AR090387A1 - Metodo autocontrolable de fabricacion de micro y nanoporos especificamente localizados - Google Patents

Abstract

La presente se refiere a un método para fabricar un poro, o un arreglo de poros de estado sólido. Consiste en la fabricación de poros realizando un ataque químico sobre un sustrato conteniendo las formas deseadas en una capa resistente, y frenando este ataque químico por medio de una reacción química de frenado, cuando se produce la formación del poro. El método permite el frenado automático del proceso de fabricación del poro, sin necesidad de la intervención de un agente externo, cuando este tiene dimensiones de entre 1 nm hasta 200 mm, y permite ubicar los poros en lugares específicos del sustrato pudiendo formar uno o un arreglo de ellos. El método se realiza depositando un capa de material resistente al ataque químico en ambas caras del sustrato, generando formas sobre las mismas, se produce un 1º ataque con un agente químico en ambas caras del sustrato dando estructuras terminadas en finas puntas en ambas caras. Luego se lava y se expone solo una de las caras del sustrato a un 2º ataque, mientras que la cara opuesta es expuesta al agente químico de frenado. Con el avance del ataque, la estructura terminada en fina punta crece hasta el punto de encontrarse con la cara opuesta y la reacción de ataque es frenada por el agente químico de frenado, formando un poro en cada punto de intersección.