CN101168150A - 液滴喷出装置的功能液加热方法和液滴喷出装置 - Google Patents

Abstract

一种能够节能控制供给液滴喷头的功能液的最适温度的液滴喷出装置的功能液加热方法和液滴喷出装置。在包收纳库(16)的导热板(32)上设置珀尔贴元件(PT)，通过珀尔贴元件(PT)来冷却包收纳库(16)的墨包(33)的金属墨(F)。另外，珀尔贴元件(PT)的发热部(PTb)一侧设置送风机(34)，在送风机(34)的吸入侧连接供给管(T)。并且，周围常温的空气A积极接触供给管(T)而吸入送风机(34)，被吸入的空气(A)吹拂珀尔贴元件(PT)的发热部(PTb)，在与供给管(T)之间热交换，暖化供给管(T)。

Description

液滴喷出装置的功能液加热方法和液滴喷出装置

技术领域

本发明涉及液滴喷出装置的功能液加热方法和液滴喷出装置。

背景技术

作为在基板上形成所需图案的装置，将功能液形成液滴而喷出的液滴喷射装置即液滴喷出装置受到重视。液滴喷出装置在使载置于载置台上的基板、和使功能液形成液滴喷出的液滴喷头相对二维移动而使从液滴喷头喷出的液滴配置在基板表面的任意位置上，从而形成图案。

液滴喷出装置中，功能液粘性不稳定的情况下，由于液滴的重量变动，所以图案的尺寸和形状产生偏差。另外，功能液的粘性变高的情况下，由于液滴喷头的喷咀出现堵塞，所以产生液滴的喷出不良。因此，液滴喷出装置通过冷却装置冷却供给液滴喷头的功能液，或者通过加热装置对其加热，从而控制功能液的粘性(例如专利文献1和专利文献2)。

基板上形成配线图案的方法中，为了实现配线宽度的高精度化、即液滴直径的高精度化而采用对液滴照射激光束的技术。喷出的液滴通过接收激光束而在短时间干燥，所以能够抑制喷落后的濡湿扩展。作为这样的配线图案采用的功能液例如已知将银(Ag)等金属微粒子分散到溶剂中的分散类金属墨。

上述金属墨放置在常温下的情况下，会使墨的内部招致二次凝集等而劣化。液滴喷出装置长期连续运转的情况下，贮存在罐子中的金属墨继续暴露于常温而劣化，所以得不到稳定的操作。因此，采用上述金属墨的情况下，需要通过冷却装置冷却罐子，冷却罐子内的金属墨。

专利文献1：(日本)JP2000-238281(原文公开号：特開2000-238281号公報)

专利文献1：(日本)JP2005-305973(原文公开号：特開2000-238281号公報)

另一方面，当罐子的金属墨冷却，则从罐子供给的金属墨以低的温度供给液滴喷头。结果，液滴喷头成低温即高粘度，所以难以使该金属墨形成液滴难以喷出。结果，在连接罐子和液滴喷头的金属墨的供给管上设置加热装置，该加热装置对流入供给管中的金属墨加热，能够解决该问题。即，未使用的金属墨通过冷却装置的冷却而防止劣化，使用的金属墨通过加热装置的加热使粘性降低。

但是，上述结构由于分别设置冷却装置和加热装置，所以会招致液滴喷出装置的消耗电力的增大和装置尺寸的大型化。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而研发的，其目的在于提供一种能够节能控制供给液滴喷头的功能液的最适温度的液滴喷出装置的功能液加热方法和液滴喷出装置。

本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，其特征在于，利用基于所述冷却装置的冷却的排热，来加热所述供给管中的所述功能液。

根据本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，供给管中的功能液通过基于冷却装置的冷却的排热而加热，之后供给液滴喷头。因此，本发明的功能液加热方法不使用仅用于加热功能液的加热装置，而能够加热被冷却的功能液加热，实现节能化。

本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，其特征在于，利用所述供给管中的所述功能液和周围的空气的热交换，来加热所述供给管中的所述功能液，并通过由所述热交换冷却的所述空气辅助所述冷却装置的冷却。

根据本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，周围的空气通过与供给管中的功能液热交换，而加热供给管中的功能液。另外，通过与功能液的热交换而使冷却的空气辅助冷却装置的冷却。因此，本发明的功能液加热方法不使用仅用于加热功能液的加热装置，而能够加热被冷却的功能液加热，并提高冷却装置的冷却效率，所以能够实现节能化。

本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，并向喷出的所述液滴照射来自光源的光，其特征在于，利用基于所述光源的照射的排热，来加热所述供给管中的所述功能液。

根据本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，供给管中的冷却的功能液通过光源的排热加热，之后供给液滴喷头。因此，本发明的功能液加热方法不使用仅用于加热功能液的加热装置，而能够加热被冷却的功能液加热，能够实现节能化。

本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，并向喷出的所述液滴照射来自光源的光，其特征在于，利用所述供给管中的所述功能液和所述光源的制冷剂的热交换，来加热所述供给管中的所述功能液，并通过由所述热交换冷却的所述制冷剂辅助所述光源的冷却。

根据本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，光源的制冷剂通过与供给管中的功能液进行热交换，而加热供给管中的功能液。另外，通过与功能液进行热交换而冷却的制冷剂辅助光源的冷却。因此，本发明的功能液加热方法不使用仅用于加热功能液的加热装置，而能够加热被冷却的功能液加热，并提高冷却装置的冷却效率，所以能够实现节能化。

本发明的液滴喷出装置，其具有：收纳库，该收纳库收纳用于收容含有功能材料的功能液的容器；液滴喷头，该液滴喷头使所述功能液形成液滴而喷出；冷却装置，该冷却装置冷却收纳于所述收纳库中的所述容器中的所述功能液；供给管，该供给管设于所述容器和所述液滴喷头之间，将收容于所述容器中的所述功能液供给所述液滴喷头，其特征在于，具有利用基于所述冷却装置的冷却的排热来加热所述供给管的加热装置。

根据本发明的液滴喷出装置，基于冷却装置的冷却的排热对供给管中的功能液进行加热。因此，本发明的液滴喷出装置不使用仅用于加热功能液的加热装置，而能够加热被冷却的功能液加热，能够实现节能化。

