CN100578414C - 异步混和及供应化学溶液的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于混和及供应化学溶液的方法和装置。本发明的方法包括连续混和系统。该连续混和系统(100)监控输出并且连续地调节混和系统,以获得预定配方的至少第一溶液(114)。中央监控系统(124)连续评价溶液并且按需调节混合机(113)的输出,以维持预定配方的溶液。所述系统包括至少第一储罐系统(117)。从该储罐系统输送出的任何溶液(120)也都被中央监控系统连续地监控、评价以及按需调节。

Description

异步混和及供应化学溶液的方法和装置
背景技术
将两种或两种以上流体(液体或气体)混合在一起形成规定的混合物 对于很多工业过程和商用产品而言具有重大意义。通常,这种混合是以离 散批次的形式进行的。在这种分批过程中,先加入一些第一流体,接着再 加入一些第二流体。将这两种流体机械混合,并对生成的混合物取样抽查。 如果必要的话,可以进一步增加补充的第一流体或第二流体,从而改进混 合物的组分。 一旦获得了预期的混合物,则将该批次传输给中间或最终用 户。
这种成批处理或混合工艺常用于很多工业环节,包括半导体加工工艺、 药剂、生物产品、食物加工产品、家庭用品、个人护理产品、石油产品、 化学产品以及很多其它常规的工业液体产品。
分批过程或成批处理具有很多不足和缺陷。例如,通常需要大的储罐, 并且由于这种过程可能是费时的,因此通常需要同时制备大量的批料。这 么大的恥溪需要相当大的制造空间,并且由于批量大,导致制造计划相对 固定、不灵活。通常大量配料以克服组成流体量的相对不精确。批量大有 助于降低作为总批量百分比的这些误差。成批处理的另一不足在于批料的 流变学或化学属性经常随时间改变。这种老化效应对于很多配方很常见, 在将混合物送往中间或最终用户前必须随时间进行很多调节。成批处理还 导致储罐打开或者局部打开,使流体暴露在空气中。这可能引起不希望的 化学污染、化学降解以及微生物污染。
成批处理也导致大量将流体成分混和在一起时很困难。通常,流体成 分仅能困难地混和,并且需要延长搅拌过程从而变得均匀。同样公知的是, 大储罐的不同高度通常具有不同比例的流体混合物。此外,大批量通常使得成批处理过程清洁緩慢、费力并且难以自动化。产生的大量清洁污水造 成了浪费和污染问题。
由于这么多的实质性缺点和不足,人们已经在寻求流体产品制造的替 代方法。成批处理的已知的一种替代方法是连续混合。
连续混和具体表现为仅仅在需要时或者基于需要将组分流体混和形成 流体产品。就其本质而言,所述产品根据需要并且以所要求的比率制造。 所要求的比率通常取决于封装液体产品的流体装料机的要求。
与分批处理系统明显不同的连续混和系统的吸引力是显然的。能够消 除大的批料制备和容纳储罐,从而造成小的系统体积、更大的产品组合灵 活性、更快的产品配方周转以及显著降低的资本成本。连续混和也能产生 很好的产品配方精度和质量,并且能消除流体产品处理和流体产品包装之 间的障碍。连续混和能极大地减少废物、清洁时间和废水量。此外,简化 了混和过程,导致配方更均匀。产品的老化效应也^皮极大地消除。真正的
问题在于如何建造和运行连续混和系统,使其具有最大程度的精度、易用 性以及大量商业范围的应用多样性。
人们已经提出了很多连续流混和设计,这起源于各种液体处理工业, 特别是饮料处理和食品处理工业。这些设计尝试开发和出售连续流体配料
或混和系统,系统基于使用流量计和比例-积分-微分(PID)反馈控制循环 的比例流量控制。
这是一种反馈控制器,其输出(一种控制变量)通常基于一些用户限 定的i殳定值与一些测得的工艺变量之间的误差。PID控制器的每个单元对 应于对误差采取的具体操作。
*比例:误差乘以增益Kp。这是一种可调节放大器。在^艮多系统中, Kp对过程稳定性有影响,太低则PV可能偏移,太高则PV可能振荡。
*积分:误差积分乘以增益Ki。在很多系统中,Ki用于使误差降低为 0,但是,设定的Ki太高,则会招致振荡或不稳定或者求积器结束或执行 机构饱和。
争孩i分:误差的改变速率乘以增益Kd。在很多系统中,Kd影响系统响应,太高则PV振荡,太低则PV响应緩慢。,没计者也应该注意到#:分 作用放大了误差信号中的噪音。
这种连续混合器的一种示例是"Contimix",其由Wisconsin州New Berlin的H&KInc引入。总体而言,这些设计依赖于使用可变阻尼阀或 速度受控的泵调节液体流的连续流动,其中来自流量计一一最常用的是 Coriolis质量流量计——的流量信号被用来按比例调节流量控制设备,从 而试图维持各股流中的预期流量比,并且,表示整个系统需求率的另一信 号用于按比例调节整个系统的总流量。
使用这种流动构造的连续混和系统存在几个主要的设计困难。首先, 当系统的整体输出增加或减低时,容量变化的比率或每股流的响应时间常 数将会相互不同。因此,对于变化的输出命令信号,每股流以不同的速度 响应,造成比率流量损失,当到达新的设定点时,每股流的过调节或不足 会进一步恶化比率流量损失。此外,当每股流的流量变化时,其可能扰动 其它流的流量,或者造成流振荡或振动。这些普遍的控制问题可能造成混 合流精度的严重损失。显然,PID环路控制器设计用于控制复杂系统,所 述系统不是针对稳定性或控制简易性而特别设计的。它们以非实时、统计 方式分析流动流的相互影响的多因变量和独立变量以及在历史/过去基础 上分析"相反(fight)"变化的参数。
而且,当反馈信号改变时会出现另一问题,导致流量短暂地低于或超 过产生反馈信号的流量计允许的范围。即便软件或硬件安全,这也可能发 生,并且如下文将要进一步展开讨论的,显然需要维持流过Coriolis质量 流量计的流量处于限定的范围内,以达到满意的精度。
或许这些设计以及PID控制结构遇到的主要问题在于无法避免需要开 启和停止流动系统。当发生停止-开启事件时,使系统回复到平衡并且流 动精确、混和的在线状态是非常难的。这种困难是如此顽固,使得几乎所 有装配的系统都需要使用高达几百加仑容量的緩冲罐,以在填料机器短暂 停止时使混和流动继续。
即便使用緩冲罐,如果因为延长的装填物中断而必须停止混和流动,当重新开始时,流体必须变更方向直到重新建立正确的流量,或者緩冲罐 必须相当大,能允许匹配性差的流量比率在统计学上被"稀释,,,以避免 混和的精度损失。任何一种方法都会导致大量的浪费、降低的混和精度、 增加的系统复杂性以及增大的系统体积,从而减少了连续混和的有利之处。 因此,工业中需要一种解决上述所有问题的混和系统。需要一种能适 应需求中的连续变化并能同时维持高度精确的混和精度的混和系统。此外, 还需要一种并入总体的化学供应和发明方案的混和系统。需要混和系统能 生产多种混和溶液,并且以高生产率和高分辨率将它们提供给多个最终用 户。需要混和系统能够在输送给最终用户之前对临时储存在容器中的混和 产品进行纠正。工业中还需要混和系统能跟踪并确定最初成分、中间混和 物和最终溶液混合物的化学组成。
