CN101290218B - 用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法 - Google Patents
用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101290218B CN101290218B CN2008100616785A CN200810061678A CN101290218B CN 101290218 B CN101290218 B CN 101290218B CN 2008100616785 A CN2008100616785 A CN 2008100616785A CN 200810061678 A CN200810061678 A CN 200810061678A CN 101290218 B CN101290218 B CN 101290218B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- aspheric surface
- nonzero digit
- detection system
- tested
- digit detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 69
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 230000001915 proofreading effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005457 optimization Methods 0.000 abstract description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法。包括如下步骤:1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模;2)根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前;3)将被测非球面的参数设为变量,利用光线追迹,以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化;4)判断优化是否结束,若结束,则结束误差校正优化,否则继续等待优化结束,优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。本发明可以实现非球面非零位检测的高精度误差补偿。通过优化迭代进行补偿。理论上来说,本发明可以实现非球面非零位检测中误差的完全校正,是一种可以实现高精度的补偿方法。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法。
背景技术
由于非球面形状各异,光学非球面检测一直以来都是个难题。经过长期发展,人们探索出了多种检测非球面的方法。商业非球面检测系统多采用接触式轮廓仪,它可以实现较高精度的检测。但是由于其属于接触式测量,探针容易对被测非球面造成损伤,应用上受到很大限制。目前应用最多的非接触检测是采用零位器件作为辅助工具的零位检测法,其中包括零位补偿镜(如Offner补偿镜、Dall补偿镜等)法,也有仅适用于二次曲面的无像差点法,以及使用计算全息图(Computer Generated Holograms)的方法等。这些零位方法同样可以实现较高精度的检测,但是,由于对于任意一个非球面,都需要一个相应的零位器件与其对应,通用性差。同时,加工、检测这些零位器件也是一项需要大量时间、智力和财力投入的工程。由于这些缺点,在对精度要求不是非常高的情况下,人们更倾向于用非零位检测方法来检测非球面,如长波长法、双波长法、剪切法、高密度探测器法等。这些方法一定程度上实现了非球面的通用化检测,可以快速给出检测结果。
在通常的非零位非球面检测法中,一般都套用球面的测量原理,认为探测器检测得到的波面位相是被测非球面与参考波面偏离的2倍。然而,由于非零位方法偏离了零位条件,使检测光束从非球面反射回来后不能沿着入射时的光路返回,造成最后检测系统探测器平面上的波前畸变并不是被测非球面与参考波面偏离的2倍,而是存在误差。通常,这些误差随被测非球面的口径及相对口径的增大而增大,同时也将随被测非球面面形的变化而变化,并不能够被预先确知。这样就导致非球面的非零位检测法的测量精度在原理上就有很大误差。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法。
用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法包括如下步骤:
1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模;
2)根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前;
3)将被测非球面的参数设为变量,利用光线追迹,以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化;
4)判断优化是否结束,若结束,则结束误差校正优化,否则继续等待优化结束,优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。
所述对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模的方法为:将光学系统中透镜各表面的曲率半径、厚度、彼此的空气间隔以及彼此相对位置和参数输入到光线追迹软件中。