该液滴喷出装置中，所述冷却装置和所述加热装置是珀尔贴元件，通过将所述珀尔贴元件的冷却部与所述收纳库热接触来冷却位于所述容器的内部的所述功能液，通过使所述珀尔贴元件的发热部与所述供给管热接触来加热所述供给管。

根据该液滴喷出装置，收纳库中的功能液的冷却和供给管中流动的功能液的加热通过一个珀尔贴元件实现。因此，液滴喷出装置有效利用珀尔贴元件PT发出的热，所以不需要分别设置冷却功能液的冷却装置和加热功能液的加热装置，提供部件数少、省资源的对环境良好的装置。

该液滴喷出装置中，具有送风装置，该送风装置设于所述发热部和所述供给管之间，经由所述供给管将周围的空气送给所述发热部。

根据该液滴喷出装置，周围的空气通过送风装置而促进与供给管中的功能液的热交换，对被冷却的功能液进行加热。另外，通过与功能液进行热交换而冷却的空气通过送风装置送给上述珀尔贴元件的发热部。结果，珀尔贴元件能够冷却其发热部而提高冷却部的冷却效率。

本发明的液滴喷出装置，所述冷却装置和所述加热装置是热泵，通过将所述热泵的冷却部与所述收纳库热接触来冷却所述容器内的所述功能液，通过使所述热泵的发热部与所述供给管热接触来加热所述供给管。

根据该液滴喷出装置，加热泵进行收纳库中的功能液的冷却和供给管中流动的功能液的加热。因此，从加热泵发出的热能够有效利用，所以不需要分别设置冷却功能液的冷却装置和加热功能液的加热装置，提供部件数少、省资源的对环境良好的装置。

本发明的液滴喷出装置，其具有：收纳库，该收纳库收纳用于收容含有功能材料的功能液的容器；液滴喷头，该液滴喷头使所述功能液形成液滴而朝向对象物喷出；冷却装置，该冷却装置冷却收纳于所述收纳库中的所述容器中的所述功能液；供给管，该供给管设于所述容器和所述液滴喷头之间，将收容于所述容器中的所述功能液供给所述液滴喷头；光源，对喷落在所述对象物上的所述液滴的区域照射光，其特征在于，具有利用基于所述光源的照射的排热来加热所述供给管的加热装置。

根据本发明的液滴喷出装置，供给液滴喷出装置的功能液利用光源的排热暖化。因此，液滴喷出装置不使用仅用于加热功能液的加热装置，能够实现节能化和节能化，另外，对环境良好的装置。

本发明的液滴喷出装置，所述加热装置具有循环泵和热交换器，所述循环泵使制冷剂在所述光源的箱体和所述热交换器之间循环，所述热交换器利用所述制冷剂和所述供给管之间的热交换来将所述箱体的热量给予所述供给管中的所述功能液。

根据该液滴喷出装置，制冷剂在光源的箱体循环，从而通过光源的排热而暖化，送入热交换器内部。送入热交换器的制冷剂通过与从收纳库供给的功能液进行热交换而冷却。另外，被冷却的制冷剂送入光源的箱体，所以光源被有效冷却。因此，液滴喷出装置不使用仅用于加热功能液的加热装置和仅用于冷却光源的冷却装置，能够实现节能化和节能化，另外，对环境良好的装置。

本发明的液滴喷出装置，所述循环泵具有冷却功能，使利用所述冷却功能冷却的所述制冷剂在所述光源的箱体上循环。

根据该液滴喷出装置，循环泵的冷却功能能够提高光源的冷却效率。

本发明的液滴喷出装置，所述加热装置具有冷却用风扇，该冷却用风扇将外部气体吸入所述光源的箱体的内部，并将所述箱体的内部的空气送给所述箱体外的所述供给管。

根据该液滴喷出装置，供给液滴喷头的功能液利用从光源排出的排热而暖化。因此，液滴喷出装置不使用特别的加热装置，而能够实现节能化和节能化，另外，对环境良好的装置。

本发明的液滴喷出装置，其具有：收纳库，该收纳库收纳用于收容含有功能材料的功能液的容器；液滴喷头，该液滴喷头使所述功能液形成液滴而喷出；冷却装置，该冷却装置冷却收纳于所述收纳库中的所述容器中的所述功能液；供给管，该供给管设于所述容器和所述液滴喷头之间，将收容于所述容器中的所述功能液供给所述液滴喷头，其特征在于，所述供给管回转卷绕在所述收纳库的外侧，利用该供给管与周围的空气的热交换来加热所述供给管中的所述功能液。

根据本发明的液滴喷出装置，供给管增加从容器到液滴喷头的距离即功能液和周围的空气之间的热交换的机会。另外，供给管将收纳库的周围的空气的热能吸收到功能液，所以能够提高收纳库中的隔热效果，实现节能化。

该液滴喷出装置中，所述供给管多重回转卷绕在所述收纳库的外侧，所述功能液的上游在内侧回转，所述功能液的下游侧在外侧回转。

根据该液滴喷出装置，冷却的功能液在内侧周转，并且供给液滴喷头的功能液在外侧周转。因此，液滴喷出装置能够进一步提高收纳库中的隔热效果，实现节能化。

附图说明

图1是第一实施方式的液滴喷出装置的全体立体图。

图2是同样地表示从液滴喷头到清洁板的液滴喷出状态的图。

图3是同样地说明液滴喷头的喷咀的排列的说明图。

图4是同样地说明收容墨包的包收纳库的要部剖面图。

图5是同样地用于说明液滴喷出装置的电气结构的电气方框电路图。

图6是第二实施方式的液滴喷出装置的全体立体图。

图7是同样地说明液滴喷头的图。

图8是说明热交换系统和冷却水的循环系统的图。

图9是同样地用于说明液滴喷出装置的电气结构的电气方框电路图。

图10是表示本发明的包收纳库的另一个例子的要部剖面图。

图11是同样地表示包收纳库的另一个例子的要部剖面图。

图12是同样地模式表示热交换系统的另一个例子的图。

符号说明

10液滴喷出装置

13载置台

16包收纳库

20液滴喷头

31隔热材料

32导热板

33墨包

34送风机

40热交换器

50控制装置

70冷却风扇

A空气

F作为功能液的金属墨

Fb液滴

H橡胶加热器

K箱体

LD1第一半导体激光装置

LD2第二半导体激光装置

L激光

S清洁板

T供给管

Ta不锈钢管

PT珀尔贴元件

PTa冷却部

PTb发热部

PZ压电元件

VP吸引泵

VPC循环泵

W冷却水

具体实施方式

(第一实施方式)

