CA2085172A1 - Dispositif supraconducteur a canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositif - Google Patents
Dispositif supraconducteur a canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositifInfo
- Publication number
- CA2085172A1 CA2085172A1 CA2085172A CA2085172A CA2085172A1 CA 2085172 A1 CA2085172 A1 CA 2085172A1 CA 2085172 A CA2085172 A CA 2085172A CA 2085172 A CA2085172 A CA 2085172A CA 2085172 A1 CA2085172 A1 CA 2085172A1
- Authority
- CA
- Canada
- Prior art keywords
- superconducting
- channel
- oxide superconductor
- drain region
- source region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 title abstract 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 title 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N60/00—Superconducting devices
- H10N60/20—Permanent superconducting devices
- H10N60/205—Permanent superconducting devices having three or more electrodes, e.g. transistor-like structures
- H10N60/207—Field effect devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S505/00—Superconductor technology: apparatus, material, process
- Y10S505/70—High TC, above 30 k, superconducting device, article, or structured stock
- Y10S505/701—Coated or thin film device, i.e. active or passive
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S505/00—Superconductor technology: apparatus, material, process
- Y10S505/70—High TC, above 30 k, superconducting device, article, or structured stock
- Y10S505/701—Coated or thin film device, i.e. active or passive
- Y10S505/702—Josephson junction present
Landscapes
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35166891 | 1991-12-12 | ||
JP351668/1991 | 1991-12-12 | ||
JP6118392 | 1992-02-17 | ||
JP61183/1992 | 1992-02-17 | ||
JP351722/1992 | 1992-12-08 | ||
JP4351722A JPH05299714A (ja) | 1991-12-12 | 1992-12-08 | 超電導電界効果型素子およびその作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CA2085172A1 true CA2085172A1 (fr) | 1993-06-13 |
CA2085172C CA2085172C (fr) | 1996-07-23 |
Family
ID=27297417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CA002085172A Expired - Fee Related CA2085172C (fr) | 1991-12-12 | 1992-12-11 | Dispositif supraconducteur a canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositif |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5408108A (fr) |
EP (1) | EP0546957B1 (fr) |
CA (1) | CA2085172C (fr) |
DE (1) | DE69214102T2 (fr) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05251776A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-09-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 超電導素子およびその作製方法 |
US5479059A (en) * | 1993-08-23 | 1995-12-26 | United Technologies Corporation | Thin film superconductor magnetic bearings |
EP0790655B1 (fr) * | 1995-09-29 | 1999-04-14 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Dispositif supraconducteur à effet de champ à canal supraconducteur et procédé de fabrication |
US6160266A (en) * | 1996-02-22 | 2000-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Superconducting device and a method of manufacturing the same |
EP1816689A1 (fr) * | 2006-02-07 | 2007-08-08 | ST Microelectronics Crolles 2 SAS | Structure de transistor ou de triode à effet tunnel et à nanocanal isolant |
BR112020026773A2 (pt) | 2018-06-29 | 2021-04-06 | Ntp Tec, Llc | Processos para a fabricação de isobutileno, poli-isobutileno e seus derivados |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR910002311B1 (ko) * | 1987-02-27 | 1991-04-11 | 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 | 초전도 디바이스 |
CA2052970C (fr) * | 1990-10-08 | 1996-07-02 | Takao Nakamura | Dispositif a supraconducteur comportant un canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositif |
EP0496215B1 (fr) * | 1991-01-21 | 1995-08-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Méthode pour la formation d'un concept structural avec matériau supraconducteur à haute température |
JPH04284632A (ja) * | 1991-03-14 | 1992-10-09 | Fujitsu Ltd | 超伝導体線路の形成方法 |
JPH05304320A (ja) * | 1991-03-27 | 1993-11-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 超伝導薄膜トランジスタ及びその作製方法 |
