CH673004A5

CH673004A5 -

Info

Publication number: CH673004A5
Application number: CH1945/87A
Authority: CH
Inventors: Karl-Heinz Schmall
Original assignee: Weidmueller C A Gmbh Co
Priority date: 1987-05-20
Filing date: 1987-05-20
Publication date: 1990-01-31
Also published as: DE3814985C2; DE3814985A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Laserbearbeitungswerkzeug gemäss dem Oberbegriff von Anspruch 1. Mit einem derartigen Werkzeug wird ein Laserstrahl mit Hilfe einer Linse auf das zu bearbeitende Werkstück fokussiert, wobei sichletzte-55 res stark erhitzt. Dies ermöglicht verschiedene Arbeitsprozesse wie z. B. Schneidbrennen oder Schweissen. Durch die Düse kann ein Prozessgas, wie z. B. ein Schneidgas oder ein Schutzgas auf das Werkstück gerichtet werden. Infolge der sehr hohen Temperaturen ist es erforderlich, die empfindliche Linse zu kühlen. 60 Ausserdem ist eine axiale und/oder radiale Justierung der Düse relativ zur Optik erforderlich, um einerseits die Brennweite korrekt einzustellen und um anderseits die optische Achse auf die Düsenachse auszurichten. The invention relates to a laser machining tool according to the preamble of claim 1. With such a tool, a laser beam is focused on the workpiece to be machined with the aid of a lens, the latter being strongly heated. This enables various work processes such as B. cutting or welding. A process gas, such as. B. a cutting gas or a protective gas to the workpiece. Due to the very high temperatures, it is necessary to cool the sensitive lens. 60 In addition, an axial and / or radial adjustment of the nozzle relative to the optics is required in order to correctly set the focal length on the one hand and to align the optical axis with the nozzle axis on the other.

Es sind bereits Laserbearbeitungswerkzeuge bekannt, bei 65 denen die Linsenhalterung mit der Linse starr mit einer Halterung verbunden ist. Diese Halterung weist ausserdem einen Linsenkühler auf, in dem eine Kühlflüssigkeit zirkuliert, welche die Linse kühlt. Die Düse wird relativ zu der starr am Linsenküh- Laser processing tools are already known in which the lens holder is rigidly connected to the lens with a holder. This holder also has a lens cooler in which a cooling liquid circulates, which cools the lens. The nozzle is moved relative to the rigidly on the lens cooling

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1er befestigten Linse in vertikaler und in radialer Richtung justiert. Diese Anordnung hat jedoch den Nachteil, dass bei einem nötig werdenden Wechsel der Linse oder der Düse die einmal eingestellte Justierung verloren geht. Bei jedem Wechsel muss daher eine Nachjustierung erfolgen, was unter Umständen bis zu einer Stunde dauern kann. Während dieser Zeit ist die gesamte Anlage ausser Betrieb, was eine erhebliche Einbusse der Produktionskapazität und damit unnötige Kosten zur Folge hat. Die konventionellen Linsenkühler sind ausserdem relativ kompliziert, da das Kühlmedium eine separate Zu- und Abfuhr- und ein Umwälzsystem benötigt. The lens attached is adjusted in the vertical and radial directions. However, this arrangement has the disadvantage that if the lens or nozzle needs to be changed, the adjustment once set is lost. With every change, readjustment must therefore be carried out, which may take up to an hour. During this time, the entire plant is out of operation, which results in a considerable loss of production capacity and thus unnecessary costs. The conventional lens coolers are also relatively complicated because the cooling medium requires a separate supply and discharge system and a circulation system.

Die konventionellen Linsenkühler haben ausserdem nur eine begrenzte Kühlkapazität, da sie zu wenig Wärme abtransportieren können. Die Leistungsaufnahme des Lasers und damit die Trennkapazität wird dadurch ebenfalls begrenzt. The conventional lens coolers also only have a limited cooling capacity because they cannot remove enough heat. This also limits the power consumption of the laser and thus the separation capacity.

Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, ein Laserbearbeitungswerkzeug der eingangs genannten Art zu schaffen, bei dem eine einmal eingestellte Justierung von Brennweite und Düsenachse auch bei einem Auswechseln einzelner Komponenten nicht verloren geht und das bei möglichst kompakter Bauweise ein komplettes Kühlsystem für die Linse ohne komplizierte Kühlvorrichtungen enthält. Diese Aufgabe wird mit einem Laserbearbeitungswerkzeug gelöst, das die Merkmale von Anspruch 1 aufweist. It is therefore an object of the invention to provide a laser processing tool of the type mentioned, in which a once adjusted adjustment of the focal length and nozzle axis is not lost even when individual components are replaced, and which, with the most compact possible design, a complete cooling system for the lens without complicated Contains cooling devices. This object is achieved with a laser processing tool which has the features of claim 1.

Die zylindrische Aussenwand dient auf einfachste Weise als Zentrierrohr für verschiedene darin angeordnete Bauteile. Die Linsenhalterung mit der Linse ist nicht mehr starr gelagert, sondern relativ zur Düse sowohl in axialer als auch in radialer Richtung verschiebbar in der Aussenwand gelagert. Das Laserbearbeitungswerkzeug lässt sich dadurch von der Halterung als kompakte Einheit zusammen mit der Linse entfernen, wodurch Stillstandzeiten der Maschine auf ein Minimum reduziert werden können. Es lassen sich nämlich jeweils vorjustierte Werkzeuge vorbereiten, welche mit wenigen Handgriffen eingesetzt werden können und praktisch sofort wieder betriebsbereit sind. The cylindrical outer wall serves in the simplest way as a centering tube for various components arranged therein. The lens holder with the lens is no longer rigidly mounted, but is mounted in the outer wall so as to be displaceable relative to the nozzle both in the axial and in the radial direction. The laser processing tool can thus be removed from the holder as a compact unit together with the lens, whereby downtimes of the machine can be reduced to a minimum. Pre-adjusted tools can be prepared, which can be used in a few simple steps and are ready for operation again almost immediately.

