滤光层314上;以形成该彩色滤光片基板310。
请再参阅图6,是图3所示液晶显示面板30的薄膜晶体管基板330的平面示意图。在该第二基板331上,通过Array段制程形成多束薄膜晶体管332和多束电极333,以形成该电极层334;并通过Array段制程形成其它薄膜在该第二基板331上,以形成该薄膜晶体管基板330。
步骤S3:涂布一有机薄膜于该彩色滤光片基板;
请再参阅图7,是涂布一有机薄膜于该彩色滤光片基板310的平面示意图。在该彩色滤光片基板310上,以苯胺印刷的方式涂布约1.5um厚的配向膜材料溶液,由此而形成一有机薄膜315。
步骤S4:预干燥该有机薄膜;
现以该彩色滤光片基板310上涂布的有机薄膜315为例,介绍预干燥该有机薄膜315的方法。请再参阅图8,是用于预干燥该有机薄膜315的干燥装置的结构示意图。该干燥装置40包括一气流产生器410、一热板420、多束高度感应器430和多束温度感应器440。该气流产生器410设置在该热板420的一侧,其包括多束出气口411,该每一出气口411产生一吹向该热板420的热气流。该多束温度感应器440设置在该热板420与该气流产生器410之间,且黏贴在该热板420的部分区域,感应该热板420的温度来控制该气流产生器410产生的热气流温度。该高度感应器430与该气流产生器410相对,设置在该热板420的另一侧,且与该热板420保持一定高度设置。该热板420设置有高密度分布的多个贯通孔421,该多个贯通孔421为多束圆柱体通孔,其包括一吸气面(未标示)、一出气面和与该吸气、出气面垂直的侧表面,该吸气面靠近该气流产生器410一侧。请一并参照图9,是图8所示该热板420的平面示意图。该多个贯通孔421在该热板420上成六方堆积分布。
对该有机薄膜315进行预干燥时,首先,将该彩色滤光片基板310以该有机薄膜315朝上的方式平置在该热板420上,即该彩色滤光片基板310的与涂布该有机薄膜315一侧相对的另一侧(未标示)与该热板420接触;然后,该气流产生器410的多束出气口411产生匀速吹向该热板420的多束热气流,该多束热气流穿过该热板420的多个贯通孔421,均匀扩散,形成一热气层,多束气流在该彩色滤光片基板310的与涂布该有机薄膜315一侧相对的另一侧流动,以预干燥涂布于该彩色滤光片基板310的有机薄膜315;同时,由于该多束热气流具有一定的气压,在烘烤该彩色滤光片基板310时,该多束热气流将向上托起该彩色滤光片基板310,使其与该热板420保持一定距离。该温度感应器440感测该热板420各区域的温度,以控制该气流产生器410输出的热气流温度,保证该彩色滤光片基板310各部分均匀受热;该高度传感器430感应该彩色滤光片基板310各部分被热气流托起的高度,以使该彩色滤光片基板310保持水平。
步骤S5:烧成该有机薄膜和形成配向膜;
用夹具夹持该预干燥过的彩色滤光片基板310的两侧搬送至红外加热炉,在红外加热炉的内部对该彩色滤光片基板310以适当的温度(如约230℃),适当的时间(如约20分钟)加热,烧成该有机薄膜315。再通过后续步骤对该有机薄膜315进行定向处理,完成该配向膜320的制作。
步骤S6:液晶显示面板后续制作;
制作好该配向膜320后,再依序经由基板贴合处理、密封材料烧成处理、液晶注入处理、液晶注入口密封处理和偏光片贴附处理等处理步骤,完成该液晶显示面板30的制程。
相较于现有技术,本发明的液晶显示面板制造方法,在预干燥该有机薄膜315时,通过热气流烘烤该彩色滤光片基板310的与涂布该有机薄膜315一侧相对的另一侧,以预干燥涂布于该彩色滤光片基板310的有机薄膜315。由于该热气流具有一定气压,可托起该彩色滤光片基板310,则该彩色滤光片基板310在烘烤时未直接吸附在该热板420上,在转移该彩色滤光片基板310时,不会产生剥离时出现破片的现象,从而提高该液晶显示面板30的制造良率。且无须用其它尖细物支撑该彩色滤光片基板310,因而,不易出现静电击伤该彩色滤光片基板310的现象,也可提高该液晶显示面板30的制造良率。另,因该热气流未直接吹向该有机薄膜315,不易出现因热气流的流动而造成该有机薄膜315分布不均匀的现象。还有,该热气流经由该热板420密集分布的多个贯通孔421吹出,将多束热气流扩散成无数较小的气流,则气流流动时温度搅动快速可使加热均匀,上述也可提高该液晶显示面板30的制造良率。
相较于现有技术,本发明干燥装置设置40通过该气流产生器410产生多束热气流,烘烤该彩色滤光片基板310的与涂布该有机薄膜315一侧相对的另一侧,以预干燥该有机薄膜315。由于该多束热气流具有一定气压,可托起该彩色滤光片基板310使其无须吸附在该热板420,在转移该彩色滤光片基板310时,不会产生剥离破片的现象,从而提高该液晶显示面板30的制造良率。另,该热板420密集设置的多个贯通孔421,将气流产生器410产生多束热气流扩散成更分散更细小的热气流,则可使该彩色滤光片基板310的与涂布该有机薄膜315一侧相对的另一侧因受到快速搅动的热气流而均匀受热,从而均匀烘干该有机薄膜315,提高该液晶显示面板30的制造良率。还有,该多束高度传感器430和多束温度传感器440分别控制该气流产生器410产生的热气流的压力和温度,保证该彩色滤光片基板310的各个部分与该热板420的距离和该彩色滤光片基板310各部分的受热温度,则该彩色滤光片基板310的平稳悬浮在该热板420上方,保证其上的有机薄膜315不出现倾斜而分布不均且受热均匀,从而提高该液晶显示面板30的制造良率。