以下，参照图1～图5说明本发明的液滴喷出装置具体化为在清洁板上形成配线图案的液滴喷出装置的第一实施方式。

图1是表示用于说明液滴喷出装置10的全体立体图。图1中，液滴喷出装置10具有形成长方形的基台11。基台11的上面沿其长度方向(以下单称为Y箭头方向)延伸的一对引导槽12。引导槽12的上方具有沿引导槽12而在Y箭头方向和反Y箭头方向移动的载置台13。载置台13的上面形成载置部14，该载置部14载置烧制前的低温烧制基板(以下单称为清洁板S)。载置部14相对于载置台13定位并固定清洁板S，在Y箭头方向和反Y箭头方向上搬送清洁板S。载置台13的上面配设橡胶加热器H。载置部14上载置的清洁板S自身的上面全体由橡胶加热器H加热到规定温度。本实施方式中，清洁板S将玻璃陶瓷类材料的粉末和分散剂与粘接剂和起泡剂等混合而形成浆体，该浆体形成板状后干燥，形成具有可挠性的低温烧制基板。

基台11上架设在与Y箭头方向垂直的方向(以下单称为X箭头方向)上跨度的门型的引导部件15。引导部件15的上侧配设在X箭头方向延伸的包收纳库16。包收纳库16上收纳作为收容作为功能液的金属墨F(参照图2)的容器的墨包33(参照图4)。墨包33收容的金属墨F经由作为与墨包33连接的作为供给管的供给管T而以规定压力供给液滴喷头(以下单称为喷头)20。供给喷头20的金属墨F作为液滴Fb(参照图2)向清洁板S喷出。

作为金属墨F能够使用作为功能材料的金属粒子例如粒经数nm的功能材料的金属微粒子分散到溶剂中的分散类金属墨。金属墨F通过干燥而出现功能(本实施方式中为导电性)。

作为金属墨F使用的金属微粒子例如采用金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、铝(Al)、钯(Pd)、猛(Mn)、钛(Ti)、钽(Ta)和镍(Ni)等材料，除此还可以使用这些材料的氧化物以及超电导体的微粒子等。优选金属微粒子的粒经为1nm以上、0.1μm以下的为佳。金属微粒子的粒经若比0.1μm大，则喷头20的喷咀N会产生堵塞。另外，金属微粒子的粒经比1nm小，则对金属微粒子的分散剂的体积比变大，得到的模中的有机物的比率过大。

作为分散介质，只要是能够使上述金属微粒分散、且不引起凝聚的介质就不特别限定。例如，除了水系溶剂之外，还可以举例列出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇类、正己烷、正辛烷、癸烷、十二烷、十四烷、甲苯、二甲苯、异丙基甲苯、杜烯、茚、二戊烯、四氢萘、十氢萘、环己基苯等烃系化合物、及乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、甘油、1，3-丙烷二醇等多元醇、聚乙二醇、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚、1，2-二甲氧基乙烷、双(2-甲氧基乙基)醚、对二噁烷等醚系化合物、以及碳酸丙烯酯、γ-己内酯、正甲基-2-吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、环己酮、乳酸乙酯等极性化合物。其中，从微粒的分散性和分散液的稳定性、和向液滴喷出法的适用的容易性方面来说，优选水、醇类、烃系化合物、醚系化合物，作为更优选的分散介质，可以举出水、烃系化合物。

例如可以采用在由水(沸点100℃)40％、乙二醇(沸点198℃)40％、聚乙二醇#1000(分解温度168℃)30％构成的水类溶剂中分散银(Ag)粒子而得的金属墨F。另外，也可以采用在十四烷(沸点253℃)构成的溶剂中分散金属微粒子(Au、Ag、Ni、Mn等粒子)的金属墨F。

金属墨F的液滴Fb被加热，则自身的表面蒸发溶剂或分散剂的一部分，使自身的表面的外缘增加粘度(增粘)。即，液滴Fb的外周部的固形部分(粒子)浓度比中央部形成饱和浓度快，所以液滴Fb自身表面从外缘增粘。增粘的金属墨F的外缘停止即阻止沿清洁板S的面方向的自身濡湿扩展(濡れ広がり)。

引导部件15上在其X箭头方向大致整个宽度上形成沿X箭头方向延伸的上下一对导轨18。上下一对的导轨18上安装滑架19。滑架19被导轨18引导而在X箭头方向和反X箭头方向上移动。滑架19上搭载液滴喷头20。

如图2所示，喷头20的下侧具有喷咀板21。喷咀板21具有与清洁板S的上面(以下单称为喷出面Sa)大致平行的下面(以下单称为喷咀形成面21a)。喷咀板21当清洁板S位于喷头20的正下方时保持在喷咀形成面21a和喷出面Sa之间的距离即压盘间隙为规定的距离(例如500μm)。

图3中，喷咀形成面21a上形成由沿X箭头方向排列的多个喷咀N构成的一对喷咀列NL。一对喷咀列NL上分别每一英寸形成180个喷咀N。另外，图3中，为了说明方便，仅表示每一列上形成10个喷咀N。

一对喷咀列NL中，从Y箭头方向看，一个喷咀列NL的各喷咀N填入另一个喷咀列NL的各喷咀N之间。即，喷头20在X箭头方向每一英寸具有180个×2＝360个的喷咀N，即X方向最大清晰度为360dpi。