Besonders einfach lässt sich die Linsenhalterung über eine in der Aussenwand geführten Gleitfassung axial und radial verschieben . Die Linsenhalterung kann dabei gegen die Kraft einer Feder nach unten gegen die Düse verstellt werden, welche Feder gleichzeitig die Linsenhalterung gegen eine quer zur Mittelachse verlaufende Gleitfläche an der Gleitfassung presst. Durch radiales Verschieben an dieser Gleitfläche lässt sich auch die optische Achse der Linse äusserst präzise auf die Mittelachse der Düse ausrichten. Dazu dienen vorzugsweise Stellschrauben, welche über den Umfang der Gleitfassung verteilt sind und welche gegen das Zentrum der Gleitfassung gedreht werden können. Die axiale Verschiebung der Gleitfassung erfolgt vorzugsweise über eine in die Aussenhülse einschraubbare Stellmutter. The lens holder is particularly easy to move axially and radially using a sliding mount in the outer wall. The lens holder can be adjusted downwards against the force of a spring against the nozzle, which spring simultaneously presses the lens holder against a sliding surface on the sliding mount which runs transversely to the central axis. By radially shifting this sliding surface, the optical axis of the lens can also be aligned very precisely with the central axis of the nozzle. For this purpose, set screws are preferably used, which are distributed over the circumference of the slide mount and which can be turned against the center of the slide mount. The axial displacement of the sliding mount is preferably carried out via an adjusting nut which can be screwed into the outer sleeve.

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Das Problem der Linsenkühlung lässt sich auf besonders optimale Weise lösen, wenn unter der Linse ein Ringkanal angeordnet ist, in welchen das Prozessgas einleitbar ist und wenn das Prozessgas aus dem Ringkanal zur Kühlung auf die Unterseite der Linse richtbar ist, bevor es durch die Düse strömt. Dabei erfolgt die Kühlung unmittelbar durch das Arbeitsmedium und ein zusätzliches Kühlmittel bzw. ein separater Kühlkreislauf fällt völlig weg. Die gesamte Vorrichtung kann dadurch ersichtlicherweise erheblich vereinfacht werden. Das mit hoher Geschwindigkeit gegen die Linse gerichtete Prozessgas schützt diese ausreichend vor Überhitzung. Um die Justierfunktion für die Linsenhalterung nicht zu beeinträchtigen, wird der Ringkanal vorzugsweise durch einen Gleitkörper gebildet, der zusammen mit der Linsenhalterung in axialer Richtung verschiebbar in der Aussenwand gelagert ist. Der Gleitkörper hat Bohrungen, welche vom Ringkanal gegen die Unterseite der Linse gerichtet sind. Die verschiebbare Anordnung des Gleitkörpers hat ausserdem den Vorteil, dass die Relativposition der Bohrungen zur Linse immer gleich bleibt. Wenn der Gleitkörper eine sich konisch nach unten verjüngende Innenwand aufweist, werden die an der Linse umgelenkten Gasströme bereits gegen die Düse hin gebündelt und beschleunigt. The problem of lens cooling can be solved in a particularly optimal manner if an annular channel is arranged under the lens, into which the process gas can be introduced and if the process gas from the annular channel can be directed to the underside of the lens for cooling before it flows through the nozzle . The cooling takes place directly through the working medium and an additional coolant or a separate cooling circuit is completely eliminated. The entire device can obviously be considerably simplified as a result. The process gas directed against the lens at high speed protects it sufficiently from overheating. In order not to impair the adjustment function for the lens holder, the ring channel is preferably formed by a sliding body which, together with the lens holder, is mounted in the outer wall so as to be displaceable in the axial direction. The sliding body has holes which are directed from the ring channel towards the underside of the lens. The displaceable arrangement of the sliding body also has the advantage that the relative position of the bores to the lens always remains the same. If the sliding body has an inner wall that tapers conically downwards, the gas flows deflected at the lens are already bundled and accelerated towards the nozzle.

Weitere Vorteile am Laserbearbeitungswerkzeug lassen sich erzielen, wenn die Düse axial und im Winkel zur Achse auslenk-5 bar an der Aussenhülse angeordnet ist und wenn die Schneiddüse mit der Feder in eine neutrale Lage pressbar ist. Dadurch wird eine Zerstörung des Werkzeuges vermieden, wenn die Düse bei ihrem Vorschub auf ein unerwartetes Hindernis auf trifft. Bei einer isolierten Befestigung der Düse relativ zu den übrigen 10 Bauteilen des Werkzeuges lässt sich bei Kollision mit dem Werkstück ein elektrisches Signal bilden, mit dessen Hilfe der Vorschub des Werkzeuges abgeschaltet werden kann. Further advantages of the laser processing tool can be achieved if the nozzle is arranged axially and at an angle of 5 bar on the outer sleeve and if the cutting nozzle can be pressed into a neutral position with the spring. This prevents the tool from being destroyed if the nozzle encounters an unexpected obstacle during its advance. With an insulated attachment of the nozzle relative to the remaining 10 components of the tool, an electrical signal can be generated in the event of a collision with the workpiece, with the aid of which the feed of the tool can be switched off.

Besonders vorteilhaft gestaltet sich die Verschiebung der Linsenhalterung, wenn das Gehäuseteil ein kreisringförmiges Kühlerteil und eine sich vom Kühlerteil nach unten erstreckend Aussenwand aufweist und wenn die Linsenhalterung mittels einer Feder gegen die Unterseite des Kühlerteils pressbar ist, welche an der Aussenwand abgestützt ist. Mit der Feder kann eine Presskraft aufgebracht werden, welche für ein dichtendes 2o Anpressen der Linsenhalterung an die Unterseite des Kühlerteils ausreicht. Die Linsenhalterung bleibt rund um die Mittelachse des Gehäuseteils verschiebbar, so dass auch im Betrieb justiert werden kann. Die Verschiebung der Linsenhalterung erfolgt vorteilhaft mittels über den Umfang der Aussenwand verteilter 25 und gegen das Zentrum gerichteter Stellschrauben. Mit Hilfe dieser Stellschrauben lässt sich die Reibung zwischen Linsenhalterung und Kühlerteil mühelos überwinden und je nach Steigung am Gewinde der Stellschrauben ist eine äusserst präzise Justierung möglich. The displacement of the lens holder is particularly advantageous if the housing part has an annular cooler part and an outer wall extending downward from the cooler part and if the lens holder can be pressed by means of a spring against the underside of the cooler part, which is supported on the outer wall. With the spring, a pressing force can be applied which is sufficient for a sealing pressing of the lens holder onto the underside of the cooler part. The lens holder remains slidable around the central axis of the housing part, so that adjustments can also be made during operation. The lens holder is advantageously displaced by means of adjusting screws distributed over the circumference of the outer wall and directed towards the center. With the help of these set screws, the friction between the lens holder and the cooler part can be easily overcome and, depending on the pitch of the set screw thread, an extremely precise adjustment is possible.

