CH669663A5 - - Google Patents

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CH669663A5
CH669663A5 CH536385A CH536385A CH669663A5 CH 669663 A5 CH669663 A5 CH 669663A5 CH 536385 A CH536385 A CH 536385A CH 536385 A CH536385 A CH 536385A CH 669663 A5 CH669663 A5 CH 669663A5
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CH
Switzerland
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light beam
inspected
reflected
light beams
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CH536385A
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German (de)
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Inventor
Wilfried Schoeps
Original Assignee
Schweiz Eidgenossenschaft Sin
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • General Health & Medical Sciences (AREA)
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CH536385A 1985-12-17 1985-12-17 CH669663A5 (ja)

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CH536385A CH669663A5 (ja) 1985-12-17 1985-12-17
AU67269/87A AU6726987A (en) 1985-12-17 1986-12-15 Opto-electronic process for inspecting surfaces
PCT/CH1986/000175 WO1987003957A1 (en) 1985-12-17 1986-12-15 Opto-electronic process for inspecting surfaces
EP19870900036 EP0250490A1 (de) 1985-12-17 1986-12-15 Opto/elektronisches verfahren zur inspektion von oberflächen

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CH536385A CH669663A5 (ja) 1985-12-17 1985-12-17

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EP0250490A1 (de) 1988-01-07
WO1987003957A1 (en) 1987-07-02
AU6726987A (en) 1987-07-15

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