图2中，喷头20的上侧连结供给管T。供给管T沿Z箭头方向配设，对喷头20供给来自包收纳库16内的墨包33的金属墨F。

各喷咀N的上侧形成与供给管T连通的腔室22。腔室22收容来自供给管T的金属墨F并供给连通收容的金属墨F的一部分的喷咀N。腔室22的上侧粘贴沿Z箭头方向振动而扩大或缩小腔室22的容积的振动板23。振动板23的上侧对每一个喷咀N配设压电元件PZ。压电元件PZ通过在Z箭头方向伸张收缩而使振动板23沿Z箭头方向振动。沿Z箭头方向振动的振动板23使金属墨F形成规定尺寸的液滴Fb而从喷咀N喷出。喷出的液滴Fb在喷咀N的反Z箭头方向飞行，之后滴落在清洁板S的喷出面Sa上。

接着，参照图4说明上述包收纳库16。图4表示包收纳库16的要部剖面。

图4中，包收纳库16的前侧、即反Y箭头方向的侧壁通过不锈钢等导热板32形成。另外，包收纳库16的除前侧的各侧壁由隔热材料31形成。这些隔热材料31和导热板32包围的空间收纳将金属墨F收容的墨包33。墨包33与导热板32的内侧面接触。

收纳在包收纳库16的墨包33经由供给管T与喷头20连结。墨包33经由供给管T将金属墨F供给腔室22。包收纳库16的内部经由吸引管(未图示)与吸引泵VP(参照图5)连结。吸引泵VP通过吸引包收纳库16的内部而使包收纳库16内部形成负压。吸引泵VP通过调整包收纳库16内部的负压来调整给予墨包33的压力，由此调整金属墨F的供给量。

在导热板32外侧面安装作为冷却装置或加热装置的珀尔贴元件PT。珀尔贴元件PT的冷却部PTa与导热板32的外侧面接触。珀尔贴元件PT的冷却部PTa经由导热板32冷却包收纳库16的内部。由此，冷却包收纳库16内部的墨包33的金属墨F。本实施方式中，珀尔贴元件PT的冷却部PTa将墨包33的金属墨F冷却到5℃。通过该冷却，金属墨F能够抑制金属微粒子的2次凝集，即能够防止劣化。

在珀尔贴元件PT的发热部PTb上设置送风机34。送风机34通过风扇电机MF(参照图5)而使风扇(未图示)旋转，从而吸入周围的空气A，该吸入的空气A吹拂珀尔贴元件PT的发热部PTb。送风机34的吸入侧接触供给管T。

因此，包收纳库16内部冷却的墨包33的金属墨F通过供给管T供给喷头20的途中，与送风机34吸入的空气A热交换。即，吸入送风机34的常温(20℃)的空气A装上供给管T而吸入送风机34。这时，常温的空气A对供给管T内流动的5℃的金属墨F给以热量，暖化该金属墨F。结果，通过热交换暖化的金属墨F供给喷头20。

另一方面，吸入送风机34的空气A通过与金属墨F热交换而冷却。冷却的空气A通过送风机34而吹拂珀尔贴元件PT的发热部PTb。结果，珀尔贴元件PT其发热部PTb被冷却，冷却部PTa的冷却效率能够得以提高。

接着，参照图5说明上述构成的液滴喷出装置10的电气结构。

图5中，控制装置50具有CPU 50A、ROM 50B、RAM 50C等。控制装置50根据储存的各种数据和各种控制程序进行载置台13的搬送处理、珀尔贴元件PT的驱动控制、送风机34的驱动控制等。

控制装置50上连接具有各种操作开关和显示器的输入输出装置51。输入输出装置51表示根据液滴喷出装置10实行的各种处理的处理状况。输入输出装置51生成用于在清洁板S上以液滴Fb形成图案的点图数据BD，将该点图数据BD输入控制装置50。

点图数据BD是与各点的值(0或1)对应而规定各压电元件PZ的开或关的数据。点图数据BD是喷头20即各喷咀N通过的绘图平面(喷出面Sa)上的各位置规定是否喷出液滴Fb的数据。即，点图数据BD是对喷出面Sa规定的图案的目标形成位置上喷出液滴Fb的数据。

控制装置50连接X轴电机驱动电路52。控制装置50将驱动控制信号输出给X轴电机驱动电路52。X轴电机驱动电路52应答来自控制装置50的驱动控制信号，使用于滑架19移动的X轴电机MX正转或反转。

控制装置50上连接Y轴电机驱动电路53。控制装置50将驱动控制信号输出给Y轴电机驱动电路53。X轴电机驱动电路53应答来自控制装置50的驱动控制信号，使用于载置台13移动的X轴电机MY正转或反转。

控制装置50连接喷头驱动电路54。控制装置50与规定喷出频率同步而生成喷出时控(timing)信号LT，将喷出时控信号LT输出给喷头驱动电路54。控制装置50与喷出频率同步地向喷头驱动电路54输出用于驱动各压电元件PZ的驱动电压COM。

控制装置50利用点图数据BD生成用于对应图案的目标形成位置而驱动各压电元件PZ的图案形成用控制信号SI，将图案形成用控制信号SI连续输送给喷头驱动电路54。喷头驱动电路54与各压电元件PZ对应而顺次连续/并行转换来自控制装置50的图案形成用控制信号SI。喷头驱动电路54每接收来自控制装置50的喷出时控信号LT，则将连续/并行转换的图案形成用控制信号SI闭锁，对该图案形成用控制信号SI选择的压电元件PZ供给驱动电压COM。

控制装置50连接橡胶加热器驱动电路55。控制装置50对橡胶加热器驱动电路55输出驱动控制信号。橡胶加热器驱动电路55应答来自控制装置50的驱动控制信号而驱动橡胶加热器H，由此将搭载于载置台13上的清洁板S的温度控制为预定温度。本实施方式中，预定的清洁板S的温度为46℃。由此，清洁板S提高滴落的液滴Fb的干燥速度。

控制装置50连接珀尔贴元件驱动电路56。控制装置50对珀尔贴元件驱动电路56上驱动驱动控制信号。珀尔贴元件驱动电路56应答来自控制装置50的驱动控制信号而驱动珀尔贴元件PT。安装在包收纳库16的导热板32上的珀尔贴元件PT将包收纳库内部冷却到5℃。即，通过珀尔贴元件PT的冷却将收纳在包收纳库16的墨包33内的金属墨F冷却到5℃，防止劣化。