发明内容
本发明涉及一种化学混和系统,该系统包括:
-将至少第一化学流和第二化学流在混合机系统中连续混和。所述混 合机系统包括位于导管系统中的混合区并以实时受控方式形成第 一溶液。 在该系统中,第一化学流和第二化学流被连续地引入混合区。
-连续监控所述第一溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第一 溶液输出信号。
-连续调节第一化学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方 的第一溶液。
•将第一溶液引入第一储罐系统,其中,第一储罐系统连接到化学分 配系统。所述第一储罐系统还包括至少第一储罐和第二储罐。
-从第 一储罐系统中将具有预定配方的第二溶液输送到化学分配系统。
-连续监控所述第二溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第二 溶液输出信号。
-将第一溶液输送到第一储罐系统,并且连续调节第一化学流的流量和笫二化学流的流量,以维持预定配方的第二溶液。
参照下面的说明和所附权利要求,可以更好地理解本发明的这些和其 它的特征、方面和有利之处。
附图说明
为了更好地理解本发明的特性和目的,应该参照下面结合附图给出的 详细说明,在下面的附图中,类似的元件采用相同或相似的附图标记。在
附图中:
-图l是本发明的混和系统的一种示例性实施方式的程式化图; -图2是本发明的混和系统的另一示例性实施方式的程式化图; -图3是本发明的混和系统的又一示例性实施方式的程式化图; -图4是本发明的多混和系统的一种示例性实施方式的程式化图; -图5是本发明的多混和系统的另一示例性实施方式的程式化图;以
-图6是本发明的多混和系统的又一示例性实施方式的程式化图。 具体实施方式
如同在此引入作为参考的1999年12月20日提交的申请No. 09At68411 所记载的,已经开发出了一种连续混和器,其克服了现有4支术的上述缺陷 以及工业中已知或未知的其它缺陷。
在本发明的装置和工艺监控设备中,所用术语"连续的"是指不间断 的实时监控以及调节溶液配方,包括数字控制和算法。术语"连续的"不 是指这种系统或装置必须仅使用模拟或连续的信号、而不可以使用离散的 或数字的信号来执行这种监控和调节。
在本发明的工艺和工艺设备中,所用术语"连续的"用于描述一种工 艺,其同时供应和排出产品而不中断所述工艺过程,该术语用于将这种系 统和装置与间歇式系统或装置区分开。术语"连续的"不是指这种系统或 装置在不发生中断的情况下无休止地运行或被要求无休止地运4亍。这里所用的术语"中央监控"或"中央监控系统,,指所属领域才支术人 员公知的任何系统,其容许中央监控远程传感器以及控制远程工艺执行机
构(压合装置(stitches)、阀、流量控制器等)。所述中央监控系统可设 置在本地附近,或者设置在能通过服务器或所属领域技术人员公知的其它 数据传输系统访问的远程工位。这种中央监控系统能够被现场操作者通过 笔记本或其它手持设备交互地操作以执行诊断或维修操作。这种中央监控 系统的一些示例是分布式控制系统(DCS )、或者监控和数据采集(SCADA) 网络。
基本原理是在连续处理循环方式混和一种产品的同时可控地维持精度 和质量。这通过改变注入点的成分供应完成,其中使用中央监控信号作为 每种成分注入速率的主要控制。该工艺这样以连续的工艺循环混和产品, 即通过在单独的校准阶段添加成分,然后使用中央监控器设备组来控制这 些阶段。
图1是描述本发明的示例性实施方式混和系统100的程式化图。混和 系统IOO包括第一化学流104、第二化学流IIO、混合才几系统113、第一储 罐系统117以及化学分配系统123。
第一化学流104流过第一流量控制设备105,该第一流量控制设备105 产生由中央监控系统124监控的第一控制设备输出信号106。第二化学流 110流过第二流量控制设备111,该第二流量控制设备111产生由中夫睃控 系统124监控的第二控制设备输出信号112。然后,第一化学流104和笫 二化学流110在混合机系统113中混合形成第一溶液114。产生由中央监 控系统124监控的第一溶液输出信号115。根据第一溶液输出信号115的 特性,中央监控系统124将引导第一流量控制设备105和/或第二流量控制 设备111调节第一化学流104的流量和/或第二化学流110的流量,以便获 得预定配方的第一溶液114。在中央监控系统124接收到指示预定配方的 第一溶液114符^L范的第一溶液输出信号115之前,将混合机系统113 的输出流引至排出管116。
一旦第一溶液114符合规范,那么不再将溶液引向排出管116,而是改为将溶液引入到第一储罐系统117。在需要时,将第二溶液120从第一 储罐系统117中排出并引入到化学分配系统123中。当从笫一储罐系统117 中排出第二溶液120时,中夬监控系统124监控到第二溶液输出信号121。 根据第二溶液输出信号121的特性,中央监控系统124将引导第一流量控 制设备105和/或第二流量控制设备111调节将被引入到第一储罐系统117 中的第一化学流104的流量和/或第二化学流110的流量,以获得预定配方 的第二溶液120。在中央监控系统124接收到指示预定配方的第二溶液120 符M范的第二溶液输出信号121之前,将第一储罐系统117的输出流回 收122到第一储罐系统117。 一旦第二溶液120符^L范,则不再进行回 收122,而是改为将溶液引入到化学分配系统123。或者,第一溶液114 可以绕过125第一储罐系统117引入到化学分配系统123中。
混合机系统113包括位于导管系统中的混合区。第一化学流104和第 二化学流110在该混合区连续混和并且如上所述实时控制,从而形成具有 预定配方的第一溶液114。
如果出现混合机系统113同时需要进行一项以上调节的情形,例如, 化学分配系统123可能接收到指示第二溶液120不是预定配方的信号,同 时,它又接收到指示第一溶液114不是预定配方的信号,那么,第二溶液 120的调节可优先于第一溶液114的调节, 一种实施方式是,i^A化学分 配系统123的溶液配方的失调越接近,则该调节越优先。
笫一化学流104可以来自第一成分储罐101。所述第一成分储罐101 可以具有第一称重设备102,其可以产生由中央监控系统124监控的第一 称重设备输出信号103。第二化学流110可以来自第二成分储罐107。所述 第二成分储罐107可以具有第二称重设备108,其可以产生由中央监控系 统124监控的第二称重设备输出信号109。