30 Die Kühlung der gesamten Anordnung kann verbessert werden, wenn das Kühlerteil wenigstens einen Ringkanal zur Durchleitung eines Kühlmediums aufweist. Das Kühlerteil ersetzt damit den bisher üblichen Linsenkühler, da der Kühlkanal praktisch direkt in das Gehäuseteil integriert ist. Eine besonders 35 vorteilhafte Kühlung ergibt sich ausserdem, wenn das Prozessgas über einen Ringkanal am Kühlerteil und über die verschiebbare Linsenhalterung zur Düse leitbar ist. Auf diese Weise wird das Prozessgas selbst zu Kühlzwecken eingesetzt und strömt von oben her durch die Linsenhalterung hindurch. Damit wird eine 40 Kühlung nahe bei der wärmeempfindlichen Linse erzielt. The cooling of the entire arrangement can be improved if the cooler part has at least one ring channel for the passage of a cooling medium. The cooler part replaces the lens cooler that was previously used, since the cooling channel is practically integrated directly into the housing part. A particularly advantageous cooling also results if the process gas can be conducted to the nozzle via an annular channel on the cooler part and via the displaceable lens holder. In this way, the process gas itself is used for cooling purposes and flows through the lens holder from above. This results in cooling close to the heat-sensitive lens.

Eine wesentliche Verbesserung der Kühlleistung kann erzielt werden, wenn zusätzlich zum Ringkanal für das Prozessgas ein Ringkanal für die Zu- und Ableitung eines externen Kühlmittels am Kühlerteil angeordnet ist. Im Gegensatz zum Prozessgas, bei 45 dem die zugeführte Menge und die Temperatur weitgehend durch den Bearbeitungsprozess selbst bestimmt werden, kann das externe Kühlmittel, beispielsweise eine Kühlflüssigkeit, mit sehr tiefer Temperatur und mit hohem Druck durch das Kühler-teil durchgeleitet werden. Damit kann die Kühlleistung im Gegensatz zu den bekannten Linsenkühlern wesentlich verbessert werden, da die Kühlung durch Eigenmedium und mittels externem Kühlmittel sich gegenseitig ergänzen. A significant improvement in the cooling performance can be achieved if, in addition to the ring channel for the process gas, an annular channel for the supply and discharge of an external coolant is arranged on the cooler part. In contrast to the process gas, in which the quantity supplied and the temperature are largely determined by the machining process itself, the external coolant, for example a coolant, can be passed through the cooler part at a very low temperature and at high pressure. In contrast to the known lens coolers, the cooling performance can thus be significantly improved since the cooling by means of the own medium and by means of external coolants complement one another.

Besonders vorteilhaft und ohne Beeinträchtigung der Justiermöglichkeit an der Linsenhalterung erfolgt die Durchleitung des 55 Prozessgases, wenn die Linsenhalterung zusammen mit der Unterseite des Kühlerteils einen Ringkanal bildet, der über Öffnungen mit dem Ringkanal für das Prozessgas im Kühlerteil verbunden ist und wenn das Prozessgas aus dem Ringkanal in der Linsenhalterung über mehrere Kanäle unter die Linse leitbar ist. 60 Die Relativlage des Ringkanals an der Linsenhalterung kann so relativ zu den feststehenden Öffnungen im Kühlerteil verschoben werden, ohne dass die Strömung des Prozessgases beeinflusst wird. Dieser Ringkanal sorgt ausserdem für eine grosse Kühlfläche und damit für eine optimale Kühlung der Linsenhalterung. 65 Die Linse selbst stellt nach oben gegen das Anschlussrohr einen gasdichten Abschluss dar, so dass über die Kanäle bis unter die Ebene der Linse gekühlt wird. Die Kühlwirkung kann dabei noch dadurch verbessert werden, dass die Mündungsabschnitte der The process gas is passed through in a particularly advantageous manner and without impairing the adjustment possibility on the lens holder if the lens holder forms an annular channel together with the underside of the cooler part, which is connected via openings to the annular channel for the process gas in the cooler part and if the process gas comes out of the annular channel in the lens holder via several channels under the lens. 60 The relative position of the ring channel on the lens holder can thus be shifted relative to the fixed openings in the cooler part without affecting the flow of the process gas. This ring channel also ensures a large cooling surface and thus optimal cooling of the lens holder. 65 The lens itself provides a gas-tight seal upwards against the connecting pipe, so that cooling takes place via the channels to below the level of the lens. The cooling effect can be further improved in that the mouth sections of the

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Kanäle gegen die Unterseite der Linse gerichte.t sind. Der mit einer Schulter gegen die Gleitfläche 7 einer Gleitfassung 5 Prozessgasstrom kühlt auf diese Weise direkt die untere Oberflä- pressbar ist. Die Gleitfassung 5 wird ebenso wie der Gleitkörper che der Linse, bevor das Gas durch die Düse ausströmt. n durch die Innenwand der Aussenwand 4 geführt und ist nur in Die Düse selbst wird besonders vorteilhaft gehalten, wenn sie axialer Richtung verschiebbar. Die Linsenhalterung 1 wird somit einen umlaufenden Kragen aufweist, der auf einem Haltering am 5 durch die Kraft der Feder 6 zwischen dem Gleitkörper 11 und der unteren Rand der Aussenwand aufliegt und wenn die Düse durch Gleitfassung 5 eingeklemmt, lässt sich jedoch in alle Richtungen eine auf den Kragen pressbare Feder in einer neutralen Lage quer zur Mittelachse radial verschieben. Channels are directed towards the underside of the lens. The process gas stream which cools with one shoulder against the sliding surface 7 of a sliding mount 5 can in this way directly lower the lower surface. The sliding mount 5, like the sliding body of the lens, is before the gas flows out through the nozzle. n guided through the inner wall of the outer wall 4 and is only in the nozzle itself is held particularly advantageous when it is displaceable in the axial direction. The lens holder 1 will thus have a circumferential collar which rests on a retaining ring on the 5 by the force of the spring 6 between the sliding body 11 and the lower edge of the outer wall, and if the nozzle is clamped by the sliding frame 5, however, one can be opened in all directions in a neutral position, move the collar of the compressible spring radially across the central axis.