控制装置50连接风扇电机驱动电路57。控制装置50对风扇电机驱动电路57输出驱动信号。风扇电机驱动电路57应答来自控制装置50的驱动控制信号，驱动使上述送风机34的风扇旋转的风扇电机MF。该风扇电机MF驱动，使风扇旋转，则送风机34将液滴喷出装置10周围的常温空气A经由供给管T吸入，吸入的空气A吹拂珀尔贴元件PT的发热部PTb。因此，空气A积极向送风机34流动时，在空气A和供给管T之间热交换，从而供给管T被暖化，供给管T的内部的金属墨F暖化。另一方面，向送风机34流动的空气A被金属墨F冷却，从而有效冷却珀尔贴元件PT的发热部PTb。

控制装置50连接负压发生泵驱动电路58。控制装置50将驱动控制信号输出给负压发生泵驱动电路58。负压发生泵驱动电路58应答来自控制装置50的驱动控制信号而驱动吸引泵VP，使包收纳库16内部形成规定的负压。吸引泵VP调整包收纳库16内部的负压而调整墨包33的内压，从而调整金属墨F的供给量。

接着，说明上述液滴喷出装置10的作用。

如图1所示，清洁板S将喷出面Sa配置在上侧而搭载于载置台13上。这时，载置台13将清洁板S配置在滑架19的反Y箭头方向。

根据该状态，用于通过液滴Fb形成配线图案的点图数据BD从输入输出装置51输出给控制装置50。控制装置50存储来自输入输出装置51的点图数据BD。

控制装置50经由橡胶加热器驱动电路55而驱动橡胶加热器H，由此载置于载置台13上的清洁板S整体的温度均匀控制为规定的温度。

控制装置50经由珀尔贴元件驱动电路56而驱动珀尔贴元件PT，将收纳于包收纳库16的墨包33的金属墨冷却到5℃。另外，控制装置50经由风扇电机驱动电路57而驱动风扇电机MF，将液滴喷出装置10周围的常温的空气A经由供给管T吸入，将吸入的空气A吹拂珀尔贴元件PT的发热部PTb。并且，控制装置50通过将冷却为5℃的金属墨F与空气A进行热交换而暖化，供给喷头20。

接着，控制装置50经由X轴电机驱动电路52而驱动X轴电机MX使喷头20移动，而使清洁板S沿Y箭头方向在喷头20正下方通过。并且，控制装置50经由Y轴电机驱动电路53而驱动Y轴电机MY而开始载置台13的移动(往动)。

控制装置50使载置台13的移动(往动)开始，则根据点图数据BD生成图案形成用控制信号SI，图案形成用控制信号SI和驱动电压COM输出给喷头驱动电路54。即，控制装置50经由喷头驱动电路54驱动各压电元件PZ，图案的目标形成位置每次通过喷头20正下方，从选择的喷咀N喷出液滴Fb。清洁板S上滴落的液滴Fb，由于清洁板S已被加热，所以滴落后迅速干燥。由此，清洁板S形成配线图案。

接着，上述结构的第一实施方式的效果记载如下。

(1)根据上述实施方式，包收纳库16的导热板32上搭载珀尔贴元件PT。并且，珀尔贴元件PT冷却包收纳库16的内部，将收纳的墨包33内的金属墨F冷却到常时不凝集的温度(5℃)。由此，收容在墨包33内的金属墨F不劣化。

(2)根据上述实施方式，在珀尔贴元件PT的发热部PTb上搭载送风机34，送风机34的吸入侧接触供给管T。并且，送风机34将周围的常温空气A积极接触供给管T而吸入，该吸入的空气A吹拂珀尔贴元件PT的发热部PTb。

即，周围常温的暖空气A与供给管T之间进行热交换，由此，加热供给管T内部流动的金属墨F。因此，冷却到5℃的金属墨F被空气A暖化，在具有低的粘性的状态下供给喷头20。结果，防止液滴喷头20喷咀N堵塞于未然。

而且，上述实施方式中，通过周围空气A的热能而暖化金属墨F，所以不需要仅用于加热金属墨F的加热装置。因此，在图案的形成中，能够实现节能。另外，由于能够消减部件数，所以液滴喷头10能够实现小型化(省空间化)，并能够实现省资源，对环境也优良。

(3)根据上述实施方式，通过与金属墨F热交换而冷却的空气将珀尔贴元件PT的发热部PTb冷却。即，珀尔贴PT其发热部PTb被冷却而能够提高冷却部PTa的冷却效率，实现珀尔贴元件PT的消耗电力的降低(节能化)。

(第二实施方式)

以下，参照图6～图9说明本发明具体化的第二实施方式。第二实施方式对第一实施方式追加了激光装置。因此，以下详细说明该改变点。

图6中，包收纳库16具有作为冷却装置的珀尔贴元件PT，冷却收纳的金属墨F到5℃。金属墨F经由与包收纳库16连接的供给管T供给喷头20。供给管T通过热交换器40将包收纳库16和喷头20连接。由包收纳库16冷却的金属墨F通过热交换器40时被暖化，之后供给喷头20。供给喷头20的金属墨F从喷头20作为液滴Fb向清洁板S喷出。

图7是从清洁板S(下侧)看搭载在滑架19上的两个喷头20的图。2个喷头20沿Y箭头方向并设。两个喷头20各自的一部分从Y方向看重合，并沿X方向平行配设。

图8中，在滑架19的箱体19a上通过间隔保持部件43连结下侧支承板41和上侧支承板42。下侧支承板41上固定设置上述两个喷头20。上侧支承板42上分别固定设置作为光源的第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2。

第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2分别具有在X箭头方向上形成得长的长方形的箱体K。第一半导体激光装置LD1的箱体K在Y箭头方向的坐标空间配置相对于两个喷头20的反Y箭头方向上。第二半导体激光装置LD2的箱体K在Y箭头方向的坐标空间配置相对于两个喷头20的Y箭头方向上。

第一半导体激光装置LD1的箱体K和第二半导体激光装置LD2的箱体K上分别设有与两个喷头20所具有的喷咀N的总数等数量的半导体激光器LS(参照图9)。另外，第一半导体激光装置LD1的箱体K和第二半导体激光装置LD2的箱体K上分别设有用于驱动各半导体激光器LS的激光器驱动电路60(参照图9)。