第一储罐系统117包括至少两个储罐,笫一储罐和第二储罐,它们并 联或者串联操作。这些储罐可具有第三称重设备118,第三称重设备118 可以产生由中央监控系统124监控的第三称重设备输出信号119。第一和 第二储罐可以具有再循环系统,所述再循环系统可用于维持储罐内的均匀混合。如果第二溶液120与预定配方出现偏差,那么,为了使溶液回复到 预定配方,调节第一化学流104或第二化学流110的流量所需要的时间小 于约15分钟。所述第一和第二储罐的尺寸可供化学分配系统连续使用至少 3天。
在达到目标预定配方前,上述排出管116的排出周期可以设计成小于 8秒。可以这样设计上述排出管116的排出周期,即4吏得在达到目标预定 配方前引入排出管的流体小于1加仑。
混合机系统113的设计流量可以设计成每分钟小于约80升。混合机系 统113的设计流量可以设计成每月小于1000000加仑。混合机系统113的 设计流量可以设计成每月小于1500000加仑。
预定配方的第一溶液114和/或第二溶液120可以通过混合机系统113 维持在按重量计大于约0.003%的精度范围之内。预定配方的第一溶液114 和/或第二溶液120可以通过混合机系统113维持在按重量计大于约0.01% 的精度范围之内。
可以监控第一和/或第二溶液的至少一项浓度标准,所述浓度标准选
白:
a) 传导率;
b) 声速;
c) 密度;
d) 粘度;
e) 折射率;
f) 浊度;
g) 自动滴定;以及
h) 手工分析校验。
第一和/或第二流量控制设备105、lll可以控制和/或监控流量和压力。 第一和/或第二流量控制设备105、 lll可以监控温度。在第一和/或第二溶 液114、 120的浓度计算中,第一和/或笫二流量控制设备105、 lll测得的 组合的流量、压力和温度值可以用来索引温度。第一流量控制设备105、第二流量控制设备111的流量输出信号以及 第一溶液输出信号115可以与第一称重设备输出信号103结合使用,以校 验第一成分储罐IOI中内含物的初始浓度。第一流量控制设备105、第二 流量控制设备111的流量输出信号以及第一溶液输出信号115可以与第二 称重设备输出信号109结合使用,以校验第二成分储罐107中内含物的初 始浓度。
第一称重设备输出信号103随时间的变化和第二称重设备输出信号 109随时间的变化可用来校验第一溶液114的流量。
第 一称重设备输出信号103随时间的变化、第二称重设备输出信号109 随时间的变化以及第三称重设备输出信号115随时间的变化可用来校验第 二溶液120的流量。
图2是描述本发明的另一示例性实施方式混和系统200的程式化图。 混和系统200包括第一化学流204、第二化学流210、混合机系统213、第 一储罐系统217、第二储罐系统223以及化学分配系统229。
第一化学流204流过第一流量控制设备205,该第一流量控制设备205 产生由中央监控系统230监控的笫一控制设备输出信号206。第二化学流 210流过第二流量控制设备211,该第二流量控制设备211产生由中央监控 系统230监控的笫二控制设备输出信号212。然后,第一化学流204和第 二化学流210在混合机系统213中混合形成第一溶液214。产生由中央监 控系统230监控的第一溶液输出信号215。根据第一溶液输出信号215的 特性,中央监控系统230将引导第一流量控制设备205和/或笫二流量控制 设备211调节第一化学流204的流量和/或第二化学流210的流量,以便获 得预定配方的第一溶液214。在中央监控系统230接收到指示预定配方的 第一溶液214符合规范的第一溶液输出信号215之前,将混合机系统213 的输出流引至排出管216。
一旦第一溶液214符合规范,那么不再将溶液引向排出管216,而是 改为将溶液引入到笫一储罐系统217。在需要时,将笫二溶液220从第一 储罐系统217中排出并引入到第二储罐系统223中。当从第 一储罐系统217中排出第二溶液220时,中央监控系统230监控到第二溶液输出信号221 。
根据第二溶液输出信号221的特性,中央监控系统230将引导第一流 量控制设备205和/或第二流量控制设备211调节将被引入到第一储罐系统 217中的第一化学流204的流量和/或笫二化学流210的流量,以获得预定 配方的笫二溶液220。在中央监控系统230接收到指示预定配方的第二溶 液220符合规范的第二溶液输出信号221之前,将第一储罐系统217的输 出流回收222到第 一储罐系统217。
一旦第二溶液220符a范,则不再进行回收222,而是改为将溶液 引入到第二储罐系统223。或者,第一溶液214可以绕过231笫一储罐系 统217引入第二储罐系统223中。在需要时,将笫三溶液226从第二储罐 系统223中排出并引入到化学分配系统229中。当从第二储罐系统223中 排出第三溶液226时,中央监控系统230监控到第三溶液输出信号227。 根据第三溶液输出信号227的特性,中央监控系统230将引导第一流量控 制设备205和/或第二流量控制设备211调节将被引入到第二储罐系统223 中的第一化学流204的流量和/或第二化学流210的流量,以获得预定配方 的笫三溶液226。在中央监控系统230接收到指示预定配方的第三溶液226 符M范的第三溶液输出信号227之前,将第二储罐系统223的输出流回 收228到第二储罐系统223。 一旦第三溶液226符^現范,则不再进行回 收228,而是改为将溶液引入到化学分配系统229。或者,第二溶液220 可以绕过232第二储罐系统223引入到化学分配系统229中。
混合机系统213包括位于导管系统中的混合区。第一化学流204和第 二化学流210在该混合区连续混和并且如上所述实时控制,从而形成具有 预定配方的第一溶液214。
如果出现混合机系统213同时需要进行一项以上调节的情形,例如, 化学分配系统229可能接收到第三溶液226不是预定配方的信号,同时, 它又接收到第二溶液220不是预定配方的信号和第一溶液214不是预定配 方的信号,那么,第三溶液226的调节可优先于笫二溶液220的调节,依 次地,第二溶液220的调节优先于笫一溶液214的调节。 一种实施方式是,iiX化学分配系统229的溶液配方的失调越接近,则该调节越优先。
第一化学流204可以来自第一成分储罐201。所述第一成分储罐201 可以具有笫一称重设备202,其可以产生由中央监控系统230监控的第一 称重设备输出信号203。第二化学流210可以来自第二成分储罐207。所述 第二成分储罐207可以具有第二称重设备,其可以产生由中央监控系统230 监控的第二称重设备输出信号209。
第一和/或第二储罐系统217、 223各自包括至少两个并联或者串联操 作的储罐。这些储罐可具有第三称重设备218和/或第四称重设备224,它 们可以产生由中央监控系统230监控的第三称重设备输出信号219和/或第 四称重i殳备输出信号225。这些储罐可以具有再循环系统,所述再循环系 统可用于维持储罐内的均匀混合。如果第二溶液220和/或第三溶液226与 预定配方出现偏差,那么,为了使任一溶液回复到预定配方,调节第一化 学流204或第二化学流210的流量所需要的时间小于约15分钟。这些储罐 的尺寸可供化学分配系统连续使用至少3天。