本发明的液晶显示面板制造方法的第二实施方式较第一实施方式的不同的处在于此步骤:预干燥该有机薄膜。特别是预干燥该有机薄膜315时采用的干燥装置相异:
请参阅图10,是本发明液晶显示面板制造方法第二实施方式采用的干燥装置的结构示意图。该干燥装置50与该第一实施方式的干燥装置40的不同的处在于:该干燥装置50的热板520密集设置多个贯通孔521,该多个贯通孔521为平行四边形棱柱通孔,其包括一吸气面(未标示)、一出气面和一侧表面,该侧表面与该吸气、出气面成一倾斜角度θ1,且θ1不为直角。请一并参阅图11,是图10所示热板520的平面示意图。该多个贯通孔521在该热板520上成行排列。
在预干燥该有机薄膜315时,首先,将该涂布有该彩色滤光片基板310的与涂布该有机薄膜315一侧相对的另一侧放置在该热板520上,然后,该气流产生器510产生吹向该热板520的多束热气流,该多束热气流通过该热板520的多个贯通孔521均匀扩散成多束更分散更细小的热气流,预干燥该彩色滤光片基板310上的有机薄膜315,且将该彩色滤光片基板310向上托起。但是,该热板520的多个贯通孔521均为倾斜设置的通孔,因而,该多束热气流经过该多个贯通孔521的后,顺沿该多个贯通孔521倾斜的方向吹出,则该热气流具有一推动该彩色滤光片基板310向前运动的推力,且通过该温度感应器540和该高度感应器530控制该气流产生器510产生热气流的温度与压力,可推动该彩色滤光片基板310在该热板520上方水平移动。当该热板520与下一步骤的红外加热炉相连接时,可省略用夹具夹持彩色滤光片基板310至该红外加热炉的步骤,直接通过该热气流在预干燥该有机薄膜315同时,推动该彩色滤光片基板310至该红外加热炉。
但是,本发明的干燥装置不限于上述实施方式,该热板的多个贯通孔的底面可以为正方形或者棱形。另,该多个贯通孔的侧表面与其底面的倾斜角度θ1的大小,可依据所需该彩色滤光片基板的运动速度进行调整。
Claims (10)
1.一种液晶显示面板制造方法,其包括以下步骤:
提供一彩色滤光片基板;
涂布一有机薄膜在该彩色滤光片基板;
预干燥该有机薄膜,其特征在于:预干燥时,提供多束热气流烘烤该彩色滤光片基板的与涂布该有机薄膜一侧相对的另一侧,以预干燥该有机薄膜。
2.如权利要求1所述的液晶显示面板制造方法,其特征在于:在预干燥该有机薄膜的步骤中,控制该多束热气流的压力保持一致,以使该彩色滤光片基板保持水平。
3.如权利要求1所述的液晶显示面板制造方法,其特征在于:在预干燥该有机薄膜的步骤中,控制该多束热气流的温度保持一致,以使该彩色滤光片基板受热均匀。
4.如权利要求1所述的液晶显示面板制造方法,其特征在于:在预干燥该有机薄膜的步骤中,该多束热气流扩散成多束更分散更细小的热气流,以使该彩色滤光片基板加速受热。
5.一种干燥装置,其包括一用于承载该涂布有一有机薄膜的彩色滤光片基板之热板,其特征在于:该干燥装置进一步包括一气流产生器,该热板上设置多个贯通孔;该气流产生器产生多束热气流,且通过该热板的多个贯通孔吹向该彩色滤光片基板的与涂布该有机薄膜一侧相对的另一侧,以预干燥该有机薄膜。
6.如权利要求5所述的干燥装置,其特征在于:该干燥装置进一步包括多束温度感应器,该多束温度感应器设置在该热板靠近该气流产生器一侧,监测该热板的温度。
7.如权利要求5所述的干燥装置,其特征在于:该干燥装置进一步包括一高度感应器,该高度感应器感应该彩色滤光片基板距离该热板的高度。
8.如权利要求5所述的干燥装置,其特征在于:该多个贯通孔为柱体结构,其包括一吸气面、一出气面和与该吸气、出气面相接的侧表面,该吸气面靠近该气流产生器一侧。
9.如权利要求8所述的干燥装置,其特征在于:该多个贯通孔的吸气、出气面均为圆形或平行四边形。
10.如权利要求8所述的干燥装置,其特征在于:该多个贯通孔的侧表面与其吸气面成直角、锐角或钝角。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2007100746074A CN101311786B (zh) | 2007-05-25 | 2007-05-25 | 液晶显示面板制造方法及干燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2007100746074A CN101311786B (zh) | 2007-05-25 | 2007-05-25 | 液晶显示面板制造方法及干燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101311786A true CN101311786A (zh) | 2008-11-26 |