EP0545801B1 (fr) * | 1991-11-30 | 1997-03-19 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Dispositif à supraconducteur avec un canal supraconducteur extrêmement mince formé d'un matériau d'oxyde supraconducteur et procédé pour sa fabrication |
-
1992
- 1992-12-11 CA CA002085172A patent/CA2085172C/fr not_active Expired - Fee Related
- 1992-12-14 DE DE69214102T patent/DE69214102T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-12-14 EP EP92403400A patent/EP0546957B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1992-12-14 US US07/990,841 patent/US5408108A/en not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-12-02 US US08/353,396 patent/US5510324A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2085172C (fr) | 1996-07-23 |
US5510324A (en) | 1996-04-23 |
EP0546957B1 (fr) | 1996-09-25 |
DE69214102T2 (de) | 1997-03-20 |
EP0546957A3 (en) | 1993-07-14 |
EP0546957A2 (fr) | 1993-06-16 |
DE69214102D1 (de) | 1996-10-31 |
US5408108A (en) | 1995-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2052970A1 (fr) | Dispositif a supraconducteur comportant un canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositif | |
JPS6486574A (en) | Superconducting device | |
CA2052508A1 (fr) | Methode de fabrication d'un dispositif supraconducteur a couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite et dispositif supraconducteur ainsi fabrique | |
CA2084174A1 (fr) | Dispositif a superconduction comportant un canal superconducteur tres mince compose d'un materiau superconducteur oxyde et methode de fabrication | |
CA2054795A1 (fr) | Dispositif a canal fait d'une couche d'oxyde supraconducteur extremement mince et sa methode de fabrication | |
MY109375A (en) | Superconducting field-effect transistors with inverted misfet structure and method for making the same. | |
CA2085172A1 (fr) | Dispositif supraconducteur a canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositif | |
CA2084983A1 (fr) | Dispositif supraconduteur comportant un canal extrement mince d'oxyde supraconducteur et methode de fabrication de ce dispositif | |
CA2052380A1 (fr) | Dispositif a canal constitue d'une couche d'oxyde supraconducteur extremement mince et sa methode de fabrication | |
US5621223A (en) | Superconducting device having a reduced thickness of oxide superconducting layer and method for manufacturing the same | |
US5179426A (en) | Josephson device | |
CA2051778A1 (fr) | Methode de fabrication d'un dispositif supraconducteur a couche d'oxyde supraconducteur d'epaisseur reduite, et dispositif supraconducteur ainsi fabrique | |
CA2052378A1 (fr) | Dispositif a supraconducteur et sa methode de fabrication | |
CA2054644A1 (fr) | Dispositif a canal extremement court fait d'une couche d'oxyde supraconducteur extremement mince et sa methode de fabrication | |
CA2054477A1 (fr) | Dispositif a canal extremement court fait d'un oxyde supraconducteur et methode de fabrication de ce dispositif | |
JPS64779A (en) | Superconducting transistor and manufacture thereof | |
CA2079357A1 (fr) | Couche mince supraconductrice formee d'un oxyde supraconducteur, trajet de courant et dispositif a supraconducteur utilisant cette couche mince | |
CA2054470A1 (fr) | Methode servant a fabriquer un dispositif supraconducteur ayant une couche d'oxyde supraconductrice d'epaisseur reduite et dispositif supraconducteur ainsi construit | |
EP0478463B1 (fr) | Dispositif à supraconducteur avec un canal supraconducteur extrêmement mince formé d'un matériau d'oxyde supraconducteur | |
CA2085290A1 (fr) | Dispositif supraconducteur a canal d'oxyde supraconducteur extremement mince et methode de fabrication de ce dispositif | |
US5552374A (en) | Oxide superconducting a transistor in crank-shaped configuration | |
EP0565452B1 (fr) | Dispositif à supraconducteur ayant un canal en oxyde supraconducteur | |
JPH0585705A (ja) | 酸化物超電導薄膜 | |
JPH01133381A (ja) | 超電導トランジスタ | |
JPH04370978A (ja) | 量子効果型電界効果トランジスタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EEER | Examination request | ||
MKLA | Lapsed |