在达到目标预定配方前,上述排出管216的排出周期可以设计成小于 8秒。可以这样设计上述排出管216的排出周期,即使得在达到目标预定 配方前引入排出管的流体小于1加仑。
混合机系统213的设计流量可以设计成每分钟小于约80升。混合机系 统213的^殳计流量可以i殳计成每月小于1000000加仑。混合机系统213的 设计流量可以^没计成每月小于1500000加仑。
预定配方的第 一溶液214和/或第二溶液220和/或第三溶液226可以通 过混合机系统213维持在按重量计大于约0.003%的精度范围之内。预定配 方的第 一溶液214和/或第二溶液220和/或第三溶液226可以通过混合机系 统213维持在按重量计大于约0.01%的精度范围之内。
可以监控第 一和/或第二溶液和/或第三溶液的至少 一项浓度标准,所述 浓度标准选自:
a) 传导率;
b) 声速;c) 密度;
d) 粘度;
e) 折射率;
f) 浊度;
g) 自动滴定;以及
h) 手工分析校验。
第一和/或第二流量控制设备205、 211可以控制和/或监控流量和压力。 第一和/或第二流量控制设备205、 211可以监控温度。在第一和/或第二溶 液214、 220的浓度计算中,第一和/或第二流量控制设备205、 211测得的 组合的流量、压力和温度值可以用来索引温度。
第一流量控制设备205、第二流量控制设备211的流量输出信号以及 第一溶液输出信号215可以与第一称重设备输出信号203结合使用,以校 验第一成分储罐201中内含物的初始浓度。第一流量控制设备205、第二 流量控制设备211的流量输出信号以及第一溶液输出信号215可以与第二 称重设备输出信号209结合使用,以校验第二成分储罐207中内含物的初 始浓度。
第一称重设备输出信号203随时间的变化和第二称重设备输出信号 209随时间的变化可用来校验第一溶液214的流量。
第一称重设备输出信号203随时间的变化、第二称重设备输出信号209 随时间的变化以及第三称重设备输出信号219随时间的变化可用来校验第 二溶液220的流量。
第 一称重设备输出信号203随时间的变化、第二称重设备输出信号209 随时间的变化、笫三称重设备输出信号219随时间的变化以及第四称重设 备输出信号225随时间的变化可用来校验第三溶液226的流量。
图3是描述本发明的又一示例性实施方式混和系统300的程式化图。
混和系统300包括第一化学流304、第二化学流310、混合机系统313、 第一储罐系统317、第二储罐系统323、笫三储罐系统329以及最终用户 333。第一化学流304流过第一流量控制设备305,该第一流量控制设备305 产生由中央监控系统334监控的第一控制设备输出信号306。第二化学流 310流过第二流量控制设备311,该第二流量控制设备311产生由中^:控 系统334监控的笫二控制设备输出信号312。然后,第一化学流304和第 二化学流310在混合机系统313中混合形成第一溶液314。产生由中央监 控系统334监控的笫一溶液输出信号315。根据第一溶液输出信号315的 特性,中她控系统334将引导第一流量控制设备305和/或第二流量控制 设备311调节第一化学流304的流量和/或第二化学流310的流量,以便获 得预定配方的第一溶液314。在中夬监控系统334接收到指示预定配方的 第一溶液314符合规范的第一溶液输出信号315之前,将混合机系统313 的输出流引至排出管316。
一旦第一溶液314符M范,那么不再将溶液引向排出管316,而是 改为将溶液引入到第一储罐系统317。在需要时,将第二溶液320从第一 储罐系统317中排出并引入到第二储罐系统323中。当从第一储罐系统317 中排出笫二溶液320时,中央监控系统334监控到第二渗液输出信号321。 根据笫二溶液输出信号321的特性,中:^控系统334将引导第一流量控 制设备305和/或第二流量控制设备311调节将被引入到第一储罐系统317 中的第一化学流304的流量和/或第二化学流310的流量,以获得预定配方 的第二溶液320。在中央监控系统334接收到指示预定配方的第二溶液320 符M范的第二溶液输出信号321之前,将第一储罐系统317的输出流回 收322到第一储罐系统317中。
一旦第二溶液320符a范,那么不再将溶液引向排出管322,而是 改为将溶液引入到第二储罐系统323。或者,第一溶液314可以绕过335 第一储罐系统317引入到第二储罐系统323中。在需要时,将第三溶液326 从第二储罐系统323中排出并引入到第三储罐系统329中。当从第二储罐 系统323中排出第三溶液326时,中央监控系统334监控到第三溶液输出 信号327。根椐第三溶液输出信号327的特性,中M控系统334将引导 第一流量控制设备305和/或第二流量控制设备311调节将被引入到第二储罐系统323中的第一化学流304的流量和/或第二化学流310的流量,以获 得预定配方的第三溶液326。在中央监控系统334接收到指示预定配方的 第三溶液326符合规范的第三溶液输出信号327之前,将第二储罐系统323 的输出流回收328到第二储罐系统323中。
一旦第三溶液326符合规范,则不再进行回收,而是改为将溶液引入 到第三储罐系统329。或者,第二溶液320可以绕过336第二储罐系统323 引入到第三储罐系统329中。在需要时,将第四溶液330从笫三储罐系统 329中排出并引入到最终用户333。当从第三储罐系统329中排出笫四溶液 330时,中央监控系统334监控到第四溶液输出信号331。根据笫四溶液输 出信号331的特性,中央监控系统334将引导第一流量控制设备305和/ 或第二流量控制设备311调节将被引入到第三储罐系统329中的第一化学 流304的流量和/或第二化学流310的流量,以获得预定配方的第四溶液 330。在中央监控系统334接收到指示预定配方的第四溶液330符合规范的 第四溶液输出信号331之前,将笫三储罐系统329的输出流回收332到第 三储罐系统329中。 一旦第四溶液330符^L范,则不再进行回收332, 而是改为将溶液引入到最终用户333。或者,第三溶液330可以绕过337 第三储罐系统329引入到最终用户333。
混合机系统313包括位于导管系统中的混合区。第一化学流304和第 二化学流310在该混合区连续地混和并且如上所述实时控制,从而形成具 有预定配方的第一溶液314。
如果出现混合机系统313同时需要进行一项以上调节的情形,例如, 最终用户333可能接收到第四溶液330不是预定配方的信号,同时,它又 接收到第三溶液326不是预定配方、第二溶液320不是预定配方和第一溶 液314不是预定配方的信号,那么,第四溶液330的调节可优先于第三溶 液326的调节,依次地,第三溶液326的调节优先于第二溶液320的调节, 笫二溶液320的调节优先于第一溶液314的调节。 一种实施方式是,进入 最终用户333的溶液配方的失调越接近,则该调节越优先。