所述根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前方法为:将被测非球面的参数设置为其自身理论值,对光线在光学系统中进行光线追迹,得到探测器平面上的波前。
所述非球面非零位检测系统为:利用与被测非球面理论值存在偏差的补偿波面对被测非球面进行补偿,并通过检测补偿返回波面来得到被测非球面面形的检测系统。
本发明与现有技术相比具有的有益效果主要体现在其可以实现非球面非零位检测的高精度误差补偿。现有非球面非零位检测方法基本上都没有进行误差补偿,而本发明通过优化迭代进行补偿。理论上来说,本发明可以实现非球面非零位检测中误差的完全校正,是一种可以实现高精度的补偿方法。
附图说明
图1是简要表示采用本发明的非球面非零位检测系统原理框图;
图2是表示本发明非球面非零位检测误差校正方法的示意图;
图3是表示本发明非球面非零位检测误差校正方法的流程图;
图4是本发明应用于一基于麦克尔逊干涉仪的非球面非零位检测系统的原理图;
图5是根据对图4中系统建立的系统模型,由被测非球面的理论面形,模拟出的上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前(设为Wr);
图6是基于麦克尔逊干涉仪的非球面非零位检测系统在探测器上实际检测得到的波前(设为Wd);
图7是利用实施例中系统的模型,由被测非球面理论值出发,以非球面非零位检测系统在探测器上实际检测得到的波前(示于图6),通过实施例中的优化方法得到的非球面的真正面形(设为ASP)。
具体实施方式
在附图中,图1简要表示了采用本发明的非球面非零位检测系统原理框图。平行光经过补偿透镜3产生补偿波面2对被测非球面1进行补偿。补偿后返回的波面进入波前检测光学系统4后,最终到达探测器5。
补偿透镜3可以是消球差透镜,这样产生的补偿波面2即为球面波;也可以是任意一种可以产生能够对被测非球面1进行补偿的波面的透镜。
波前检测光学系统4为任何一种可以对波前进行检测的光学系统,其作用是传递从非球面反射回来并从补偿透镜3出射的波面,使该波面保持原来的形状或经过确定的变化后到达探测器5,以进行检测。
非球面检测系统要检测的就是非球面1相对于其自身设计理论面形的偏差,可设为Errasp。在非球面的非零位检测中,一般都套用球面检测原理,认为检测系统的探测器5检测得到的波前(设为W)为非球面1相对于透镜3所产生的补偿波面Wcom的偏差Errcom的2倍,即
W=2×Errcom。(1)
于是,被测非球面的面形误差为
Errasp=W/2。(2)
可以看出,这种数据处理方法存在很大的问题。由于非零位方法偏离了零位条件,使检测光束从非球面反射回来后不能沿着入射时的光路返回,造成最后检测系统探测器平面上的波前并不是被测非球面与参考波面偏差的2倍,而是存在误差。通常,这些误差随被测非球面的口径及相对口径的增大而增大,同时也将随被测非球面面形的变化而变化,并不能够被预先确知。这样就导致非球面的非零位检测法的测量精度在原理上就有很大误差。
本发明提出的可用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法,便可以校正这种非球面非零位检测中的原理性误差。
图2为本发明非球面非零位检测误差校正方法的示意图。利用任意非零干涉仪检测得到探测器平面的波前,经过误差校正模块对误差进行校正后,即可得到被测非球面面形。
图3为本发明非球面非零位检测误差校正模块的流程图。
用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法包括如下步骤:
1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模;
建模的方法就是将光学系统中透镜各表面的曲率半径、厚度、彼此的空气间隔以及彼此相对位置和参数输入到光线追迹软件中。光学系统中的元件参数包括:
光源的输出波长、
准直扩束系统个元件的曲率半径和面形质量、
分光镜的厚度、面形以及放置位置、
用于产生补偿波面的透镜的各镜片的曲率半径、厚度以及各自之间的空气间隔、
被测非球面的理论值、
成像透镜的各镜片的曲率半径、厚度以及各自之间的空气间隔、
探测器平面的参数和位置
以及上述所有器件彼此之间的相对位置和间隔。
光线追迹将可以在现有的任意一种光学设计软件中进行,如ZEMAX,CODEV等,也可以是自行编写的程序。
2)根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前;
所述根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前方法为将被测非球面的参数设置为其自身理论值,对光线在光学系统中进行光线追迹,得到探测器平面上的波前。
3)将被测非球面的参数设为变量,利用光线追迹,以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化;
其中的优化算法可以采用任意一种有效的优化算法,既可以采用全局优化也可以采用局部优化。
4)判断优化是否结束,若结束,则结束误差校正优化,否则继续等待优化结束,优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。
本发明所述的非球面非零位检测系统,是指利用与被测非球面理论值存在偏差的补偿波面对被测非球面进行补偿,并通过检测补偿返回波面来得到被测非球面面形的检测系统。该补偿波面是能够对被测非球面进行补偿的理论上可以定量计算的任意波面。
实施例
本发明应用于一基于麦克尔逊干涉仪的非球面非零位检测系统的实例描述如下。