fixierbar ist. Gegen diesen Federdruck kann die Düse somit Wie insbesondere aus Fig. 2 ersichtlich ist, erfolgt diese allseitig ausgelenkt werden, da sie nicht fest eingespannt ist. radiale Verschiebung mit Hilfe von mehreren Stellschrauben 8, Dadurch werden Beschädigungen der Gesamtanordnung verhin- 10 welche verteilt über den gesamten Umfang in den Gleitkörper 5 is fixable. Against this spring pressure, the nozzle can thus be deflected on all sides, as can be seen in particular from FIG. 2, since it is not firmly clamped. radial displacement with the aid of several adjusting screws 8, thereby preventing damage to the overall arrangement which is distributed over the entire circumference in the sliding body 5

dert, wenn beispielsweise die Düsenspitze auf ein Hindernis eingeschraubt sind. Je nach dem, welche Schrauben verstellt auftrifft bzw. wenn sie das Werkstück berührt. Ein elektroni- werden, lässt sich eine radiale Verschiebung der Linsenfassung 1 scher oder ein mechanischer Kollisionssensor kann beim Auslen- in Pfeilrichtung B erreichen. Die optische Achse der Linse 2 lässt ken der Düse bzw. bei Berührung mit dem Werkstück den sich so exakt auf die Mittelachse der Schneiddüse 3 ausrichten. changes if, for example, the nozzle tip is screwed onto an obstacle. Depending on which screw is adjusted or if it touches the workpiece. To become electronic, a radial displacement of the lens mount 1 can be achieved, or a mechanical collision sensor can be achieved in the direction of arrow B when it is deflected. The optical axis of the lens 2 allows the nozzle or, when it comes into contact with the workpiece, to be aligned exactly with the central axis of the cutting nozzle 3.

Vorschub des Laserbearbeitungswerkzeuges sofort abschalten. 15 Für das Verstellen der Stellschrauben 8 sind in der Aussenwand 4 Die Düse lässt sich mit Hilfe der genannten Halterung auch rasch Langlöcher 20 vorgesehen, so dass bei jeder axialen Position der auswechseln, in dem der Haltermg von der Aussenwand entfernt Gleitfassung 5 die Stellschrauben 8 gut zugänglich sind. Switch off the feed of the laser processing tool immediately. 15 For the adjustment of the set screws 8 are in the outer wall 4 The nozzle can also be quickly provided with the help of the bracket mentioned elongated holes 20, so that at each axial position, the slide mount 5 removes the set screws 8 well by removing the holder mg from the outer wall are accessible.

wird. Zum Einstellen der Brennweite des von oben zugeführten becomes. For adjusting the focal length of the top feed

Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeich- Laserstrahls 21 dient eine Stellmutter 9, welche rohrförmig nungen dargestellt und werden nachstehend genauer beschrie- M ausgebildet ist und welche von oben in die Aussenwand 4 Two exemplary embodiments of the invention are used in the drawing laser beam 21, an adjusting nut 9 which is shown in tubular form and is described in more detail below and which is formed from above into the outer wall 4

ben. Es zeigen: einschraubbar ist. Die Stellmutter 9 dient gleichzeitig als Wieder- ben. It shows: can be screwed in. The adjusting nut 9 also serves as a

Fig. 1 einen Teilquerschnitt durch ein erfindungsgemässes lager für das gesamte Paket bestehend aus Gleitfassung 5, 1 shows a partial cross section through a bearing according to the invention for the entire package consisting of slide mount 5,

Laserbearbeitungswerkzeug, nämlich einen Laserschneidbrenn- Linsenhalterung 1 und Gleitkörper 11. Durch Verdrehen der köpf; Stellmutter 9 lässt sich dieses gesamte Paket ersichtlicherweise in Laser processing tool, namely a laser cutting lens holder 1 and sliding body 11. By turning the head; Set nut 9 can be seen in this entire package

Fig. 2 einen Schnitt durch die Ebene I-I gemäss Fig. 1, und 25 Pfeilrichtung A verschieben. Fig. 2 shows a section through the plane I-I of FIG. 1, and 25 arrow direction A move.

Fig. 3 einen Teilquerschnitt durch ein abgewandeltes Ausfüh- Dadurch lässt sich die Brennweite des Laserstrahles auch rungsbeispiel eines Laserbearbeitungswerkzeuges. ausserhalb der Schneidvorrichtung exakt vorjustieren, in dem Wie in Fig. 1 dargestellt, besteht ein Laserschneidbrennkopf beispielsweise ein Laserhilfsstrahl an den Laserschneidbrenn-aus einer zylindrischen Aussenwand 4, in welcher konzentrisch köpf angeschlossen wird. Die Brennweite kann aber auch im verschiedene Bauteile angeordnet sind. Am unteren Rand der 30 Betriebszustand bei eingeschaltetem Laser justiert werden. Das Aussenwand 4 ist ein Hülsenunterteil 16 eingeschraubt, das eine gleiche gilt auch für die Justierung der optischen Achse, welche nach innen ragende Kreisringfiäche aufweist. Zwischen das entweder ausserhalb der Maschine oder im Betriebszustand Hülsenunterteil 16 und die Aussenwand 4 lassen sich Distanz- erfolgen kann. Mit den Pfeilen C ist der Verlauf des Schneidgaringe 17 von unterschiedlicher Höhe einsetzen, um damit den ses, z. B. Sauerstoff, angedeutet, welches durch die Bohrungen Brennpunkt ausserhalb der Düse noch variieren zu können. Die 35 12 mit hoher Geschwindigkeit aus dem Ringkanal 10 gegen die Schneiddüse 3 ist an einer Düsenhalterung 14 befestigt, wobei sie Unterseite der Linse 2 strömt und dann nach unten umgelenkt gegenüber dieser mit Hilfe eines Isolierrings 18 elektrisch isoliert wird. Um ein Entweichen von Schneidgas nach aussen zu verhinist. An der Schneiddüse 3 ist aussen ein Anschluss 22 angeordnet, dem, sind zwischen der Linsenhalterung 1, dem Gleitkörper 11, an den ein hier nicht näher dargestellter Kollisionssensor ange- dem Hülsenunterteil 16 und der Aussenwand 4 j eweils geeignete schlössen werden kann, der bei Berührung mit dem Werkstück 40 Dichtungen eingesetzt. Um ein Verdrehen der Gleitfassung 5 anspricht und den Vorschub für den Brennkopf unterbricht. nach einer einmal erfolgten Justierung der Linsenhalterung 1 zu Die Düsenhalterung 14 weist einen Kragen 15 auf, welcher verhindern, kann die Gleitfassung 5 beispielsweise an einer axial auf dem Hülsenunterteil 16 aufliegt. Ersichtlicherweise ist verlaufenden Nut an der Aussenwand 4 geführt sein. Fig. 3 shows a partial cross section through a modified Ausfüh- This allows the focal length of the laser beam also approximately example of a laser processing tool. Precisely pre-adjust outside of the cutting device, in which, as shown in FIG. 1, a laser cutting burner head, for example, a laser auxiliary beam to the laser cutting burner, consists of a cylindrical outer wall 4, in which the head is connected concentrically. The focal length can also be arranged in different components. At the bottom of the 30 operating state can be adjusted with the laser switched on. The outer wall 4 is screwed into a lower sleeve part 16, which also applies to the adjustment of the optical axis, which has an annular ring surface projecting inwards. Distance can be made between the outside of the machine or in the operating state of the lower sleeve part 16 and the outer wall 4. With the arrows C, the course of the cutting rings 17 of different heights is used, so that the ses, z. B. oxygen, indicated which can still vary through the holes focal point outside the nozzle. The 35 12 at high speed from the ring channel 10 against the cutting nozzle 3 is fastened to a nozzle holder 14, whereby it flows on the underside of the lens 2 and is then deflected downward from it with the aid of an insulating ring 18 and is electrically insulated. To prevent cutting gas from escaping to the outside. On the cutting nozzle 3, a connection 22 is arranged on the outside, between which the lens holder 1, the sliding body 11, to which a collision sensor (not shown here) on the lower sleeve part 16 and the outer wall 4 can be suitably closed, which can be closed when touched with the workpiece 40 seals used. Responds to a twisting of the sliding frame 5 and interrupts the feed for the burner head. after the lens holder 1 has been adjusted once. The nozzle holder 14 has a collar 15, which can prevent the sliding mount 5 from resting axially on the sleeve lower part 16, for example. Obviously, the extending groove can be guided on the outer wall 4.