CN101311786B CN101311786B (zh) | 2010-09-29 |
Family
ID=40100488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2007100746074A Expired - Fee Related CN101311786B (zh) | 2007-05-25 | 2007-05-25 | 液晶显示面板制造方法及干燥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101311786B (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102009033A (zh) * | 2009-09-07 | 2011-04-13 | 东丽工程株式会社 | 预干燥装置及预干燥方法 |
CN102085511A (zh) * | 2010-11-22 | 2011-06-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 配向膜干燥装置及干燥方法 |
CN102768430A (zh) * | 2011-05-02 | 2012-11-07 | Lg电子株式会社 | 显示模块和具有该显示模块的移动终端 |
CN103529599A (zh) * | 2013-09-22 | 2014-01-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种气浮式液晶基板的配向设备以及方法 |
CN106154605A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-23 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 固化设备及其使用方法 |
CN108614391A (zh) * | 2018-05-09 | 2018-10-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 烘烤炉及光阻预烘烤方法 |
CN111063637A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-24 | Tcl华星光电技术有限公司 | 一种加热装置及其控制方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3950327B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2007-08-01 | 株式会社日立製作所 | 液晶表示素子の製造方法 |
CN100430803C (zh) * | 2003-01-30 | 2008-11-05 | 日本写真印刷株式会社 | 加热装置 |
JP4619854B2 (ja) * | 2005-04-18 | 2011-01-26 | 東京エレクトロン株式会社 | ロードロック装置及び処理方法 |
-
2007
- 2007-05-25 CN CN2007100746074A patent/CN101311786B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102009033A (zh) * | 2009-09-07 | 2011-04-13 | 东丽工程株式会社 | 预干燥装置及预干燥方法 |
CN102085511A (zh) * | 2010-11-22 | 2011-06-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 配向膜干燥装置及干燥方法 |
WO2012068755A1 (zh) * | 2010-11-22 | 2012-05-31 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 配向膜干燥装置及干燥方法 |
CN102768430A (zh) * | 2011-05-02 | 2012-11-07 | Lg电子株式会社 | 显示模块和具有该显示模块的移动终端 |
CN102768430B (zh) * | 2011-05-02 | 2016-12-14 | Lg电子株式会社 | 显示模块和具有该显示模块的移动终端 |
CN103529599A (zh) * | 2013-09-22 | 2014-01-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种气浮式液晶基板的配向设备以及方法 |