图4为系统原理图。激光器S1发出激光经准直扩束系统S2扩束成宽光束平面波。该平面波被分光镜S3分成两束光,一束反射后经透镜S4后形成补偿波面入射至被测非球面S5,对被测非球面S5进行补偿,补偿后返回的波面经透镜S4后,透过分光镜S3,形成检测光束;一束透射后,经反射镜S6→标准平面镜S7→反射镜S6后,被分光镜S3反射形成参考光束。两光束发生干涉,被成像透镜S8成像于探测器S9的探测器平面上。
首先,对包含被测非球面在内的非球面非零位检测系统建模,如表1所示(本次建模在ZEMAX中完成)。由于认为参考光束光路为标准光路,故不对其进行建模,为了精度考虑之时可同时对检测光束光路和参考光束光路均进行建模。本应用对系统进行建模时也认为激光器S1发出的激光经准直扩束系统S2扩束后形成的光束为标准平面波,故建模可以直接从透镜S4开始至探测器平面为止。同时,由于分光镜面形质量良好,本次建模中也未考虑。
表1 一基于麦克尔逊干涉仪的非球面非零位检测系统在ZEMAX中的建模结果
注释 | 曲率半径 | 厚度(毫米) | 玻璃 | 口径(毫米) | 二次曲面系数 |
透镜S4第一面 | 63.9 | 12.000 | F3 | 50 | - |
透镜S4第二面 | 44.2 | 6.000 | - | 50 | - |
透镜S4第三面 | 63.8 | 12.000 | BK7 | 50 | - |
透镜S4第四面 | -250 | 966 | - | 50 | - |
被测非球面S5 | 816 | -966 | - | 120 | -1 |
透镜S4第四面 | -250 | -12.000 | BK7 | 50 | - |
透镜S4第三面 | 63.8 | -6.000 | - | 50 | - |
透镜S4第二面 | 44.2 | -12.000 | F3 | 50 | - |
透镜S4第一面 | 63.9 | -67 | - | 50 | - |
成像镜S8第一面 | 92.8 | 6.000 | BK7 | 30 | - |
成像镜S8第二面 | -30.7 | 3.000 | F2 | 30 | - |
注释 | 曲率半径 | 厚度(毫米) | 玻璃 | 口径(毫米) | 二次曲面系数 |
成像镜S8第三面 | -78.2 | 97.47 | - | 30 | - |
探测器平面 | - | - | - | - | - |
其次,根据上述建立的系统模型,根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前(设为Wr)如图5所示。
第三,探测器上实际检测得到的波前(设为Wd)如图6所示。
第四,在上述的包含被测非球面的非球面非零位检测系统中,将被测非球面的参数设为变量,利用光线追迹,以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化。
被测非球面S5的面型可以用下式表示:
其中
c=1/R
,(4)
k=-e2
R为顶点球半径,e是二次曲面的离心率,ai(i=1,2,...,m)为偶次项系数,r是极径,n为泽尼克系数项数,Bi(i=1,2,…,n)是第i项泽尼克系数值,ρ为规一化极坐标,为极角。
则将Bi(i=1,2,…,n)系数设为变量即可在上述包含被测非球面S5的系统中,利用光线追迹,以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前(图6所示)为目标进行优化。
优化算法很多,下面简述基于最小二乘法优化方法:
设向量ASP=[B1,B2,…,Bn],其中Bi(i=1,2,…,n)是第i项泽尼克系数值。这里设定前N项泽尼克系数为被测非球面面形误差的变量。为推导简单起见,设X=(x1,x2…xN)T=ASP,为可变非球面状态矩阵。
检测系统探测器平面处波前Wd由干涉仪检测获得,把它作为优化目标,改变非球面面形及装调状态矩阵X进行优化。设优化过程中第k次迭代后检测系统探测器平面S9处的当前波前为Wk,则可定义广义加权偏差函数fk=ρk(Wk-Wdk),其中ρk为权因子,则
X=(x1,x2…xN)T为可变非球面参数向量;
f=(f1,f2…fN)T为加权广义偏差向量。
将f对X在初始点展开,并取线性项,得
把f写为
f=f0+Δf=f0+AΔX (6)
其中
f0=(f10,f20,…,fN0)T
ΔX=(Δx1,Δx2,…,ΔxN)T
其中p为阻尼因子,作用是限制解的范围,使单位波面变化量不致太大而仍处于线性范围内,保证评价函数的下降(本实施例中此次优化取1E-10)。由极值条件化得方程组
(ATA+pI)ΔX=ATf0 (8)
这样,只要使|ATA+pI|≠0,单位波面变化量ΔX即为有意义。
经过上述过程,可以得到X的真实值,从而即可得到非球面的面形ASP(如图7所示)。
可见,上述过程是一个基于系统模型的,利用光线追迹,以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标的优化过程。
综上所述,利用本发明方法可以在非球面非零位检测系统中将含有原理性误差的探测器实际探测得到的波前进行校正,得到被测非球面的真正面形。该发明有利于提高非球面非零位检测系统的检测精度,对非球面检测技术的发展具有重要作用。
Claims (2)
1.一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法,其特征在于包括如下步骤:
1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模;
2)根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前;
3)将被测非球面的参数设为变量,利用光线追迹,以非球面非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化;