dadurch die Schneiddüse 3 nicht starr in der Aussenwand 4 Beim Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 3 ist die Prozessgas- this means that the cutting nozzle 3 is not rigid in the outer wall 4. In the exemplary embodiment according to FIG. 3, the process gas

gelagert, sondern lässt sich in Pfeilrichtung D auf alle Seiten 45 durchführung etwas anders gelöst. Ausserdem ist eine zusätzli- stored, but can be carried out in a different way in the direction of arrow D on all sides 45. In addition, an additional

auslenken. Bei Berührung mit dem Werkstück wird dabei eine che Kühlung mit einem flüssigen Kühlmedium vorgesehen. Der deflect. When touching the workpiece, a che cooling with a liquid cooling medium is provided. The

ZerstörungdesLaserschneidbrennkopfesvermieden,bevorder SchneidbrennkopfistaneinemAnschlussrohr23befestigt,das Avoid destruction of the laser cutting torch before the cutting torch is attached to a connection pipe 23 which

Kolhsionssensor den Vorschub abschdten kann. beispielsweise mit einem Roboterarm über das Werkstück vorge- Kolhsionssensor can damage the feed. for example with a robot arm over the workpiece

Die Schneidduse 3 wird durch emeDruckfeder 6, die auf dem schobenwird.Die Schneiddüse wird dabei über hier nicht näher The cutting nozzle 3 is pushed by a compression spring 6 which is pushed onto the cutting nozzle

Kragen 15 aufliegt m einer neutralen Lage festgehalten. Diese 5Q d bellte Sensorvorrichtungen in einem bestimmten Arbeits- Collar 15 rests in a neutral position. This 5Q d barked sensor devices in a certain working

Druckfeder 6 hat gleichzog auch noch die Funktion, die abstandzum Werkstück gehalten: Dunidas Anschlussrohr 23 Compression spring 6 also has the function of keeping the distance from the workpiece: Dunidas connecting tube 23

Linsenhalterung 1 gegen die Gleitfassung 5 zupressen, wie wird auch der Laserstrahl zugeführt, der mit Hilfe der Linse 2 auf nachstehend noch genauer beschrieben wird. das Werkstück fokussiert wfrd Press the lens holder 1 against the sliding mount 5, as is also the laser beam which is described in more detail below with the aid of the lens 2. the workpiece is focused

Uber die Feder 6 ist ein rotationssymmetnscher Gleitkorper _ . .... T . ^ . ». 11 geschoben, der zusammen mit der Aussenwand 4 einen u Im Ausfuhrangsbeispielwnd die Lmse 2 durch eine Linsen-Ringkanal 10 bildet. Gegen untenistder Gleitkörper 11 mit einer 55 halterun§1 §ehalÌfn' die sich jedoch aus mehreren Einzelheiten sich konisch verjüngenden Innenwand 13 versehen, welche vor- "mensetzt. Diese Linsenhalterung 1 ist relativ zu einem zugsweise die Düsenhalterung 14 teilweise überlappt. DerGleit- Gehauseteil 24 quer zur Mittelachse bzw. quer zur optischen körper 11 ist über seinen gesamten Umfang mit Bohrungen 12 Achse verschiebbar. Auch das Gehauseteil 24 besteht aus mehreversehen, welche vom Ringkanal 10 gegen die Unterseite der 60 ^fnzelteilen, wie nachstehend noch genauer beschneben About the spring 6 is a rotationally symmetrical sliding body _. .... T. ^. ». 11 which, together with the outer wall 4, forms a u in the exemplary embodiment, the lens 2 through a lens ring channel 10. Towards the bottom, the sliding body 11 is provided with a 55 holder 1, which, however, is provided with several conical tapering inner walls 13. This lens holder 1 is partially overlapping relative to a nozzle holder 14, which is preferred. The sliding housing part 24 Bores 12 can be displaced over its entire circumference across its entire circumference with respect to the central axis or transversely to the optical body 11. The housing part 24 is also made up of several parts, which from the annular channel 10 against the underside of the 60 parts, as described in more detail below

Linse 2 gerichtet sind. Der Ringkanal 10 wird über Einlassboh- ' ... , Lens 2 are directed. The ring channel 10 is connected via

?n „vc u „„ <. t-i; „„ u Das Gehauseteil 24 setzt sich im wesentlichen aus einem etwa rungen 19 von aussen mit Schneidgas versorgt. Diese Emlassboh- , . . r.. . „..,. ^ , ? n "vc u" "<. t-i; "" U The housing part 24 consists essentially of a roughly 19 stanchions supplied with cutting gas from the outside. This Emlassboh,. . r ... "..,. ^,

° in • j a * a ■ u • ■ j r u kreisnngformigenKuhlerteil 25 zusammen, das auf das untere rungen 19 smd so angeordnet, dass sie bei jeder möglichen -c a a a ti ,, . . • ° in • j a * a ■ u • ■ j r u circular radiator part 25 together, which is arranged on the lower stanchions 19 so that they can be used for every possible -c a a ai ,,. . •

r. i « * -,i .r . j , . , Ende des Anschlussrohres 23 aufschraubbar ist. Mit Hilfe einer r. i «* -, i .r. j,. , End of the connecting tube 23 can be screwed on. With the help of a