各半导体激光器LS分别向喷出面Sa射出激光L。从第一半导体激光装置LD1射出的各激光L分别通过上侧支承板42和下侧支承板41上形成的贯通孔42a、41a，对各喷咀N的反Y箭头方向照射。另外，从第二半导体激光装置LD2射出的各激光L分别通过上侧支承板42和下侧支承板41上形成的贯通孔42a、41a，对各喷咀N的Y箭头方向照射。

即，从第一半导体激光装置LD1射出的各激光L分别照射从各喷咀N喷出的液滴Fb的反Y箭头方向的位置。另外，从第二半导体激光装置LD2射出的各激光L分别照射从各喷咀喷出的液滴Fb的Y箭头方向的位置。

各喷头20的各喷咀N喷出液滴Fb，并且载置台13在反Y箭头方向上移动时，从第一半导体激光装置LD1射出的各激光L分别照射滴落清洁板S上的液滴Fb。相反，各喷头20的各喷咀N喷出液滴Fb，并且载置台13在Y箭头方向上移动时，从第二半导体激光装置LD2射出的各激光L分别照射滴落清洁板S上的液滴Fb。接收激光L的液滴Fb通过激光L的能量而被加热，促进干燥。

图8中，包收纳库16的后侧的侧壁由不锈钢等导热板形成。包收纳库16的除侧壁外的各侧壁由隔热材料形成。这些隔热材料和导热板包围的空间如图8虚线所示，收纳将金属墨F收容的墨包33。墨包33与导热板的内侧面接触。珀尔贴元件PT通过自身的冷却部而通过导热板冷却包收纳库16的内部，即冷却墨包33的金属墨F。本实施方式中，通过珀尔贴元件PT将墨包33的金属墨F冷却到5℃。通过该冷却，金属墨F抑制金属微粒子的2次凝集而防止劣化。

供给管T是合成树脂制的可挠性的管，通过热交换器40的器内的部分具有不锈钢管Ta。不锈钢管Ta提高填充在热交换器40的器内的作为制冷剂的冷却水W、和在不锈钢管Ta中流动的金属墨F之间的热交换的效率，由此暖化供给管T中流动的金属墨F。

热交换器40的前侧配设循环泵VPC。循环泵VPC通过吸引泵T1吸取热交换器40内的冷却水。循环泵VPC将吸取的冷却水W通过导出管T2绕第一半导体激光装置LD1的各半导体激光器LS和第二半导体激光装置LD2的各半导体激光器LS周转而返回热交换器40。

返回热交换器40的冷却水W接收来自各半导体激光器LS的热量以及安装来自各激光器驱动电路60的电路元件的热量而被暖化。暖化的冷却水W的热量在热交换器40的内部给予金属墨F，即被暖化的冷却水W通过与金属墨F之间进行热交换而冷却。热交换器40内部冷却的冷却水W再次被循环泵VPC吸取，送给第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2。由此，第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2内部被冷却。

循环泵VPC具有冷却功能。从热交换器40吸取的冷却水W在循环泵VPC内部进一步被冷却，供给第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2。结果，第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2内部进一步被有效冷却。

接着，根据图9说明上述构成的液滴喷出装置10的电气结构。控制装置50根据存储的各种数据和各种控制程序进行载置台13的搬送处理、滑架19的搬送处理、喷头20的液滴喷出处理。另外，控制装置50同样地，进行第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2的照射处理、珀尔贴元件PT的冷却处理、吸引泵VP的吸引处理以及循环泵VPC的循环处理等。

控制装置50连结循环泵驱动电路59。控制装置50将来自驱动控制信号50输出给循环泵驱动电路59。循环泵驱动电路59应答来自控制装置50的驱动控制信号而驱动循环泵VPC。循环泵VPC的冷却水W通过循环泵VPC的驱动而在由各管T1、T2、循环泵VPC、第一半导体激光装置LD1、第二半导体激光装置LD2、以及热交换器40构成的闭回路中循环。

控制装置50上连接激光器驱动电路60。控制装置50与喷头驱动电路54同样地，与规定的照射频率同步地生成照射时控信号LTb，该照射时控信号LTb输出给激光器驱动电路60。控制装置50选择第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2的任一个。控制装置50与照射频率同步地生成用于对选择的半导体激光装置的各半导体激光器LS射出激光L的驱动电压COMb，将该驱动电压COMb输出给激光器驱动电路60。

载置台13在反Y箭头方向移动而形成图案时，控制装置50选择第一半导体激光装置LD1，将用于对第一半导体激光装置LD1的各半导体激光器LS输出激光L的驱动电压COMb输出到激光器驱动电路60。相反，载置台13在Y箭头方向移动而形成图案时，控制装置50选择第二半导体激光装置LD2，将用于对第一半导体激光装置LD2的各半导体激光器LS输出激光L的驱动电压COMb输出到激光器驱动电路60。

控制装置50利用点图数据BD生成用于对应图案的目标形成位置而驱动各半导体激光器LS的图案形成用控制信号SIb，该图案形成用控制信号SIb连续输送给激光器驱动电路60。激光器驱动电路60对应各半导体激光器LS而顺次连续/并行转换来自控制装置50的图案形成用控制信号SIb。激光器驱动电路60每次接收来自控制装置50的照射时控信号LTb，闭锁连续/并行转换的图案形成用控制信号SIb，分别将驱动电压COMb供给图案形成用控制信号SIb选择的半导体激光器LS。

接着，说明液滴喷出装置10的作用。

如图6所示，清洁板S将喷出面Sa配置在上侧而载置于载置台13上。这时，载置台13将清洁板S配置在滑架19的反Y箭头方向。

根据该状态，用于通过液滴Fb形成配线图案的点图数据BD从输入输出装置51输出给控制装置50。控制装置50存储来自输入输出装置51的点图数据BD。

控制装置50经由珀尔贴元件驱动电路56而驱动珀尔贴元件PT，将收纳于包收纳库16的墨包33的金属墨冷却到5℃。另外，控制装置50经由循环泵驱动电路59而驱动循环泵VPC，由此将热交换器40的冷却水W吸取而使其循环。冷却到5℃的金属墨F通过与热交换器40的冷却水W的之间的热交换而暖化，之后供给喷头20。控制装置50经由负压发生泵驱动电路58而驱动吸引泵VP，由此调整包收纳库16内部的负压而调整金属墨F的工供给量。