第一化学流304可以来自第一成分储罐301。所述第一成分储罐301可以具有第一称重设备302,其可以产生由中央监控系统334监控的第一 称重设备输出信号303。第二化学流310可以来自第二成分储罐307。所述 第二成分储罐307可以具有第二称重设备308,其可以产生由中央监控系 统334监控的第二称重设备输出信号309。
第一和/或第二和/或第三储罐系统317、 323、 329各自包括至少两个并 联或者串联操作的储罐。这些储罐可具有第三称重设备318和/或第四称重 设备324,它们可以产生由中央监控系统334监控的第三称重设备输出信 号319和/或第四称重设备输出信号325。这些储罐可以具有再循环系统, 所述再循环系统可用于维持储罐内的均匀混合。如果第二溶液320和/或第 三溶液326和/或笫四溶液330与预定配方出现偏差,那么,为了4吏任一溶 液回复到预定配方,调节第一化学流304或第二化学流310的流量所需要 的时间可小于约15分钟。这些储罐的尺寸可供最终用户连续使用至少3 天。
在达到目标预定配方前,上述排出管316的排出周期可以设计成小于 8秒。可以这样设计上述排出管316的排出周期,即佳L得在达到目标预定 配方前引入排出管的流体小于1加仑。
混合机系统313的设计流量可以设计成每分钟小于约80升。混合机系 统313的"i殳计流量可以设计成每月小于1000000加仑。混合机系统313的 设计流量可以设计成每月小于1500000加仑。
预定配方的第一溶液314和/或第二溶液320和/或第三溶液326和/或 第四溶液330可以通过混合机系统313维持在按重量计大于约0.003%的精 度范围之内。预定配方的第一溶液314和/或第二溶液320和/或第三溶液 326和/或第四溶液330可以通过混合机系统313维持在按重量计大于约 0.01%的精度范围之内。
可以监控第 一和/或第二溶液和/或第三溶液和/或第四溶液的至少一项 浓度标准,所述浓度标准选自:
a) 传导率;
b) 声速;c) 密度;
d) 粘度;
e) 折射率;
f) 浊度;
g) 自动滴定;以及
h) 手工分析校验。
第一和/或第二流量控制设备305、 311可以控制和/或监控流量和压力。 第一和/或第二流量控制设备305、 311可以监控温度。在笫一和/或第二溶 液314、 320的浓度计算中,第一和/或第二流量控制设备305、 311测得的 组合的流量、压力和温度值可以用来索引温度。
第一流量控制设备305、第二流量控制设备311的流量输出信号以及 第一溶液输出信号315可以与第一称重设备输出信号303结合使用,以校 验第一成分储罐301中内含物的初始浓度。第一流量控制设备305、第二 流量控制设备311的流量输出信号以及第 一溶液输出信号315可以与第二 称重设备输出信号309结合使用,以校验第二成分储罐307中内含物的初 始浓度。
第一称重设备输出信号303随时间的变化和第二称重设备输出信号 309随时间的变化可用来^^验第一溶液314的流量。
第 一称重设备输出信号303随时间的变化、第二称重设备输出信号309 随时间的变化以及笫三称重设备输出信号319随时间的变化可用来校验第 二溶液320的流量。
第 一称重设备输出信号303随时间的变化、第二称重设备输出信号309 随时间的变化、第三称重设备输出信号319随时间的变化以及第四称重设 备输出信号325随时间的变化可用来校验第三溶液326的流量。
可以使用单独的混合机系统313将两个或两个以上的混和系统300組 合起来。如果使用单独的混合机系统313将两个或两个以上的混和系统300 组合,那么,具有最高容积使用率的化学混和系统300的採作/执行比具有 次高容积使用率的系统的操作优先。如果使用单独的混合机系统313将两个或两个以上的混和系统300组合,那么,在同时需要混合机系统的情况 下,优先顺序可以手动控制。
图4描述了本发明的示例性实施方式的多混和系统400的禾呈式化图。 混和系统400包括第一化学流404、第二化学流410、第一混合机系统413、 混和系统A、混和系统B以及混和系统C。
混和系统A、 B和C如同参照图I描述的系统IOO。混和系统A至少 包括第一化学流404、第二化学流410、混合机系统413、第一溶液A14、 排出管A16、第一储罐系统A17、第二溶液A20以及化学分配系统A23。 混和系统B至少包括第一化学流404、第二化学流410、混合机系统413、 第一溶液B14、排出管B16、第一储罐系统B17、第二溶液B20以及化学 分配系统B23。混和系统C至少包括第一化学流404、第二化学流410、 混合机系统413、第一溶液C14、排出管C16、第一储罐系统C17、第二 溶液C20以及化学分配系统C23。
作为示例,多混和系统400可以表示典型半导体制造工厂中的一种典 型的辅助厂房(sub-fob)装置。在这种装置中,笫一化学流可以是显影剂、 表面活性剂、脱离子水等。混和系统A可以表示一种特定的混和溶液,或 者一种特定浓度的特定混和溶液。第一储罐A17可以表示这种工厂中的一 种限定储罐(qualificationtank)或常用储罐(daytank)。当参照图l描 述的过程采用混和系统A进行时,第一储罐可以包含足够的流体,以供给 该厂房中的工具几个小时或更长的时间。在这种情况下,混合才几系统413 可以用脱离子水净化,重新校准,并且能根据混和系统B或混和系统C的 需求混和溶液或浓度。
如同上面参照图l所述,混和系统A具有可以监控并确定溶液配方的 多个位置。如果需要校正的话,这种校正可以参照图1所述的方法进行。 中央监控系统可以同时监控和调节多个混和流。如果使用单独的混合机系 统100将两个或两个以上混和系统100组合起来,如同系统400所示,那 么,具有最高容积使用率的化学混和系统100的操作比具有次高容积使用 率的系统的操作优先。如果使用单独的混合机系统100将两个或两个以上混和系统100组合起来,那么,在同时需要混合机系统的情况下,优先顺
序可以手动控制。
应该注意到,混和系统400的原理可以应用于其中使用单独的混合才几 系统113将两个或两个以上混和系统100组合起来的任何系统。
图5描述了本发明另 一示例性实施方式的多混和系统500的程式化图。 混和系统500包括第一化学流504、第二化学流510、第一混合机系统513、 混和系统A、混和系统B以及混和系统C。