4)判断优化是否结束,若结束,则结束误差校正优化,否则继续等待优化结束,优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的;
所述对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模的方法为:将非球面非零位检测系统中的元件参数输入到光线追迹软件中;元件参数包括:光源的输出波长,准直扩束系统各元件的曲率半径和面形质量,分光镜的厚度、面形以及放置位置,用于产生补偿波面的透镜的各镜片的曲率半径、厚度以及各自之间的空气间隔,被测非球面的理论值,成像透镜的各镜片的曲率半径、厚度以及各自之间的空气间隔,探测器平面的参数和位置,以及上述所有器件彼此之间的相对位置和间隔;
所述根据被测非球面的理论面形,模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前方法为:将被测非球面的参数设置为其自身理论值,对光线在光学系统中进行光线追迹,得到探测器平面上的波前。
2.根据权利要求1所述一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法,其特征在于所述非球面非零位检测系统为:利用与被测非球面理论值存在偏差的补偿波面对被测非球面进行补偿,并通过检测补偿后返回的波面来得到被测非球面面形的检测系统。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2008100616785A CN101290218B (zh) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2008100616785A CN101290218B (zh) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101290218A CN101290218A (zh) | 2008-10-22 |
CN101290218B true CN101290218B (zh) | 2010-06-09 |
Family
ID=40034578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2008100616785A Expired - Fee Related CN101290218B (zh) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101290218B (zh) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101592478B (zh) * | 2009-06-15 | 2011-05-18 | 浙江大学 | 非球面非零检测中非零补偿镜精密干涉定位调整装置及方法 |
CN102155926A (zh) * | 2011-03-09 | 2011-08-17 | 浙江大学 | 一种非球面顶点球曲率半径的测量系统及方法 |
CN102506750A (zh) * | 2011-10-28 | 2012-06-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 部分补偿非球面反射镜面形检测方法 |
CN102591031B (zh) * | 2012-03-02 | 2014-07-02 | 浙江大学 | 非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法 |
CN102589416B (zh) | 2012-03-15 | 2014-05-07 | 浙江大学 | 用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法 |
CN103776389A (zh) * | 2014-01-10 | 2014-05-07 | 浙江大学 | 一种高精度非球面组合干涉检测装置与方法 |
CN104930971B (zh) * | 2015-06-12 | 2017-05-24 | 浙江大学 | 非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法 |
CN108759713B (zh) * | 2018-05-22 | 2021-04-06 | 天津中德应用技术大学 | 基于光线追迹的面形三维测量系统 |
CN111209689B (zh) * | 2020-02-14 | 2022-07-26 | 北京理工大学 | 非零干涉非球面测量回程误差去除方法及装置 |
CN112923871B (zh) * | 2021-03-31 | 2021-12-28 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种自由曲面反射镜曲率半径检测装置及方法 |
CN112902875B (zh) * | 2021-03-31 | 2022-02-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种非球面反射镜曲率半径检测装置及方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5075800A (en) * | 1989-12-04 | 1991-12-24 | Yeda Research And Development Co. Ltd. | Method of optimizing holographic optical elements |
CN1403783A (zh) * | 2002-09-18 | 2003-03-19 | 清华大学 | 一种非球面镜顶点曲率半径测量方法及装置 |