并且，控制装置50经由Y轴电机驱动电路53而驱动Y轴电机M，由此使载置台13移动开始。载置台13的移动开始则控制装置50基于点图数据BD而生成图案形成用控制信号SI，该图案形成用控制信号SI和驱动电压的COM输出给喷头驱动电路54。即，控制装置50经由喷头驱动电路54驱动各压电元件PZ，图案的目标形成位置每次通过喷头20正下方，从选择的喷咀N使液滴Fb喷出。

另外，控制装置50根据点图数据BD而生成图案形成用控制信号SIb，将该图案形成用控制信号SI和驱动电压COM输出给激光器驱动电路60。控制装置50经由激光器驱动电路60驱动各半导体激光器LS(这种情况下，第一半导体激光装置LD1的各半导体激光器LS)，每次滴落在清洁板S上的液滴Fb通过激光L的照射位置，使被选择的半导体激光器LS的激光L照射液滴Fb。由此，滴落在该清洁板S撒谎等液滴Fb被激光L加热，所以迅速干燥，由此在清洁板S上形成所需的配线图案。

接着，上述构成的第二实施方式的效果记载如下。

(4)、根据上述实施方式，热交换器40进行被冷却的金属墨F和被暖化的冷却水W之间的热交换，暖化金属墨F。由此，金属墨F的粘性通过热交换器40而降低，对喷出的20的内部供给低粘度的金属墨F。结果，液滴喷头20能够防止喷咀N的堵塞。另外，喷头20能够使液滴Fb的喷出量稳定，能够使图案的尺寸和形状形成高的精度。

(5)、上述实施方式中，由金属墨F而冷却的冷却水W在第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2中循环，通过来自各半导体激光器LS和各电路元件的排热而再次被暖化。即，上述实施方式不需要仅用于加热金属墨F或冷却水W的加热装置。由此，液滴喷出装置10能够实现节能化，并能够消减部件数，所以能够实现小型化(节省空间化)。由此，液滴喷出装置10能够实现节省资源化，提高对环境优良的装置。

(6)、另外，第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2中，各半导体激光器LS和各电路元件通过冷却水W而被冷却，所以能够抑制自身发热带来的动作特性的变动。而且，液滴喷出装置10由于不需要仅对冷却水W冷却的冷却装置，所以能够实现节省能源化，并能够消减部件数，所以能够实现小型化(节省空间化)。由此，液滴喷出装置10能够实现节省资源化，提高对环境优良的装置。

(7)、根据上述实施方式，供给管T在热交换器40内部由导热率高的不锈钢管Ta构成。由此，热交换器40能够使冷却的金属墨F和暖化的冷却水W之间的热交换更高效。

(8)、根据上述实施方式，冷却水W在热交换器40的冷却的基础上还被循环泵VPC的冷却机构冷却。因此，第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2能够在更高的冷却效率下使各半导体激光器LS和各电路元件冷却。

另外，上述实施方式可以如下变化。

·上述第一实施方式中，可以省略送风机34。即，供给管T可以直接安装在珀尔贴元件PT的发热部PTb上。这样，供给管T(金属墨F)能够直接冷却珀尔贴元件PT的发热部PTb。这种情况下，1个珀尔贴元件PT能够实现收纳在包收纳库16内的墨包33(金属墨F)的冷却和金属墨F的加热。这样，液滴喷出装置10能够有效利用从珀尔贴元件PT发出的热，所以，能够实现部件数的降低和节能化，提高对环境良好的装置。即，供给管T和珀尔贴元件PT的发热部PTb只要形成热接触的即可。

·上述第一实施方式中，供给管与送风机34接触。其如图10所示，供给管T可以在包收纳库16的隔热材料31的外壁周转而多重卷绕。这时，优选供给管T的上游侧配置在内侧，供给管T的下游侧配置在外侧。

由此，供给管T通过卷绕而能够使从包收纳库16到喷头20的距离变长。即，能够增加空气A的加热机会。这样，液滴喷出装置10对应暖化金属墨F所需的能量来说，能够实现更加节能。

而且，供给管T的上游侧在供给管T整体的内侧卷绕，供给管T的下游侧在供给管T整体的前侧卷绕，所以供给管T能够提高对包收纳库16外部气体的隔热效果。

另外，供给管T在包收纳库16上卷绕，所以液滴喷出装置10能够实现装置的小型化、省空间化。

·上述第一实施方式中，珀尔贴元件PT冷却收纳在包收纳库16中的墨包33(金属墨F)，并且经由供给管T而加热供给喷头20的金属墨F。不限于此，液滴喷出装置10也可以将珀尔贴元件PT替换成热泵。

这种情况下，热泵的冷的部分(冷却部)冷却包收纳库16的内部的墨包33(金属墨F)，热泵的暖的部分(发热部)暖化供给喷头20的金属墨F。另外，也可以一并地，通过热泵的暖的部分暖化清洁板S。

·上述第一实施方式中，液滴喷出装置10具有1个液滴喷头20，但是不限于此，也可以具有多个液滴喷头20。这种情况下，如图11所示，包收纳库16收纳多个喷头20用的多个墨包33。连结各墨包33和各喷头20之间的各供给管G分别在包收纳库16的隔热材料31外壁周转而卷绕。另外，供给管T多重卷绕时，也可以供给管T的上游侧配置在内侧，供给管T的下游侧配置在外侧。

·上述第一实施方式中，送风机34通过周围的暖的空气和金属墨F之间的热交换而暖化在供给管T流动的金属墨F。不限于此，也可以是送风机34通过将橡胶加热器H的余热(排热)导入供给管T而暖化金属墨F。

·上述第二实施方式中，循环泵VPC具有冷却功能，但是也可以省略该功能。即，冷却水W仅通过热交换器40冷却即可。这种情况下，以循环泵VPC不具有冷却功能的量，实现液滴喷出装置10的部件数的降低和节能化，提供对环境良好的装置。

