BRPI0516020A - controlar comportamento eletromecãnico de estruturas em um dispositivo de sistemas microeletromecánicos - Google Patents

controlar comportamento eletromecãnico de estruturas em um dispositivo de sistemas microeletromecánicos

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BRPI0516020A
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electromechanical
microelectromechanical systems
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Mark W Milles
John Batey
Clarence Chui
Manish Kothari
Ming-Hau Tung
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Idc Llc
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"CONTROLAR COMPORTAMENTO ELETROMECáNICO DE ESTRUTURAS EM UM DISPOSITIVO DE SISTEMAS MICROELETROMECáNICOS". Em uma modalidade, a invenção provê um método para fabricar um dispositivo de sistemas microeletromecânicos. O método compreende fabricar uma primeira camada compreendendo um filme tendo uma resposta eletromecânica característica, e uma resposta óptica característica, onde a resposta óptica característica é desejável e a resposta eletromecânica característica é indesejável; e modificar a resposta eletromecânica característica da primeira camada ao reduzir pelo menos o acúmulo de carga sobre a mesma durante ativacão do dispositivo de sistemas microeletromecânicos.
BRPI0516020-0A 2004-09-27 2005-08-30 controlar comportamento eletromecãnico de estruturas em um dispositivo de sistemas microeletromecánicos BRPI0516020A (pt)

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