混和系统A、 B和C如同参照图2描迷的系统200。混和系统A至少 包括第一化学流504、第二化学流510、混合机系统513、第一溶液A14、 排出管A16、第一储罐系统A17、第二储罐系统A23、第二溶液A20、第 三溶液A26以及化学分配系统A29。混和系统B至少包括第一化学流504、 第二化学流510、混合机系统513、第一溶液B14、排出管B16、第一储罐 系统B17、第二储罐系统B23、第二溶液B20、第三溶液B26以及化学分 配系统B29。混和系统C至少包括第一化学流504、第二化学流510、混 合机系统513、笫一溶液C14、排出管C16、第一储罐系统C17、第二储 罐系统C23、第二溶液C20、第三溶液C26以及化学分配系统C29。
作为示例,多混和系统500可以表示典型半导体制造工厂中的一种典 型的辅助厂房装置。在这种装置中,第一化学流可以是显影剂、表面活性 剂、脱离子水等。混和系统A可以表示一种特定的混和溶液,或者一种特 定浓度的特定混和溶液。第一储罐A17或第二储罐A23可以表示这种工厂 中的一种限定储罐或常用储罐。当参照图2描述的过程采用混和系统A进 行时,第一储罐可以包含足够的流体,以供给该厂房中的工具几个小时或 更长的时间。在这种情况下,混合机系统513可以用脱离子水净化,重新 校准,并且能根据混和系统B或混和系统C的需求混和溶液或浓度。
如同上面参照图2所迷,混和系统A具有可以监控并确定溶液配方的 多个位置。如果需要校正的话,这种校正可以参照图2所述的方法进行。 中央监控系统可以同时监控和调节多个混和流。如果使用羊独的混合机系 统200将两个或两个以上混和系统200组合起来,如同系统500所示,那么,具有最高容积使用率的化学混和系统200的操作比具有次高容积使用 率的系统的操作优先。如果使用单独的混合机系统200将两个或两个以上 混和系统200组合起来,那么,在同时需要混合机系统的情况下,优先顺 序可以手动控制。
应该注意到,混和系统500的原理可以应用于其中4吏用单独的混合才几 系统213将两个或两个以上混和系统200组合起来的任何系统。
图6描述了本发明又一示例性实施方式的多混和系统600的程式化图。 混和系统600包括笫一化学流604、笫二化学流610、第一混合机系统613、 混和系统A、混和系统B以及混和系统C。
混和系统A、 B和C如同参照图3描述的系统300。混和系统A至少 包括第一化学流604、第二化学流610、混合机系统613、第一溶液A14、 排出管A16、笫一储罐系统A17、第二储罐系统A23、第三储罐系统A29、 第二溶液A20、第三溶液A26、第四溶液A30以及最终用户A33。混和系 统B至少包括第一化学流604、第二化学流610、混合机系统613、第一溶 液B14、排出管B16、第一储罐系统B17、第二储罐系统B23、第三储罐 系统B29、第二溶液B20、第三溶液B26、第四溶液B30以及最终用户B33。 混和系统C至少包括第一化学流604、第二化学流610、混合机系统613、 第一溶液C14、排出管C16、第一储罐系统C17、第二储罐系统C23、第 三储罐系统C29、第二溶液C20、第三溶液C26、第四溶液C30以及最终 用户C33。
作为示例,多混和系统600可以表示典型半导体制造工厂中的一种典 型的辅助厂房装置。在这种装置中,第一化学流可以是显影剂、表面活性 剂、脱离子水等。混和系统A可以表示一种特定的混和溶液,或者一种特 定浓度的特定混和溶液。第一储罐A17、第二储罐A23或第三储罐A29可 以表示这种工厂中的一种限定储罐或常用储罐。当参照图3描述的过程采 用混和系统A进行时,第一储罐可以包含足够的流体,以供给该厂房中的 工具几个小时或更长的时间。在这种情况下,混合机系统613可以用脱离 子水净化,重新校准,并且能根据混和系统B或混和系统C的需求混和溶液或浓度。
如同上面参照图3所述,混和系统A具有可以监控并确定溶液配方的 多个位置。如果需要校正的话,这种校正可以参照图3所述的方法进行。 中央监控系统可以同时监控和调节多个混和流。如果使用单独的混合机系 统300将两个或两个以上混和系统300组合起来,如同系统600所示,那 么,具有最高容积使用率的化学混和系统300的操作比具有次高容积使用 率的系统的操作优先。如果使用单独的混合机系统300将两个或两个以上 混和系统300组合起来,那么,在同时需要混合机系统的情况下,优先顺 序可以手动控制。
应该注意到,混和系统600的原理可以应用于其中使用单独的混合机 系统313将两个或两个以上混和系统300组合起来的任—可系统。
上面描述了本发明的示例性实施方式。尽管本发明可以具有不同的修 改和替代形式,这里详细描述了其具体实施方式。但是,应该理解,这里
反,本发明应覆盖落入所附权利要求所限定的本发明精神和范围内的所有 修改、等同物和替代方案。
当然,应该了解,在任何这类实际实施方式的开发中,必须执行多项 具体的决定以实现开发者的具体目的,例如适应系统相关和商业相关的约 束,这对于不同执行情形是不同的。此外,应该了解,这种开发工作可能 复杂且费时,但是对于受益于4^>开的所属领域技术人员而言只是常规任 务而已。
参考下面的描述和所附权利要求,可以更好地理解本发明的这些和其 它特点、方面以及有利之处。
本发明不限于上述优选实施方式,而是由下面所附的权利要求限定。

Claims (46)

1.一种操作化学混和系统的方法,包括: a)将至少第一化学流和第二化学流在混合机系统中混和,所述混合机系统包括位于导管系统中的混合区并以实时受控方式形成第一溶液,其中,将第一化学流和第二化学流连续地引入混合区; b)监控所述第一溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第一溶液输出信号; c)调节第一化学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第一溶液; d)将第一溶液引入第一储罐系统,其中,所述第一储罐系统连接到化学分配系统,并且该第一储罐系统还包括至少第一储罐和第二储罐; e)从第一储罐系统中将具有预定配方的第二溶液输送到化学分配系统; f)监控所述第二溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第二溶液输出信号;以及 g)将第一储罐系统的输出流回收到第一储罐系统,同时调节第一化学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第二溶液。
2. 如权利要求l所述的方法,其特征在于:第一储罐系统还包括用 于执行循环的再循环系统。
3. 如权利要求l所述的方法,其特征在于:预定配方的第一溶液维 持在按重量计大于0.003%的精度范围之内。
4. 如权利要求l所述的方法,其特征在于:预定配方的第一溶液维 持在按重量计大于0.01%的精度。
5. 如权利要求l所述的方法,其特征在于:预定配方的第二溶液维 持在按重量计大于0.003%的精度范闺之内。
6. 如权利要求1所述的方法,其特征在于:预定配方的第二溶液维持在按重量计大于0.01%的精度。