Position des Gleitkorpers 11 von diesem nicht verdeckt werden. ..... , ,, , Position of the sliding body 11 are not covered by this. ....., ,,,

r gegenläufig verschraubbaren Stellmutter 44 wird das Kuhlerteil r counter nut screwable 44 becomes the radiator part

Auf dem Gleitkörper 11 liegt die Linsenhalterung 1 auf, in 65 24 in der gewünschten Relativlage am Anschlussrohr 23 verweicher die Linse 2 fest eingeklemmt ist. Dabei kann es sich wie spannt. The lens holder 1 rests on the sliding body 11, and the lens 2 is firmly clamped in the desired relative position on the connecting tube 23. It can feel like tension.

dargestellt um eine konvexe oder auch um eine plankonvexe Vom äusseren Rand des Kühlerteils 25 erstreckt sich eine shown around a convex or also a plano-convex one extends from the outer edge of the cooler part 25

Linse handeln. Die Linsenhalterung 1 ist so ausgebildet, dass sie Aussenwand 4 gegen unten. Diese hat eine etwa zylindrische Act lens. The lens holder 1 is designed such that it has the outer wall 4 towards the bottom. It has an approximately cylindrical shape

Form und ist mit dem Kühlerteil 25 verschraubt. Theoretisch wäre es aber auch möglich, dass die Aussenwand und das Kühlerteil einstückig ausgebildet sind. Über den Umfang der Aussenwand 4 sind Stellschrauben 8 angeordnet, deren Achsen gegen das Zentrum gerichtet sind. Diese Stellschrauben greifen an der Linsenhalterung 1 an und verschieben diese je nach Position der Stellschrauben. Form and is screwed to the cooler part 25. In theory, however, it would also be possible for the outer wall and the cooler part to be formed in one piece. Adjusting screws 8 are arranged over the circumference of the outer wall 4, the axes of which are directed towards the center. These set screws engage the lens holder 1 and move them depending on the position of the set screws.

Die Linsenhalterung 1 setzt sich zusammen aus einer Linsenfassung 40, einem Linsenkühlring41 und aus einem Düsenring 42. Die Linsenfassung 40 ist mit dem Linsenkühlring 41 verschraubt oder verklebt. Der Düsenring 42 wird von unten in die Linsenfassung 40 eingeschraubt und presst die Linse 2 mit Hilfe einer Linsenfeder 39 gegen eine Schulter an der Linsenfassung 40. The lens holder 1 is composed of a lens holder 40, a lens cooling ring 41 and a nozzle ring 42. The lens holder 40 is screwed or glued to the lens cooling ring 41. The nozzle ring 42 is screwed into the lens holder 40 from below and presses the lens 2 against a shoulder on the lens holder 40 with the aid of a lens spring 39.

Der Linsenkühlring 41 wird mit Hilfe eines Federpakets 26 von unten gegen die Unterseite des Kühlerteils 25 gepresst. Das Federpaket 26 ruht auf einem Klemmring 43, der von unten in die Aussenwand 4 eingeschraubt ist. Auf diese Weise ist die gesamte Linsenhalterung 1 von unten her demontierbar, ohne dass der Brennkopf vom Anschlussrohr entfernt werden muss. The lens cooling ring 41 is pressed from below against the underside of the cooler part 25 with the aid of a spring assembly 26. The spring assembly 26 rests on a clamping ring 43 which is screwed into the outer wall 4 from below. In this way, the entire lens holder 1 can be disassembled from below without the burner head having to be removed from the connecting tube.

Am Kühlerteil 25 sind zwei konzentrische Ringkanäle 27 und 28 angeordnet. Der Ringkanal 28 dient für die Zufuhr des Schneidgases und ist gegen oben mit einem Ringdeckel 34 verschlossen. Dieser Ringdeckel trägt einen Anschlussstutzen 36 für den Gasanschluss. Aus Gründen der besseren Übersichtlichkeit ist dieser Anschlussstutzen 36 auf der rechten Seite der Abbildung angedeutet, obwohl in der Regel nur ein einziger Anschlussstutzen für die Gaszufuhr vorgesehen ist. Mit Hilfe von Ringdichtungen 45 ist der Ringdeckel 34 gasdicht gegenüber dem Kühlerteil 6 abgedichtet. Der Ringdeckel wird auf das Kühlerteil 25 aufgeschraubt, wobei durch mehr oder weniger tiefes Einschrauben die optimale Position für den Anschlussstutzen 36 gewählt werden kann. Two concentric ring channels 27 and 28 are arranged on the cooler part 25. The annular channel 28 serves for the supply of the cutting gas and is closed towards the top with an annular cover 34. This ring cover carries a connecting piece 36 for the gas connection. For reasons of better clarity, this connection piece 36 is indicated on the right-hand side of the figure, although generally only a single connection piece is provided for the gas supply. With the help of ring seals 45, the ring cover 34 is sealed gas-tight against the cooler part 6. The ring cover is screwed onto the cooler part 25, the optimal position for the connecting piece 36 being able to be selected by screwing it in more or less deeply.

Über Öffnungen 30, welche über den gesamten Umfang des Ringkanals 28 verteilt sind, gelangt das Schneidgas in einen weiteren Ringkanal 29, der durch den Linsenkühlring 41 gebildet wird. Auch dieser Ringkanal ist auf beiden Seiten mit Ringdichtungen gasdicht gegenüber der Unterseite des Kühlerteils 25 abgedichtet. Die Anordnung der Öffnungen 30 ist so gewählt, dass bei jeder radialen Extremposition der Linsenhalterung 1 ein Übertritt des Schneidgases von der Ringkammer 28 in die Ringkammer 29 gewährleistet ist. Über den Umfang des Linsen-kühlrings 41 verteilte Kanäle 31 führen vom Ringkanal 29 nach unten und gehen in die Mündungsabschnitte 32 über, welche am Düsenring 42 angeordnet sind. Diese Mündungsabschnitte 32 sind schräg gegen die Unterseite der Linse 2 gerichtet, so dass der austretende Schneidgasstrahl zuerst auf die Linse aufprallt, Via openings 30, which are distributed over the entire circumference of the ring channel 28, the cutting gas reaches a further ring channel 29, which is formed by the lens cooling ring 41. This ring channel is also sealed gas-tight on both sides with ring seals against the underside of the cooler part 25. The arrangement of the openings 30 is selected such that the cutting gas is guaranteed to pass from the annular chamber 28 into the annular chamber 29 at each radial extreme position of the lens holder 1. Channels 31 distributed over the circumference of the lens cooling ring 41 lead downward from the ring channel 29 and merge into the mouth sections 32 which are arranged on the nozzle ring 42. These mouth portions 32 are directed obliquely against the underside of the lens 2, so that the emerging cutting gas jet first impacts the lens,