CN1884967A (zh) * | 2005-06-23 | 2006-12-27 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 光学镜片非球面的表面形状误差测试装置及方法 |
-
2008
- 2008-05-23 CN CN2008100616785A patent/CN101290218B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5075800A (en) * | 1989-12-04 | 1991-12-24 | Yeda Research And Development Co. Ltd. | Method of optimizing holographic optical elements |
CN1403783A (zh) * | 2002-09-18 | 2003-03-19 | 清华大学 | 一种非球面镜顶点曲率半径测量方法及装置 |
CN1884967A (zh) * | 2005-06-23 | 2006-12-27 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 光学镜片非球面的表面形状误差测试装置及方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
王永仲.镯面和一般复曲率面的光线追迹.光电工程20 5.1993,20(5),7-12. |
王永仲.镯面和一般复曲率面的光线追迹.光电工程20 5.1993,20(5),7-12. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101290218A (zh) | 2008-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101290218B (zh) | 用于校正非球面非零位检测时的原理误差的方法 | |
CN110188321B (zh) | 一种基于神经网络算法的主次镜校准方法 | |
WO2017101557A1 (zh) | 面形检测装置及方法 | |
CN103471522B (zh) | 检测范围广的凹非球面的实时检测方法 | |
CN103591888B (zh) | 大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法 | |
CN105466351B (zh) | 用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及设计方法 | |
CN107782254B (zh) | 一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法 | |
CN103471521B (zh) | 快速、准确的光学非球面的实时检测方法 | |
CN103776389A (zh) | 一种高精度非球面组合干涉检测装置与方法 | |
CN103134660B (zh) | 基于像散分解获得望远镜主次镜对准误差的方法 | |
CN102997864A (zh) | 一种大口径光学非球面镜检测系统 | |
CN103234480A (zh) | 一种环形凸非球面的快速面形检测方法 | |
Elloumi et al. | Error correction algorithms in non-null aspheric testing next generation sequencing data | |
CN104006759A (zh) | 大口径大偏离量非球面反射镜抛光过程中复合检测方法 | |
CN105318847A (zh) | 基于系统建模的非球面非零位环形子孔径拼接方法 | |
CN106871819B (zh) | 基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法 | |
CN103969034B (zh) | 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法 | |
CN110715619A (zh) | 基于自适应非零干涉法的光学自由曲面面形误差测量方法 | |
CN105352453B (zh) | 非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法 | |
Redaelli et al. | Alignment using the LT in the MORFEO@ ELT instrumentation | |
Liu et al. | Virtual-real combination Ritchey-Common interferometry | |
US8576408B2 (en) | Surface figure test method for large convex optical surfaces | |
Fortmeier et al. | Steps towards traceability for an asphere interferometer | |
CN115423881A (zh) | 一种基于神经网络和光斑形态的主次镜快速校准方法 | |
An et al. | Curvature sensing-based pupil alignment method for large-aperture telescopes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100609 Termination date: 20160523 |