7. 如权利要求l所述的方法,其特征在于:监控第一溶液的至少一 项浓度标准,所述浓度标准选自:a) 传导率;b) 声速;c) 密度;d) 粘度;e) 折射率;f) 浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验。
8. 如权利要求l所迷的方法,其特征在于:监控笫二溶液的至少一 项浓度标准,所述浓度标准选自:a) 传导率;b) 声速;c) 密度;d) 粘度;e) 折射率;f) 浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验'
9. 如权利要求l所迷的方法,其特征在于:通过第一流量控制设备 控制第一化学流的流量,第一流量控制产生传送至中:^控系统的第一控 制设备输出信号;通过第二流量控制设备控制第二化学流的流量,.笫二流 量控制产生传送至中央监控系统的第二控制设备输出信号。
10. 如权利要求l所述的方法,其特征在于:第一化学流来自第一成 分储罐,第二化学流来自第二成分储罐。
11. 一种操作化学混和系统的方法,包括:a) 将至少第一化学流和第二化学流在混合机系统中混和,所述混合 机系统包括位于导管系统中的混合区并以实时受控方式形成第一 溶液,其中,将笫一化学流和第二化学流连续地引入混合区;b) 监控所述第一溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第一溶 液输出信号;c) 调节第一化学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的 笫一溶液;d) 将第一溶液引入第一储罐系统,其中,所述第一储罐系统连接到 第二储罐系统,笫一储罐系统还包括至少笫一储罐和第二储罐,第二储罐系统还包括至少第三储罐和第四储罐;e) 从第 一储罐系统中将具有预定配方的第二溶液输送到第二储罐系 统;f) 监控所述第二溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第二溶 液输出信号;g) 将第一储罐系统的输出流回收到第一储罐系统,同时调节第一化 学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第二溶液; 从第二储罐系统中将具有预定配方的第三溶液输送到化学分配系 统;i)监控所述第三溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第三溶液输出信号;以及 j)将第二储罐系统的输出流回收到第二储罐系统,同时调节第一化学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第三溶液。
12. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:笫一储罐系统还包括 用于执行循环的再循环系统。
13. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:第二储罐系统还包括 再循环系统。
14. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:预定配方的笫一溶液 维持在按重量计大于0.003%的精度范围之内。
15. 如权利要求11所迷的方法,其特征在于:预定配方的第一溶液 维持在按重量计大于0.01%的精度。
16. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:预定配方的第二溶液 维持在按重量计大于0.003%的精度范围之内。
17. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:预定配方的第二溶液 维持在按重量计大于0.01%的精度。
18. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:预定配方的第三溶液 维持在按重量计大于0.003%的精度范围之内。
19. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:预定配方的第三溶液 维持在按重量计大于0.01%的精度。
20. 如权利要求11所迷的方法,其特征在于:监控第一溶液的至少 一项浓度标准,所述浓度标准选自:a) 传导率;b) 声速;<0密度;d) 粘度;e) 折射率;f) 浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验。
21. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:监控第二溶液的至少 一项浓度标准,所述浓度标准选自:a) 传导率;b) 声速;c) 密度;d) 祐度;e) 折射率; 0浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验。
22. 如权利要求11所迷的方法,其特征在于:监控第三溶液的至少 一项浓度标准,所迷浓度标准选自:a) 传导率;b) 声速;c) 密度;d) 粘度;e) 折射率;f) 浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验。
23. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:通过第一流量控制设 备控制笫一化孛流的流量,第一流量控制产生传送至中央监控系统的第一 控制设备输出信号;通过第二流量控制设备控制.第二化学流的流量,第二 流量控制产生传送至中央监控系统的第二控制设备输出信号。
24. 如权利要求11所述的方法,其特征在于:第一化学流来自第一 成分储罐,笫二化学流来自第二成分储罐。