bevor er durch die Schneiddüse 3 nach unten gegen das Werkstück strömt. Ersichtlicherweise wird so die Linse von allen Seiten optimal durch das Schneidgas gekühlt. Das Schneidgas erwärmt sich auf seinem Weg zur Schneiddüse 3, was für den Schneidprozess vorteilhaft ist. before it flows down through the cutting nozzle 3 against the workpiece. Obviously, the lens is optimally cooled by the cutting gas from all sides. The cutting gas heats up on its way to the cutting nozzle 3, which is advantageous for the cutting process.

673 004 673 004

Der äussere Ringkanal 27 am Kühlerteil 25 dient für die Durchleitung eines externen Kühlmediums, wie z.B. Wasser oder einer speziellen Kühlflüssigkeit. Der Ringkanal 27 ist mit Hilfe eines Ringdeckels 33 verschlossen, der auf das Kühlerteil 25 aufgeschraubt und/oder aufgeklebt wird. Am Ringdeckel sind zwei Anschlussstutzen 35 für die Zu- und Ableitung vorgesehen, von denen hier nur ein einziger dargestellt ist. Die beiden Anschlussstutzen 35 liegen einander vorzugsweise diametral gegenüber, so dass eine gleichförmige Strömung im Ringkanal 27 erzielt wird. Theoretisch wäre es auch denkbar, den Ringkanal 27 mit einer Querwand zu unterteilen und die beiden Anschlussstutzen auf beiden Seiten der Querwand anzuordnen. In diesem Fall würde die Kühlflüssigkeit praktisch über 180° in die gleiche Richtung durch den Ringkanal 27 strömen. Die Kühlflüssigkei* im Ringkanal 27 transportiert zusätzlich zum Schneidgas Wärme ab. The outer ring channel 27 on the cooler part 25 is used for the passage of an external cooling medium, such as Water or a special coolant. The annular channel 27 is closed with the aid of an annular cover 33 which is screwed and / or glued onto the cooler part 25. On the ring cover, two connecting pieces 35 are provided for the supply and discharge, only one of which is shown here. The two connecting pieces 35 are preferably diametrically opposite one another, so that a uniform flow in the annular channel 27 is achieved. Theoretically, it would also be conceivable to subdivide the annular channel 27 with a transverse wall and to arrange the two connecting pieces on both sides of the transverse wall. In this case, the cooling liquid would flow through the annular channel 27 practically over 180 ° in the same direction. The coolant * in the ring channel 27 also transports heat away from the cutting gas.

Die eigentliche Schneiddüse 3 hat an ihrem oberen Ende einen umlaufenden Kragen 15, der auf einem Haltering 37 aufliegt. Der Haltering 37 ist von unten in die Aussenwand 4 eingeschraubt. Eine Druckfeder 38 presst den Kragen 15 gegen den Haltering 37,sodass die Schneiddüse 3 in einer neutralen Lage koaxial zur Mittelachse des Gehäuseteils 24 gehalten wird. Eine Ringdichtung 46 zwischen dem Kragen 15 und dem Haltering 37 sorgt für eine gasdichte Abdichtung in der neutralen Lage. Die Druckfeder 38 stützt sich oben gegen den Linsenkühlring 41 ab, und hilft somit die Linsenhalterung 1 gegen das Kühlerteil 25 zu pressen. Die Stärke der Druckfeder 38 ist so bemessen, dass die Schneiddüse 3 beim Auftreten einer Querkraft allseitig in Pfeilrichtung E ausschwenken kann. Damit wird verhindert, dass der Brennkopf oder das Anschlussrohr beschädigt wird, wenn die Schneiddüse 3 auf ein Hindernis auftrifft. Die Brennköpfe sind normalerweise mit Kollisions-Sensoren ausgerüstet, welche den Vorschub des Brennkopfes automatisch abschalten, wenn die Schneiddüse auf ein Hindernis auftrifft. Bis zum vollständigen Stillstand der Maschine verstreicht jedoch eine bestimmte Reaktionszeit, die bei starrer Schneiddüse bereits ausreichen würde, um Beschädigungen hervorzurufen. Das Auslenken der Schneiddüse 3 dient somit auf einfache Weise zum Überbrücken dieser Reaktionszeit. The actual cutting nozzle 3 has at its upper end a circumferential collar 15 which rests on a retaining ring 37. The retaining ring 37 is screwed into the outer wall 4 from below. A compression spring 38 presses the collar 15 against the retaining ring 37, so that the cutting nozzle 3 is held in a neutral position coaxial to the central axis of the housing part 24. An annular seal 46 between the collar 15 and the retaining ring 37 ensures a gas-tight seal in the neutral position. The compression spring 38 is supported at the top against the lens cooling ring 41 and thus helps to press the lens holder 1 against the cooler part 25. The strength of the compression spring 38 is dimensioned such that the cutting nozzle 3 can swing out in the direction of the arrow E on all sides when a transverse force occurs. This prevents the burner head or the connecting pipe from being damaged when the cutting nozzle 3 hits an obstacle. The burner heads are usually equipped with collision sensors, which automatically switch off the feed of the burner head when the cutting nozzle hits an obstacle. However, a certain reaction time elapses before the machine comes to a complete standstill, which would be sufficient to cause damage if the cutting nozzle were rigid. The deflection of the cutting nozzle 3 thus serves to bridge this reaction time in a simple manner.