·上述实施方式中，通过冷却水W的循环暖化金属墨F，并且，冷却各半导体激光器LS和各电路元件。不限于此，如图12所示，第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2的各箱体K可以是分别具有冷却风扇70的结构。详细说的话是，各冷却风扇70排出箱体K的内部的暖的空气，并且，根据该排气动作将冷的外部气体导入箱体K的内部，由此冷却各半导体激光器LS和各电路元件的结构。并且，各冷却风扇70也可以将从箱体K的内部排出的暖的空气(温风)吹拂供给管T的不锈钢管Ta的结构。

这种情况下，液滴喷出装置10通过各半导体激光器LS和各电路元件的排热能够暖化金属墨F。由此，液滴喷出装置10由于不使用仅暖化金属墨F的特别的加热装置，所以能够实现部件数的降低和节能化，提供对环境优良的装置。

·上述第二实施方式中，珀尔贴元件PT冷却金属墨F。不限于此，还可以是用其他冷却装置冷却金属墨F的结构。

·上述第二实施方式中，液滴喷出装置10具有2个液滴喷头20。不限于此，也可以是液滴喷出装置10具有1个或3个以上的液滴喷头20的结构。

·上述第二实施方式中，光源是第一半导体激光装置LD1和第二半导体激光装置LD2。不限于此，光源也可以是LED，光也可以是LED射出的光。

·上述实施方式中，吸引泵VP调整包收纳库16的内压。不限于此，也可以是包收纳库16具有自我密封阀，该自我密封阀调整包收纳库16的内压的结构。

·上述实施方式中，功能液是金属墨F，但不限于此，只要是需要低温下保存的功能液，任何材料都可。另外，保存时的温度可以根据功能液而适当变化。

·上述实施方式中，液滴喷出装置10在清洁板S上形成配线图案。不限于此，例如液滴喷出装置10也可以在玻璃等其他基板上形成图案。

·在上述实施方式中，液滴喷出手段是压电元件驱动方式的液滴喷头20。不限于此，液滴喷头也可以是阻抗加热方式或静电驱动方式的喷头。

Claims (14)

1.一种液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，其特征在于，

利用基于所述冷却装置的冷却的排热，来加热所述供给管中的所述功能液。

2.一种液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，其特征在于，

利用所述供给管中的所述功能液和周围的空气的热交换，来加热所述供给管中的所述功能液，并通过由所述热交换冷却的所述空气辅助所述冷却装置的冷却。

3.一种液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，并向喷出的所述液滴照射来自光源的光，其特征在于，

利用基于所述光源的照射的排热，来加热所述供给管中的所述功能液。

4.一种液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，并向喷出的所述液滴照射来自光源的光，其特征在于，

利用所述供给管中的所述功能液和所述光源的制冷剂的热交换，来加热所述供给管中的所述功能液，并通过由所述热交换冷却的所述制冷剂辅助所述光源的冷却。

5.一种液滴喷出装置，其具有：收纳库，该收纳库收纳用于收容含有功能材料的功能液的容器；液滴喷头，该液滴喷头使所述功能液形成液滴而喷出；冷却装置，该冷却装置冷却收纳于所述收纳库中的所述容器中的所述功能液；供给管，该供给管设于所述容器和所述液滴喷头之间，将收容于所述容器中的所述功能液供给所述液滴喷头，其特征在于，

具有利用基于所述冷却装置的冷却的排热来加热所述供给管的加热装置。

6.如权利要求5所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述冷却装置和所述加热装置是珀尔贴元件，通过将所述珀尔贴元件的冷却部与所述收纳库热接触来冷却位于所述容器的内部的所述功能液，通过使所述珀尔贴元件的发热部与所述供给管热接触来加热所述供给管。

7.如权利要求6所述的液滴喷出装置，其特征在于，

具有送风装置，该送风装置设于所述发热部和所述供给管之间，经由所述供给管将周围的空气送给所述发热部。

8.如权利要求5所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述冷却装置和所述加热装置是热泵，通过将所述热泵的冷却部与所述收纳库热接触来冷却所述容器内的所述功能液，通过使所述热泵的发热部与所述供给管热接触来加热所述供给管。

9.一种液滴喷出装置，其具有：收纳库，该收纳库收纳用于收容含有功能材料的功能液的容器；液滴喷头，该液滴喷头使所述功能液形成液滴而朝向对象物喷出；冷却装置，该冷却装置冷却收纳于所述收纳库中的所述容器中的所述功能液；供给管，该供给管设于所述容器和所述液滴喷头之间，将收容于所述容器中的所述功能液供给所述液滴喷头；光源，对喷落在所述对象物上的所述液滴的区域照射光，其特征在于，

具有利用基于所述光源的照射的排热来加热所述供给管的加热装置。

10.如权利要求9所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述加热装置具有循环泵和热交换器，

所述循环泵使制冷剂在所述光源的箱体和所述热交换器之间循环，

所述热交换器利用所述制冷剂和所述供给管之间的热交换来将所述箱体的热量给予所述供给管中的所述功能液。

11.如权利要求10所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述循环泵具有冷却功能，使利用所述冷却功能冷却的所述制冷剂在所述光源的箱体上循环。

12.如权利要求9所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述加热装置具有冷却用风扇，该冷却用风扇将外部气体吸入所述光源的箱体的内部，并将所述箱体的内部的空气送给所述箱体外的所述供给管。

13.一种液滴喷出装置，其具有：收纳库，该收纳库收纳用于收容含有功能材料的功能液的容器；液滴喷头，该液滴喷头使所述功能液形成液滴而喷出；冷却装置，该冷却装置冷却收纳于所述收纳库中的所述容器中的所述功能液；供给管，该供给管设于所述容器和所述液滴喷头之间，将收容于所述容器中的所述功能液供给所述液滴喷头，其特征在于，

所述供给管回转卷绕在所述收纳库的外侧，利用该供给管与周围的空气的热交换来加热所述供给管中的所述功能液。

14.如权利要求13所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述供给管多重回转卷绕在所述收纳库的外侧，所述功能液的上游在内侧回转，所述功能液的下游侧在外侧回转。

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