25. —种操作化学混和系统的方法,包括:a) 将至少第一化学流和第二化学流在混合机系统中混和,所迷混合 机系统包括位于导管系统中的混合区并以实时受控方式形成第一 溶液,其中,将第一化学流和第二化学流连续地引入混合区;b) 监控所述第一溶液,所迷监控产生传送至中央监控系统的第一溶 液输出信号;c) 调节第一化学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的 笫一溶液;d) 将笫一溶液引入第一储罐系统,其中,所述第一储罐系统连接到 第二储罐系统,第一储罐系统还包括至少第一储罐和第二储罐,第二储罐系统还包括至少第三储罐和第四储罐;e) 从第 一储罐系统中将具有预定配方的笫二溶液输送到第二储罐系 统;f) 监控所述第二溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第二溶 液输出信号;g) 将笫一储罐系统的输出流回收到笫一储罐系统,同时调节第一化 学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第二溶液;h) 从笫二储罐系统中将具有预定配方的第三溶液输送到第三储罐系 统,所述第三储罐系统还包括至少第五储罐和第六储罐;i) 监控所迷第三溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第三溶 液输出信号;j)将第二储罐系统的输出流回收到第二储罐系统,同时调节笫一化 学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第三溶液;k)从笫三储罐系统中将具有预定配方的第四溶液输送到最终用户;1)监控所述第四溶液,所述监控产生传送至中^J&控系统的第四溶 液输出倌号;以及m)将第三储罐系统的输出流回收到第三储罐系统,同时调节第 一化 学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第四溶液。
26. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:第一储罐系统还包括 再循环系统。
27. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:第二储罐系统还包括 再循环系统。
28. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:笫三储罐系统还包括 再循环系统。
29. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:预定配方的第一溶液 维持在按重量计大于0.003°/。的精度范围之内。
30. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:预定配方的第一溶液 维持在按重量计大于0.01%的精度。
31. 如权利要求25所迷的方法,其特征在于:预定配方的第二溶液 维持在按重量计大于0,003%的精度范围之内。
32. 如权利要求25所迷的方法,其特征在于:预定配方的笫二溶液 维持在按重量计大于0.01%的精度。
33. 如权利要求25所迷的方法,其特征在于:预定配方的笫三溶液 维持在按重量计大于0.003%的精度范围之内。
34. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:预定配方的第三溶液 维持在按重量计大于0.01%的精度。
35. 如权利要求25所迷的方法,其特征在于:预定配方的第四溶液 维持在按重量计大于0.003%的精度范围之内。
36. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:预定配方的第四溶液 维持在按重量计大于0.01%的精度。
37. 如权利要求25所迷的方法,其特征在于:监控笫一溶液的至少 一项浓度标准,所述浓度标准逸自:a) 传导率;b) 声速;c) 密度;d) 粘度;e) 折射率; 0浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验。
38. 如权利要求25所迷的方法,其特征在于:监控第二溶液的至少 一项浓度标准,所迷浓度标准选自:a) 传导率;b) 声速;c) 密度;d) 粘度;e) 折射率;f) 浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验。
39. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:监控第三溶液的至少 一项浓度标准,所述浓度标准选自:a) 传导率;b) 声速;c) 密度;d) 粘度;e) 折射率; J0浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验。
40. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:监控第四溶液的至少 一项浓度标准,所述浓度标准选自:a) 传导率;b) 声速;c) 密度;d) 粘度;e) 折射率;f) 浊度;g) 自动滴定;以及h) 手工分析校验。
41. 如权利要求25所述的方法,其特征在于:通过第一流量控制设 备控制第 一化学流的流量,第 一流量控制产生传送至中M控系统的第一 控制设备输出信号;通过第二流量控制设备控制第二化学流的流量,第二 流量控制产生传送至中央监控系统的笫二控制设备输出信号。
42. 如权利要求25所迷的方法,其特征在于:第一化学流来自笫一 成分储罐,第二化学流来自第二成分储罐。
43. —种^#化学混和系统的方法,包括:a) 将至少笫一化学流和第二化学流在混合机系统的混合区中混和以 形成第一溶液,其中,将第一化学流和第二化学流连续地引入混 合区;b) 监控所述第一溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第一溶 液输出信号;c) 基于所述第 一溶液输出信号调节第 一化学流的流量和第二化学流 的流量,以维持预定配方的第一溶液;d) 从混合机系统中将第 一溶液输送到笫 一储罐系统,其中,所述第 一储罐系统包括至少第 一储罐和第二储罐;e) 从第一储罐系统中输送第二溶液;f) 监控所述第二溶液,所述监控产生传送至中央监控泉统的第二溶 液输出信号;g) 将第一储罐系统的输出流回收到第一储罐系统,同时调节第一化 学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第二溶液; 所迷调节A^于笫二溶液输出信号进行的;h) 从混合机系统中将笫一溶液输送到第二储罐系统,其中,所述第 二储罐系统包括至少第三储罐和笫四储罐;i) 从第二储罐系统中输送第三溶液;j)监控所述第三溶液,所述监控产生传送至中央监控系统的第三溶液输出信号;以及 k)将第二储罐系统的输出流回收到第二储罐系统,同时调节第一化学流的流量和第二化学流的流量,以维持预定配方的第三溶液;所述调节是基于第三溶液输出信号进行的。
44. 如权利要求43所述的方法,其特征在于:所述第一储罐系统和 第二储罐系统与一个或多个半导体加工工具流体连通。
45. 如权利要求43所迷的方法,其特征在于:调节第一化学流的流 量和笫二化学流的流量以分别维持预定配方的第二和第三溶液优先于调节 第 一化学流的流量和第二化学流的流量以维持预定配方的第 一溶液。
46. 如权利要求43所迷的方法,其特征在于:还包括根据来自第一 和第二储罐系统的溶液的容积使用率控制从混合机系统中将第 一溶液输送 到第 一和第二储罐系统的优先顺序。
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