Vor dem Betrieb der Anlage wird mit Hilfe der Stellschrauben 8 die Linsenhalterung 1 in Pfeilrichtung B derart radial justiert, bis die optische Achse der Linse 2 konzentrisch zur Mittelachse der Schneiddüse 3 verläuft. Theoretisch genügen vier Stellschrauben 8, welche in einem Winkel von j e 90° zueinander angeordnet sind. Je nach der gewünschten Feineinstellung können aber auch acht Schrauben über den Umfang der Aussenwand 4 verteilt werden. Für die Einstellung der Relativlage zwischen Brennpunkt und Düsenspitze 47 kann die Schneiddüse 3 in Pfeilrichtung F relativ zur Linse 3 verstellt werden. Dies erfolgt beispielsweise durch gegenseitiges Verschrauben einzelner Teile der Schneiddüse 3. Before the system is operated, the lens holder 1 is radially adjusted in the direction of the arrow B using the set screws 8 until the optical axis of the lens 2 is concentric with the central axis of the cutting nozzle 3. Theoretically, four adjusting screws 8, which are arranged at an angle of j e 90 ° to one another, are sufficient. Depending on the desired fine adjustment, eight screws can also be distributed over the circumference of the outer wall 4. To set the relative position between the focal point and the nozzle tip 47, the cutting nozzle 3 can be adjusted in the arrow direction F relative to the lens 3. This is done, for example, by screwing individual parts of the cutting nozzle 3 together.

Auf ähnliche Weise wie der beschriebene Laserschneidbrenn-kopf kann auch ein Laserschweisskopf aufgebaut sein. Das Prozessgas wäre dann ein Schutzgas, welches Umgebungsluft von der Schweissstelle fernzuhalten hat. A laser welding head can also be constructed in a manner similar to the laser cutting torch described. The process gas would then be a protective gas that has to keep ambient air away from the welding point.

5 5

10 10th

15 15

20 20th

25 25th

30 30th

35 35

40 40

45 45

50 50

M M

3 Blatt Zeichnungen 3 sheets of drawings

Claims

673 004 PATENT CLAIMS

1. Laser processing tool, which is attached to a connecting piece, in particular to a connecting pipe (23), with a lens holder (1) for receiving a lens (2), with a nozzle arranged under the lens (3) and with an adjusting device for changing the Relative position between the lens (2) and the nozzle (3), characterized in that the lens holder (1) is mounted displaceably in the laser processing tool relative to the fixed nozzle (3).

2. Laser processing tool according to claim 1, characterized in that the nozzle (3) is arranged on the lower portion of a cylindrical outer wall (4) and that the lens holder (1) in the outer wall (4) relative to the fixed nozzle (3) both parallel, as well as being displaceable transversely to the central axis of the nozzle (3).

3. Laser processing tool according to claim 2, characterized in that the lens holder (1) via an in the outer wall (4) guided slide mount (5) is axially displaceable and that the lens holder (1) on the slide mount (5) is mounted radially displaceably.

4. Laser processing tool according to claim 3, characterized in that the lens holder (1) with the sliding mount (5) is adjustable against the force of a spring arranged between the lens holder (1) and the nozzle (3) against the nozzle (3) and that by means of the spring (6) the lens holder

(I) can be pressed against a sliding surface (7) running transversely to the central axis on the sliding frame (5).

5. Laser processing tool according to claim 4, characterized in that the lens holder (1) by means of the circumference of the sliding frame (5) advantageous adjusting screws (8) is adjustable relative to the sliding frame (5).

6. Laser processing tool according to claim 5, characterized in that the sliding mount (5) with an adjusting nut (9) which can be screwed into the outer wall (4) is displaceable.

7. Laser processing tool according to one of claims 1 to 6, characterized in that under the lens (2) an annular channel (10) is arranged in which a process gas can be introduced and that the process gas -us the annular channel (10) for cooling on the underside the lens (2) can be directed before it flows through the nozzle (3).

8. Laser processing tool according to claims 6 and 7, characterized in that the annular channel (10) is formed by a in the outer wall (4) guided sliding body (11) which is arranged between the spring (6) and the lens holder (1) and axially displaceable together with the latter, the lens holder (1) being radially displaceable on the sliding body

(II) rests.

9. Laser processing tool according to claim 8, characterized in that the sliding body (11) is provided over its circumference with bores (12) which are directed from the ring channel against the underside of the lens (2).

10. Laser processing tool according to claim 9, characterized in that the sliding body (11) has a conically tapering downward inner wall (13).

11. Laser processing tool according to one of the claims? to 9, characterized in that the nozzle (3) is arranged axially and at an angle to the axis on the outer wall (4) and that the nozzle (3) with the spring (6) can be pressed into a neutral position.

12. Laser processing tool according to claim 1, characterized in that the lens holder (1) can be pressed against a rotationally symmetrical housing part (24) which is attached to the connecting piece (22) and carries the nozzle (3), and relative to it in a plane transverse to the optical one Axis of the lens (2) is displaceable.

13. Laser processing tool according to claim 12, characterized in that the housing part (24) is an annular cooler part (25) and one extends downward from the cooler part.

kende outer wall (4), and that the lens holder (1) can be pressed by means of a spring (6) against the underside of the cooler part (25), which is supported on the outer wall (4).

14. Laser processing tool according to claim 13, characterized in that the lens holder (1) by means of the

The circumference of the outer wall (4), which is distributed and directed towards the center, can be adjusted.

15. Laser processing tool according to claim 13 or 14, characterized in that the cooler part (25) has at least io an annular channel for the passage of a cooling medium

16. Laser processing tool according to claim 15, characterized in that a process gas can be conducted to the nozzle via an annular channel (10) on the cooler part (25) and via the displaceable lens holder (1).

I5

17. Laser processing tool according to claim 16, characterized in that in addition to the annular channel (10) for the process gas, an annular channel (10) for the supply and discharge of an external coolant is arranged on the cooler part (25).

18. Laser processing tool according to claim 16 or 17, 2g, characterized in that the lens holder (1) together with the underside of the cooler part (25) forms an annular channel (10), which via openings (30) with the annular channel (10) for the process gas in Cooler part (25) is connected and that the process gas from the ring channel (10) in the lens holder (1)

2s several channels (31) can be conducted under the lens.

19. Laser processing tool according to claim 18, characterized in that the mouth portions (32) of the channels (31) are directed against the underside of the lens (2).

20. Laser processing tool according to one of claims 3015 to 19, characterized in that the ring channels (31) in

The cooler part (25) can be closed by ring covers (33, 34) which carry the connecting pieces (35, 36) for the supply and / or discharge of coolant and / or process gas.

21. Laser processing tool according to claim 11 or 13, 35 characterized in that the nozzle (3) on a nozzle holder

tion (14) is fastened, which has a circumferential collar (15) which rests on a sleeve lower part (16) which can be screwed into the outer wall (4) and that the nozzle (3) is pressed in one by a spring which can be pressed onto the collar (15) neutral position fixier-40 bar.

22. Laser processing tool according to claim 21, characterized in that spacer rings (17) can be inserted between the lower edge of the outer wall (4) and the lower sleeve part (16).

so DESCRIPTION