WO2015039360A1 (zh) * | 2013-09-22 | 2015-03-26 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种气浮式液晶基板的配向设备以及方法 |
CN103529599B (zh) * | 2013-09-22 | 2016-08-10 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种气浮式液晶基板的配向设备以及方法 |
CN106154605A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-23 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 固化设备及其使用方法 |
CN108614391A (zh) * | 2018-05-09 | 2018-10-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 烘烤炉及光阻预烘烤方法 |
CN111063637A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-24 | Tcl华星光电技术有限公司 | 一种加热装置及其控制方法 |
CN111063637B (zh) * | 2019-12-06 | 2022-07-12 | Tcl华星光电技术有限公司 | 一种加热装置及其控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101311786B (zh) | 2010-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101311786B (zh) | 液晶显示面板制造方法及干燥装置 | |
CN1203356C (zh) | 液晶显示组件的制造方法及干燥装置 | |
CN102085511A (zh) | 配向膜干燥装置及干燥方法 | |
CN1751805B (zh) | 喷墨涂布方法及显示元件制造方法 | |
CN103529599B (zh) | 一种气浮式液晶基板的配向设备以及方法 | |
KR20090006273A (ko) | 플레이트, 온도 조절 장치 및 이를 갖는 기판 처리 장치 | |
KR100848209B1 (ko) | 반도체 처리 시스템용 낱장식 열처리 장치 | |
WO2018113015A1 (zh) | 适用于柔性基板的热真空干燥装置 | |
CN103048832B (zh) | 聚酰亚胺溶液涂布方法及装置 | |
WO2019172537A1 (ko) | 열풍을 이용한 프로브 카드 예열이 가능한 웨이퍼 프로버 | |
CN202166807U (zh) | 一种取向膜预固化设备 | |
JP2003218003A (ja) | 基板加熱装置 | |
CN202230279U (zh) | 一种取向膜预固化装置 | |
JP2010225599A (ja) | 有機el用乾燥装置 | |
CN111063637B (zh) | 一种加热装置及其控制方法 | |
CN100578360C (zh) | 具有调整气流路径功能的涂布干燥装置 | |
TW565924B (en) | Substrate heat treatment apparatus and manufacturing method of flat device | |
CN101597134B (zh) | 玻璃精密退火装置及其退火工艺 | |
CN112859451A (zh) | 配向膜干燥装置、配向膜制备设备及制备方法 | |
CN205645765U (zh) | 立式热处理装置 | |
JP2002221394A (ja) | 電子部品の加熱装置 | |
KR100714882B1 (ko) | 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치 | |
CN107357141A (zh) | 一种基板烘烤装置及方法 | |
CN209103053U (zh) | 一种基板配向液预固化装置 | |
TWI330248B (en) | Method of manufactureing liquid crystal display panel and drying apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100929 Termination date: 20180525 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |